JPH072311A - クリーンルーム内の荷保管装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 給電装置により発生するクリーン度を損なう
原因を排除したクリーンルーム内の荷保管装置を提供す
る。 【構成】 クリーンエア16が供給される荷18の荷収納部
８と、荷収納部８前方の床レール21上を走行自在な荷18
の搬入出装置20を備え、床レール21に沿って高周波の正
弦波電流を流す誘導線路ユニットＸを敷設し、搬入出装
置20にこの誘導線路ユニットＸの周波数に共振し、起電
力が生じるピックアップユニットＰを設ける。 【効果】 ピックアップユニットＰに起電力が発生する
ことで、搬入出装置20に無接触で給電できる。よって、
従来の給電レールと集電子のような磨耗部がなくなり、
ゴミの発生を防止でき、クリーン度を保持することがで
き、さらに定期的なメンテナンスを不用とすることがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体のよう
な塵埃を極端にきらう製品の保管に使用されるクリーン
ルーム内の荷保管装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の装置としては、たとえば
特開平３−１７７２０８号公報に見られる構造が提供さ
れている。

【０００３】すなわち、クリーンルーム内の箱状の本体
内に、前面と後面とが開放し、かつ多数の収納空間を形
成した棚を設け、この棚の後面側にフィルタを配設する
とともに、このフィルタの後方に流路を形成し、棚の下
方に設けた送風機の吐出部を前記流路に連通している。
また、本体内には、棚の前面に沿った一定経路上に、棚
の収納空間と荷の受け渡しを行う搬入出装置が設けられ
る。この搬入出装置は、床レールと、この床レールに支
持案内されて棚の前面に沿った一定経路上を走行自在な
台車と、この台車上から立設された支持枠と、この支持
枠内に配設したガイド体に案内される昇降台と、この昇
降台上に設けた荷移載用の荷保持装置から構成されてい
る。

【０００４】また、従来、一定経路に沿って給電レール
を敷設し、搬入出装置に集電子を設けて、搬入出装置に
給電レールより集電子を介して給電する方式が使用され
ている。また、支持枠の中間位置に一端が固定され、他
端が昇降台に固定された上記荷保持装置への給電用移動
ケーブルが、たとえばケーブルベア方式により設けられ
ている。

【０００５】このような従来の構成によると、棚の収納
空間には、常にフィルタを介してクリーンエアが供給さ
れ、クリーン度が保たれ、また搬入出装置は給電レール
より集電子を介して給電され、搬入出装置の台車の走行
動と、昇降台の昇降動と、荷保持装置の受け渡し動との
組み合わせ動作により棚の目的とする収納空間に対して
荷の入出庫が行われる。荷保持装置へは給電用移動ケー
ブルを介して給電される。

【０００６】また、クリーンルーム内の荷保管装置にお
いて、上記給電レールに代えて、天井に沿ってトロリー
を敷設し、このトロリーに吊るされたドラムに支持され
て架設される給電用移動ケーブルを設けて、搬入出装置
へ給電する方式が使用されることもある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の給電レール
による給電方式を使用した荷保管装置によると、給電レ
ールと集電子とが互いに擦り合うことにより磨耗してゴ
ミ（塵埃）が発生し、クリーン度を損なうという問題が
あった。

【０００８】また、従来の給電用移動ケーブルによる給
電方式を使用した荷保管装置によると、搬入出装置の移
動時に給電用移動ケーブルにより本体内がかき乱され、
ゴミが舞う恐れがあった。

【０００９】さらに、いずれの給電方式を使用した自動
倉庫においても、昇降台の昇降時に、昇降台への給電用
移動ケーブルにより本体内がかき乱され、ゴミが舞う恐
れがあった。

【００１０】本発明は上記問題を解決するものであり、
給電装置により発生するクリーン度を損なう原因を排除
したクリーンルーム内の荷保管装置を提供することを目
的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、第１の発明のクリーンルーム内の荷保管装置は、ク
リーンエアが供給される荷収納用の棚と、この棚前方の
一定経路上を走行自在な前記荷の搬入出装置を備えたク
リーンルーム内の荷保管装置であって、前記一定経路に
沿って高周波の正弦波電流を流す線路を敷設し、前記搬
入出装置にこの線路の周波数に共振し、起電力が生じる
ピックアップコイルを設けたことを特徴とするものであ
る。

【００１２】また第２の発明のクリーンルーム内の荷保
管装置は、クリーンエアが供給される荷収納用の棚を備
え、この棚前方の一定経路上を走行自在な台車と、この
台車に立設した支持枠に沿って昇降する昇降台と、この
昇降台上に設置された前記荷の移載装置からなる搬入出
装置を備えたクリーンルーム内の荷保管装置であって、
前記一定経路に沿って高周波の正弦波電流を流す第１の
線路を敷設し、前記搬入出装置にこの第１の線路の周波
数に共振し、起電力が生じる第１のピックアップコイル
を設け、前記支持枠に沿って高周波の正弦波電流を流す
第２の線路を敷設し、前記昇降台にこの第２の線路の周
波数に共振し、起電力が生じる第２のピックアップコイ
ルを設けたことを特徴とするものである。

【００１３】

【作用】上記第１の発明の構成によると、ピックアップ
コイルに起電力が発生することで、搬入出装置は走行中
にも無接触で給電され、一定経路上を走行し、また昇降
台などが駆動される。また、従来の給電用移動ケーブル
が不用となることにより、この移動ケーブルによりゴミ
が舞うことが防止され、あるいは従来の給電レールが不
用となり、かつ無接触で給電されることにより、磨耗部
がなくなり、ゴミの発生が防止され、クリーン度が保た
れる。

【００１４】また上記第２の発明の構成によると、第１
のピックアップコイルに起電力が発生することで、搬入
出装置は走行中にも無接触で給電され、一定経路上を走
行し、昇降台などが駆動され、また第２のピックアップ
コイルに起電力が発生することで、昇降台に無接触で給
電され、昇降台の荷移載装置などが駆動される。また、
従来の給電用移動ケーブル、および昇降台への給電ケー
ブルが不用となることにより、ゴミが舞うことが防止さ
れる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例におけるクリーンルー
ム内の荷保管装置の正面図、図２は同クリーンルーム内
の荷保管装置の平面図である。

【００１６】図示において、１はクリーンルームであ
り、天井側からフィルタ２を通してクリーンエア３を下
吹きし、下降するクリーンエア３をメッシュ形式の床４
を通して床下に吸引するように構成してある。５は密閉
式の荷保管装置で、箱状の本体６内には、上下方向に複
数の収納空間７を区画形成した荷収納部（棚）８が前面
を通路９に対向させて設けられる。これら荷収納部８
は、通路９側に向いた前面と反対側の後面とが開放さ
れ、そして後面を覆うようにしてフィルタ10を配設する
とともに、このフィルタ10の後方で本体６との間にエア
供給路11を形成している。

【００１７】前記本体６内の下部には前記通路９側に連
通した区画室12が形成され、この区画室12内に、その吐
出部13が前記エア供給路11に連通した送風機14を設けて
いる。この送風機14の吸引部15は区画室12内に開放し、
前記荷収納部８を通って通路９に流出したクリーンエア
16を、区画室12を介して吸引すべく、この区画室12を形
成する前面壁を多孔板17で形成している。

【００１８】前記通路９内には搬入出装置20が設けら
れ、この搬入出装置20は、床レール21と、この床レール
21に車輪22を介して支持案内され、かつ荷収納部８の前
面に沿った一定経路上を走行自在な台車23と、この台車
23上から立設した支持枠24と、この支持枠24内に配設し
たガイド体に案内される昇降台25と、この昇降台25上に
設けた荷移載用の荷保持装置26とから構成される。

【００１９】前記荷保持装置26は、前後一対の腕27を有
し、この腕27は、昇降台25上を覆うカバー枠内に収納し
た作動装置（図示せず）に下端を連動連結することで、
左右方向に揺動自在でかつ互いに接近離間動自在に構成
される。両腕27の上端には、一対の荷保持具が相対揺動
自在に連結された、前後一対の第２腕（いずれも図示せ
ず）が相対揺動自在に連結されており、腕27の揺動量に
応じて第２腕の揺動量ならびに荷保持具の向きと水平姿
勢を制御するよう構成されている。

【００２０】前記通路９を中にして荷収納部８とは反対
側の下部には受け台形式の荷捌き場28が設けられ、この
荷捌き場28に対向して本体６には開口部29が形成されて
いる。前記搬入出装置20によって取扱われる荷18は製品
を収納自在なケース形状であって、上部の両側面には、
荷保持装置26の荷保持具が下方から係合自在な被係止部
18ａが設けられている。

【００２１】また、従来の給電レールに代えて、床レー
ル21に沿って電源装置Ｍに接続された誘導線路ユニット
Ｘを設け、昇降台25への給電ケーブルに代えて支持枠24
に沿って誘導線路ユニットＸ’を設け、搬入出装置20に
誘導線路ユニットＸから無接触で給電されるピックアッ
プユニットＰを設け、昇降台25に誘導線路ユニットＸ’
から無接触で給電されるピックアップユニットＰ’を設
けている。

【００２２】誘導線路ユニットＸは、図３，図４に示す
ように、床レール21に沿ってレール30を敷設し、このレ
ール30の横一側部に所定間隔置きに上下一対のハンガー
31が垂直に突設されたブラケット32が取り付けられ、ハ
ンガー31の先端には袋状の凹部31Ａが設けられ、この凹
部31Ａに、始端が電源装置Ｍに接続され、終端が接続さ
れた通電方向の異なるループ状の誘導線路34を長手方向
に嵌め込んだカバー33のツメ部33Ａが挿入され、レール
30に沿って誘導線路34が敷設されることにより構成され
ている。前記ブラケット32は、図４に示すように、レー
ル30の側部の内方へ突設されたツメ部30Ａ，30Ｂに、そ
の上下端部を嵌合させ、上下端に設けたねじ孔32Ａに止
めネジ32Ｂをら合させ、その先端をレール30に食い込ま
せることにより、固定している。

【００２３】また誘導線路34は、絶縁した細い素線（た
とえば、エナメル線）を所定本数撚り合わせて形成した
撚線（以下、リッツ線と称す）をさらに撚り合わせ、絶
縁体（たとえば、樹脂材）からなる被覆によりカバーし
て構成されている。このように、誘導線路34をリッツ線
で構成することにより、後述する高周波の電流を流すこ
とによる表皮効果の影響を少なくでき、径の細い誘導線
路34でも大きな誘導電流を流すことができる。

【００２４】また、誘導線路ユニットＸ’は、支持枠24
に沿ってレール30に相当するレールを敷設し、上記誘導
線路ユニットＸを垂直方向に設けて構成されたものであ
り、詳細な説明を省略する。なお、支持枠24に対して直
接、ハンガー31が垂直に突設されたブラケット32を上下
方向に順に並べて誘導線路34を敷設するようにすること
もできる。

【００２５】また、ピックアップユニットＰは、図５に
示すように、断面がＥ形のフェライト35を５個、その中
央の凸部35Ａが横向きにして横方向（図１において床レ
ール21に沿う方向）に並べ、各フェライト35の中央の凸
部35Ａに、フェライト板37を載置し、このフェライト板
37ごと非磁性体のプレート38を介してベース体39にねじ
39Ａにより固定している。また横方向に並べたフェライ
ト35の中央の凸部35Ａの上下面に渡って、たとえば10〜
20ターンの上記リッツ線を巻いてピックアップコイル36
を形成し、またベース体39の側部に取付け部材40を取付
けて構成されている。また、両端のフェライト35とプレ
ート38の折りかえし部間にウレタンゴム40Ａを挿入して
いる。前記取付け部材40によりピックアップユニットＰ
を、図４(a) に示すように、ピックアップユニットＰの
フェライト35の中央の凸部35Ａの中心Ｌがほぼ誘導線路
ユニットＸの一対の誘導線路34の中央で、レール30に対
して垂直に位置するように調整し、搬入出装置20の台車
23から下方に垂設されたブラケット23Ａに固定してい
る。誘導線路34に通電（交流）されると、ピックアップ
コイル36に起電力が発生する。

【００２６】また、ピックアップユニットＰ’は、上記
ピックアップユニットＰと同一の構成であり、説明を省
略する。誘導線路34’に通電（交流）されると、ピック
アップコイル36’に起電力が発生する。

【００２７】また、台車23には、この搬入出装置20の駆
動装置Ｇが設けられ、前記誘導線路ユニットＸ’の誘導
線路34’は、始端がこの駆動装置Ｇに接続され、終端が
接続されている。

【００２８】電源装置Ｍと搬入出装置20の給電回路構成
を図６の回路図にしたがって説明する。電源装置Ｍは、
ＡＣ200 Ｖ３相の交流電源41と、コンバータ42と、正弦
波共振インバータ43と、過電流保護用のトランジスタ44
およびダイオード45とを備えている。コンバータ42は全
波整流用のダイオード46と、フィルタを構成するコイル
47とコンデンサ48と抵抗49とこの抵抗49を短絡するトラ
ンジスタ50とから構成され、正弦波共振インバータ43
は、図中に示すように交互に発振される矩形波信号によ
り駆動されるトランジスタ51，52と、電流制限用のコイ
ル53と、トランジスタ51，52に接続される電流供給用の
コイル54と、誘導線路34と並列共振回路を形成するコン
デンサ55とから構成されている。なお、トランジスタ制
御装置は省略している。

【００２９】また搬入出装置20には、駆動装置Ｇ内に、
ピックアップコイル36に並列に、このピックアップコイ
ル36と誘導線路34の周波数に共振する共振回路を構成す
るコンデンサ56を設け、この共振回路のコンデンサ56に
並列に整流用のダイオード57を接続し、このダイオード
57に出力を所定電圧に制御する安定化電源回路58を接続
して構成した動力モジュールＤを設けている。安定化電
源回路58は、電流制限用のコイル59と出力調整用トラン
ジスタ60と、フィルタを構成するダイオード61およびコ
ンデンサ62から構成されている。なお、トランジスタ制
御装置は省略している。上記動力モジュールＤの安定化
電源回路58に、昇降台25の昇降駆動装置（モータなど）
用の第１のインバータ63、台車23の走行駆動装置（モー
タなど）用の第２のインバータ64、電源装置65、および
第３のインバータ66を接続している。この第３のインバ
ータ66は、電源装置Ｍのインバータ43と同一の正弦波共
振インバータであり、詳細な説明は省略する。この第３
のインバータ66に支持枠24に敷設された誘導線路ユニッ
トＸ’の誘導線路34’が接続されている。また、駆動装
置Ｇ内に、投・受光器を介して地上側のコントロールパ
ネル（いずれも図示せず）と信号の授受を行う搬入出装
置20のコントロールモジュール67が設けられており、上
記電源装置65から給電されている。

【００３０】また昇降台25には、ピックアップユニット
Ｐ’のピックアップコイル36’に並列に上記動力モジュ
ールＤと同一の動力モジュールＤ’が設けられ、この動
力モジュールＤ’に荷保持装置26を駆動するインバータ
71と電源装置72が接続されている。また、投・受光器
（図示せず）を介して駆動装置Ｇのコントロールモジュ
ール67と、信号の授受を行うコントロールモジュール73
が設けらている。このコントロールモジュール73は、駆
動装置Ｇのコントロールモジュール67から荷保持装置26
の出退指令信号を入力して、インバータ71を駆動し、ま
た昇降台25の検出器（図示せず）の状態検出信号を駆動
装置Ｇのコントロールモジュール67へ出力する。また、
コントロールモジュール73は電源装置72から給電され
る。

【００３１】上記電源装置Ｍと誘導線路34，34’と搬入
出装置20の回路構成による作用を説明する。まず、交流
電源41から出力されるＡＣ200 Ｖ３相の交流はコンバー
タ42により直流に変換され、正弦波共振インバータ43に
より高周波（たとえば、10kHz ）の正弦波に変換されて
誘導線路34に供給される。この誘導線路34に発生する磁
束により、誘導線路34の周波数に共振する搬入出装置20
のピックアップコイル36に大きな起電力が発生し、この
起電力により発生した交流電流はダイオード57で整流さ
れ、安定化電源回路58により所定の電圧に整圧されて、
第１，第２，第３のインバータ63，64，66、および電源
装置65に給電される。

【００３２】また、第３のインバータ66により高周波
（たとえば、10kHz ）の正弦波に変換されて誘導線路3
4’に供給される。この誘導線路34’に発生する磁束に
より、同様に昇降台25のピックアップコイル36’に大き
な起電力が発生し、動力モジュールＤ’よりインバータ
71および電源装置72に給電される。

【００３３】次に上記実施例の作用を説明する。荷保管
装置５においては常に高いクリーン度が保たれている。
すなわち送風機14の稼動によって吐出部13から吐出され
る送気はエア供給路11内を上昇し、そしてフィルタ10を
通ってクリーン度の高いクリーンエア16となり、荷収納
部８に対して後面側から供給される。したがって荷収納
部８内は、後面から前面へと流れるクリーンエア16によ
って高クリーン度が維持されている。荷収納部８を通っ
たクリーンエア16は通路９内に流入し、その一部は開口
部29を通ってクリーンルーム１内に流出し、また残部は
多孔板17を通って区画室12に流入して送風機14に吸引さ
れ、循環使用される。

【００３４】また電源装置65より給電された駆動装置Ｇ
のコントロールモジュール67は、投・受光器を介して地
上側に設置されたコントロールパネルから指令信号を入
力し、また昇降台25のコントロールモジュール73から昇
降台25の検出器（図示せず）の状態検出信号を入力し、
さらに他の検出器からの状態検出信号を入力し、これら
の信号に応じて第２のインバータ64へ走行指令信号、第
１のインバータ63へ昇降指令信号を出力し、あるいは昇
降台25のコントロールモジュール73へ荷保持装置26の出
退指令信号を出力し、給電された第１，第２，第３のイ
ンバータ63，64，66の動作により、搬入出装置20の床レ
ール21上での走行動と、昇降台25の昇降動と、荷保持装
置26の横方向出退動との組み合わせ動作が行われ、荷収
納部８の目的とする収納空間７と荷捌き場28に対して荷
18の搬入出が行われる。また荷捌き場28上の荷18は、た
とえば自走車により搬入出される。

【００３５】このように、無接触で搬入出装置20と昇降
台25に給電することができる。よって、従来の給電レー
ルと集電子のような磨耗部がなくなり、ゴミの発生を防
止でき、クリーン度を保持することができ、さらに定期
的なメンテナンスを不用とすることができる。また、従
来の給電用移動ケーブル、および昇降台25への給電ケー
ブルが不用となることにより、台車23の移動時や昇降台
25の昇降時にケーブルによりゴミが舞うことを防止で
き、クリーン度を保持することができ、さらに断線の恐
れをなくすことができる。

【００３６】また誘導線路34，34’の長さはピックアッ
プコイル36，36’の長さに比較して格段に長いため、誘
導線路34，34’の１次側自己インダクタンスはほぼ一定
となり、また電源装置Ｍのインバータ43，駆動装置Ｇの
インバータ66のコンデンサ55と誘導線路34，34’は共振
回路を構成していることから、誘導線路34，34’にほぼ
一定の大きな電流値で、高周波で正弦波の１次側電流を
流すことができ、またピックアップコイル36，36’の２
次側が共振回路となることで、共振周波数で２次側に大
きな起電圧ｖ（たとえば、1000〜2000Ｖ）が発生し、誘
導線路34，34’とピックアップコイル36，36’間のギャ
ップ長が変化しても、誘導線路34，34’の周波数が多少
変動しても、さらに２次側の共振周波数が誘導線路34，
34’の周波数から多少変動しても、所定値（たとえば、
300 Ｖ）以上の２次側電圧を発生することができ、よっ
て大きな電力を安定して供給することができる。したが
って、ギャップ長の調整をラフに行え、作業性がよくな
り製作を容易にすることができる。

【００３７】またピックアップコイル36，36’の中心Ｌ
が誘導線路ユニットＸ，Ｘ’の一対の誘導線路34，34’
の中央で、垂直に位置し、かつ誘導線路34，34’の上下
にそれぞれフェライト35の上下の突部35Ｂが位置するよ
うに調整され、固定されることから、ピックアップコイ
ル36，36’は誘導線路34で発生する磁束密度が最も大き
い位置に位置し、透磁率の高いフェライト35の上下の突
部35Ｂに磁路が生じ、よって最も大きい起電力が誘起さ
れ、効率よく給電できる。さらに、誘導線路34，34’に
は正弦波が給電されることにより、高調波が発生せず、
ラジオノイズの発生を無くすことができる。

【００３８】なお、上記実施例では、駆動装置Ｇ内に、
第３のインバータ66を設けて、誘導線路34’に給電して
いるが、図７に示すように、駆動装置Ｇ内にリング状の
磁性体76を設け、この磁性体76の１次側のピックアップ
コイル36を動力モジュールＤと並列に接続し、この磁性
体76の２次側に誘導線路34’を接続するようにしてもよ
い。このとき、第３のインバータ66を省略できる。

【００３９】また、本実施例では、誘導線路34を床レー
ル21に沿って敷設しているが、搬入出装置20の一定経路
に沿って敷設すればよく、荷収納部８に沿って敷設する
ことも可能である。このとき、ピックアップユニットＰ
の取付け位置が代わるのはいうまでもない。

【００４０】また、本実施例では、２本の誘導線路34，
34’をそれぞれ敷設する構成としているが、２本の誘導
線路34，34’を敷設できない場合、一方の誘導線路のみ
を敷設し、他方の誘導線路は他の経路を通し、１本の誘
導線路にのみ近接してピックアップコイル36，36’が移
動する構成としてもよい。なお、このときパワーダウン
となることはいうまでもない。さらに２本以上の誘導線
路を敷設して、パワーアップを図ることができる。

【００４１】また、本実施例では、投・受光器を使用し
て、コントロールモジュール67と地上側に設置されたコ
ントロールパネル、コントロールモジュール67と昇降台
25のコントロールモジュール73との信号の授受を行って
いるが、無線装置を使用して信号の授受を行うこともで
きる。

【００４２】

【発明の効果】上記構成の第１の発明によると、ピック
アップコイルに起電力が発生することで、搬入出装置に
無接触で給電でき、一定経路上を走行し、また昇降台な
どを駆動できる。また、従来の給電用移動ケーブルが不
用となることにより、この給電ケーブルによりゴミが舞
うことを防止でき、あるいは従来の給電レールが不用と
なり、かつ無接触で給電されることにより、磨耗部がな
くなり、ゴミの発生を防止でき、クリーン度を保持する
ことができる。

【００４３】また上記第２の発明の構成によると、第１
のピックアップコイルに起電力が発生することで、搬入
出装置に無接触で給電でき、一定経路上を走行し、昇降
台などを駆動でき、また第２のピックアップコイルに起
電力が発生することで、昇降台に無接触で給電でき、昇
降台の荷移載装置などを駆動できる。また、従来の給電
用移動ケーブル、および昇降台への給電ケーブルが不用
となることにより、ゴミが舞うことを防止でき、クリー
ン度を保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるクリーンルーム内の
荷保管装置の正面図である。

【図２】同クリーンルーム内の荷保管装置の平面図であ
る。

【図３】同クリーンルーム内の荷保管装置のレール部の
側面図である。

【図４】同クリーンルーム内の荷保管装置のレールブラ
ケットの側面図、平面図である。

【図５】同クリーンルーム内の荷保管装置のピックアッ
プコイルの平面図、正面図、側面図である。

【図６】同クリーンルーム内の荷保管装置の回路構成図
である。

【図７】本発明の他の実施例におけるクリーンルーム内
の荷保管装置の回路構成図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ３，16 クリーンエア ５ 荷保管装置 ６ 本体 ７ 収納空間 ８ 荷収納部（棚） ９ 通路 20 搬入出装置 21 床レール 23 台車 24 支持枠 25 昇降台 26 荷保持装置 30 レール 31 ハンガー 32 ブラケット 34，34’ 誘導線路 35 フェライト 36，36’ ピックアップコイル 37 フェライト板 43 正弦波共振インバータ 56 ピックアップコイルと共振回路を形成するコンデ
ンサ 63，64，66，71 インバータ 65，72 電源装置 67，73 コントロールモジュール Ｘ，Ｘ’ 誘導線路ユニット Ｐ，Ｐ’ ピックアップユニット Ｍ 電源装置 Ｄ，Ｄ’ 動力モジュール Ｇ 駆動装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンエアが供給される荷収納用の棚
   と、この棚前方の一定経路上を走行自在な前記荷の搬入
   出装置を備えたクリーンルーム内の荷保管装置であっ
   て、 前記一定経路に沿って高周波の正弦波電流を流す線路を
   敷設し、前記搬入出装置にこの線路の周波数に共振し、
   起電力が生じるピックアップコイルを設けたことを特徴
   とするクリーンルーム内の荷保管装置。
2. 【請求項２】 クリーンエアが供給される荷収納用の棚
   を備え、この棚前方の一定経路上を走行自在な台車と、
   この台車に立設した支持枠に沿って昇降する昇降台と、
   この昇降台上に設置された前記荷の移載装置からなる搬
   入出装置を備えたクリーンルーム内の荷保管装置であっ
   て、 前記一定経路に沿って高周波の正弦波電流を流す第１の
   線路を敷設し、前記搬入出装置にこの第１の線路の周波
   数に共振し、起電力が生じる第１のピックアップコイル
   を設け、前記支持枠に沿って高周波の正弦波電流を流す
   第２の線路を敷設し、前記昇降台にこの第２の線路の周
   波数に共振し、起電力が生じる第２のピックアップコイ
   ルを設けたことを特徴とするクリーンルーム内の荷保管
   装置。