JPH07231237A - 多重モード水晶振動子及び水晶振動子 - Google Patents
多重モード水晶振動子及び水晶振動子Info
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- JPH07231237A JPH07231237A JP32114793A JP32114793A JPH07231237A JP H07231237 A JPH07231237 A JP H07231237A JP 32114793 A JP32114793 A JP 32114793A JP 32114793 A JP32114793 A JP 32114793A JP H07231237 A JPH07231237 A JP H07231237A
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 ワイヤボンディングが安全にでき、また耐衝
撃性の良好な多重モード振動子、水晶振動子を提供す
る。 【構成】 多重モード振動子は、水晶片1を密閉容器2
に封入して形成される。水晶片1の一方の面には分割さ
れた入出力電極が、他面には共通電極が形成される。密
閉容器2は凹状の積層構造の容器本体9に金属蓋体10
をシーム溶接して形成される。容器本体9は、基板11
と枠体12と溶接リング13とからなる。基板11の両
端部には、保持部14,15を有し、入出力用の導電路
16,17が外部端子として外表面に延出する。また、
中央部分にはシールド電極18を有する。保持部14,
15は、多層構造として形成され、金属蓋体10は接地
される。水晶片1の主面は基板11に対向して導電性接
着剤20により保持部14,15に固着され、2点保持
される。導電性接着剤20の厚みにより水晶片1と基板
11の間隔は保たれ、励振は阻害されず、耐衝撃性も良
好となる。
撃性の良好な多重モード振動子、水晶振動子を提供す
る。 【構成】 多重モード振動子は、水晶片1を密閉容器2
に封入して形成される。水晶片1の一方の面には分割さ
れた入出力電極が、他面には共通電極が形成される。密
閉容器2は凹状の積層構造の容器本体9に金属蓋体10
をシーム溶接して形成される。容器本体9は、基板11
と枠体12と溶接リング13とからなる。基板11の両
端部には、保持部14,15を有し、入出力用の導電路
16,17が外部端子として外表面に延出する。また、
中央部分にはシールド電極18を有する。保持部14,
15は、多層構造として形成され、金属蓋体10は接地
される。水晶片1の主面は基板11に対向して導電性接
着剤20により保持部14,15に固着され、2点保持
される。導電性接着剤20の厚みにより水晶片1と基板
11の間隔は保たれ、励振は阻害されず、耐衝撃性も良
好となる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は水晶振動子を利用分野と
し、特に多重モード水晶振動子(多重モード振動子とす
る)のワイヤボンディングによる電極導出時の改良に関
する。
し、特に多重モード水晶振動子(多重モード振動子とす
る)のワイヤボンディングによる電極導出時の改良に関
する。
【0002】
【発明の背景】多重モード振動子は水晶片に形成した例
えば二組の電極対間の音響的結合を利用し、所定のフィ
ルタ特性を得るもの、所謂MCF(Monolithic Crystal
Filter)として通信機器等に有用されている。近年で
は、抵抗、コンデンサに代表されるように、表面実装用
とした多重モード振動子が求められている(参照:特願
平1-83007号、特願平4-46008号等)。
えば二組の電極対間の音響的結合を利用し、所定のフィ
ルタ特性を得るもの、所謂MCF(Monolithic Crystal
Filter)として通信機器等に有用されている。近年で
は、抵抗、コンデンサに代表されるように、表面実装用
とした多重モード振動子が求められている(参照:特願
平1-83007号、特願平4-46008号等)。
【0003】
【従来技術】第7図乃至第9図はこのような多重モード
振動子を説明する図で、第7図は同断面図、第8図(a
b)は水晶片の表裏面図、第9図は絶縁性基板(以下基
板とする)の平面図である。多重モード振動子は、水晶
片1を密閉容器2に封入して形成される。水晶片1は例
えば厚みすべり振動姿態のATカットとする。一方の主
面1aには分割された入出力励振電極(入出力電極とす
る)3、4を、他方の主面1bには共通励振電極(共通
電極とする)5が形成される。入出力電極3、4と共通
電極5からは、両端外周部に各引出電極6、7、8(a
b)を延出する。密閉容器2は凹状の積層構造の容器本
体9に金属蓋体10をシーム溶接して形成される。容器
本体9は、基板11と枠体12と溶接リング13とから
なる。基板11の両端部表面には、その幅方向に金属膜
層からなる保持部14、15を有し、入出力用の導電路
16、17が一方の対角方向から外表面に延出する。ま
た、中央部分には基準電位となるシールド電極(共通電
極)18を有し、シールド電極用の導電路19(ab)
が他方の対角方向から外表面に延出する。これらの外表
面に延出した各導電路16、17、19(ab)は表面
実装用の外部端子となる。保持部14、15は、例えば
印刷により多層構造として形成され、その厚みを大きく
設定される。なお、金属蓋体10は接地される。そし
て、水晶片1の一方の主面1aが、基板11に対向して
保持される。すなわち、入出力用引出電極6、7の形成
された対角部を、導電性接着剤20をもって保持部1
4、15上に固着して、両端部2点保持とする。また、
他方の主面1bの共通引出電極例えば8aの電極導出点
21にはワイヤボンディングにより金属細線22の一端
が接続し、他端はシールド電極18(導電路19a)の
電極導入点23に接続する。このようなものでは、保持
部14、15と導電性接着剤20の厚みにより、水晶片
1と基板11(シールド電極18)との間に励振を阻害
しない程度の間隙をもたせて励振させるので、他の保持
具を使用することなく小型化を促進する。また、保持位
置を両端部の対角方向としたので衝撃性を良好にすると
ともに、その経路が長くなるので導電性接着剤20の収
縮あるいは伸張時における応力発生を軽減する。
振動子を説明する図で、第7図は同断面図、第8図(a
b)は水晶片の表裏面図、第9図は絶縁性基板(以下基
板とする)の平面図である。多重モード振動子は、水晶
片1を密閉容器2に封入して形成される。水晶片1は例
えば厚みすべり振動姿態のATカットとする。一方の主
面1aには分割された入出力励振電極(入出力電極とす
る)3、4を、他方の主面1bには共通励振電極(共通
電極とする)5が形成される。入出力電極3、4と共通
電極5からは、両端外周部に各引出電極6、7、8(a
b)を延出する。密閉容器2は凹状の積層構造の容器本
体9に金属蓋体10をシーム溶接して形成される。容器
本体9は、基板11と枠体12と溶接リング13とから
なる。基板11の両端部表面には、その幅方向に金属膜
層からなる保持部14、15を有し、入出力用の導電路
16、17が一方の対角方向から外表面に延出する。ま
た、中央部分には基準電位となるシールド電極(共通電
極)18を有し、シールド電極用の導電路19(ab)
が他方の対角方向から外表面に延出する。これらの外表
面に延出した各導電路16、17、19(ab)は表面
実装用の外部端子となる。保持部14、15は、例えば
印刷により多層構造として形成され、その厚みを大きく
設定される。なお、金属蓋体10は接地される。そし
て、水晶片1の一方の主面1aが、基板11に対向して
保持される。すなわち、入出力用引出電極6、7の形成
された対角部を、導電性接着剤20をもって保持部1
4、15上に固着して、両端部2点保持とする。また、
他方の主面1bの共通引出電極例えば8aの電極導出点
21にはワイヤボンディングにより金属細線22の一端
が接続し、他端はシールド電極18(導電路19a)の
電極導入点23に接続する。このようなものでは、保持
部14、15と導電性接着剤20の厚みにより、水晶片
1と基板11(シールド電極18)との間に励振を阻害
しない程度の間隙をもたせて励振させるので、他の保持
具を使用することなく小型化を促進する。また、保持位
置を両端部の対角方向としたので衝撃性を良好にすると
ともに、その経路が長くなるので導電性接着剤20の収
縮あるいは伸張時における応力発生を軽減する。
【0004】
【従来技術の問題点】しかしながら、上記構成のもので
は、第10図に示したように水晶片1の一方の対角部分
は保持部14、15の幅方向の一側にて点的に固着さ
れ、他方の対角部分と保持部14、15の他端部との間
には導電性接着剤20の厚みに相当する間隙Gを生ず
る。したがって、水晶片1の保持安定度(バランス)が
悪い。そして、ワイヤボンディングによる電極導出点2
1は、保持部15の間隙Gを有する他端側となる。した
がって、ワイヤボンディング時には、その押圧力により
ガタツキを生じ、金属細線22の接続に支障を来すとと
もに、水晶片1に破損を生ずる問題があった。また、ワ
イヤボンディング時のみならず、外部衝撃等があった場
合にも揺動し、導電性接着剤20の固着強度を低下させ
て耐衝撃性を悪化させるおそれもあった。特に、高周波
数化に伴って水晶片1の厚みが小さくなるほど、これら
の問題は大きくなる。
は、第10図に示したように水晶片1の一方の対角部分
は保持部14、15の幅方向の一側にて点的に固着さ
れ、他方の対角部分と保持部14、15の他端部との間
には導電性接着剤20の厚みに相当する間隙Gを生ず
る。したがって、水晶片1の保持安定度(バランス)が
悪い。そして、ワイヤボンディングによる電極導出点2
1は、保持部15の間隙Gを有する他端側となる。した
がって、ワイヤボンディング時には、その押圧力により
ガタツキを生じ、金属細線22の接続に支障を来すとと
もに、水晶片1に破損を生ずる問題があった。また、ワ
イヤボンディング時のみならず、外部衝撃等があった場
合にも揺動し、導電性接着剤20の固着強度を低下させ
て耐衝撃性を悪化させるおそれもあった。特に、高周波
数化に伴って水晶片1の厚みが小さくなるほど、これら
の問題は大きくなる。
【0005】
【発明の目的】本発明は、ワイヤボンディング時におけ
る水晶片の破損を防止する多重モード振動子を提供する
ことを第1の目的とする。また、耐衝撃性を良好とする
水晶振動子を提供することを第2の目的とする。
る水晶片の破損を防止する多重モード振動子を提供する
ことを第1の目的とする。また、耐衝撃性を良好とする
水晶振動子を提供することを第2の目的とする。
【0006】
【解決手段】本発明は、基板と水晶片との導電性接着剤
による間隙を、突出部を設けて埋めたことを基本的な解
決手段とする。以下、本発明の一実施例をその作用とと
もに説明する。
による間隙を、突出部を設けて埋めたことを基本的な解
決手段とする。以下、本発明の一実施例をその作用とと
もに説明する。
【0007】
【実施例】第1図及び第2図は本発明の一実施例を説明
する図で、第1図は多重モード振動子の断面図、第2図
は基板の平面図である。前従来例図と同一部分には同番
号を付与し、その説明は簡略する。多重モード振動子
は、前述同様に、一方の主面1aに入出力電極3、4及
び引出電極6、7を、他方の主面1bに共通電極5及び
引出電極8(ab)を有する水晶片1が、容器本体9と
金属蓋体10からなる密閉容器2に封入して形成され
る。そして、水晶片1の一方の主面1aを基板11に対
向させ、両端外周部の対角部を保持部14、15上に、
導電性接着剤20により点的に固着して両端部2点保持
とする。また、他方の主面1bの共通引出電極8の電極
導出点21にはワイヤボンディングにより金属細線22
の一端が接続し、他端がシールド電極用導電路19aの
電極導入点23に接続する(前第7図〜第9図参照)。
そして、この実施例では、基板11の他方の対角方向に
延出したシールド電極用導電路19(ab)の、水晶片
1の他方の対角部と対向する部分に突出部24を設け
る。突出部24は、導電性接着剤20と同等の厚みに設
定される。例えば保持部13、14の形成と同様に、電
極膜の積層より形成される。
する図で、第1図は多重モード振動子の断面図、第2図
は基板の平面図である。前従来例図と同一部分には同番
号を付与し、その説明は簡略する。多重モード振動子
は、前述同様に、一方の主面1aに入出力電極3、4及
び引出電極6、7を、他方の主面1bに共通電極5及び
引出電極8(ab)を有する水晶片1が、容器本体9と
金属蓋体10からなる密閉容器2に封入して形成され
る。そして、水晶片1の一方の主面1aを基板11に対
向させ、両端外周部の対角部を保持部14、15上に、
導電性接着剤20により点的に固着して両端部2点保持
とする。また、他方の主面1bの共通引出電極8の電極
導出点21にはワイヤボンディングにより金属細線22
の一端が接続し、他端がシールド電極用導電路19aの
電極導入点23に接続する(前第7図〜第9図参照)。
そして、この実施例では、基板11の他方の対角方向に
延出したシールド電極用導電路19(ab)の、水晶片
1の他方の対角部と対向する部分に突出部24を設け
る。突出部24は、導電性接着剤20と同等の厚みに設
定される。例えば保持部13、14の形成と同様に、電
極膜の積層より形成される。
【0008】このようなものであれば、水晶片1の一方
の対角部を保持部14、15に点的に固着しても、他方
の対角部は突出部上に当接し、両者間の間隙をなくすこ
とができる。したがって、これにより、水晶片1のガタ
ツキを防止し、水晶片1を破損することなく電極導出点
21へのワイヤボンディングを確実に行うことができ
る。また、この実施例では他方の対角部のいずれにも突
出部24(ab)を設けたので、保持安定度を良好にし
て、耐衝撃性の向上をも期待できる。
の対角部を保持部14、15に点的に固着しても、他方
の対角部は突出部上に当接し、両者間の間隙をなくすこ
とができる。したがって、これにより、水晶片1のガタ
ツキを防止し、水晶片1を破損することなく電極導出点
21へのワイヤボンディングを確実に行うことができ
る。また、この実施例では他方の対角部のいずれにも突
出部24(ab)を設けたので、保持安定度を良好にし
て、耐衝撃性の向上をも期待できる。
【0009】
【他の事項】上記実施例では、基板11上の保持部15
を水晶片1の幅方向と同等の長さとしたが、例えば第3
図(a)に示したように、保持部15の一層目15a上
に分割した二層目15b1、15b2を形成し、他端側の
二層目15b2上に突出部24を設けてもよい。あるい
は、保持部15の一層目15aと二層目15bのいずれ
も分割して形成し、前同様に他端側の二層目15b2上
に突出部24を設けてもよい。これらの場合、保持部1
5b1の面積を規定することにより、余剰分が間隙内に
流入して導電性接着剤20の量を制御できるとともに、
その塗布位置を明確にできる。なお、第3図(b)にお
ける分割された他方の保持部15a2は、第4図に示し
たようにシールド電極用導電路19に接続されていもよ
い。また、入出力用引出電極8(ab)は、水晶片1の
一方の対角部に延出し、他方の対角部の一側にワイヤボ
ンディングを施す場合を説明したが、入出力用引出電極
8(ab)の延出端は両端外周部のいずれでも、またワ
イヤボンディングの位置は両端部外周に拘らすいずれで
もよい。例えば水晶片の4角部を保持し、長さ方向の中
央部外周を電極導出点とする場合でもその効果は同様で
ある。また、突出部24は現状の技術動向から、金属膜
を印刷により積層して形成したが、将来的には例えば基
板11を直接に突出させてもよい。また、導電性接着剤
20の厚みをもって、基板11に対する水晶片1の間隙
をもたせたが、例えば第5図に示したように基板に凹部
を設けて間隙をもたせるようにしたものでも適用でき
る。要は、ワイヤボンディングを確実にするため、突出
部24を設けて基板11に対する間隙を埋めるようにし
たものは本発明の技術範囲に基本的に属するものであ
る。また、多重モード振動子を例として特にワイヤボン
ディング時の効能を説明したが、保持安定度を高めて耐
衝撃性を良好にするとの観点からすると、多重モード振
動子に拘らず水晶振動子にも適用できる。例えば第6図
に示したように、両端外周部の各中央に導電性接着剤を
施して両端部2点保持とする場合には、両端外周部の各
両側に突出部を設ければよいことになる。そして、これ
により、保持安定度を高め、耐衝撃性の向上を期待でき
る。なお、図中の符号25、26は励振電極、27、2
8は引出電極である。
を水晶片1の幅方向と同等の長さとしたが、例えば第3
図(a)に示したように、保持部15の一層目15a上
に分割した二層目15b1、15b2を形成し、他端側の
二層目15b2上に突出部24を設けてもよい。あるい
は、保持部15の一層目15aと二層目15bのいずれ
も分割して形成し、前同様に他端側の二層目15b2上
に突出部24を設けてもよい。これらの場合、保持部1
5b1の面積を規定することにより、余剰分が間隙内に
流入して導電性接着剤20の量を制御できるとともに、
その塗布位置を明確にできる。なお、第3図(b)にお
ける分割された他方の保持部15a2は、第4図に示し
たようにシールド電極用導電路19に接続されていもよ
い。また、入出力用引出電極8(ab)は、水晶片1の
一方の対角部に延出し、他方の対角部の一側にワイヤボ
ンディングを施す場合を説明したが、入出力用引出電極
8(ab)の延出端は両端外周部のいずれでも、またワ
イヤボンディングの位置は両端部外周に拘らすいずれで
もよい。例えば水晶片の4角部を保持し、長さ方向の中
央部外周を電極導出点とする場合でもその効果は同様で
ある。また、突出部24は現状の技術動向から、金属膜
を印刷により積層して形成したが、将来的には例えば基
板11を直接に突出させてもよい。また、導電性接着剤
20の厚みをもって、基板11に対する水晶片1の間隙
をもたせたが、例えば第5図に示したように基板に凹部
を設けて間隙をもたせるようにしたものでも適用でき
る。要は、ワイヤボンディングを確実にするため、突出
部24を設けて基板11に対する間隙を埋めるようにし
たものは本発明の技術範囲に基本的に属するものであ
る。また、多重モード振動子を例として特にワイヤボン
ディング時の効能を説明したが、保持安定度を高めて耐
衝撃性を良好にするとの観点からすると、多重モード振
動子に拘らず水晶振動子にも適用できる。例えば第6図
に示したように、両端外周部の各中央に導電性接着剤を
施して両端部2点保持とする場合には、両端外周部の各
両側に突出部を設ければよいことになる。そして、これ
により、保持安定度を高め、耐衝撃性の向上を期待でき
る。なお、図中の符号25、26は励振電極、27、2
8は引出電極である。
【0010】
【発明の効果】本発明は、水晶片のワイヤボンディング
の行われる電極導出点と基板との導電性接着剤による間
隙を、突出部を設けて埋めたので、ワイヤボンディング
時における水晶片の破損を防止する多重モード振動子を
提供できる。また、両端部2点保持としたことによる導
電性接着剤による間隙を突出部を設けて埋めたので、保
持安定度を向上して耐衝撃性を良好とする水晶振動子を
提供できる。
の行われる電極導出点と基板との導電性接着剤による間
隙を、突出部を設けて埋めたので、ワイヤボンディング
時における水晶片の破損を防止する多重モード振動子を
提供できる。また、両端部2点保持としたことによる導
電性接着剤による間隙を突出部を設けて埋めたので、保
持安定度を向上して耐衝撃性を良好とする水晶振動子を
提供できる。
【第1図】本発明の一実施例を説明する多重モード振動
子の側断面図である。
子の側断面図である。
【第2図】本発明の一実施例を説明する基板の平面図で
ある。
ある。
【第3図】本発明の他の実施例を説明する図で、第3図
(a)(b)ともに多重モード振動子の断面図である。
(a)(b)ともに多重モード振動子の断面図である。
【第4図】本発明の他の実施例を説明する基板の一部平
面図てある。
面図てある。
【第5図】本発明の他の適用例を説明する水晶振動子の
断面図である。
断面図である。
【第6図】本発明の他の適用例を説明する図で、同図
(a)は水晶片の平面図、同図(b)は水晶振動子の断
面図である。
(a)は水晶片の平面図、同図(b)は水晶振動子の断
面図である。
【第7図】従来例を説明する多重モード振動子の断面図
である。
である。
【第8図】従来例を説明する図で、同図(a)は水晶片
の表面(一方の主面)図、同図(b)は裏面(他方の主
面)図である。
の表面(一方の主面)図、同図(b)は裏面(他方の主
面)図である。
【第9図】従来例を説明する基板の図である。
【第10図】従来例の問題点を説明する多重モード振動
子の側断面図である。 1 水晶片、2 容器、3 入力電極、4 出力電極、
5 共通電極、6、7、8 引出電極、9 容器本体、
10 金属蓋体、11 基板、12 枠体、13 溶接
リング、14、15 保持部、16、17 導電路、1
8 シールド電極、19 導電路、20 導電性接着
剤、21 電極導出点、22 金属細線、23 電極導
入点、24 突出部、25、26 励振電極、27、2
8 引出電極.
子の側断面図である。 1 水晶片、2 容器、3 入力電極、4 出力電極、
5 共通電極、6、7、8 引出電極、9 容器本体、
10 金属蓋体、11 基板、12 枠体、13 溶接
リング、14、15 保持部、16、17 導電路、1
8 シールド電極、19 導電路、20 導電性接着
剤、21 電極導出点、22 金属細線、23 電極導
入点、24 突出部、25、26 励振電極、27、2
8 引出電極.
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成7年2月7日
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図11】
【図8】
【図9】
【図10】
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を説明する多重モード振動子
の側断面図である。
の側断面図である。
【図2】本発明の一実施例を説明する基板の平面図であ
る。
る。
【図3】本発明の他の実施例を説明する多重モード振動
子の断面図である。
子の断面図である。
【図4】本発明の他の実施例を説明する多重モード振動
子の断面図である。
子の断面図である。
【図5】本発明の他の実施例を説明する基板の一部平面
図である。
図である。
【図6】本発明の他の適用例を説明する水晶振動子の断
面図である。
面図である。
【図7】本発明の他の適用例を説明する図で、同図
(a)は水晶片の平面図、同図(b)は水晶振動子の断
面図である。
(a)は水晶片の平面図、同図(b)は水晶振動子の断
面図である。
【図8】従来例を説明する多重モード振動子の断面図で
ある。
ある。
【図9】従来例を説明する図で、同図(a)は水晶片の
表面(一方の主面)図、同図(b)は裏面(他方の主
面)図である。
表面(一方の主面)図、同図(b)は裏面(他方の主
面)図である。
【図10】従来例を説明する基板の図である。
【図11】従来例の問題点を説明する多重モード振動子
の側断面図である。
の側断面図である。
【符号の説明】 1 水晶片、2 容器、3 入力電極、4 出力電極、
5 共通電極、6、7、8 引き出し電極、9 容器本
体、10 金属蓋体、11 基板、12 枠体、13
溶接リング、14、15 保持部、16、17 導電
路、18 シールド電極、19 導電路、20 導電性
接着剤、21 電極導出点、22 金属細線、23 電
極導入点、24 突出部、25、26 励振電極、2
7、28 引出電極
5 共通電極、6、7、8 引き出し電極、9 容器本
体、10 金属蓋体、11 基板、12 枠体、13
溶接リング、14、15 保持部、16、17 導電
路、18 シールド電極、19 導電路、20 導電性
接着剤、21 電極導出点、22 金属細線、23 電
極導入点、24 突出部、25、26 励振電極、2
7、28 引出電極
Claims (2)
- 【請求項1】 両端外周部に入出力引出電極の延出した
入出力励振電極を一方の主面に有し、外周部に共通引出
電極の延出した共通励振電極を他方の主面に有する水晶
片と、 前記水晶片の一方の主面と対向し、前記入出力引出電極
と接続する金属膜からなる保持部の形成された絶縁性基
板と、 前記入出力引出電極部と前記保持部とを点的に接合し、
前記水晶片を前記絶縁性基板上に保持する導電性接着剤
と、 前記共通引出電極の電極導出点となる所定箇所にワイヤ
ボンディングされた金属細線とを具備する多重モード水
晶振動子において、 上記電極導出点に対向する前記絶縁性基板上に前記導電
性接着剤の厚みに相当する突出部を設けたことを特徴と
する多重モード水晶振動子。 - 【請求項2】 両主面に励振電極を有して各励振電極か
ら反対方向の端部外周に引出電極の延出した水晶片と、 前記水晶片の一方の主面と対向し、前記引出電極と接続
する金属膜からなる保持部の形成された絶縁性基板と、 前記引出電極部と前記保持部とを点的に接合し、前記水
晶片を前記絶縁性基板上に保持する導電性接着剤とから
なる水晶振動子において、 前記水晶片の両端外周部に対向する前記絶縁性基板上に
前記導電性接着剤による間隙を埋める突出部を設けたこ
とを特徴とする水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32114793A JPH07231237A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 多重モード水晶振動子及び水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32114793A JPH07231237A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 多重モード水晶振動子及び水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07231237A true JPH07231237A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=18129332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32114793A Pending JPH07231237A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 多重モード水晶振動子及び水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07231237A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100302752A1 (en) * | 2009-06-02 | 2010-12-02 | Lg Innotek Co., Ltd. | Dual mode vibrator |
| US8680932B2 (en) | 2011-02-07 | 2014-03-25 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd | Oscillator |
| CN104621526A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-05-20 | 中盐国本盐业有限公司 | 一种程序升温制备竹盐的方法 |
-
1993
- 1993-11-26 JP JP32114793A patent/JPH07231237A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100302752A1 (en) * | 2009-06-02 | 2010-12-02 | Lg Innotek Co., Ltd. | Dual mode vibrator |
| US8461969B2 (en) * | 2009-06-02 | 2013-06-11 | Lg Innotek Co., Ltd. | Dual mode vibrator |
| US8680932B2 (en) | 2011-02-07 | 2014-03-25 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd | Oscillator |
| TWI487275B (zh) * | 2011-02-07 | 2015-06-01 | 日本電波工業股份有限公司 | 振盪器 |
| CN104621526A (zh) * | 2015-03-09 | 2015-05-20 | 中盐国本盐业有限公司 | 一种程序升温制备竹盐的方法 |
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