JPH07238924A

JPH07238924A - 動圧空気軸受

Info

Publication number: JPH07238924A
Application number: JP6029989A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Makino; 弘牧野; Sadaji Sada; 貞二佐田
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 1994-02-28
Filing date: 1994-02-28
Publication date: 1995-09-12
Also published as: US5533813A

Abstract

(57)【要約】【目的】回転体を高速で非接触で支持する動圧空気軸
受の改良を図る。【構成】光偏向器１Ａは、ハウジング１００の中央部
に固定軸２００が植設され、ステータコア４３がスタッ
ド４２上に配設される。マグネットヨーク４０は、固定
軸２００に対して回転するスリーブ３００と一体であっ
て、その内部にインナーマグネット４５ａとアウターマ
グネット４５ｂを有する。スリーブ３００に固定される
フランジ６０上には回転多面鏡６２がセンターネジ５０
とミラーキャップ７０によってとりつけられる。回転多
面鏡６２はスリーブ３００とともに固定軸２００に対し
て高速回転し、軸２００とスリーブ３００の間には、動
圧空気軸受が形成される。固定軸２００は本体２１０と
本体２１０に嵌合されるリング状の軸受部材２２０で構
成される。軸受部材２２０はセラミックス製で動圧発生
用溝２２２が形成される。スリーブ３００も本体３１０
とセラミックス製の軸受部材３２０で構成することが望
ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転体のどちらか一方
に空気圧力発生用の溝を配置した動圧空気軸受に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に使用されている動圧空気軸受は、
回転体を非接触にて安定に回転させるための手段として
用いられている。相互に嵌合するスリーブと軸のいずれ
か一方を回転部材とする動圧空気軸受として、スリーブ
と軸の材質が鉄系でできており、軸受の寿命をのばすた
めに、熱処理を行ったり、表面にメッキ処理を行ってい
るもの、あるいはセラミックス製でできているものが知
られている。図６は、光偏向器の概要を示す説明図、図
７は動圧空気軸受を構成する軸２０とスリーブ３０の斜
視図である。

【０００３】全体を符号１で示す光偏向器は、ベースと
なるハウジング１０の中心部に軸２０を立設固定した構
造を有し、ハウジング１０の外側にはハウジングアダプ
タ１１を介してカバー１２がとりつけられる。ハウジン
グ１０上にはネジ１３を介してステータコア固定用スタ
ッド４２がとりつけられ、ステータコア固定用スタッド
４２にステータコア４３が固定される。ステータコア４
３に支持される回路基板固定用スタッド４１は、ネジ１
５を介して回路基板４６を支持する。回路基板４６上に
は、モータ駆動制御回路等が搭載され、回路基板１６は
ハーネス４８、コネクタ４９を介して電圧供給部（図示
せず）に接続される。

【０００４】固定軸２０の外周部には、動圧空気軸受発
生用溝２２が形成してあり、固定軸２０の外側には隙間
Ｇ１を有してスリーブ３０が回転自在に配設される。回
転スリーブ３０の下部の外周側にはマグネットヨーク４
０が挿入され、マグネットヨーク４０の内側には、ステ
ータコア４３を挾むインナーマグネット４５ａとアウタ
ーマグネット４５ｂからなるマグネット４５がとりつけ
られている。マグネットヨーク４０の上方には、ミラー
フランジ６０を介して回転多面鏡６２が支持される。回
転多面鏡６２の外周面には反射鏡面６４が形成される。
スペース回転スリーブ３０の頂部にはセンターネジ５０
がとりつけられ、センターネジ５０のネジ部５２を利用
してミラーキャップ７０がとりつけられる。ミラーキャ
ップ７０は回転多面鏡押圧力調整部材７６を介して回転
多面鏡６０を押圧する構造を採用し、回転多面鏡の歪の
発生を防止する。

【０００５】ミラーキャップ７０と、スリーブ３０の上
端面及び固定軸２０の上端面との間には空気だまりＡ１
が形成される。ミラーキャップ７０の適所には微細孔７
２、バランス修正用溝７３、ミラーキャップ締付用溝７
４等が設けられる。ハウジング１０上のスリーブ３０の
下端面に対向する位置にはダンパー１８がとりつけられ
て、モータ停止時のスリーブ３０を受ける。回路基板４
６には磁気検出素子４７が設けられ、また、カバー１２
にはレンズ８０がとりつけられる。

【０００６】次にこの光偏向器の作動を説明する。回転
多面鏡６２を回転駆動する所謂スキャナーモータ部を構
成するマグネット４５（インナーマグネット４５ａ、ア
ウターマグネット４５ｂ）は永久磁石であり、対向する
ステータコア４３との間には磁気的吸引力が働いてい
る。この吸引力は、マグネット４５とステータコア４３
との対向位置が、モータの固定軸２０の軸方向（スラス
ト方向）にズレないように作用をする。つまり、固定軸
２０の固定側を下方とし、一方の開放側を上方とする
と、マグネット４５が上方に移動したときには、前記吸
引力に下方へ引き戻す成分が現れて引き戻される。下方
に移動したときには、上方に引き戻される成分が現れて
引き戻される。かくして、マグネット４５とステータコ
ア４３とは、前記磁気吸引力により、軸方向の所定位置
にて対向せしめられるようにされる。すなわち、マグネ
ット４５とステータコア４３により、磁気的スラスト軸
受が構成されている。

【０００７】磁気検出素子４７としては、例えば、ホー
ル素子が用いられる。これは、マグネット４５の漏れ磁
束を検出して、マグネット４５が回転する際、Ｎ極が通
過したかＳ極が通過したかを検出する。磁気検出素子４
７の検出信号は、回転基板４６に印刷された配線を通じ
て図示しない制御回路部へ送られる。制御回路部では、
この検出信号を基に、ステータコア４３の各箇所に巻回
されている磁気コイルに流す電流の向きを決める。その
結果、マグネット４５との相互関係により回転を持続す
る方向の力が発生させられる。インナーマグネット４５
ａの磁極と対向するアウターマグネット４５ｂの磁極は
同極になるように配置されている。

【０００８】回転スリーブ３０が回転すると、動圧発生
用溝２２により、固定軸２０の周囲（軸受隙間Ｇ１の部
分）に高い圧力の空気層が生ぜしめられる。この圧力に
より、回転スリーブ３０は固定軸２０より浮いた状態で
支持される動圧空気軸受が構成される。なお、同図で
は、動圧発生用溝２２を回転軸２０の外周に設けている
が、これに代えて回転スリーブ３０の内壁に動圧発生余
溝２２を設けるようにしてもよいものである。上記隙間
Ｇ１の空気層はロータ部分の回転中心を一定に保つ作用
をする。例えば、回転スリーブ３０が同図の右方にズレ
たとすると、右方の隙間Ｇ１隙間が大となり、この部分
の隙間の圧力はズレる前より小となる。一方、左方の隙
間は小となるから、この部分の隙間の圧力はズレる前よ
り大となる。圧力の大小関係が上記のようになると、回
転スリーブ３０は左方に押され、最終的には元の位置へ
戻されることになる。

【０００９】カバーは、前述したように防塵の役目をし
ているがハウジングアダプターにねじで固定されてお
り、その材質は、コスト低減のためにプラスチックが使
われている。また、コスト低減のためにカバーをつけず
に使用することも多々ある。入射したレーザ等の光ビー
ムは、回転多面鏡６２の反射鏡面６４で反射され、感光
体ドラム等の被走査媒体に向けて出射される。光ビーム
が反射面６４に入射して回転多面鏡６２が回転すると、
該光ビームの反射ビームは徐々に向きを変えさせられ、
偏向がなされる。

【００１０】回転が進んで、次の反射鏡面が回転してく
ると、光ビームは今度はこれに入射する。この反射鏡面
でも、前の反射鏡面と同様にして偏向が行われる。従っ
て、反射光ビームは、一定の角度範囲を走査する形とな
り、その走査速度は多面鏡６２の回転速度に依存する。
上記の動圧空気軸受は、軸２０を固定した固定軸型であ
るが、スリーブをハウジングに固定し、これに回転軸を
挿着した回転軸型も知られている。なお、この種の動圧
空気軸受に関する従来技術は、例えば特開平３−１９９
７１４号公報に開示されている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来技術にお
いては、軸受を構成するスリーブ及び軸の材質が鉄系で
できているために耐摩耗性が悪くモータ回転中にスリー
ブと軸が焼き付いたりし回転しなくなるメルトダウン現
象が発生した。即ちモータとしての信頼性に欠けるとい
う問題があった。また、耐摩耗性を考慮したセラミック
ス製の軸受もあるがセラミックスは非常に硬いために加
工が非常に困難である。その結果セラミックス製の軸受
は、コスト的に非常に高価なものとなってしまい量産的
に欠けるという問題があった。本発明の目的は、上記従
来技術における問題点を解消して、安価で高信頼性の軸
受を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、軸受部材にセラミックス系あるいはそれ
と同等以上の高弾性係数部材を配置し、軸受部材を支持
する部材に鉄系あるいはそれと同等以下の低弾性係数部
材を配置した軸受を使用することによって、安価な高信
頼性の軸受を提供することにある。すなわち、本発明
は、相互に挿着したスリーブと軸の一方を回転部材とし
他方を固定部材とする軸受において、前記軸を多層化し
たものである。請求項２記載の発明は、スリーブを多層
化したものである。請求項３記載の発明は、軸とスリー
ブの両方を軸受部材と本体で構成したものである。請求
項４記載の発明は、前記軸受部材をセラミックス系ある
いはそれと同等以上の弾性係数を持った部材としたもの
である。請求項５記載の発明は、前記軸受本体部材に鉄
系あるいはそれと同等以下の弾性係数をもった部材を配
置したことを特徴とする。請求項６記載の発明は、本体
部材がプラスチックであることを特徴とする。請求項７
記載の発明は、軸受部材は、本体の軸線方向に沿って部
分的に配置されていることを特徴とする。なお、本発明
は、光偏向器のみならずそれ以外の駆動用モータにも適
用できる。

【００１３】

【作用】上記の発明の構成によりセラミックス等の高弾
性係数部材の加工部分を最小限にすることができ、高弾
性係数単体のものよりも加工が簡単になるために低コス
トで製作できる。また軸受表面が高弾性係数部材である
ために信頼性にも優れた軸受が供給できる。したがっ
て、安価で高信頼性なモータを製作することができる。
また、この発明の構成により、安価で軽量な回転体を供
給できるために低消費電力モータを製作することができ
る。

【００１４】

【実施例】図１は本発明の動圧空気軸受を装備した光偏
向器の構造を示す断面図、図２は本発明の実施例に係る
動圧軸受を構成する軸の斜視図、図３は軸受スリーブの
構造を示す説明図である。全体を符号１Ａで示す光偏向
器は、ベースとなるハウジング１００の中心部に軸２０
０を立設固定した構造を有し、ハウジング１００の外側
にはハウジングアダプタ１１０がとりつけられる。

【００１５】ハウジング１００上にはネジ１３を介して
ステータコア固定用スタッド４２がとりつけられ、ステ
ータコア固定用スタッド４２にステータコア４３が固定
される。ステータコア４３に支持される回路基板固定用
スタッド４１は、ネジ１５を介して回路基板４６を支持
する。回路基板４６上には、モータ駆動制御回路等が搭
載され、回路基板１６はハーネス４８、コネクタ４９を
介して電圧供給部（図示せず）に接続される。

【００１６】固定軸２００は中心部の軸受本体２１０
と、軸受部材２２を有し、軸受部材２２０の外周部に
は、動圧空気軸受発生用溝２２２が形成してある。固定
軸２００の外側には隙間Ｇ１を有してスリーブ３００が
回転自在に配設される。スリーブ３００は本体３１０
と、その内側に設けられる軸受部材３２０で構成される
回転スリーブ３０の下部の外周側にはマグネットヨーク
４０が挿入され、マグネットヨーク４０の内側には、ス
テータコア４３を挾むインナーマグネット４５ａとアウ
ターマグネット４５ｂからなるマグネット４５がとりつ
けられている。

【００１７】マグネットヨーク４０の上方には、ミラー
フランジ６０を介して回転多面鏡６２が支持される。回
転多面鏡６２の外周面には反射鏡面６４が設けられる。
回転スリーブ３０の頂部にはセンターネジ５０がとりつ
けられ、センターネジ５０のネジ部５２を利用してミラ
ーキャップ７０がとりつけられる。ミラーキャップ７０
は回転多面鏡押圧力調整部材７６を介して回転多面鏡６
０を押圧する構造を採用し、回転多面鏡の歪の発生を防
止する。ミラーキャップ７０は、スリーブ３０の上端面
及び固定軸２００の上端面との間には空気だまりＡ１が
形成される。ミラーキャップ７０の適所には微細孔、バ
ランス修正用溝７３、ミラーキャップ締付用溝７４等が
設けられる。

【００１８】ハウジング１００上のスリーブ３００の下
端面に対向する位置にはダンパー１８がとりつけられ
て、スリーブ３００がモータ搬送途中等で直接ハウジン
グに当らないようになっている。基板４６には磁気検出
素子４７が設けられ、また、ハウジングアダプター１１
０にはレンズ８０がとりつけられる。スキャナーモータ
を構成するロータ部は、固定軸２００に隙間Ｇ１を隔て
て挿着した部分であり、回転スリーブ３００とこの回転
スリーブ３００に圧入あるいは接着等により固着された
マグネットヨーク４０、マグネットヨーク４０に固着し
たマグネット４５ａ，４５ｂ、回転スリーブ３００の外
用部に設けられるミラーフランジ６０に固定された回転
多面鏡６２、およびミラーキャップ７０、回転多面鏡押
圧調整部材７６で構成されている。

【００１９】回転多面鏡６２の取り付けは、回転スリー
ブ３００に固着されたセンターネジ５０に回転多面鏡６
２の中心孔を嵌挿して、その上方から回転多面鏡押圧調
整材７６を配置し、回転多面鏡固定用部材をセンターネ
ジ２０とミラーキャップ７０とに塗布したのちミラーキ
ャップ７０を当て、センターネジ５０によってミラーフ
ランジ６０に固定することによって行う。なお、回転多
面鏡の中心開口穴意外には貫通穴がない。固定軸２００
の上端とミラーキャップ７０の間には、スラスト方向
（軸方向）のダンピングを抑制する空気だまりＡ１が形
成される。なお、適宜位置に設けられる微細孔は空気だ
まりＡ１と外気とを連通して上記空気だまりＡ１による
ダンピング効果を安定化させる。また、ダンパ１８はロ
ータ部が停止している場合に当該ロータ部とハウジング
１００とが直接接触しないようにするものである。

【００２０】一方、スキャナーモータを構成するステー
タ部は、ハウジング１００と、このハウジング１００に
ネジ１４で固定されたハウジングアダプタ１１０、ハウ
ジング１１０に一端が圧入等によって固着された固定軸
２００、トロイダルコイルを好適とする電磁コイルを巻
回しハウジング１００にスタッド４２を介しネジ１３に
より固定されたステータコア４３（なお、図示されてい
ないが、ステータコア４３にはコイルがトロイダル状に
巻回されている）、ステータコア４３に取り付けられた
スタッド４１によって支持される基板４６、および回転
基板４６上に植立設置されたホール素子を好適とする磁
気検出素子（センサー）４７等から構成されている。

【００２１】回転多面鏡６２を回転駆動する所謂スキャ
ナーモータ部を構成するマグネット４５（インナーマグ
ネット４５ａ、アウターマグネット４５ｂ）は永久磁石
であり、図１に示したように４極着磁された環状のマグ
ネットをステータコア４３の内周と外周に配置され、対
向するステータコア４３との間には磁気的吸引力が働い
ている。この吸引力は、マグネット４５ａ、４５ｂとス
テータコア４３との対向位置が、モータの軸方向（スラ
スト方向）にズレないように作用する。つまり、固定軸
２００の固定側を下方とし、一方の開放側を上方とする
と、マグネット４５が上方に移動したときには、前記吸
収力に下方へ引き戻す成分が現れて引き戻される。下方
に移動したときには、上方に引き戻される成分が現れて
引き戻される。かくして、マグネット４５とステータコ
ア４３とは、前記磁気吸引力により、軸方向の所定位置
にて対向せしめられるようにされる。すなわち、マグネ
ット４５とステータコア４２により、磁気的スラスト軸
受が構成されている。

【００２２】また、磁気検出素子４７としては、例え
ば、ホール素子が用いられる。これは、マグネット４５
の漏れ磁束を検出して、マグネット４５が回転する際、
Ｎ極が通過したかＳ極が通過したかを検出する。磁気検
出素子４７の検出信号は、回路基板４６に印刷された配
線を通じて図示しない制御回路部へ送られる。制御回路
部では、この検出信号を基に、ステータコア４３の各箇
所に巻回されている電磁コイルに流す電流の向きを決め
る。その結果、マグネット４５との相互関係により回転
を持続する方向の力が発生させられる。インナーマグネ
ット４５ａの磁極と対向するアウターマグネット４５ｂ
の磁極は同極になるように配置されている。

【００２３】図２は固定軸２００の構造を詳細に示すも
ので、軸２００は中心部の本体２１０と、本体２１０の
外周部にとりつけられる軸受部材２２０により構成され
る。軸受部材２２０の外周面は本体２１０より寸法の大
なる径寸法を有し、外周面には動圧発生用の溝２２２が
形成される。軸本体２１０は、例えばプラスチック材等
のコストの安価な材料でつくられ、軸受部材２２０は、
セラミックス等の耐摩耗性が高く、信頼性に優れた材料
でつくられる。軸本体と軸受部材を別体に構成すること
により、高価ではあるが軸受部材として優れた特性を有
するセラミックス材の使用量を低減することができ、固
定軸２００全体の製造コストを低減することができる。
さらに、軸受部材２２０の個数や軸本体に体する取付位
置を適宜に選択することができるので、設計上の自由度
が高くなる。

【００２４】図３は、スリーブ３００の構造を示す説明
図である。本発明の動圧空気軸受を構成するスリーブ
は、従来のスリーブと同様に単体のパイプ構造とするこ
ともできるが、スリーブ本体３１０の内側に別体の軸受
部材３２０を配設する構造とすることができる。スリー
ブ本体３１０をプラスチック材で構成し、セラミックス
製の軸受部材３２０を配設することによって、コストの
安価なスリーブを得ることができる。回転スリーブ３０
０が回転すると、動圧発生溝２２２により、固定軸２０
０の周囲（軸受隙間Ｇ１の部分）に高い圧力の空気層が
生ぜしめられる。この圧力により、回転スリーブ３００
は固定軸２００より浮いた状態で支持される動圧空気軸
受が構成される。なお、同図では、動圧発生溝２２２を
回転軸２００の外周に設けているが、これに代えて回転
スリーブ３００の軸受部材３２０の内壁に動圧発生溝を
設けるようにしてもよいものである。

【００２５】上記隙間Ｇ１の空気層はロータ部分の回転
中心を一定に保つ作用をする。例えば、回転スリーブ３
００が同図の右方にズレたとすると、右方の隙間Ｇ１の
隙間が大となり、この部分の隙間の圧力はズレる前より
小となる。一方、左方の隙間は小となるから、この部分
の隙間の圧力はズレる前より大となる。圧力の大小関係
が上記のようになると、回転スリーブ３００は左方に押
され、最終的には元の位置へ戻されることになる。

【００２６】また、ハウジングアダプター１１０の上部
のカバー部は、ロータが回転するとき、ロータ回りの空
気の流れを整流とし、風損の発生を抑え、また、ロータ
回転時の風切り音を抑えるものである。このような構成
において、カバー部がハウジングアダプターと一体であ
るため、内形状をロータの外形状と同等にできる。その
結果、ロータ回転時の風圧や振動の影響を小さくでき
る。しかしながら、前述したようにロータ（回転体）が
回転開始したときには、まず軸とスリーブが接触しなが
ら回転する。ある程度回転数が上昇してくると軸とスリ
ーブの間の空気の圧力が高くなってくるために最終的に
は、軸とスリーブは非接触にて回転する。ロータが回転
を停止する場合は、この逆で、徐々に軸とスリーブの間
の空気の圧力が低下してくるために、ある程度低回転に
なったときに軸とスリーブが接触を開始して最終的には
回転が停止する。このように回転開始時と回転停止時に
おいては、軸とスリーブが接触するために、軸やスリー
ブが摩耗する。この摩耗を極力小さくするためには、前
述したようなセラミックス等の部材を使用する必要があ
る。今回、セラミックスを用いる部分を軸受の動圧発生
用溝部分に限定したために加工が簡単となった。したが
って、従来の高信頼性を保ちつつ、安価な軸受を製作す
ることができる。

【００２７】図４は固定軸の製造方法の一実施例を示す
説明図である。まず、軸本体２１０をプラスチック材等
の適宜材料で成形法等の加工手段により製造する。一
方、セラミックス材をリング状に形成し、外周面に動圧
発生用の溝２２２を設けた軸受部材２２０を用意し、軸
本体２１０の外周部の所定の位置に軸受部材２２０を固
着する。固着手段としては、接着剤や圧入手段が利用さ
れる。必要に応じて軸本体２１０の中心を基準として軸
受部材２２０の外周面に研削加工を施すことにより固定
軸２００の同心精度を向上することができる。図５は回
転スリーブの製造方法の一実施例を示す説明図である。
まず、セラミックス材製のリング状の軸受部材３２０を
用意し、この軸受部材３２０を成形型４００内にセット
し、軸受部材３２０の外周部にプラスチック材を注入し
てスリーブ本体３１０を形成し、回転スリーブ３００を
製造する。必要に応じてスリーブ本体３１０を基準とし
て軸受部材３２０の内周面に研削加工を施すことにより
同心精度を向上することができる。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の動圧空気
軸受は、相対回転する軸とスリーブのうちの一方、また
は両方を本体部材と軸受部材で構成し、軸受部材を本体
部材に比べて弾性係数の高い材料で構成したものであ
る。軸受部材は、例えばセラミックス材を用い、本体部
材はプラスチック材を用いることができる。この構成に
より高価ではあるが軸受部材としては性能の高いセラミ
ックス材の使用量を削減することができ、安価な動圧空
気軸受を得ることができる。なお、本発明は、軸受の軸
に空気圧力発生溝を固定した軸受に限らず、スリーブ側
に空気圧力発生用溝を設けた軸受にも適用できることは
いうまでもない。さらに、本発明は、光偏向器以外の駆
動モータにも適用できる。また、光偏向器だけでなく回
転体を非接触にて回転させるものにも同様に適用できる
ものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による動圧空気軸受を使用した光偏向
器の１実施例の構造を説明する断面図。

【図２】本発明による動圧空気軸受の軸の詳細図。

【図３】本発明による動圧空気軸受のスリーブの詳細
図。

【図４】本発明による動圧空気軸受の軸の製作方法の
１実施例の説明図。

【図５】本発明による動圧空気軸受のスリーブの製作
方法の１実施例の説明図。

【図６】従来の動圧空気軸受の説明図。

【図７】従来の動圧空気軸受の１例の構造を説明する
断面図。

【符号の説明】

１８ダンバー、４０マグネットヨーク、４１，
４２スタッド、４３ステータコア、４５ａイ
ンナーマグネット、４５ｂアウターマグネット、
４６回路基板、４７磁気検出素子、５０セン
ターネジ、６０ミラーフランジ、６２回転多面
鏡、６４反射鏡面、７０ミラーキャップ、１
００ハウジング、１１０ハウジングアダプター、
２００固定軸、２１０軸本体、２２０軸受部
材、２２２動圧空気軸受発生用溝、３００回転
スリーブ、３１０スリーブ本体、３２０軸受部
材、Ａ１空気だまり、Ｇ１隙間。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】軸と、軸の外周側に隙間を有して嵌装さ
れて軸に対して相対回転するスリーブと、軸またはスリ
ーブに形成される動圧発生用溝を備えた動圧空気軸受に
おいて、軸は、軸本体と、軸本体の外周部に積層される
軸受部材とで構成されることを特徴とする動圧空気軸
受。
【請求項２】軸と、軸の外周側に隙間を有して嵌装さ
れて軸に対して相対回転するスリーブと、軸またはスリ
ーブに形成される動圧発生用溝を備えた動圧空気軸受に
おいて、スリーブは、スリーブ本体と、スリーブ本体の
内周部に積層される軸受部材とで構成されることを特徴
とする動圧空気軸受。
【請求項３】軸と、軸の外周側に隙間を有して嵌装さ
れて軸に対して相対回転するスリーブと、軸またはスリ
ーブに形成される動圧発生用溝を備えた動圧空気軸受に
おいて、軸は、軸本体と、軸本体の外周部に積層される
軸受部材とで構成されるとともに、スリーブは、スリー
ブ本体と、スリーブ本体の内周部に積層される軸受部材
とで構成されることを特徴とする動圧空気軸受。
【請求項４】軸受部材はセラミックスまたはセラミッ
クスと同等以上の弾性係数を有する部材であることを特
徴とする請求項１乃至３記載の動圧空気軸受。
【請求項５】軸本体またはスリーブ本体は鉄系または
鉄系と同等以下の弾性係数を有する部材であることを特
徴とする請求項１乃至４記載の動圧空気軸受。
【請求項６】軸本体またはスリーブ本体はプラスチッ
ク部材であることを特徴とする請求項５記載の動圧空気
軸受。
【請求項７】軸受部材は本体の軸線方向に沿って部分
的に配設されることを特徴とする請求項１乃至６記載の
動圧空気軸受。