JPH0724094B2 - Magnetic head - Google Patents
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- JPH0724094B2 JPH0724094B2 JP8171189A JP8171189A JPH0724094B2 JP H0724094 B2 JPH0724094 B2 JP H0724094B2 JP 8171189 A JP8171189 A JP 8171189A JP 8171189 A JP8171189 A JP 8171189A JP H0724094 B2 JPH0724094 B2 JP H0724094B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度磁気記録再生を可能としたMIG(Metal
in Gap)型の磁気ヘッドに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention is a MIG (Metal) that enables high-density magnetic recording and reproduction.
in Gap) type magnetic head.
従来より、高透磁率を有し耐摩耗性等に優れたフェライ
ト材等の酸化物磁性材料の利点と、高透磁率および高飽
和磁束密度を有する合金磁性材料の利点とを併せ持った
MIG型の磁気ヘッドが知られている。この磁気ヘッド
は、コア本体に酸化物磁性材料を使用すると共に、ギャ
ップの近傍を合金磁性材料で形成したものである。Conventionally, it has both the advantages of oxide magnetic materials such as ferrite materials, which have high magnetic permeability and excellent wear resistance, and the advantages of alloy magnetic materials, which have high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density.
A MIG type magnetic head is known. In this magnetic head, an oxide magnetic material is used for the core body and an alloy magnetic material is formed in the vicinity of the gap.
このような磁気ヘッドの製造方法においては、第3図
(a)に示すように、コアとなる酸化物磁性材料の一方
のブロック11に外部巻線用溝13とガラス充填用溝14と内
部巻線用溝15とを形成すると共に、同図(b)に示すよ
うに、同じくコアとなる酸化物磁性材料の他方のブロッ
ク12に外部巻線用溝13とガラス充填用溝14とを形成す
る。そして、ブロック11・12における各々のギャップ対
向面16とテープ摺動面17とを鏡面状に研磨した後、同図
(c)および(d)に示すように、所定のギャップトラ
ック幅を得るための溝(トラック溝)18…を形成する。
次いで、ギャップ対向面16の表層付近の加工変質層をエ
ッチングにより除去した後、同図(e)(f)(g)に
示すように、ブロック11・12におけるそれぞれのギャッ
プ対向面16上に高透磁率および高飽和磁束密度を有する
合金磁性材料薄膜19をスパッタリング法等により形成す
る。次いで、合金磁性材料薄膜19上におけるギャップ形
成部位にギャップ材としてSiO2等の非磁性材料を約0.3
μmの厚みで形成した後、同図(h)に示すように、上
記のブロック11・12同士を各々のギャップ対向面16・16
の突き合わせて貼り合わせ、ガラス充填用溝14および内
部巻線用溝15によりそれぞれ形成される空洞部位にガラ
ス20を配置し加熱溶着する。そして、このようにして得
られた磁気ヘッドブロックにおけるテープ摺動面17に、
同図(i)に示すように、曲面を形成した後、仮想線b
…に沿って切断することにより、同図(j)に示すよう
に、磁気ヘッド22(まだ巻線の施されていない段階)を
得る。In the method of manufacturing such a magnetic head, as shown in FIG. 3 (a), the outer winding groove 13, the glass filling groove 14 and the inner winding groove are formed in one block 11 of the oxide magnetic material to be the core. A groove 15 for wire is formed, and a groove 13 for external winding and a groove 14 for glass filling are also formed in the other block 12 of the oxide magnetic material which also serves as a core, as shown in FIG. . Then, after the gap facing surface 16 and the tape sliding surface 17 of each of the blocks 11 and 12 are mirror-polished, in order to obtain a predetermined gap track width, as shown in FIGS. Forming grooves (track grooves) 18 ...
Next, after the work-affected layer near the surface layer of the gap facing surface 16 is removed by etching, as shown in (e), (f) and (g) of FIG. An alloy magnetic material thin film 19 having a magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is formed by a sputtering method or the like. Next, a non-magnetic material such as SiO 2 is used as a gap material at a gap formation site on the alloy magnetic material thin film 19 to a thickness of about 0.3
After being formed to a thickness of μm, the above-mentioned blocks 11 and 12 are formed on the respective gap facing surfaces 16 and 16 as shown in FIG.
The glass 20 is placed in the cavity portions formed by the glass filling groove 14 and the internal winding groove 15, respectively, and heated and welded. Then, on the tape sliding surface 17 of the magnetic head block thus obtained,
After forming a curved surface as shown in FIG.
By cutting along the line, the magnetic head 22 (at the stage where the winding is not yet applied) is obtained as shown in FIG.
ところが、上記従来の磁気ヘッドでは、酸化物磁性材料
であるブロック11・12の各々のギャップ対向面16と合金
磁性材料薄膜19との境界面がギャップに対し平行である
ため、第4図に示すように、再生出力−周波数特性に生
じるうねりが約3dBにもなる。これは酸化物磁性材料と
合金磁性材料との磁気特性の相違や、境界面において形
成された酸素等の拡散による反応層や前記の変質層の不
完全除去部分等が疑似ギャップとして作用する、いわゆ
る形状効果(コンター効果)のためと考えられる。な
お、上記の第4図において、磁気記録媒体と磁気ヘッド
との相対速度は5.8m/sec.、磁気記録媒体としては保磁
力900エルステッドのものを用いている。However, in the above-mentioned conventional magnetic head, the boundary surface between the gap facing surface 16 of each of the blocks 11 and 12 made of an oxide magnetic material and the alloy magnetic material thin film 19 is parallel to the gap, so that it is shown in FIG. As described above, the swell that occurs in the reproduction output-frequency characteristic becomes about 3 dB. This is because the difference in magnetic properties between the oxide magnetic material and the alloy magnetic material, the reaction layer due to diffusion of oxygen and the like formed at the boundary surface, the incompletely removed portion of the altered layer, etc. act as a pseudo gap. It is considered to be due to the shape effect (contour effect). In FIG. 4, the relative velocity between the magnetic recording medium and the magnetic head is 5.8 m / sec., And the magnetic recording medium having a coercive force of 900 oersted is used.
かかる問題点を解消するものとして、本願発明の発明者
は、酸化物磁性材料と合金磁性材料との間にクロムを介
装してなる磁気ヘッドを既に提案している。この磁気ヘ
ッドは、第5図(a)(b)(c)(d)に示すよう
に、前述した磁気ヘッド22と同様の製造工程を経た後
(加工変質層を除去した後)、同図(e)(f)(g)
に示すように、クロム(Cr)膜23をスパッタリング法等
により10Å〜200Åの厚みでギャップ対向面16上に形成
する。その後、合金磁性材料薄膜19をスパッタリング法
等により膜厚2〜6μmで上記のクロム膜23上において
ギャップに対し平行に形成する。そして、合金磁性材料
薄膜19におけるギャップ形成部位にギャップ材としてSi
O2等の非磁性材料を約0.3μmの厚みで形成する。以後
の製造工程は、同図(h)(i)(j)に示すように、
前述の磁気ヘッドの製造と同様の加工が行われる。In order to solve such a problem, the inventor of the present invention has already proposed a magnetic head having chromium interposed between an oxide magnetic material and an alloy magnetic material. As shown in FIGS. 5 (a), (b), (c), and (d), this magnetic head has undergone the same manufacturing steps as those of the above-described magnetic head 22 (after the work-affected layer has been removed), and thereafter, FIG. (E) (f) (g)
As shown in, a chromium (Cr) film 23 is formed on the gap facing surface 16 with a thickness of 10Å to 200Å by a sputtering method or the like. After that, the alloy magnetic material thin film 19 is formed in a thickness of 2 to 6 μm on the chromium film 23 by a sputtering method or the like in parallel with the gap. Then, Si is used as a gap material at the gap forming site in the alloy magnetic material thin film 19.
A nonmagnetic material such as O 2 is formed with a thickness of about 0.3 μm. The subsequent manufacturing steps are as shown in (h), (i) and (j) of FIG.
The same processing as in the manufacture of the magnetic head described above is performed.
しかしながら、このように、酸化物磁性材料であるブロ
ック11・12と合金磁性材料薄膜19との間にクロム膜23を
介装した磁気ヘッドといえども、第6図に示すように、
再生出力−周波数特性に1dB程度のうねりが依然として
残り、十分な性能とはいえず、より一層の改善が望まれ
ている。なお、第6図においての諸条件は第4図におけ
る諸条件と同様に設定されている。However, even in the magnetic head in which the chromium film 23 is interposed between the blocks 11 and 12 which are oxide magnetic materials and the alloy magnetic material thin film 19 as described above, as shown in FIG.
The reproduction output-frequency characteristic still has a swell of about 1 dB, which is not sufficient performance, and further improvement is desired. The conditions in FIG. 6 are set in the same manner as the conditions in FIG.
本発明に係る磁気ヘッドは、上記の課題を解決するため
に、高透磁率および高飽和磁束密度を有する合金磁性材
料薄膜が、高透磁率を有する酸化物磁性材料コアのギャ
ップ対向面側でギャップに対し平行に形成されている磁
気ヘッドにおいて、上記の酸化物磁性材料コアのギャッ
プ対向面上と合金磁性材料薄膜との間に炭化クロムが形
成されていることを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, a magnetic head according to the present invention has an alloy magnetic material thin film having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density, and a gap is formed on the gap facing surface side of an oxide magnetic material core having a high magnetic permeability. In the magnetic head formed in parallel with the above, chromium carbide is formed between the gap facing surface of the oxide magnetic material core and the alloy magnetic material thin film.
上記の構成によれば、ギャップ対向面上に形成された炭
化クロムにより、合金磁性材料薄膜と酸化物磁性材料コ
ア間の酸素等の相互拡散を抑制することができる。この
ため、酸化物磁性材料コアと合金磁性材料薄膜の境界面
付近での酸化物磁性材料コアおよび合金磁性材料薄膜の
軟磁気特性の劣化を防止でき、軟磁気特性が劣化した部
分が再生時にギャップとして作用することがなくなるた
め、形状効果を抑制して再生出力−周波数特性における
うねりを低減することができる。According to the above configuration, the chromium carbide formed on the gap facing surface can suppress mutual diffusion of oxygen and the like between the alloy magnetic material thin film and the oxide magnetic material core. Therefore, it is possible to prevent the soft magnetic characteristics of the oxide magnetic material core and the alloy magnetic material thin film from being deteriorated near the boundary surface between the oxide magnetic material core and the alloy magnetic material thin film, and the portion where the soft magnetic characteristics are deteriorated is a gap during reproduction. Therefore, it is possible to suppress the shape effect and reduce the undulation in the reproduction output-frequency characteristic.
本発明の一実施例を第1図および第2図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.
本発明に係る磁気ヘッドにおいて、第1図(j)に示す
ように、高透磁率を有する酸化物磁性材料コア1・2に
おけるギャップ対向面3・3の各々には、所定幅を有し
且つギャップに対し平行な面を有する突出部3a・3aが形
成されている。この突出部3a・3aを含むギャップ対向面
3・3上には、10Å〜200Åの厚みで炭化クロム膜4が
形成されており、この炭化クロム膜4を介してギャップ
対向面3上には2μm〜6μmの厚みで高透磁率および
高飽和磁束密度を有する合金磁性材料薄膜5が形成され
ている。そして、これら炭化クロム膜4および合金磁性
材料薄膜5の形成された酸化物磁性材料コア1・2同士
は、その突出部3a・3aの間にギャップ材として厚みが約
0.3μmのSiO2等の非磁性材料を介装した状態でギャッ
プ対向面3・3を互いに突き合わせて溶融ガラス6にて
固着されている。In the magnetic head according to the present invention, as shown in FIG. 1 (j), each of the gap facing surfaces 3 and 3 of the oxide magnetic material cores 1 and 2 having high magnetic permeability has a predetermined width and Protrusions 3a having a surface parallel to the gap are formed. A chromium carbide film 4 having a thickness of 10Å to 200Å is formed on the gap facing surface 3/3 including the protrusions 3a, 3a, and the gap facing surface 3 is 2 μm thick via the chromium carbide film 4. An alloy magnetic material thin film 5 having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is formed with a thickness of ˜6 μm. The oxide magnetic material cores 1 and 2 on which the chromium carbide film 4 and the alloy magnetic material thin film 5 are formed have a thickness as a gap material between the protrusions 3a and 3a.
The gap facing surfaces 3 and 3 are butted against each other with a non-magnetic material such as SiO 2 having a thickness of 0.3 μm interposed therebetween and fixed by a molten glass 6.
上記磁気ヘッドを製造するには、同図(a)に示すよう
に、コアとなる酸化物磁性材料の一方のブロック1′に
外部巻線用溝1′aとガラス充填用溝1′bと内部巻線
用溝1′cとを形成すると共に、同図(b)に示すよう
に、同じくコアとなる酸化物磁性材料の他方のブロック
2′に外部巻線用溝2′aとガラス充填用溝2′bとを
形成する。そして、ブロック1′・2′におけるそれぞ
れのギャップ対向面3とテープ摺動面7を鏡面状に研磨
した後、同図(c)および(d)に示すように、所定の
ギャップトラック幅を得るための溝(トラック溝)8…
を形成する。次に、ギャップ対向面3の表層付近の加工
変質層をエッチングにより除去した後、同図(e)
(f)(g)に示すように、炭化クロム膜4を、窒素ガ
スとアセチレンガスとの混合ガスを用いる反応性スパッ
タリング法等により10Å〜200Åの厚みでギャップ対向
面3上に形成する。若しくは、炭化クロムターゲットを
用いてスパッタリング法により形成する。ここで、炭化
クロム膜4の膜厚が10Åよりも薄いと、当該炭化クロム
膜4が不連続となって島状に形成されるため、形状効果
抑制の機能が発揮されず、一方、200Åよりも厚いと炭
化クロム膜4がギャップ層として作用するため、前述の
通り炭化クロム膜4の厚みには概ね10Å〜200Å程度が
好適となる。なお、炭化クロム膜4は、10Å〜200Åの
厚みの範囲内で薄ければ薄いほど形状効果抑止の機能が
顕著となる。To manufacture the above magnetic head, as shown in FIG. 1A, one block 1'of the oxide magnetic material to be the core is provided with an external winding groove 1'a and a glass filling groove 1'b. While forming the inner winding groove 1'c, as shown in FIG. 2B, the other block 2'of the oxide magnetic material which also serves as the core is filled with the outer winding groove 2'a and the glass. Forming a groove 2'b. Then, after the gap facing surface 3 and the tape sliding surface 7 of the blocks 1'and 2'are mirror-polished, a predetermined gap track width is obtained as shown in FIGS. Groove (track groove) 8 for ...
To form. Next, after the work-affected layer near the surface layer of the gap facing surface 3 is removed by etching, FIG.
(F) As shown in (g), the chromium carbide film 4 is formed on the gap facing surface 3 with a thickness of 10Å to 200Å by a reactive sputtering method using a mixed gas of nitrogen gas and acetylene gas. Alternatively, it is formed by a sputtering method using a chromium carbide target. Here, if the thickness of the chromium carbide film 4 is thinner than 10Å, the chromium carbide film 4 becomes discontinuous and is formed in an island shape, so that the function of suppressing the shape effect is not exerted. If it is too thick, the chromium carbide film 4 acts as a gap layer, so that the thickness of the chromium carbide film 4 is preferably about 10Å to 200Å as described above. It should be noted that the chromium carbide film 4 becomes more prominent in the function of suppressing the shape effect as it is thinner within the thickness range of 10Å to 200Å.
炭化クロム膜4の形成後、合金磁性材料薄膜5を炭化ク
ロム膜4上にスパッタリング法等により2〜6μmの厚
みで形成する。そして、合金磁性材料薄膜5上における
ギャップ形成部位にギャップ材としてSiO2等の非磁性材
料を約0.3μmの厚みで形成する。次に、同図(h)に
示すように、上記のブロック1′・2′同士を各々のギ
ャップ対向面3・3を突き合わせて貼り合わせ、ガラス
充填用溝1′b・2′bおよび内部巻線用溝1′cによ
りそれぞれ形成される空洞部位に溶融ガラス6を配置し
加熱溶着する。そして、このようにして得られた磁気ヘ
ッドブロークにおけるテープ摺動面7に、同図(i)に
示すように、曲面を形成した後、仮想線a…に沿って切
断することにより、同図(j)に示すように、磁気ヘッ
ド(まだ巻線の施されていない段階)が得られる。従っ
て、従来の製造工程とほぼ同様の製造工程で磁気ヘッド
を得ることができ、磁気ヘッドの量産性や品質の均一性
はそのまま維持され、磁気ヘッドの低価格化も可能であ
る。After forming the chromium carbide film 4, the alloy magnetic material thin film 5 is formed on the chromium carbide film 4 by a sputtering method or the like to have a thickness of 2 to 6 μm. Then, a nonmagnetic material such as SiO 2 is formed with a thickness of about 0.3 μm as a gap material at the gap forming portion on the alloy magnetic material thin film 5. Next, as shown in FIG. 6 (h), the blocks 1'and 2'are attached to each other by abutting the gap-opposing surfaces 3 and 3 to each other, and the glass-filling grooves 1'b and 2'b and the inner portion. Molten glass 6 is placed in the cavity portions respectively formed by the winding grooves 1'c and heated and welded. Then, a curved surface is formed on the tape sliding surface 7 of the magnetic head brooke thus obtained, as shown in FIG. 7 (i), and then cut along the virtual line a ... As shown in (j), a magnetic head (a stage where no winding has been applied yet) is obtained. Therefore, the magnetic head can be obtained by a manufacturing process substantially similar to the conventional manufacturing process, mass productivity of the magnetic head and uniformity of quality can be maintained as they are, and the cost of the magnetic head can be reduced.
上記の構成によれば、ギャップ対向面3・3上に形成さ
れた炭化クロム膜4により、合金磁性材料薄膜5と酸化
物磁性材料コア1・2間の酸素等の相互拡散を抑制する
ことができる。このため、酸化物磁性材料コア1・2と
合金磁性材料薄膜5の境界面付近での酸化物磁性材料コ
ア1・2および合金磁性材料薄膜5の軟磁気特性の劣化
を防止でき、軟磁気特性が劣化した部分が再生時にギャ
ップとして作用することがなくなるため、形状効果を抑
制して再生出力−周波数特性におけるうねりを低減する
ことができる。According to the above configuration, the chromium carbide film 4 formed on the gap facing surfaces 3 and 3 can suppress mutual diffusion of oxygen and the like between the alloy magnetic material thin film 5 and the oxide magnetic material cores 1 and 2. it can. Therefore, the soft magnetic characteristics of the oxide magnetic material cores 1 and 2 and the alloy magnetic material thin film 5 can be prevented from deteriorating near the boundary surface between the oxide magnetic material cores 1 and 2 and the alloy magnetic material thin film 5, and the soft magnetic characteristics can be prevented. Since the deteriorated portion does not act as a gap during reproduction, it is possible to suppress the shape effect and reduce the waviness in the reproduction output-frequency characteristic.
第2図は、スパッタリング法により厚み50Åの炭化クロ
ム膜4を形成した後に合金磁性材料薄膜5としてセンダ
スト合金薄膜を4μmの厚みで形成して得られた磁気ヘ
ッドにおける再生出力−周波数特性図である。この特性
試験において、磁気ヘッドと記録媒体の相対速度は5.8m
/sec.、記録媒体として保磁力900エルステッドのものを
用いている。この図から明らかなように、再生出力−周
波数特性におけるうねりは0.3dBの範囲に低減され、再
生信号の品質を著しく向上することができた。FIG. 2 is a reproduction output-frequency characteristic diagram of a magnetic head obtained by forming a chromium carbide film 4 having a thickness of 50 Å by a sputtering method and then forming a sendust alloy thin film as an alloy magnetic material thin film 5 with a thickness of 4 μm. . In this characteristic test, the relative speed between the magnetic head and the recording medium was 5.8 m.
/ sec., a recording medium having a coercive force of 900 oersted is used. As is clear from this figure, the undulation in the reproduction output-frequency characteristic was reduced to the range of 0.3 dB, and the quality of the reproduction signal could be significantly improved.
本発明に係る磁気ヘッドは、以上のように、高透磁率お
よび高飽和磁束密度を有する合金磁性材料薄膜が、高透
時率を有する酸化物磁性材料コアのギャップ対向面側で
ギャップに対し平行に形成されている磁気ヘッドにおい
て、上記の酸化物磁性材料コアのギャップ対向面上と合
金磁性材料薄膜との間に炭化クロムが形成されている構
成である。As described above, in the magnetic head according to the present invention, the alloy magnetic material thin film having high magnetic permeability and high saturation magnetic flux density is parallel to the gap on the gap facing surface side of the oxide magnetic material core having high magnetic permeability. In the magnetic head formed in (1), chromium carbide is formed between the gap facing surface of the oxide magnetic material core and the alloy magnetic material thin film.
これにより、いわゆる形状効果を抑制して再生出力−周
波数特性におけるうねりを低減することができ、再生信
号の品質を著しく向上することができるという効果を奏
する。As a result, it is possible to suppress the so-called shape effect, reduce the undulation in the reproduction output-frequency characteristic, and significantly improve the quality of the reproduction signal.
第1図および第2図は本発明の一実施例を示すものであ
る。 第1図(a)ないし(f)および(h)ないし(j)は
それぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図、
同図(g)は同図(f)における要部の断面図である。 第2図は磁気ヘッドにおける再生出力−周波数特性のグ
ラフである。 第3図および第4図は従来例を示すものである。 第3図(a)ないし(f)および(h)ないし(j)は
それぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図、
同図(g)は同図(f)における要部の断面図である。 第4図は磁気ヘッドにおける再生出力−周波数特性のグ
ラフである。 第5図および第6図は他従来例を示すものである。 第5図(a)ないし(f)および(h)ないし(j)は
それぞれ磁気ヘッドの製造工程の各段階を示す斜視図、
同図(g)は同図(f)における要部の断面図である。 第6図は磁気ヘッドにおける再生出力−周波数特性のグ
ラフである。 1・2は酸化物磁性材料コア、1′・2′は酸化物磁性
材料のブロック、3はギャップ対向面、4は炭化クロム
膜、5は合金磁性材料薄膜、6は溶融ガラスである。1 and 2 show one embodiment of the present invention. FIGS. 1 (a) to (f) and (h) to (j) are perspective views showing respective steps of a magnetic head manufacturing process,
FIG. 9G is a sectional view of the main part in FIG. FIG. 2 is a graph of reproduction output-frequency characteristics in the magnetic head. 3 and 4 show a conventional example. 3 (a) to (f) and (h) to (j) are perspective views showing respective steps of the magnetic head manufacturing process,
FIG. 9G is a sectional view of the main part in FIG. FIG. 4 is a graph of reproduction output-frequency characteristics in the magnetic head. 5 and 6 show another conventional example. 5 (a) to 5 (f) and 5 (h) to 5 (j) are perspective views showing respective steps of the magnetic head manufacturing process,
FIG. 9G is a sectional view of the main part in FIG. FIG. 6 is a graph of reproduction output-frequency characteristics in the magnetic head. 1 and 2 are oxide magnetic material cores, 1'and 2'are oxide magnetic material blocks, 3 is a gap facing surface, 4 is a chromium carbide film, 5 is an alloy magnetic material thin film, and 6 is molten glass.
Claims (1)
金磁性材料薄膜が、高透磁率を有する酸化物磁性材料コ
アのギャップ対向面側でギャップに対し平行に形成され
ている磁気ヘッドにおいて、 上記の酸化物磁性材料コアのギャップ対向面上と合金磁
性材料薄膜との間に炭化クロムが形成されていることを
特徴とする磁気ヘッド。1. A magnetic head in which an alloy magnetic material thin film having a high magnetic permeability and a high saturation magnetic flux density is formed parallel to a gap on the gap facing surface side of an oxide magnetic material core having a high magnetic permeability. A magnetic head characterized in that chromium carbide is formed between the surface of the oxide magnetic material core facing the gap and the alloy magnetic material thin film.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8171189A JPH0724094B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8171189A JPH0724094B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02260210A JPH02260210A (en) | 1990-10-23 |
| JPH0724094B2 true JPH0724094B2 (en) | 1995-03-15 |
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ID=13753976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8171189A Expired - Fee Related JPH0724094B2 (en) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | Magnetic head |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JPH0724094B2 (en) |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP8171189A patent/JPH0724094B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH02260210A (en) | 1990-10-23 |
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