JPH07242476A - セラミクス製溝付き軸受板の加工方法および装置 - Google Patents

セラミクス製溝付き軸受板の加工方法および装置

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JPH07242476A
JPH07242476A JP6031287A JP3128794A JPH07242476A JP H07242476 A JPH07242476 A JP H07242476A JP 6031287 A JP6031287 A JP 6031287A JP 3128794 A JP3128794 A JP 3128794A JP H07242476 A JPH07242476 A JP H07242476A
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JP
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bearing plate
ceramic
dynamic pressure
grooved bearing
press
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JP6031287A
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Takafumi Asada
隆文 浅田
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 動圧型流体軸受用セラミクス製溝付き軸受板
の動圧溝の深さ精度が高く、脱落粒子が発生しない軸受
板の加工方法および装置を提供する。 【構成】 動圧溝１Ａ，２Ａと同じパターンの凹凸を有
する上型３と下型４とでセラミクス粉体５をプレスし、
焼成した後に、焼成品７の動圧溝７Ａの底面を基準に裏
面を加工し、その後裏面を基準に動圧溝７Ａの凸部を含
む溝付き平面７Ｂを加工する。 【効果】 溝底をプレスするのでセラミクス製軸受板の
溝底面が平滑で、有害な脱落粒子の発生が無く、溝深さ
バラツキが少ない。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】近年、家庭用映像機器や、事務機
器に用いられる回転軸受は高精度化し、従来の玉軸受に
代わって動圧型流体軸受が用いられている機器が増加し
ている。そのため用いられる溝付き軸受部品の安価な加
工方法が課題になっている。本発明は、セラミクス材料
を用いた動圧型流体軸受溝付き軸受板の加工方法および
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のセラミクス製溝付き軸受
板は平板上に焼き固め、その後、表面をショットブラス
トまたは、サンドブラストと呼ばれる方法で加工されて
いた。
【０００３】以下図面を参照しながら、上述した従来の
セラミクス製溝付き軸受板の加工方法および装置の一例
について説明する。図８，図９はセラミクス製溝付き軸
受板であり、図１０〜図１２は図８，図９に示すセラミ
クス製溝付き軸受板の加工方法および装置である。
【０００４】図８，図９において、１は表面に螺旋状動
圧溝１Ａを有する軸受板、２は表面に魚骨状動圧溝２Ａ
を有する軸受板である。動圧溝１Ａ，２Ａの深さは２〜
３０ミクロンメータである。
【０００５】図１０〜図１２において、１は軸受板、３
１はフィルムであり、動圧溝１Ａ，２Ａの形状のパター
ン穴３１Ａを有する。３２はノズルであり、砂粉３３を
吹き出す。
【０００６】以上のように構成されたセラミクス製溝付
き軸受板の加工方法および装置について、以下その動作
について説明する。
【０００７】まず、図示しないセラミクス粉を略板状に
焼き固め、両平面を精密に研磨して図１０の軸受板１を
つくる。次に、図１１に示すように、必要な動圧溝１
Ａ，２Ａの形状のパターン穴３１Ａを有し、樹脂等から
なるフィルム３１を軸受板１の表面に張り付け、図１２
に示すように、ノズル３２から微細な砂粉３３を勢いよ
く吹き出して動圧溝１Ａ，２Ａを加工する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、次のような問題点がある。
【０００９】すなわち、ノズル３２から吹き出る砂粉３
３の勢いのバラツキによって動圧溝１Ａの深さにバラツ
キが生じる。また、動圧溝１Ａの底面は従来の加工法に
よれば、２〜６ミクロンメータの粗さに荒らされ、セラ
ミクスの粒子が脱落しやすい状態になっており、図示し
ない動圧型流体軸受に従来のセラミクス製軸受板を使用
すると、これら脱落した粒子が狭い軸受隙間に噛み込ん
で焼け付きを生じて回転が止まるという事故が起こりや
すかった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明のセラミクス製溝付き軸受板の加工方法およ
び装置は、必要とする動圧溝と同じパターン状凹凸部を
有する型でセラミクス粉体をプレスし、焼成した後に、
焼成品の動圧溝凹面を基準として裏面を加工し、その後
裏面を基準として動圧溝の凸部を含む平面を加工するも
のである。
【００１１】
【作用】本発明は、上記した構成によって、溝底面を型
でプレスするため表面が滑らかに仕上がり、粒子の脱落
がない。また、溝の凹面を基準にして加工するため動圧
溝の深さバラツキが生じない。
【００１２】
【実施例】以下本発明の一実施例のセラミクス製溝付き
軸受板の加工方法および装置について、図１〜図６を参
照しながら説明する。
【００１３】図１〜図４において、３は上型、４は動圧
溝のパターン状凹凸部を有する下型、５はセラミクス粉
体、６はセラミクス粉体５が押し固められたプレス品、
７はプレス品６の焼成品で動圧溝７Ａを有する。７Ｂは
動圧溝の凸面を含む溝付き平面、７Ｃは裏面であり、８
は焼成品７に加工を施した後の動圧溝８Ａを有する軸受
板である。図５において、９はベースでピン９Ａを有
し、ガイド板１０を取り付け、少なくとも３個以上のボ
ール１１を有している。１２は軸体で、押圧軸１３，バ
ネ１４，押圧体１５を回転自在に内部に有し、また、第
１砥石１６を押圧体１５に同軸状に一体的に有してい
る。図６において、１７はベース、１８は第２ガイド
板、１９は第２軸体、２０は第２砥石である。
【００１４】以上のように構成されたセラミクス製溝付
き軸受板の加工方法および装置について、図１〜図６を
用いてその動作、加工方法を説明する。
【００１５】図１において、セラミクス粉体５は、上型
３と下型４によりプレスされ、パターン状凹凸部４Ａに
より、必要な動圧溝（例えば図８，図９の動圧溝１Ａ，
２Ａ等）が成形され、図２に示すプレス品６になる。次
に、プレス品６は、図示しない加熱炉で焼き固められ、
図３に示す焼成品７になる。この焼成品は、図中示すよ
うに若干のソリを生じている。次に、焼成品７は、図５
に示すようにベース９により、動圧溝７Ａの溝底面（凹
面）がボール１１を介して支えられ、ピン９Ａで回り止
めされて、バネ１４と押圧体１５で裏面７Ｃの中央付近
が押さえられて、この押圧体１５に同軸状に回転する第
１砥石１６により裏面７Ｃの外周付近が加工される。次
に、図６に示すように、焼成品７はベース１７、第２ガ
イド板１８により裏面７Ｃが支持、固定されて、第２軸
体１９に一体に取り付けられた第２砥石により、動圧溝
７Ａの凸部を含む溝付き平面７Ｂが加工される。このよ
うにして、図４に示す軸受板８が完成する。
【００１６】以上のように本実施例によれば、動圧溝８
Ａの溝底を、下型４のパターン状凹凸部４Ａでプレス加
工により形成されるため、その表面が滑らかであり、表
面から有害な粒子の脱落が無い。また、動圧溝８Ａの溝
底に少なくとも３個以上のボール１１を当接し、溝底基
準で加工するので、溝深さのバラツキが少なく高精度に
加工が行える。
【００１７】以下、本発明の第２の実施例のセラミクス
製溝付き軸受板の加工方法および装置について図面を参
照しながら説明する。
【００１８】図７において、２１はベースで環状凸部２
１Ａを有している。２２は第３ガイド板、２３は第３軸
体、２４は第３砥石、２５は吸引ポンプである。
【００１９】第２の実施例の動作について説明する。第
２の実施例は、図５に示す第１の実施例とは焼成品７の
裏面７Ｃの加工方法が異なり、その他については、第１
の実施例と同じである。焼成品７はベース２１，第３ガ
イド板２２にガイドされ環状凸部２１Ａにより、動圧溝
７Ａの底面が支持された状態で、吸引ポンプ２５により
吸引されて固定される。固定された焼成品７の裏面７Ｃ
は、第３軸体２３に取り付けられた第３砥石２４により
平面に研磨される。
【００２０】以上のように焼成品７の溝底を環状凸部２
１Ａで支え、溝底基準で加工することにより、動圧溝７
Ａの深さバラツキが少なく抑えられる。
【００２１】なお、図５〜図７において、砥石１６，２
０，２４は、エンドミルのような切削工具でも良い。
【００２２】なお、図５，図７において、砥石１６，２
４が回転しているが、砥石１６，２４は回転せず、焼成
品７が回転しても良い。
【００２３】
【発明の効果】以上のように本発明は、 セラミック
ス粉体をパターン状凹凸部を有する金型で略板状にプレ
ス成形し、 焼成した物を、 動圧溝の溝底基準で
裏面を加工し、次に 裏面を基準にして動圧溝の凸面
を含む溝付き平面を加工することにより、溝深さの精度
が高く、溝底が平滑で、有害な脱落粒子が発生しないセ
ラミクス製軸受板が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例のセラミクス製溝付き軸
受板の製造方法および装置のプレス工程を示す説明図
【図２】本発明の第１の実施例におけるプレス品の断面
図
【図３】本発明の第１の実施例における焼成品の断面図
【図４】本発明の第１の実施例におけるセラミクス製溝
付き軸受板完成品の断面図
【図５】本発明の第１の実施例における焼成品の裏面加
工法の説明図
【図６】本発明の第１の実施例における焼成品溝付き平
面の加工法の説明図
【図７】本発明の第２の実施例における焼成品の裏面加
工法の説明図
【図８】セラミクス製溝付き軸受板の平面図
【図９】他のセラミクス製溝付き軸受板の平面図
【図１０】軸受板の側面図
【図１１】従来のセラミクス製溝付き軸受板の加工方法
を示す図
【図１２】従来のセラミクス製溝付き軸受板の加工方法
を示す図
【符号の説明】
１，２，８ 軸受板 １Ａ，２Ａ，７Ａ，８Ａ 動圧溝 ３ 上型 ４ 下型 ５ セラミクス粉体 ６ プレス品 ７ 焼成品 ９，１７，２１ ベース １１ ボール １５ 押圧体 １６ 第１砥石 ２０ 第２砥石 ２４ 第３砥石 ２５ 吸引ポンプ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 セラミクス粉体を動圧溝を構成するため
    の凹凸を有する型で略板状にプレス成形を行う工程と、
    前記プレス形成されたセラミクス粉体を焼成，硬化させ
    てセラミクス製溝付き軸受板を形成する工程と、前記焼
    成，硬化されたセラミクス製溝付き軸受板の溝底を基準
    としてセラミクス製溝付き軸受板の裏面を平面に加工す
    る工程と、前記セラミクス製溝付き軸受板の裏面を基準
    にして溝凸面を含む平面を加工する工程とからなる表面
    に動圧溝を有するセラミクス製溝付き軸受板の加工方
    法。
  2. 【請求項２】 焼成されたセラミクス製溝付き軸受板の
    溝底凹面を少なくとも３点以上で点支持し、セラミクス
    製溝付き軸受板の裏面側を押圧体で押し、前記押圧体を
    中心として回転する磁石または刃物で裏面側を平面に加
    工する請求項１記載のセラミクス製溝付き軸受板の加工
    方法。
  3. 【請求項３】 焼成されたセラミクス製溝付き軸受板の
    溝底凹面を少なくとも３個以上のボールで支持して前記
    セラミクス製溝付き軸受板の裏面側を加工する請求項２
    記載のセラミクス製溝付き軸受板の加工方法。
  4. 【請求項４】 焼成されたセラミクス製溝付き軸受板の
    溝底凹面を環状凸部で支持し、吸引固定し、回転する砥
    石または刃物で固定された前記セラミクス製溝付き軸受
    板の裏面側を平面に加工する請求項１記載のセラミクス
    製溝付き軸受板の加工方法。
  5. 【請求項５】 セラミクス粉体の表面に動圧溝を形成す
    るための凹凸を有する下型と、前記下型と対向し、前記
    下型との間で前記セラミクス粉体を押圧して略機械にプ
    レス成形する上型と、プレス成形されたセラミクス粉体
    のプレス成形品の動圧溝の溝底を、少なくとも３個以上
    のボールを介して支持するベースと、前記溝底を支持さ
    れたプレス成形品を前記ベース表面に裏面側より押圧す
    る押圧体と、前記プレス成形品の裏面側を平面に加工す
    る砥石または刃物と、前記裏面側を加工されたプレス成
    形品の裏面を基準にして前記動圧溝凸面を含む平面を加
    工する砥石または刃物とからなるセラミクス製溝付き軸
    受板の加工装置。
  6. 【請求項６】 ベースが、プレス成形品の溝底を支持す
    る環状凸部を有するとともに、前記環状凸部と前記溝底
    とから形成される空間を真空吸引し、前記プレス成形品
    を保持してプレス成形品の裏面画を加工する構成とした
    セラミクス製溝付き軸受板の加工装置。
JP6031287A 1994-03-01 1994-03-01 セラミクス製溝付き軸受板の加工方法および装置 Pending JPH07242476A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0842561A (ja) * 1994-07-29 1996-02-13 Kyocera Corp セラミック製動圧軸受及びその製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0842561A (ja) * 1994-07-29 1996-02-13 Kyocera Corp セラミック製動圧軸受及びその製造方法

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KR950026621A (ko) 1995-10-16
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