JPH07243969A - 透過率測定装置 - Google Patents
透過率測定装置Info
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- JPH07243969A JPH07243969A JP6037392A JP3739294A JPH07243969A JP H07243969 A JPH07243969 A JP H07243969A JP 6037392 A JP6037392 A JP 6037392A JP 3739294 A JP3739294 A JP 3739294A JP H07243969 A JPH07243969 A JP H07243969A
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- Japan
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- light
- photoelectric conversion
- light beam
- transmittance
- stage
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 同じ試料を繰り返し測定した場合に、その透
過率のばらつきを少なくする。 【構成】 光源１の光束を分割手段４により２分し、一
方を第１光電変換素子５ａに導き、もう一方を試料６に
透過させた後、第２光電変換素子５ｂに導く。５ａ、５
ｂの出力の比を演算し、透過率を求める。ピンホール
３、分割手段４、素子５ａを第１ステージ１０ａに搭載
し、素子５ｂを第２ステージ１０ｂに搭載する。その上
で、両ステージをコントローラ１２により所定の相関関
係をとりながら、試料６に対して平行移動させることが
好ましい。
過率のばらつきを少なくする。 【構成】 光源１の光束を分割手段４により２分し、一
方を第１光電変換素子５ａに導き、もう一方を試料６に
透過させた後、第２光電変換素子５ｂに導く。５ａ、５
ｂの出力の比を演算し、透過率を求める。ピンホール
３、分割手段４、素子５ａを第１ステージ１０ａに搭載
し、素子５ｂを第２ステージ１０ｂに搭載する。その上
で、両ステージをコントローラ１２により所定の相関関
係をとりながら、試料６に対して平行移動させることが
好ましい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レンズ等の試料の透過
率を測定する装置に関する。
率を測定する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レンズ等の試料の透過率を測定する装置
としては、例えば、ＪＩＳ Ｂ７１０７−１９６９に規
定されたような透過率測定装置がある。この測定装置
は、光源と光電変換素子で構成されており、光源からの
光束を試料に入射させる。試料を透過した光束は光電変
換素子に受光され、そこで入射光量に比例する電気信号
（出力）に変換される。このときの光電変換素子の出力
を第１測定値とする。 次に、試料を取り除き、光源か
らの光束を同様に光電変換素子に入射させる。このとき
の光電変換素子の出力を第２測定値とする。得られた第
１、第２測定値の比（百分率）を演算し、これを試料の
透過率としている。
としては、例えば、ＪＩＳ Ｂ７１０７−１９６９に規
定されたような透過率測定装置がある。この測定装置
は、光源と光電変換素子で構成されており、光源からの
光束を試料に入射させる。試料を透過した光束は光電変
換素子に受光され、そこで入射光量に比例する電気信号
（出力）に変換される。このときの光電変換素子の出力
を第１測定値とする。 次に、試料を取り除き、光源か
らの光束を同様に光電変換素子に入射させる。このとき
の光電変換素子の出力を第２測定値とする。得られた第
１、第２測定値の比（百分率）を演算し、これを試料の
透過率としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来装置では、同じ試
料であっても繰り返し測定すると、測定するごとに透過
率に微妙なばらつきがあった。これを「測定の精密度が
低い」と言う。定量的には、精密度は、前記ばらつきを
標準偏差またはその指定した倍数で表した値を意味す
る。換言すれば、精密度は、測定値のばらつきの小ささ
を意味する精密さを定量的に表現したものである。本発
明の目的は、測定の精密度を向上させることにある。
料であっても繰り返し測定すると、測定するごとに透過
率に微妙なばらつきがあった。これを「測定の精密度が
低い」と言う。定量的には、精密度は、前記ばらつきを
標準偏差またはその指定した倍数で表した値を意味す
る。換言すれば、精密度は、測定値のばらつきの小ささ
を意味する精密さを定量的に表現したものである。本発
明の目的は、測定の精密度を向上させることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、透
過率測定装置を、光源からの光束を第１、第２光束に分
割する光束分割手段と、前記第１、第２光束をそれぞれ
受光して電気信号に変換する第１、第２光電変換素子か
ら構成した。試料は光束分割素子と第２光電変換素子と
の間に配置する。
過率測定装置を、光源からの光束を第１、第２光束に分
割する光束分割手段と、前記第１、第２光束をそれぞれ
受光して電気信号に変換する第１、第２光電変換素子か
ら構成した。試料は光束分割素子と第２光電変換素子と
の間に配置する。
【０００５】
【作用】本発明者らの研究によれば、測定値に微妙なば
らつきがでる原因が、光源の光量変動にあることが判っ
た。本発明によれば、第１、第２光電変換素子から出力
された第１、第２出力の比を演算することにより、透過
率が求まる。本発明は、同一光源から出射した光束を２
分割して第１、第２測定値を同時刻に測定するので、光
源の光量変動の影響を受けにくくなることにより、測定
の精密度が向上する。
らつきがでる原因が、光源の光量変動にあることが判っ
た。本発明によれば、第１、第２光電変換素子から出力
された第１、第２出力の比を演算することにより、透過
率が求まる。本発明は、同一光源から出射した光束を２
分割して第１、第２測定値を同時刻に測定するので、光
源の光量変動の影響を受けにくくなることにより、測定
の精密度が向上する。
【０００６】透過率の演算は、手動で計算してもよい
が、演算装置を付加して第１、第２光電変換素子からの
出力を演算させれば、自動的に透過率が得られる（請求
項２の発明）。演算装置による演算は、瞬時に行われる
ので、ほぼリアルタイムに透過率が得られる。これは、
異なる試料を連続的に測定するときに有利である。演算
結果は、表示装置で数値又はグラフとして表示してもよ
い。しかし、別の製造ラインや検査ラインに本発明の透
過率測定装置を組み込んだ場合には、表示することな
く、電気信号（出力）のまま、別の動作の信号として利
用してもよい。
が、演算装置を付加して第１、第２光電変換素子からの
出力を演算させれば、自動的に透過率が得られる（請求
項２の発明）。演算装置による演算は、瞬時に行われる
ので、ほぼリアルタイムに透過率が得られる。これは、
異なる試料を連続的に測定するときに有利である。演算
結果は、表示装置で数値又はグラフとして表示してもよ
い。しかし、別の製造ラインや検査ラインに本発明の透
過率測定装置を組み込んだ場合には、表示することな
く、電気信号（出力）のまま、別の動作の信号として利
用してもよい。
【０００７】試料の透過率を、局部的に測定する場合に
は、光束を微小光束に絞る必要がある。そのためには、
光源自体が微小光束を出射するものを使用してもよい。
しかし、光源と光束分割手段との間に、光源からの光束
を平行光束に変換するコリメータレンズを付加し、その
上で「平行光束の一部を通し、残りを遮蔽するピンホー
ル」を付加し、ピンホールを透過した縮小光束を光束分
割手段に入射させる（請求項３の発明）のが好ましい。
こうすると、ピンホールを透過した光束の径が広がるこ
とがない。これ自体は知られている。
は、光束を微小光束に絞る必要がある。そのためには、
光源自体が微小光束を出射するものを使用してもよい。
しかし、光源と光束分割手段との間に、光源からの光束
を平行光束に変換するコリメータレンズを付加し、その
上で「平行光束の一部を通し、残りを遮蔽するピンホー
ル」を付加し、ピンホールを透過した縮小光束を光束分
割手段に入射させる（請求項３の発明）のが好ましい。
こうすると、ピンホールを透過した光束の径が広がるこ
とがない。これ自体は知られている。
【０００８】局部的に測定する場合、試料を移動させて
もよいし、縮小光束の方を移動させてもよい。移動方向
はもちろん、縮小光束（光軸）に対し垂直方向である。
微小光束を移動させる場合、ピンホールと光束分割手段
と第１光電変換素子を第１ステージに載せ、第２光電変
換素子を第２ステージに載せ、両ステージを所定の相関
関係を持たせながら、微小光束（光軸）に対し垂直方向
に平行移動させる駆動手段を設ける（請求項４の発明）
のが好ましい。
もよいし、縮小光束の方を移動させてもよい。移動方向
はもちろん、縮小光束（光軸）に対し垂直方向である。
微小光束を移動させる場合、ピンホールと光束分割手段
と第１光電変換素子を第１ステージに載せ、第２光電変
換素子を第２ステージに載せ、両ステージを所定の相関
関係を持たせながら、微小光束（光軸）に対し垂直方向
に平行移動させる駆動手段を設ける（請求項４の発明）
のが好ましい。
【０００９】試料がレンズの場合、試料に入射した光束
は曲げられて、第２光電変換素子に入射する。試料（レ
ンズ）の倍率をｎとすると、試料面での縮小光束の移動
量（つまり、第１ステージの移動量）がｎのとき、第２
光電変換素子面での縮小光束の移動量は１となる。従っ
て、試料が倍率ｎのレンズの場合、相関関係は第１ステ
ージの移動量がｎのとき、第２ステージの移動量が１で
ある比例関係とする（請求項５の発明）。
は曲げられて、第２光電変換素子に入射する。試料（レ
ンズ）の倍率をｎとすると、試料面での縮小光束の移動
量（つまり、第１ステージの移動量）がｎのとき、第２
光電変換素子面での縮小光束の移動量は１となる。従っ
て、試料が倍率ｎのレンズの場合、相関関係は第１ステ
ージの移動量がｎのとき、第２ステージの移動量が１で
ある比例関係とする（請求項５の発明）。
【００１０】光束分割手段の例としては、一般にはハー
フミラーであるが、場合により超高速で光束を第１、第
２光電変換素子方向に振り分ける時分割手段でもよい。
演算装置は、単なる演算回路でも、コンピュータでもよ
い。以下、実施例により本発明をより具体的に説明する
が、本発明はこれに限られるものではない。
フミラーであるが、場合により超高速で光束を第１、第
２光電変換素子方向に振り分ける時分割手段でもよい。
演算装置は、単なる演算回路でも、コンピュータでもよ
い。以下、実施例により本発明をより具体的に説明する
が、本発明はこれに限られるものではない。
【００１１】
【実施例１】図１は、本実施例にかかわる透過率測定装
置の全体構成を示すブロック図である。１はｉ線光源、
２はコリメータレンズ、３はφ２ｍｍのピンホール、４
はハーフミラー、５ａと５ｂは光電変換素子の１種であ
る浜松ホトニクス製フォトダイオードＳ１２２７−１０
１０ＢＱ、６はφ２３０ｍｍの被検凸レンズ（試料）、
７は演算回路、８はデジタルボルトメータ、９はコンピ
ュータである。
置の全体構成を示すブロック図である。１はｉ線光源、
２はコリメータレンズ、３はφ２ｍｍのピンホール、４
はハーフミラー、５ａと５ｂは光電変換素子の１種であ
る浜松ホトニクス製フォトダイオードＳ１２２７−１０
１０ＢＱ、６はφ２３０ｍｍの被検凸レンズ（試料）、
７は演算回路、８はデジタルボルトメータ、９はコンピ
ュータである。
【００１２】光源１から発光した光束は、コリメータレ
ンズ２によって平行光束となる。平行光束はピンホール
３に入射して微小光束となり、ハーフミラー４に入射す
る。入射した微小光束は第１（反射）光束と第２（透
過）光束に２分割される。ここで使用したハーフミラー
４の反射と透過の割合は、１：１（均等）である。 し
かし、場合により、均等でなくともよい。 その場合に
は後で演算処理が必要となる。
ンズ２によって平行光束となる。平行光束はピンホール
３に入射して微小光束となり、ハーフミラー４に入射す
る。入射した微小光束は第１（反射）光束と第２（透
過）光束に２分割される。ここで使用したハーフミラー
４の反射と透過の割合は、１：１（均等）である。 し
かし、場合により、均等でなくともよい。 その場合に
は後で演算処理が必要となる。
【００１３】ハーフミラー４を出射した第１光束は、フ
ォトダイオード５ａ（第１光電変換素子）に導かれる。
ハーフミラー４を出射した第２光束は、被検レンズ６を
透過してフォトダイオード５ｂ（第２光電変換素子）に
導かれる。フォトダイオード５ａ、５ｂは当然のことな
がら同一の特性を持つものが好ましい。ここで使用した
フォトダイオードの場合には、フォトダイオード上での
光束の断面積は、フォトダイオードの有効受光面積の２
分の１から３分の２程度が適当である。そうしないと、
適正な電気信号に変換されない。被検レンズ６を透過し
た光束の断面積は、レンズ６のレンズ作用により広がっ
たり狭まったりするので、有効受光面積の２分の１から
３分の２程度の範囲に光束が入射するように、フォトダ
イオード５ｂの位置（光束方向の位置）を調整する。
ォトダイオード５ａ（第１光電変換素子）に導かれる。
ハーフミラー４を出射した第２光束は、被検レンズ６を
透過してフォトダイオード５ｂ（第２光電変換素子）に
導かれる。フォトダイオード５ａ、５ｂは当然のことな
がら同一の特性を持つものが好ましい。ここで使用した
フォトダイオードの場合には、フォトダイオード上での
光束の断面積は、フォトダイオードの有効受光面積の２
分の１から３分の２程度が適当である。そうしないと、
適正な電気信号に変換されない。被検レンズ６を透過し
た光束の断面積は、レンズ６のレンズ作用により広がっ
たり狭まったりするので、有効受光面積の２分の１から
３分の２程度の範囲に光束が入射するように、フォトダ
イオード５ｂの位置（光束方向の位置）を調整する。
【００１４】フォトダイオード５ａ、５ｂの出力電流を
演算回路７に導き、そこで以下の式により、２つの出力
の比Ｖoutを求め、電圧に変換して出力する。
演算回路７に導き、そこで以下の式により、２つの出力
の比Ｖoutを求め、電圧に変換して出力する。
【００１５】
【数１】
【００１６】ただし、Ｖwはフォトダイオード５ａから
の出力を表し、Ｖrはフォトダイオード５ｂからの出力
を表す。電圧に変換した出力をデジタルボルトメータ８
により、アナログ信号からデジタル信号に変換する。変
換したデジタル信号をコンピュータ９に送り、コンピュ
ータ９で以下の式により、透過率Ｔを演算させた後、コ
ンピュータ９の画面に数値として表示する。
の出力を表し、Ｖrはフォトダイオード５ｂからの出力
を表す。電圧に変換した出力をデジタルボルトメータ８
により、アナログ信号からデジタル信号に変換する。変
換したデジタル信号をコンピュータ９に送り、コンピュ
ータ９で以下の式により、透過率Ｔを演算させた後、コ
ンピュータ９の画面に数値として表示する。
【００１７】
【数２】
【００１８】ただし、ＲrとＲtはハーフミラー４の反射
と透過の割合を表す。
と透過の割合を表す。
【００１９】
【実施例２】本実施例は、請求項４、５の発明のそれで
ある。図２は、本実施例に係る透過率測定装置の全体構
成を示すブロック図である。１はｉ線光源、２はコリメ
ータレンズ、３はφ２ｍｍのピンホール、４はハーフミ
ラー、５ａと５ｂは光電変換素子の１種である浜松ホト
ニクス製のフォトダイオードＳ１２２７−１０１０Ｂ
Ｑ、６はφ２３０ｍｍの被検レンズ（試料）、７は演算
回路、８はデジタルボルトメータ、９はコンピュータ、
１０ａと１０ｂはステージ、１１ａと１１ｂはパルスモ
ータ、１２はコントローラである。１１ａ、１１ｂ及び
１２が本発明の駆動手段を構成する。ピンホール３とハ
ーフミラー４とフォトダイオード５ａ（第１光電変換素
子）はパルスモータ１１ａにより駆動される第１ステー
ジ１０ａ上に取り付けられている。一方、フォトダイオ
ード５ｂ（第２光電変換素子）は第２ステージ１０ｂ上
に取り付けられている。ステージ１０ａ、１０ｂは光源
１からの光束（光軸）に対し垂直方向に移動させる。ス
テージ１０ａの移動距離ｃとステージ１０ｂの移動距離
ｄとの間には所定の相関関係を持たせており、ｃに被検
レンズ６の倍率（ｎ）分の１を掛けた値がｄとなる。ス
テージ１０ａ及び１０ｂは、コントローラ１２によりこ
の相関を保ちながら、パルスモータ１１ａと１１ｂによ
り駆動される。この相関を持たせることにより、被検レ
ンズ６の任意の位置に入射した微小光束がフォトダイオ
ード５ｂに正しく受光されることになる。
ある。図２は、本実施例に係る透過率測定装置の全体構
成を示すブロック図である。１はｉ線光源、２はコリメ
ータレンズ、３はφ２ｍｍのピンホール、４はハーフミ
ラー、５ａと５ｂは光電変換素子の１種である浜松ホト
ニクス製のフォトダイオードＳ１２２７−１０１０Ｂ
Ｑ、６はφ２３０ｍｍの被検レンズ（試料）、７は演算
回路、８はデジタルボルトメータ、９はコンピュータ、
１０ａと１０ｂはステージ、１１ａと１１ｂはパルスモ
ータ、１２はコントローラである。１１ａ、１１ｂ及び
１２が本発明の駆動手段を構成する。ピンホール３とハ
ーフミラー４とフォトダイオード５ａ（第１光電変換素
子）はパルスモータ１１ａにより駆動される第１ステー
ジ１０ａ上に取り付けられている。一方、フォトダイオ
ード５ｂ（第２光電変換素子）は第２ステージ１０ｂ上
に取り付けられている。ステージ１０ａ、１０ｂは光源
１からの光束（光軸）に対し垂直方向に移動させる。ス
テージ１０ａの移動距離ｃとステージ１０ｂの移動距離
ｄとの間には所定の相関関係を持たせており、ｃに被検
レンズ６の倍率（ｎ）分の１を掛けた値がｄとなる。ス
テージ１０ａ及び１０ｂは、コントローラ１２によりこ
の相関を保ちながら、パルスモータ１１ａと１１ｂによ
り駆動される。この相関を持たせることにより、被検レ
ンズ６の任意の位置に入射した微小光束がフォトダイオ
ード５ｂに正しく受光されることになる。
【００２０】また、ステージ１０ａから被検レンズ６の
中心までの距離を１とした場合、ステージ１０ｂから被
検レンズ６の中心までの距離を、前記被検レンズ６の倍
率（ｎ）分の１にする。こうしないと、ピンホールの投
影像がフォトダイオード５ｂ上に投影されず、そのため
入射光束が広がって全部の光束を受光できない恐れがあ
る。 コントローラ１２はコンピュータ９から被検レン
ズの倍率の情報が入力するので、倍率の異なる様々な被
検レンズの測定が可能である。
中心までの距離を１とした場合、ステージ１０ｂから被
検レンズ６の中心までの距離を、前記被検レンズ６の倍
率（ｎ）分の１にする。こうしないと、ピンホールの投
影像がフォトダイオード５ｂ上に投影されず、そのため
入射光束が広がって全部の光束を受光できない恐れがあ
る。 コントローラ１２はコンピュータ９から被検レン
ズの倍率の情報が入力するので、倍率の異なる様々な被
検レンズの測定が可能である。
【００２１】図２においては説明を簡略にするため、ス
テージ１０ａ及び１０ｂの移動方向を、それぞれ図面
（紙面）内で左右方向の一軸（Ｘ軸）としている。しか
し、実際には両ステージは、紙面に直交する方向（Ｙ
軸）の駆動が可能である。 つまり、光源１から見る
と、ステージ１０ａ及び１０ｂは、被検レンズ６の中心
を０点とした直交するＸ軸、Ｙ軸方向に自由に移動可能
となっている。
テージ１０ａ及び１０ｂの移動方向を、それぞれ図面
（紙面）内で左右方向の一軸（Ｘ軸）としている。しか
し、実際には両ステージは、紙面に直交する方向（Ｙ
軸）の駆動が可能である。 つまり、光源１から見る
と、ステージ１０ａ及び１０ｂは、被検レンズ６の中心
を０点とした直交するＸ軸、Ｙ軸方向に自由に移動可能
となっている。
【００２２】ステージ１０ａ、１０ｂのＸ軸、Ｙ軸方向
の駆動は、コンピュータ９のプログラムに従って自動的
に行われるよう、プログラムを作成しておいてもよい。
これにより、人間が逐一操作を行わなくても、被検レン
ズ６の全領域または所定の領域における透過率を測定す
ることが可能となる。なお、上記実施例においては、試
料として凸レンズを用いたが、凹レンズや、コーティン
グを施した、または施していない板ガラス、フィルム
等、他の光学部品を試料とすることももちろん可能であ
る。
の駆動は、コンピュータ９のプログラムに従って自動的
に行われるよう、プログラムを作成しておいてもよい。
これにより、人間が逐一操作を行わなくても、被検レン
ズ６の全領域または所定の領域における透過率を測定す
ることが可能となる。なお、上記実施例においては、試
料として凸レンズを用いたが、凹レンズや、コーティン
グを施した、または施していない板ガラス、フィルム
等、他の光学部品を試料とすることももちろん可能であ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光源からの光束を２分割して第１、第２測定値を同時に
測定し、透過率を求めるため、光源の光量変動の影響を
受けにくくなるので、測定の精密度が高まる。また、請
求項５の発明によれば、第１、第２光電変換素子等を第
１、第２ステージに搭載して、両ステージを所定の相関
関係を持たせて移動させるので、試料のあらゆる点にお
ける透過率測定が極めて容易になる。従って、大面積の
試料の場合に、透過率の均一性（又はむら）を短時間で
測定することができる。
光源からの光束を２分割して第１、第２測定値を同時に
測定し、透過率を求めるため、光源の光量変動の影響を
受けにくくなるので、測定の精密度が高まる。また、請
求項５の発明によれば、第１、第２光電変換素子等を第
１、第２ステージに搭載して、両ステージを所定の相関
関係を持たせて移動させるので、試料のあらゆる点にお
ける透過率測定が極めて容易になる。従って、大面積の
試料の場合に、透過率の均一性（又はむら）を短時間で
測定することができる。
【００２４】さらに、ステージ移動を制御する駆動手段
にコンピュータからプログラム通り指示を出し、それに
よりステージを自動的に駆動し、測定を行うシステムを
構成してもよい。このシステムを用いれば、無人測定が
実現する。
にコンピュータからプログラム通り指示を出し、それに
よりステージを自動的に駆動し、測定を行うシステムを
構成してもよい。このシステムを用いれば、無人測定が
実現する。
【図１】は本発明の一実施例を示す透過率測定装置の全
体構成を示すブロック図である。
体構成を示すブロック図である。
【図２】は他の実施例を示す透過率測定装置の全体構成
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
１・・・・光源 ２・・・・コリメータレンズ ３・・・・ピンホール ４・・・・ハーフミラー（光束分割手段の例） ５ａ、５ｂ・・・・フォトダイオード（光電変換素子の
一種） ６・・・・被検レンズ（試料） ７・・・・演算回路 ８・・・・デジタルボルトメータ ９・・・・コンピュータ １０ａ・・・・第１ステージ １０ｂ・・・・第２ステージ １１ａ、１１ｂ・・・・パルスモータ １２・・・・コントローラ（駆動手段の一部） 以上
一種） ６・・・・被検レンズ（試料） ７・・・・演算回路 ８・・・・デジタルボルトメータ ９・・・・コンピュータ １０ａ・・・・第１ステージ １０ｂ・・・・第２ステージ １１ａ、１１ｂ・・・・パルスモータ １２・・・・コントローラ（駆動手段の一部） 以上
Claims (5)
- 【請求項１】光源と、該光源からの光束を第１光束、第
２光束に分割する光束分割手段と、前記第１、第２光束
をそれぞれ受光して電気信号に変換する第１、第２光電
変換素子からなり、前記光束分割手段と第２光電変換素
子の間の光軸上に配置された試料の透過率を測定するこ
とを特徴とする透過率測定装置。 - 【請求項２】前記第１及び第２光電変換素子から出力さ
れた第１及び第２の出力の比を演算する演算装置を付加
したことを特徴とする請求項１記載の透過率測定装置。 - 【請求項３】前記光源と前記光束分割手段との間に、光
源からの光束を平行光束に変換するコリメータレンズ
と、前記平行光束の一部を通し、残りを遮蔽するピンホ
ールを付加し、前記ピンホールを通過した縮小光束を前
記光束分割手段に入射させることを特徴とする請求項１
又は請求項２記載の透過率測定装置。 - 【請求項４】前記ピンホール、前記光束分割手段及び前
記第１光電変換素子を載置する第１ステージと、前記第
２光電変換素子を載置する第２ステージと、両ステージ
を所定の相関関係を持たせながら、前記光軸に対し垂直
方向に平行移動させる駆動手段を付加したことを特徴と
する請求項３記載の透過率測定装置。 - 【請求項５】前記試料が倍率ｎのレンズの場合、前記相
関関係が、「前記第１ステージの移動量がｎであると
き、前記第２ステージの移動量が１である比例関係」で
あることを特徴とする請求項４記載の透過率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6037392A JPH07243969A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | 透過率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6037392A JPH07243969A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | 透過率測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07243969A true JPH07243969A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12496264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6037392A Pending JPH07243969A (ja) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | 透過率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07243969A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004279891A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Chi Mei Electronics Corp | 液晶セルの検査装置および検査方法 |
-
1994
- 1994-03-08 JP JP6037392A patent/JPH07243969A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004279891A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Chi Mei Electronics Corp | 液晶セルの検査装置および検査方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |