JPH07244216A - 透過波長可変干渉フィルター - Google Patents

透過波長可変干渉フィルター

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Publication number
JPH07244216A
JPH07244216A JP6035623A JP3562394A JPH07244216A JP H07244216 A JPH07244216 A JP H07244216A JP 6035623 A JP6035623 A JP 6035623A JP 3562394 A JP3562394 A JP 3562394A JP H07244216 A JPH07244216 A JP H07244216A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
interference filter
transmission wavelength
refractive index
spacer layer
wavelength variable
Prior art date
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Pending
Application number
JP6035623A
Other languages
English (en)
Inventor
Mikio Okamoto
幹夫 岡本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】温度を変化させることで、帯域幅は変化させず
に、帯域シフトのみを起こさせることができる透過波長
可変干渉フィルターを提供する。 【構成】屈折率の温度依存性の高い物質をスペーサー層
に用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学的干渉フィルターに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、干渉フィルターにおいて、種々の
中心波長に対応するには、スペーサー層の厚さの違う干
渉フィルターに交換することで行ってきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従って、これまでは、
幾つかの異なる波長の光を用いる際には、用いる光の波
長の数に応じた枚数の干渉フィルターを用意する必要が
あり、これらを交換することが煩雑であるばかりか、多
くの枚数の干渉フィルターを設備するコストやスペース
が問題になっていた。
【０００４】本発明はこれらの問題点の解決にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、屈折率の温度
依存性の高い物質によりスペーサー層を形成した干渉フ
ィルターを用い、光の波長の変更に対しては、干渉フィ
ルターの温度を変化させることで、帯域幅は変化させず
に、帯域シフトのみを起こさせることを見出し、本発明
をなすに至った。
【０００６】従って、本発明は、第１に、「多層膜構造
の干渉フィルターにおいて、屈折率の温度依存性の高い
物質をスペーサ層に用いたことを特徴とする透過波長可
変干渉フィルター」を提供し、第２に、「請求項１に記
載の屈折率の温度依存性の高い物質として、Ge、Si、Zn
Ｓ、ZnSe、TiＯ2 、ZrＯ2 、HfＯ2 、Sb2Ｓ3 のうちの
いずれかを用いたことを特徴とする透過波長可変干渉フ
ィルター」を提供する。
【０００７】
【作用】本発明による干渉フィルターのスペーサー層に
は、屈折率の温度依存性の高い物質が用いられている。
干渉フィルターはスペーサー層の光学膜厚により帯域の
中心波長が決定されるので、屈折率が温度によって変化
することにより帯域の中心波長も長波長側又は短波長側
にシフトすることになる。この際、帯域幅の変化はな
い。なお、スペーサー層の厚さは、λ／２の整数倍で１
から１０倍までが好ましい。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明に係わる透過波長可変干渉フ
ィルターの垂直断面を示す。物質はGeとSiＯとし、スペ
ーサー層にはGeを用いている。製造した干渉フィルター
を真空中において、 295°Ｋと75°Ｋの温度雰囲気で分
光透過率を測定した。その結果を図２に示す。図２よ
り、温度の違いによって分光透過率に違いが現れている
が、帯域幅には変化がないことがわかる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、温
度を変化させることで、帯域幅は変化させずに、帯域シ
フトのみを起こさせることができる透過波長可変干渉フ
ィルターを提供することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例で製造した透過波長可変干渉フィルタ
ーの垂直断面を示す概念図である。
【図２】 実施例で製造した透過波長可干渉フィルター
を真空中において、295 °Ｋと 75 °Ｋの温度雰囲気で
分光透過率を測定した結果を示すグラフである。
【符号の説明】
１・・・基板 ２・・・Ge層からなるスペーサー層 ３・・・Ge層とSiO層の交互繰り返し層 ４・・・ 295°Ｋの真空中における透過波長可変干渉フ
ィルターの分光透過率の測定値を示すグラフ ５・・・ 75 °Ｋの真空中における透過波長可変干渉フ
ィルターの分光透過率の測定値を示すグラフ 以上

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】多層膜構造の干渉フィルターにおいて、屈
    折率の温度依存性の高い物質をスペーサー層に用いたこ
    とを特徴とする透過波長可変干渉フィルター。
  2. 【請求項２】請求項１に記載の屈折率の温度依存性の高
    い物質として、Ge、Si、ZnＳ、ZnSe、TiＯ2 、ZrＯ2 、
    HfＯ2 、Sb2Ｓ3 のうちのいずれかを用いたことを特徴
    とする透過波長可変干渉フィルター。
JP6035623A 1994-03-07 1994-03-07 透過波長可変干渉フィルター Pending JPH07244216A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007279534A (ja) * 2006-04-11 2007-10-25 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光学素子
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