JPH031645B2 - - Google Patents
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- JPH031645B2 JPH031645B2 JP56130443A JP13044381A JPH031645B2 JP H031645 B2 JPH031645 B2 JP H031645B2 JP 56130443 A JP56130443 A JP 56130443A JP 13044381 A JP13044381 A JP 13044381A JP H031645 B2 JPH031645 B2 JP H031645B2
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- Japan
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- temperature
- film
- refractive index
- filter
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/008—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2201/00—Constructional elements; Accessories therefor
- E05Y2201/20—Brakes; Disengaging means; Holders; Stops; Valves; Accessories therefor
- E05Y2201/21—Brakes
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2201/00—Constructional elements; Accessories therefor
- E05Y2201/20—Brakes; Disengaging means; Holders; Stops; Valves; Accessories therefor
- E05Y2201/252—Type of friction
- E05Y2201/254—Fluid or viscous friction
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2201/00—Constructional elements; Accessories therefor
- E05Y2201/20—Brakes; Disengaging means; Holders; Stops; Valves; Accessories therefor
- E05Y2201/262—Type of motion, e.g. braking
- E05Y2201/266—Type of motion, e.g. braking rotary
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
- E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
- E05Y2900/00—Application of doors, windows, wings or fittings thereof
- E05Y2900/30—Application of doors, windows, wings or fittings thereof for domestic appliances
- E05Y2900/31—Application of doors, windows, wings or fittings thereof for domestic appliances for refrigerators
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光学干渉フイルターに係る。更に詳し
くは、本発明は温度変化に伴う中心波長の変化が
小さな干渉フイルターに関する。
くは、本発明は温度変化に伴う中心波長の変化が
小さな干渉フイルターに関する。
従来の光学干渉フイルターは珪素、ゲルマニウ
ム、石英、サフアイヤまたはガラム等からなる基
板と、該基板の片面上にゲルマニウム、酸化珪素
（SiO）、硫化亜鉛等の屈折率を異にする複数の材
料を蒸着することにより形成される多層膜とから
構成されていた。
ム、石英、サフアイヤまたはガラム等からなる基
板と、該基板の片面上にゲルマニウム、酸化珪素
（SiO）、硫化亜鉛等の屈折率を異にする複数の材
料を蒸着することにより形成される多層膜とから
構成されていた。
しかしながら、このような従来の光学干渉フイ
ルターの透過率、中心波長並びにバンドの半値幅
は温度に依存して変化することが知られている。
このような干渉フイルターの分光特性の温度依存
性は波長の選択性を著しく害し、大きな測定誤差
の原因となり、特に精密測定に使用する場合には
致命的欠点となる。
ルターの透過率、中心波長並びにバンドの半値幅
は温度に依存して変化することが知られている。
このような干渉フイルターの分光特性の温度依存
性は波長の選択性を著しく害し、大きな測定誤差
の原因となり、特に精密測定に使用する場合には
致命的欠点となる。
実開昭55−105405号公報の開示する光学干渉フ
イルターは、従来の干渉フイルターの特に透過率
の温度依存性に着目し、その変化を単層膜の分光
特性を利用することにより補償している。
イルターは、従来の干渉フイルターの特に透過率
の温度依存性に着目し、その変化を単層膜の分光
特性を利用することにより補償している。
更に詳しく検討すると、実開昭55−105405号公
報の開示する技術では前記単層膜の膜厚を調整し
て、前記多層膜の低温条件下における中心波長と
該単層膜の高温条件下における中心波長とをほぼ
一致させることにより透過率の温度依存性を解消
している。
報の開示する技術では前記単層膜の膜厚を調整し
て、前記多層膜の低温条件下における中心波長と
該単層膜の高温条件下における中心波長とをほぼ
一致させることにより透過率の温度依存性を解消
している。
しかしながら、該考案の技術では依然として温
度変化に基く中心波長のズレの問題、バンド半値
幅の変化の問題の解決策とはなつていない。更
に、該考案の技術では温度変化に伴う透過率の変
化は補償されたが、一方でこの透過率の変化を補
償するために透過率を犠性にしていることがわか
る。
度変化に基く中心波長のズレの問題、バンド半値
幅の変化の問題の解決策とはなつていない。更
に、該考案の技術では温度変化に伴う透過率の変
化は補償されたが、一方でこの透過率の変化を補
償するために透過率を犠性にしていることがわか
る。
現在のところ、温度変化に伴う中心波長のズレ
並びにバンド半値幅の変化の問題を解決した光学
干渉フイルターは知られていない。
並びにバンド半値幅の変化の問題を解決した光学
干渉フイルターは知られていない。
また、温度変化に伴う透過率変化、中心波長の
ズレ、バンド半値幅の変化のうち特に顕著なもの
は中心波長のズレである。
ズレ、バンド半値幅の変化のうち特に顕著なもの
は中心波長のズレである。
本発明の目的は中心波長位置の温度依存性を小
さくした干渉フイルターを提供することにある。
さくした干渉フイルターを提供することにある。
本発明の前記目的は、屈折率の温度変化が正で
ある第１群の膜物質からなる層と屈折率の温度変
化が負である第２群の膜物質からなる層とを各々
少なくとも１種類含み、かつ第１群の膜物質およ
び第２膜の膜物質のうちで屈折率の温度変化の小
さな膜物質からなるスペーサー層を含む多層膜に
より構成することによつて達成することができ
る。
ある第１群の膜物質からなる層と屈折率の温度変
化が負である第２群の膜物質からなる層とを各々
少なくとも１種類含み、かつ第１群の膜物質およ
び第２膜の膜物質のうちで屈折率の温度変化の小
さな膜物質からなるスペーサー層を含む多層膜に
より構成することによつて達成することができ
る。
干渉フイルターの分光特性の温度変化は該フイ
ルター構成膜の膜厚変化と屈折率変化とが原因と
なつて生ずるが、このような現象を抑制すること
は一般には困難である。
ルター構成膜の膜厚変化と屈折率変化とが原因と
なつて生ずるが、このような現象を抑制すること
は一般には困難である。
しかしながら、膜厚が温度に比例して増大する
のに対して、屈折率は膜を構成する物質に依存し
て温度増加に伴つて増加したり減少したりするの
で、このような特徴を有効に利用することにより
従来の干渉フイルターの有する前記諸欠点を改善
することが可能となる。
のに対して、屈折率は膜を構成する物質に依存し
て温度増加に伴つて増加したり減少したりするの
で、このような特徴を有効に利用することにより
従来の干渉フイルターの有する前記諸欠点を改善
することが可能となる。
屈折率の温度変化が正である物質としては
ZnS、SiO、ZnSe、Ge等が知られており、一方
屈折率の温度変化が負である物質としては
PbTe、PbSe、MgF2、CaF2、LaF3等が知られ
ている。
ZnS、SiO、ZnSe、Ge等が知られており、一方
屈折率の温度変化が負である物質としては
PbTe、PbSe、MgF2、CaF2、LaF3等が知られ
ている。
また、フイルターの基板としては従来公知の例
えば珪素、ゲルマニウム、石英、サフアイヤ、ガ
ラス等を使用する。
えば珪素、ゲルマニウム、石英、サフアイヤ、ガ
ラス等を使用する。
このようにして、フイルターの膜構成並びに膜
材料を適当に選んで組合せることにより、使用液
長域におけるフイルターの分光特性の温度変化を
小さくすることが可能となる。
材料を適当に選んで組合せることにより、使用液
長域におけるフイルターの分光特性の温度変化を
小さくすることが可能となる。
以下実施例により、本発明を更に具体的に説明
する。しかしながら、これら実施例は単に例示で
あつて、何等本発明を限定するものではない。
する。しかしながら、これら実施例は単に例示で
あつて、何等本発明を限定するものではない。
実施例 １
本実施例では、屈折率の温度変化が正の物質と
してZnSを、一方負の物質としてPbTeを使用し
たバンドパスフイルターを例示する。
してZnSを、一方負の物質としてPbTeを使用し
たバンドパスフイルターを例示する。
一般に、バンドパスフイルターはスペーサー層
を少なくとも１層有するが、これがバンドパスフ
イルターの分光特性の温度依存性に大きな影響を
与えている。
を少なくとも１層有するが、これがバンドパスフ
イルターの分光特性の温度依存性に大きな影響を
与えている。
前記ZnSおよびPbteの屈折率の温度変化率を比
較するとZnSの方がPbteより小さい。そこで、該
スペーサー層を屈折率の温度変化率の小さなZnS
によつて構成する。これによつてバンドパスフイ
ルターの中心波長の温度変化を小さくすることが
できる。
較するとZnSの方がPbteより小さい。そこで、該
スペーサー層を屈折率の温度変化率の小さなZnS
によつて構成する。これによつてバンドパスフイ
ルターの中心波長の温度変化を小さくすることが
できる。
本実施例の膜構成は第１図に示したように、
PbTeとZnSの交互層１〜３および５〜７と、屈
折率の温度変化率の小さなZnSにより構成された
スペーサー層４とからなる多層膜および基板（サ
フアイヤ）８からなる。これら蒸着膜各々の膜厚
はバンドパスフイルターの中心波長をγ0としたと
き、スペーサー層４のみを光学的膜厚（屈折率×
厚さ＝nd）をγ0／２となるようにし、他の１〜
３および５〜７層をγ0／４となるようにした。
PbTeとZnSの交互層１〜３および５〜７と、屈
折率の温度変化率の小さなZnSにより構成された
スペーサー層４とからなる多層膜および基板（サ
フアイヤ）８からなる。これら蒸着膜各々の膜厚
はバンドパスフイルターの中心波長をγ0としたと
き、スペーサー層４のみを光学的膜厚（屈折率×
厚さ＝nd）をγ0／２となるようにし、他の１〜
３および５〜７層をγ0／４となるようにした。
このような膜構成を有するフイルターの分光特
性の温度変化を第２図に、そしてこのフイルター
の温度と中心波長の変化率との関係を第３図に示
した。
性の温度変化を第２図に、そしてこのフイルター
の温度と中心波長の変化率との関係を第３図に示
した。
一方、比較のために、第４図に示すような膜構
成を有するバンドパスフイルター、即ち屈折率の
温度変化が負のPbTeと正のZnSとの交互層１〜
４および６〜９と屈折率の温度変化率が大きい
PbTeからなるスペーサー層５と基板１０とから
なるフイルターの分光特性の温度変化を第５図に
示した。
成を有するバンドパスフイルター、即ち屈折率の
温度変化が負のPbTeと正のZnSとの交互層１〜
４および６〜９と屈折率の温度変化率が大きい
PbTeからなるスペーサー層５と基板１０とから
なるフイルターの分光特性の温度変化を第５図に
示した。
第３図と第５図との比較から明らかな如く、本
発明の膜構成を有するバンドパスフイルターは比
較例のフイルターよりも著しく小さな中心波長の
温度変化率を示すことがわかる。
発明の膜構成を有するバンドパスフイルターは比
較例のフイルターよりも著しく小さな中心波長の
温度変化率を示すことがわかる。
また、第２図の本発明の干渉フイルターの分光
特性の温度変化から明らかな如く、フイルター温
度がかなり変化しても透過率は殆ど変化せず、か
つバンド半値幅の変化も小さいことがわかる。
特性の温度変化から明らかな如く、フイルター温
度がかなり変化しても透過率は殆ど変化せず、か
つバンド半値幅の変化も小さいことがわかる。
従つて、かかる膜構成を有する本発明の干渉フ
イルターは極めて優れた分光特性を有するもので
あることが理解されよう。
イルターは極めて優れた分光特性を有するもので
あることが理解されよう。
実施例 ２
本実施例では、スペーサー層の構成材料とし
て、ZnS以外の屈折率の温度変化率の小さな物質
を使用した例を示す。
て、ZnS以外の屈折率の温度変化率の小さな物質
を使用した例を示す。
実施例１の膜構成において、スペーサー層４の
みをSiOにより構成した。詳しい膜構成は第６図
に示す通りであり、スペーサー層４をSiOとした
他は実施例１と同様である。このような膜構成の
フイルターも実施例１のフイルターと同様の分光
特性の温度依存性を示した。
みをSiOにより構成した。詳しい膜構成は第６図
に示す通りであり、スペーサー層４をSiOとした
他は実施例１と同様である。このような膜構成の
フイルターも実施例１のフイルターと同様の分光
特性の温度依存性を示した。
以上の実施例においては、最も簡単な膜構成を
有するフアブリー・ペロータイプの干渉フイルタ
ーについて記載したが、スペーサー層を２つ以上
有する更に複雑なバンドパスフイルターについて
も同様に応用することができる。
有するフアブリー・ペロータイプの干渉フイルタ
ーについて記載したが、スペーサー層を２つ以上
有する更に複雑なバンドパスフイルターについて
も同様に応用することができる。
かくして、本発明によれば干渉フイルターの温
度変化に伴う中心波長の温度変化を小さくするこ
とができる。従つて、本発明の干渉フイルターを
使用することにより各種光学的測定機器の測定精
度を著しく向上させることが可能となる。また、
屈折率の温度変化の小さな膜物質からなるスペー
サー層を、屈折率の温度変化が正である第１群の
膜物質の層および屈折率の温度変化が負である第
２群の膜物質の層のうちで屈折率の温度変化の小
さな膜物質から構成しているので、新たな構成物
質を用いる必要がなく、コストを低くでき、製造
する段階においても、少ない工程で製造すること
ができる。
度変化に伴う中心波長の温度変化を小さくするこ
とができる。従つて、本発明の干渉フイルターを
使用することにより各種光学的測定機器の測定精
度を著しく向上させることが可能となる。また、
屈折率の温度変化の小さな膜物質からなるスペー
サー層を、屈折率の温度変化が正である第１群の
膜物質の層および屈折率の温度変化が負である第
２群の膜物質の層のうちで屈折率の温度変化の小
さな膜物質から構成しているので、新たな構成物
質を用いる必要がなく、コストを低くでき、製造
する段階においても、少ない工程で製造すること
ができる。
第１図は本発明のバンドパスフイルターの膜構
成を示す模式図であり；第２図は第１図に示した
膜構成を有するフイルターの分光特性の温度変化
を示す図であり；第３図は第１図に示した膜構成
を有するフイルターの温度と中心波長の変化率と
の関係を示すグラフであり；第４図は本発明の比
較例としてのフイルターの膜構成を示す模式図で
あり；第５図は第４図に示した膜構成を有するフ
イルターの温度と中心波長の変化率との関係を示
すグラフであり；第６図は本発明の他の実施例を
膜構成を示す模式図である。
成を示す模式図であり；第２図は第１図に示した
膜構成を有するフイルターの分光特性の温度変化
を示す図であり；第３図は第１図に示した膜構成
を有するフイルターの温度と中心波長の変化率と
の関係を示すグラフであり；第４図は本発明の比
較例としてのフイルターの膜構成を示す模式図で
あり；第５図は第４図に示した膜構成を有するフ
イルターの温度と中心波長の変化率との関係を示
すグラフであり；第６図は本発明の他の実施例を
膜構成を示す模式図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 屈折率の温度変化が正である第１群の膜物質
からなる層と屈折率の温度変化が負である第２群
の膜物質からなる層とを各々少なくとも１種類含
み、かつ第１群の膜物質および第２群の膜物質の
うちで屈折率の温度変化の小さな膜物質からなる
スペーサー層を含む多層膜により構成され、温度
変化に伴う中心波長位置のずれを小さくするよう
にしたことを特徴とする干渉フイルター。 ２ 前記屈折率の温度変化が正である物質が
ZnS、SiO、ZnSe、およびGeからなる群から選
ばれる特許請求の範囲第１項記載の干渉フイルタ
ー。 ３ 前記屈折率の温度変化が負である物質が
PbTe、PbSe、CaF2、BaFa、LaF3、および
MgF2からなる群から選ばれる特許請求の範囲第
１項記載の干渉フイルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13044381A JPS5831307A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 干渉フイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13044381A JPS5831307A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 干渉フイルタ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5831307A JPS5831307A (ja) | 1983-02-24 |
| JPH031645B2 true JPH031645B2 (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=15034361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13044381A Granted JPS5831307A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | 干渉フイルタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5831307A (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262101A (ja) * | 1984-06-09 | 1985-12-25 | Horiba Ltd | 水分計用多層膜干渉フイルタ |
| JPS619604A (ja) * | 1984-06-23 | 1986-01-17 | Koshin Kogaku:Kk | 誘電体多層膜フイルタ |
| JPH0690085B2 (ja) * | 1985-07-22 | 1994-11-14 | 有限会社光伸光学 | 干渉フィルタ分光装置 |
| JPH0330329Y2 (ja) * | 1985-12-20 | 1991-06-27 | ||
| JP2782559B2 (ja) * | 1990-12-18 | 1998-08-06 | 旭光学工業株式会社 | 装飾品用代用品 |
| US5193025A (en) * | 1992-01-21 | 1993-03-09 | Hughes Aircraft Company | Optical viewing and near infrared tracking system for a portable missle launcher |
| US5785756A (en) * | 1997-03-06 | 1998-07-28 | Northrop Grumman Corporation | Process for fabricating structurally robust optical coatings |
| EP2428154A4 (en) | 2009-05-07 | 2012-12-26 | Konica Minolta Opto Inc | PROBE OF OPTICAL CHARACTERISTIC MEASUREMENT |
| EP2802046B1 (en) * | 2013-05-08 | 2022-11-23 | Camlin Technologies (Switzerland) Limited | Light guiding for vertical external cavity surface emitting laser |
| GB2530098B (en) | 2014-09-15 | 2017-02-22 | Schlumberger Holdings | Mid-infrared acid sensor |
| GB2530095B (en) | 2014-09-15 | 2017-07-12 | Schlumberger Holdings | Mid-infrared sensor |
| GB2530486B (en) | 2014-09-15 | 2017-08-02 | Schlumberger Holdings | Active surface cleaning for a sensor |
| GB2530099B (en) * | 2014-09-15 | 2019-01-02 | Schlumberger Holdings | Temperature invariant infrared filter |
| GB2530485B (en) | 2014-09-15 | 2017-02-22 | Schlumberger Holdings | Mid-infrared carbon dioxide sensor |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK143620A (ja) * | 1974-06-20 | |||
| JPS6042445B2 (ja) * | 1977-10-05 | 1985-09-21 | キヤノン株式会社 | 多層薄膜光学系 |
-
1981
- 1981-08-20 JP JP13044381A patent/JPS5831307A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5831307A (ja) | 1983-02-24 |
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