JPH07246706A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH07246706A JPH07246706A JP4007494A JP4007494A JPH07246706A JP H07246706 A JPH07246706 A JP H07246706A JP 4007494 A JP4007494 A JP 4007494A JP 4007494 A JP4007494 A JP 4007494A JP H07246706 A JPH07246706 A JP H07246706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- ink
- substrate
- inkjet head
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 37
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14314—Structure of ink jet print heads with electrostatically actuated membrane
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄い振動板に十分な剛性を付与したインクジ
ェットヘッドを提供する。 【構成】 ノズル４と、ノズルに連通するインク流路１
１と、流路の一部に形成された振動板５と、振動板に対
向して形成された電極２１とを有し、振動板５と電極２
１との間に電気パルスを印加し、振動板５を静電気力に
より変形させ、ノズル４からインク液滴を吐出するイン
クジェットヘッドにおいて、振動板５の変形を一部規制
する支柱３５を設けている。
ェットヘッドを提供する。 【構成】 ノズル４と、ノズルに連通するインク流路１
１と、流路の一部に形成された振動板５と、振動板に対
向して形成された電極２１とを有し、振動板５と電極２
１との間に電気パルスを印加し、振動板５を静電気力に
より変形させ、ノズル４からインク液滴を吐出するイン
クジェットヘッドにおいて、振動板５の変形を一部規制
する支柱３５を設けている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッド、
特にその振動板の剛性補強に関する。
特にその振動板の剛性補強に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェットヘッドにはアクチュエー
タに静電気による吸引力を利用したものが採用されてき
ており、例えば特開平２−２８９３５１号公報にはその
種のインクジェットヘッドが開示されている。このイン
クジェットヘッドは、ノズルと、ノズルに連通するイン
ク流路と、流路の一部に形成された振動板と、振動板に
対向して形成された電極とを有し、振動板と電極との間
に順方向の電気パルスを印加し、振動板を静電気力によ
り変形させ、ノズルからインク液滴を吐出するようにし
たものである。
タに静電気による吸引力を利用したものが採用されてき
ており、例えば特開平２−２８９３５１号公報にはその
種のインクジェットヘッドが開示されている。このイン
クジェットヘッドは、ノズルと、ノズルに連通するイン
ク流路と、流路の一部に形成された振動板と、振動板に
対向して形成された電極とを有し、振動板と電極との間
に順方向の電気パルスを印加し、振動板を静電気力によ
り変形させ、ノズルからインク液滴を吐出するようにし
たものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この振動板
が薄い場合には剛性が不足し、インク吐出に足る十分な
吐出力が得られない。このため、振動板を厚くすること
が考えられるが、厚い振動板を形成することは難しく、
厚みがバラツキ、印刷の品位及び信頼性が良くない、と
いう問題点があった。特にノズルの集積度を増して印字
の解像度を上げる場合には振動板を薄くする必要がある
ため、この問題点は顕著なものとなる。
が薄い場合には剛性が不足し、インク吐出に足る十分な
吐出力が得られない。このため、振動板を厚くすること
が考えられるが、厚い振動板を形成することは難しく、
厚みがバラツキ、印刷の品位及び信頼性が良くない、と
いう問題点があった。特にノズルの集積度を増して印字
の解像度を上げる場合には振動板を薄くする必要がある
ため、この問題点は顕著なものとなる。
【０００４】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたものであり、薄い振動板に十分な剛性を付
与したインクジェットヘッドを提供することを目的とす
る。
めになされたものであり、薄い振動板に十分な剛性を付
与したインクジェットヘッドを提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るインクジェ
ットヘッドは、ノズルと、ノズルに連通するインク流路
と、流路の一部に形成された振動板と、振動板に対向し
て形成された電極とを有し、振動板と電極間に電気パル
スを印加し、振動板を静電気力により変形させ、ノズル
からインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおい
て、振動板の変形を一部規制する支柱を設けている。こ
の支柱は、振動板の外周以外の部分を支持し、例えば電
極ガラス基板又は流路基板に形成される。
ットヘッドは、ノズルと、ノズルに連通するインク流路
と、流路の一部に形成された振動板と、振動板に対向し
て形成された電極とを有し、振動板と電極間に電気パル
スを印加し、振動板を静電気力により変形させ、ノズル
からインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおい
て、振動板の変形を一部規制する支柱を設けている。こ
の支柱は、振動板の外周以外の部分を支持し、例えば電
極ガラス基板又は流路基板に形成される。
【０００６】
【作用】本発明においては、振動板の変形を規制する支
柱が電極に設けられており、振動板が薄くてそれ自体で
は剛性が不足しているような場合であっても、支柱によ
りその変形が規制されるので、全体として、インク吐出
に足る十分な剛性力が付与されている。
柱が電極に設けられており、振動板が薄くてそれ自体で
は剛性が不足しているような場合であっても、支柱によ
りその変形が規制されるので、全体として、インク吐出
に足る十分な剛性力が付与されている。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の一実施例に係るインクジェッ
トヘッドの分解斜視図であり、一部断面図で示してあ
る。図２は図１のＡ部の拡大図、図３は図１の実施例の
インクジェットヘッドの断面側面図、図４は図１の実施
例のインクジェットヘッドの組立後の斜視図である。本
実施例はインク液滴を基板の端部に設けたノズル孔から
吐出させるエッジイジュクトタイプの例を示すものであ
るが、基板の上面部に設けたノズル孔からインク液滴を
吐出させるフェイスイジュクトタイプのものでもよい。
本実施例のインクジェットヘッド１０は次に詳述する構
造を持つ３枚の基板１、２、３を重ねて接合した積層構
造となっている。
トヘッドの分解斜視図であり、一部断面図で示してあ
る。図２は図１のＡ部の拡大図、図３は図１の実施例の
インクジェットヘッドの断面側面図、図４は図１の実施
例のインクジェットヘッドの組立後の斜視図である。本
実施例はインク液滴を基板の端部に設けたノズル孔から
吐出させるエッジイジュクトタイプの例を示すものであ
るが、基板の上面部に設けたノズル孔からインク液滴を
吐出させるフェイスイジュクトタイプのものでもよい。
本実施例のインクジェットヘッド１０は次に詳述する構
造を持つ３枚の基板１、２、３を重ねて接合した積層構
造となっている。
【０００８】中間の第１の基板１は、シリコン基板であ
り、複数のノズル孔４を構成するように、基板１の表面
に一端より平行に等間隔で形成された複数のノズル溝１
１と、各々のノズル溝１１に連通し、底壁を振動板５と
する吐出室６を構成することになる凹部１２と、凹部１
２の後部に設けられたオリフィス７を構成することにな
るインク流入口のための細溝１３と、各々の吐出室６に
インクを供給するための共通のインクキャビティ８を構
成することになる凹部１４とを有する。そして、凹部１
４の後方にはインク流入口１３ａが設けられており、こ
れはノズル孔４よりも小さい寸法から構成されており、
インク内のごみがヘッド内に入るのを防止するフィルタ
としての機能も発揮する。
り、複数のノズル孔４を構成するように、基板１の表面
に一端より平行に等間隔で形成された複数のノズル溝１
１と、各々のノズル溝１１に連通し、底壁を振動板５と
する吐出室６を構成することになる凹部１２と、凹部１
２の後部に設けられたオリフィス７を構成することにな
るインク流入口のための細溝１３と、各々の吐出室６に
インクを供給するための共通のインクキャビティ８を構
成することになる凹部１４とを有する。そして、凹部１
４の後方にはインク流入口１３ａが設けられており、こ
れはノズル孔４よりも小さい寸法から構成されており、
インク内のごみがヘッド内に入るのを防止するフィルタ
としての機能も発揮する。
【０００９】また、第１の基板１への共通電極１７の付
与については、半導体及び電極である金属の材料による
仕事関数の大小が重要であり、本実施例では共通電極材
料にはチタンを下付けとし白金、またはクロムを下付け
とし金を使用しているが、本実施例に限定されるもので
はなく、半導体及び電極材料の特性により別の組合わせ
でもよい。なお、振動板５は、第１の基板１にボロンド
ープしてエッチストップさせることにより形成されてお
り、薄く均一な厚さのものが得られている。
与については、半導体及び電極である金属の材料による
仕事関数の大小が重要であり、本実施例では共通電極材
料にはチタンを下付けとし白金、またはクロムを下付け
とし金を使用しているが、本実施例に限定されるもので
はなく、半導体及び電極材料の特性により別の組合わせ
でもよい。なお、振動板５は、第１の基板１にボロンド
ープしてエッチストップさせることにより形成されてお
り、薄く均一な厚さのものが得られている。
【００１０】また、図２に示すように、第１の基板１に
は、共通電極１７を除く全面に厚さ０．１ｍｍ程度の酸
化膜２４が形成され、これはインクジェットヘッドの駆
動時に振動板５と後述する個別電極２１とが接触した場
合の絶縁破壊、ショート等を防止するための絶縁層とし
て機能する。
は、共通電極１７を除く全面に厚さ０．１ｍｍ程度の酸
化膜２４が形成され、これはインクジェットヘッドの駆
動時に振動板５と後述する個別電極２１とが接触した場
合の絶縁破壊、ショート等を防止するための絶縁層とし
て機能する。
【００１１】第１の基板１の下面に接合される下側の第
２の基板２にはホウ珪酸系ガラスを使用し、第２の基板
２の上面には振動室９を構成することになる、中央付近
に細長い支柱３５を有する凹部１５が設けられている。
なお、振動板５の厚み厚く形成することによりインク吐
出に必要な所定の剛性が得られる場合には、支柱３５を
設けなくともよい。本実施例においては、振動板５とこ
れに対向して配置される電極との対向間隔、即ちギャッ
プ部１６の長さＧ（図３参照、以下「ギャップ長」と記
す。）が、凹部１５の深さと電極の厚さとの差になるよ
うに、間隔保持手段を第２の基板２の上面に形成した振
動室用の凹部１５により構成している。また、別の例と
して凹部の形成は第１の基板１の下面でもよい。ここで
は、凹部１５の深さをエッチングにより０．３μｍとし
ている。なお、ノズル溝１１のピッチは０．２ｍｍであ
り、その幅は８０μｍである。
２の基板２にはホウ珪酸系ガラスを使用し、第２の基板
２の上面には振動室９を構成することになる、中央付近
に細長い支柱３５を有する凹部１５が設けられている。
なお、振動板５の厚み厚く形成することによりインク吐
出に必要な所定の剛性が得られる場合には、支柱３５を
設けなくともよい。本実施例においては、振動板５とこ
れに対向して配置される電極との対向間隔、即ちギャッ
プ部１６の長さＧ（図３参照、以下「ギャップ長」と記
す。）が、凹部１５の深さと電極の厚さとの差になるよ
うに、間隔保持手段を第２の基板２の上面に形成した振
動室用の凹部１５により構成している。また、別の例と
して凹部の形成は第１の基板１の下面でもよい。ここで
は、凹部１５の深さをエッチングにより０．３μｍとし
ている。なお、ノズル溝１１のピッチは０．２ｍｍであ
り、その幅は８０μｍである。
【００１２】この第２の基板２を第１の基板１に接合す
ることによって振動室９を構成するとともに、第２の基
板２上の振動板５に対応する各々の位置に、金を０．１
μｍスパッタし、支柱３５を取り囲むように振動板５と
ほぼ同じ形状に金パターンを形成して個別電極２１とし
ている。個別電極２１はリード部２２及び端子部２３を
備えている。電極等２１，２２，２３の材料は金の代わ
りにＩＴＯ等の酸化導電膜でもよい。
ることによって振動室９を構成するとともに、第２の基
板２上の振動板５に対応する各々の位置に、金を０．１
μｍスパッタし、支柱３５を取り囲むように振動板５と
ほぼ同じ形状に金パターンを形成して個別電極２１とし
ている。個別電極２１はリード部２２及び端子部２３を
備えている。電極等２１，２２，２３の材料は金の代わ
りにＩＴＯ等の酸化導電膜でもよい。
【００１３】第１の基板１の上面に接合される上側の第
３の基板３は、第２の基板２と同じくホウ珪酸系ガラス
を用いている。この第３の基板３の接合によって、ノズ
ル孔４、吐出室６、オリフィス７及びインクキャビティ
８が構成される。そして、このインクキャビティ８に
は、第１の基板１と第３の基板３とを接合するときにそ
の凹部がつぶれないように強度をもたせるために凸部３
６が設けられている。
３の基板３は、第２の基板２と同じくホウ珪酸系ガラス
を用いている。この第３の基板３の接合によって、ノズ
ル孔４、吐出室６、オリフィス７及びインクキャビティ
８が構成される。そして、このインクキャビティ８に
は、第１の基板１と第３の基板３とを接合するときにそ
の凹部がつぶれないように強度をもたせるために凸部３
６が設けられている。
【００１４】次に、第１の基板１と第２の基板２を温度
２７０〜４００℃、電圧５００〜８００Ｖの印加で陽極
接合し、また同条件で第１の基板１と第３の基板３とを
接合し、図３のようにインクジェットヘッドを組み立て
る。陽極接合後に、振動板５と第２の基板２上の個別電
極２１との間に形成されるギャップ長Ｇは、上述のよう
に凹部１５の深さと個別電極２１の厚さとの差であり、
本実施例では０．２μｍとしてある。
２７０〜４００℃、電圧５００〜８００Ｖの印加で陽極
接合し、また同条件で第１の基板１と第３の基板３とを
接合し、図３のようにインクジェットヘッドを組み立て
る。陽極接合後に、振動板５と第２の基板２上の個別電
極２１との間に形成されるギャップ長Ｇは、上述のよう
に凹部１５の深さと個別電極２１の厚さとの差であり、
本実施例では０．２μｍとしてある。
【００１５】上記のようにインクジェットヘッドを組み
立てた後は、図３又は図４に示されるように共通電極１
７と個別電極２１の端子部２３間にそれぞれ配線（ＦＰ
Ｓ：フレキシブル・プリント・サーキット）１０１によ
り駆動回路１０２を接続する。配線１０１と電極１７，
２３との接合手段として、本実施例においては異方性導
電膜を使用している。そして、振動室９には窒素ガスが
送入され、絶縁封止剤３０により気密封止されている。
インク１０３は、図示しないインクタンクよりインク供
給管３３、インクジェットヘッド後部に外嵌されたイン
ク供給容器３２を経て、インク流入口１３ａより第１の
基板１の内部に供給され、インクキャビティ８、吐出室
６等を満たしている。そして、吐出室６のインクは、図
３に示されるように、インクジェットヘッド１０の駆動
時にノズル孔４よりインク液滴１０４となって吐出さ
れ、記録紙１０５に印字される。
立てた後は、図３又は図４に示されるように共通電極１
７と個別電極２１の端子部２３間にそれぞれ配線（ＦＰ
Ｓ：フレキシブル・プリント・サーキット）１０１によ
り駆動回路１０２を接続する。配線１０１と電極１７，
２３との接合手段として、本実施例においては異方性導
電膜を使用している。そして、振動室９には窒素ガスが
送入され、絶縁封止剤３０により気密封止されている。
インク１０３は、図示しないインクタンクよりインク供
給管３３、インクジェットヘッド後部に外嵌されたイン
ク供給容器３２を経て、インク流入口１３ａより第１の
基板１の内部に供給され、インクキャビティ８、吐出室
６等を満たしている。そして、吐出室６のインクは、図
３に示されるように、インクジェットヘッド１０の駆動
時にノズル孔４よりインク液滴１０４となって吐出さ
れ、記録紙１０５に印字される。
【００１６】図５は振動板５（梁）と歪みとの関係を示
した一般的な説明図であり、両端固定の等分荷重の梁の
歪みは次式に示される。
した一般的な説明図であり、両端固定の等分荷重の梁の
歪みは次式に示される。
【００１７】
【数１】
【００１８】図６及び図７は支柱の配置と歪みとの関係
を示した説明図であり、図６は支柱が１列で、図７は支
柱が２列の例である。インクの吐出量は歪みδの積分値
にて決まるが、図７の例（２列）においては特にδ2 に
最も依存する。従って、例えば図８に示すように、支柱
が２例の場合において、基板の接合がＳだけずれたとし
ても、支柱が１列の場合（図６）に比べてインク吐出量
に対する影響は少ない。
を示した説明図であり、図６は支柱が１列で、図７は支
柱が２列の例である。インクの吐出量は歪みδの積分値
にて決まるが、図７の例（２列）においては特にδ2 に
最も依存する。従って、例えば図８に示すように、支柱
が２例の場合において、基板の接合がＳだけずれたとし
ても、支柱が１列の場合（図６）に比べてインク吐出量
に対する影響は少ない。
【００１９】図９は図１の実施例に示されるように、細
長い支柱を１個設けた場合の振動板５の歪み形状を示し
ており、図１０は支柱を２列設け、各列の支柱を複数個
に分離した例を示している。ところで、上述の実施例は
支柱を電極ガラス基板２に形成した例を示したが、これ
を逆に、流路基板１に形成してもよく、図１１はその例
を示す断面図である。なお、本発明において、支柱の形
状及びその配置は上述の実施例に示されたもに限定され
るものではなく、本発明の目的に応じて適宜変形できる
ことはいうまでもない。
長い支柱を１個設けた場合の振動板５の歪み形状を示し
ており、図１０は支柱を２列設け、各列の支柱を複数個
に分離した例を示している。ところで、上述の実施例は
支柱を電極ガラス基板２に形成した例を示したが、これ
を逆に、流路基板１に形成してもよく、図１１はその例
を示す断面図である。なお、本発明において、支柱の形
状及びその配置は上述の実施例に示されたもに限定され
るものではなく、本発明の目的に応じて適宜変形できる
ことはいうまでもない。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、振動
板の変形を規制する支柱を設けたので、振動板の薄くて
剛性が不足しているような場合であっても、支柱により
その変形が規制されるので、全体として、インク吐出に
足る十分な剛性力が付与されている。従って、インク吐
出量、速度等のバラツキが少なく、かつドット抜けを起
こすおそれがなく、印刷の品質及び信頼性に優れたイン
クジェットヘッドが得られる。
板の変形を規制する支柱を設けたので、振動板の薄くて
剛性が不足しているような場合であっても、支柱により
その変形が規制されるので、全体として、インク吐出に
足る十分な剛性力が付与されている。従って、インク吐
出量、速度等のバラツキが少なく、かつドット抜けを起
こすおそれがなく、印刷の品質及び信頼性に優れたイン
クジェットヘッドが得られる。
【図１】本発明の一実施例に係るインクジェットヘッド
の分解斜視図である。
の分解斜視図である。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【図３】図１のインクジェットヘッドの断面側面図であ
る。
る。
【図４】図１の実施例のインクジェットヘッドの組立後
の斜視図である。
の斜視図である。
【図５】振動板（梁）と歪みとの関係を示した一般的な
説明図である。
説明図である。
【図６】支柱の配置（１列）と歪みとの関係を示した説
明図である。
明図である。
【図７】支柱の配置（２列）と歪みとの関係を示した説
明図である。
明図である。
【図８】図６の配置において、基板の接合がずれたとき
の歪みの説明図である。
の歪みの説明図である。
【図９】振動板の歪みの例（その１）を示す説明図であ
る。
る。
【図１０】振動板の歪みの例（その２）を示す説明図で
ある。
ある。
【図１１】支柱の他の配置例を示す断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ４１Ｊ 2/015 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３ Ｚ (72)発明者 羽片 忠明 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 小枝 周史 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 ノズルと、該ノズルに連通するインク流
路と、該流路の一部に形成された振動板と、該振動板に
対向して形成された電極とを有し、前記振動板と前記電
極との間に電気パルスを印加し、前記振動板を静電気力
により変形させ、前記各ノズルからインク液滴を吐出す
るインクジェットヘッドにおいて、 前記振動板の変形を一部規制する支柱を設けたことを特
徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 前記支柱は、振動板の外周以外の部分を
支持するものであることを特徴とする請求項１記載のイ
ンクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記支柱は、電極ガラス基板により形成
されてなることを特徴とする請求項１又は２記載のイン
クジェットヘッド。 - 【請求項４】 前記支柱は、流路基板に形成されてなる
ことを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェット
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4007494A JPH07246706A (ja) | 1994-03-10 | 1994-03-10 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4007494A JPH07246706A (ja) | 1994-03-10 | 1994-03-10 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07246706A true JPH07246706A (ja) | 1995-09-26 |
Family
ID=12570783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4007494A Pending JPH07246706A (ja) | 1994-03-10 | 1994-03-10 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07246706A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6322198B1 (en) | 1998-04-07 | 2001-11-27 | Minolta Co., Ltd. | Electrostatic inkjet head having spaced electrodes |
| US6394586B2 (en) | 2000-03-24 | 2002-05-28 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid droplet discharging head and ink jet recording device |
| EP1226945A1 (en) * | 2001-01-24 | 2002-07-31 | Xerox Corporation | Electrostatically-actuated device |
| US7246888B2 (en) | 2001-12-27 | 2007-07-24 | Seiko Epson Corporation | Liquid jetting head and method of manufacturing the same |
| JP2009023333A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-02-05 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
-
1994
- 1994-03-10 JP JP4007494A patent/JPH07246706A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6322198B1 (en) | 1998-04-07 | 2001-11-27 | Minolta Co., Ltd. | Electrostatic inkjet head having spaced electrodes |
| US6394586B2 (en) | 2000-03-24 | 2002-05-28 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid droplet discharging head and ink jet recording device |
| EP1226945A1 (en) * | 2001-01-24 | 2002-07-31 | Xerox Corporation | Electrostatically-actuated device |
| US7246888B2 (en) | 2001-12-27 | 2007-07-24 | Seiko Epson Corporation | Liquid jetting head and method of manufacturing the same |
| JP2009023333A (ja) * | 2007-06-19 | 2009-02-05 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3329125B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
| WO1996000151A1 (en) | Piezoelectric actuator for ink jet head and method of manufacturing same | |
| JP3221470B2 (ja) | インクジェットヘッド、及びその製造方法 | |
| JPH07246706A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3500781B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP3067535B2 (ja) | インク噴射装置及びその製造方法 | |
| JP3473045B2 (ja) | インクジェットプリンタ及びその駆動方法 | |
| JP3139142B2 (ja) | インクジェット記録装置、インクジェットヘッド及びインク吐出特性測定方法 | |
| JPH07246703A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH09300629A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2005096230A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド | |
| JPH04263952A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP2000334943A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| KR100802497B1 (ko) | 정전기적으로 기계적 작동되는 유체 정밀 측정 장치 | |
| JP3531356B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP4061953B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPH07323541A (ja) | マルチノズルインクジェットヘッド | |
| JP3189575B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3791385B2 (ja) | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP4151226B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3252612B2 (ja) | インクジェットヘッド駆動装置及びその駆動方法 | |
| JP2902786B2 (ja) | インクジェットヘッド用圧電アクチュエータの製造方法 | |
| JP3988284B2 (ja) | インクジェットヘッド及び記録装置 | |
| JP3473155B2 (ja) | 基板の接合方法及びその方法を用いたインクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2001284669A (ja) | 圧電アクチュエータ並びにこれを備えたインクジェットプリントヘッド |