JPH07248254A - 振動監視方法およびその装置 - Google Patents
振動監視方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH07248254A JPH07248254A JP4074494A JP4074494A JPH07248254A JP H07248254 A JPH07248254 A JP H07248254A JP 4074494 A JP4074494 A JP 4074494A JP 4074494 A JP4074494 A JP 4074494A JP H07248254 A JPH07248254 A JP H07248254A
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- JP
- Japan
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- change rate
- amplitude
- vibration
- amplitude change
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- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転体の回転数の変化速度に影響を受けない
振幅変化率を用いて行う振動監視方法を提供する。 【構成】 振動監視装置12は発電プラントからデータ入
力手段13を介してタービン発電機の回転数および振動振
幅値を入力する。運転状態判定手段14ではデータ入力手
段13で入力した回転数より回転数が一定か、変化してい
るかの判定を行う。運転状態判定手段14で回転数が一定
と判定されたとき、対時間振幅変化率算出手段15、対時
間振幅変化率異常判定しきい値格納ファイル17aおよび
対時間振幅変化率異常判定手段18を用いて対時間振幅変
化率の異常判定を行う。判定結果出力手段19で表示装置
20に出力する。
振幅変化率を用いて行う振動監視方法を提供する。 【構成】 振動監視装置12は発電プラントからデータ入
力手段13を介してタービン発電機の回転数および振動振
幅値を入力する。運転状態判定手段14ではデータ入力手
段13で入力した回転数より回転数が一定か、変化してい
るかの判定を行う。運転状態判定手段14で回転数が一定
と判定されたとき、対時間振幅変化率算出手段15、対時
間振幅変化率異常判定しきい値格納ファイル17aおよび
対時間振幅変化率異常判定手段18を用いて対時間振幅変
化率の異常判定を行う。判定結果出力手段19で表示装置
20に出力する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はたとえば発電プラントに
おける蒸気タービン発電機の振動監視方法およびその装
置に関する。
おける蒸気タービン発電機の振動監視方法およびその装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から回転機械の振動を運転中常時監
視し、振動変化の推移から回転体の異常をとらえようと
する振動監視装置が知られている。これは回転機械に異
常が生じた場合、その発生部位や発生原因がどうであ
れ、振動変化という現象で現れる場合が他の物理量の変
化と比べて多い等の理由による。
視し、振動変化の推移から回転体の異常をとらえようと
する振動監視装置が知られている。これは回転機械に異
常が生じた場合、その発生部位や発生原因がどうであ
れ、振動変化という現象で現れる場合が他の物理量の変
化と比べて多い等の理由による。
【0003】図5は蒸気タービンおよび発電機に用いら
れる従来の振動監視装置を示している。振動監視装置2
はデータ入力手段3によりタービン発電機の回転数およ
び振動振幅値を入力し、データ処理手段4でデータ入力
手段3から入力された振動振幅値から振動変化率を求め
る。
れる従来の振動監視装置を示している。振動監視装置2
はデータ入力手段3によりタービン発電機の回転数およ
び振動振幅値を入力し、データ処理手段4でデータ入力
手段3から入力された振動振幅値から振動変化率を求め
る。
【0004】また、異常判定しきい値格納ファイル6に
はタービンの寿命消費やプラント効率の観点から予め定
められている運転パターン毎に異常判定しきい値が格納
され、運転状態判定手段5でその時のタービンの運転状
態が異常判定しきい値格納ファイル6にしきい値の格納
されている運転パターンのうちいずれであるかの判定を
行う。
はタービンの寿命消費やプラント効率の観点から予め定
められている運転パターン毎に異常判定しきい値が格納
され、運転状態判定手段5でその時のタービンの運転状
態が異常判定しきい値格納ファイル6にしきい値の格納
されている運転パターンのうちいずれであるかの判定を
行う。
【0005】しきい値選択手段7は運転状態判定手段5
で求められた運転状態を対応する異常判定しきい値を異
常判定しきい値格納ファイル4から選択し、異常判定手
段8においてデータ処理手段4で算出された振動振幅値
および振幅変化率を異常判定しきい値選択手段7で選択
された異常判定しきい値と比較し、振動振幅値または振
幅変化率が異常判定しきい値を超えていたときは異常と
判定する。判定結果出力手段9は異常判定手段8の判定
結果を表示装置10に出力する。
で求められた運転状態を対応する異常判定しきい値を異
常判定しきい値格納ファイル4から選択し、異常判定手
段8においてデータ処理手段4で算出された振動振幅値
および振幅変化率を異常判定しきい値選択手段7で選択
された異常判定しきい値と比較し、振動振幅値または振
幅変化率が異常判定しきい値を超えていたときは異常と
判定する。判定結果出力手段9は異常判定手段8の判定
結果を表示装置10に出力する。
【0006】ここで、データ加工手段4での振幅変化率
の算出方法について図6を用いて説明する。一定時間間
隔Toで入力した規定個数Nの振動振幅値を用いて最小
二乗法による1次近似を行い、その結果求められた近似
直線Lの傾きを振幅変化率とする。このように従来の振
動監視装置で監視している振幅変化率は時間に対する振
動振幅値の変化率(以下、対時間振幅変化率と称する)
である。
の算出方法について図6を用いて説明する。一定時間間
隔Toで入力した規定個数Nの振動振幅値を用いて最小
二乗法による1次近似を行い、その結果求められた近似
直線Lの傾きを振幅変化率とする。このように従来の振
動監視装置で監視している振幅変化率は時間に対する振
動振幅値の変化率(以下、対時間振幅変化率と称する)
である。
【0007】一方、タービン発電機のような回転体では
回転数に伴って振動振幅値が変化し、その時の回転数と
振動振幅値は図7のような関係であることが知られてい
る。ここで、図7に記す危険速度とは回転体の固有振動
数と軸受による回転体の支持条件から定まる振動振幅値
が最大となる回転数である。
回転数に伴って振動振幅値が変化し、その時の回転数と
振動振幅値は図7のような関係であることが知られてい
る。ここで、図7に記す危険速度とは回転体の固有振動
数と軸受による回転体の支持条件から定まる振動振幅値
が最大となる回転数である。
【0008】図7において、回転数がaからbまで変化
するのに伴って振動振幅値はVa からVb に変化し、こ
れから振動振幅値がVa からVb に変化する速度は、回
転数がaからbに変化する速度に等しく、対時間振幅変
化率は回転数の変化速度に影響を受けることが判る。
するのに伴って振動振幅値はVa からVb に変化し、こ
れから振動振幅値がVa からVb に変化する速度は、回
転数がaからbに変化する速度に等しく、対時間振幅変
化率は回転数の変化速度に影響を受けることが判る。
【0009】上記のような特徴を有する対時間振幅変化
率の異常判定処理方法の一例を図8に示す。ステップS
1では回転数、振動振幅値等のデータを入力し、ステッ
プS2では対時間振幅変化率を算出する。
率の異常判定処理方法の一例を図8に示す。ステップS
1では回転数、振動振幅値等のデータを入力し、ステッ
プS2では対時間振幅変化率を算出する。
【0010】また、ステップS3ではタービン発電機の
その時の運転状態を判定し、ステップS4ではステップ
S3で判定した運転状態に対応する異常判定しきい値を
本装置に格納されているしきい値群から選択する。
その時の運転状態を判定し、ステップS4ではステップ
S3で判定した運転状態に対応する異常判定しきい値を
本装置に格納されているしきい値群から選択する。
【0011】ステップS5ではステップS2で算出され
た対時間振幅変化率とステップS4で選択された異常判
定しきい値とを比較し、振幅変化率がしきい値を超えて
いたときに、異常と判定する。ステップS6ではステッ
プS5の判定結果を外部に出力する。
た対時間振幅変化率とステップS4で選択された異常判
定しきい値とを比較し、振幅変化率がしきい値を超えて
いたときに、異常と判定する。ステップS6ではステッ
プS5の判定結果を外部に出力する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な振動監視装置の対時間振幅変化率においては、回転数
の変化速度に合わせた異常判定しきい値を用いて異常判
定の監視を行う必要がある。このため、異常判定しきい
値は、タービン発電機が通常運転される回転数の変化速
度に対応して設定されている。この場合、対時間振幅変
化率の異常判定を行うことができるのは、異常判定しき
い値の設定されている回転数の変化速度で運転されてい
る時だけであり、他の回転数の変化速度で運転されてい
る時は、異常判定処理ができないという問題がある。
な振動監視装置の対時間振幅変化率においては、回転数
の変化速度に合わせた異常判定しきい値を用いて異常判
定の監視を行う必要がある。このため、異常判定しきい
値は、タービン発電機が通常運転される回転数の変化速
度に対応して設定されている。この場合、対時間振幅変
化率の異常判定を行うことができるのは、異常判定しき
い値の設定されている回転数の変化速度で運転されてい
る時だけであり、他の回転数の変化速度で運転されてい
る時は、異常判定処理ができないという問題がある。
【0013】また、コンバインドサイクルプラントのよ
うに1ユニットで複数の回転軸を有するプラントを一括
して監視する場合、監視対象となる振動計測点が多いた
め、対時間振幅変化率の異常判定しきい値の数が膨大に
なり、それを回転数の変化速度で切換える従来の監視方
法では装置を構成する上で多くの困難がある。本発明の
目的は、回転数の変化速度に影響を受けない振幅変化率
を用いて行う監視方法および装置を提供することを目的
とする。
うに1ユニットで複数の回転軸を有するプラントを一括
して監視する場合、監視対象となる振動計測点が多いた
め、対時間振幅変化率の異常判定しきい値の数が膨大に
なり、それを回転数の変化速度で切換える従来の監視方
法では装置を構成する上で多くの困難がある。本発明の
目的は、回転数の変化速度に影響を受けない振幅変化率
を用いて行う監視方法および装置を提供することを目的
とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明による振動監視方法は、回転体の回転数および
振動振幅値を入力し、回転数が一定と判定したとき対時
間振幅変化率について算定してその振幅変化率が決めら
れた値よりも大きいとき異常と判定し、あるいは回転数
が変化していると判定したとき対回転数振幅変化率につ
いて算定して、その振幅変化率が決められた値を超えた
とき、異常と判定することを特徴とする。
に本発明による振動監視方法は、回転体の回転数および
振動振幅値を入力し、回転数が一定と判定したとき対時
間振幅変化率について算定してその振幅変化率が決めら
れた値よりも大きいとき異常と判定し、あるいは回転数
が変化していると判定したとき対回転数振幅変化率につ
いて算定して、その振幅変化率が決められた値を超えた
とき、異常と判定することを特徴とする。
【0015】また、本発明による振動監視装置は回転体
の回転数が一定であるか、変化しているかを判定する運
転状態判定手段と、運転状態判定手段で回転数が一定で
あると判定されたとき、対時間振幅変化率を、あるいは
回転数が変化していると判定されたとき、対回転数振幅
変化率を算出するデータ処理手段と、対時間振幅変化率
の異常判定しきい値および対回転数振幅変化率の異常判
定しきい値をそれぞれ格納する異常判定しきい値格納フ
ァイルと、データ処理手段から与えられる対時間振幅変
化率としきい値格納ファイルから与えられる対時間振幅
変化率異常判定しきい値とを比較し、あるいは対回転数
振幅変化率と、対回転数振幅変化率異常判定しきい値と
を比較し、振幅変化率が異常判定しきい値を超えたと
き、異常と判定する異常判定手段と、異常判定手段で得
られた判定結果を出力する判定結果手段とを備えるもの
である。
の回転数が一定であるか、変化しているかを判定する運
転状態判定手段と、運転状態判定手段で回転数が一定で
あると判定されたとき、対時間振幅変化率を、あるいは
回転数が変化していると判定されたとき、対回転数振幅
変化率を算出するデータ処理手段と、対時間振幅変化率
の異常判定しきい値および対回転数振幅変化率の異常判
定しきい値をそれぞれ格納する異常判定しきい値格納フ
ァイルと、データ処理手段から与えられる対時間振幅変
化率としきい値格納ファイルから与えられる対時間振幅
変化率異常判定しきい値とを比較し、あるいは対回転数
振幅変化率と、対回転数振幅変化率異常判定しきい値と
を比較し、振幅変化率が異常判定しきい値を超えたと
き、異常と判定する異常判定手段と、異常判定手段で得
られた判定結果を出力する判定結果手段とを備えるもの
である。
【0016】
【作用】このように構成された振動監視方法において
は、タービン発電機の回転数が一定しているときと変化
しているときを判別し、それに従い対時間振幅変化率と
対回転数振幅変化率を切換えて監視するので、回転数の
変化速度の影響を受けずに振幅変化率の監視を行うこと
ができる。また異常判定しきい値の切換え条件および異
常判定しきい値の設定数を減少させることができ、これ
により装置の構成を容易にすることが可能である。
は、タービン発電機の回転数が一定しているときと変化
しているときを判別し、それに従い対時間振幅変化率と
対回転数振幅変化率を切換えて監視するので、回転数の
変化速度の影響を受けずに振幅変化率の監視を行うこと
ができる。また異常判定しきい値の切換え条件および異
常判定しきい値の設定数を減少させることができ、これ
により装置の構成を容易にすることが可能である。
【0017】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例につい
て説明する。図1は本発明の実施例による振動監視装置
のブロック図である。図において、振動監視装置12は発
電プラント1からデータ入力手段13を介してタービン発
電機の回転数および振動振幅値を入力する。運転状態判
定手段14ではデータ入力手段13で入力した回転数より回
転数が一定か変化しているかの判定を行う。
て説明する。図1は本発明の実施例による振動監視装置
のブロック図である。図において、振動監視装置12は発
電プラント1からデータ入力手段13を介してタービン発
電機の回転数および振動振幅値を入力する。運転状態判
定手段14ではデータ入力手段13で入力した回転数より回
転数が一定か変化しているかの判定を行う。
【0018】運転状態判定手段14で回転数が一定と判定
されたとき、対時間振幅変化率算出手段15、対時間振幅
変化率異常判定しきい値格納ファイル17aおよび対時間
振幅変化率異常判定手段18aを用いて対時間振幅変化率
の異常判定を行う。
されたとき、対時間振幅変化率算出手段15、対時間振幅
変化率異常判定しきい値格納ファイル17aおよび対時間
振幅変化率異常判定手段18aを用いて対時間振幅変化率
の異常判定を行う。
【0019】つまり、対時間振幅変化率算出手段15で
は、対時間振幅変化率を算出し、対時間振幅変化率異常
判定手段18aでは対時間振幅変化率算出手段15で算出さ
れた対時間振幅変化率と対時間振幅変化率異常判定しき
い値格納ファイル17aに格納されている対時間振幅変化
率異常判定しきい値を比較し、振幅変化率が異常判定し
きい値を超えているときに異常と判定する。
は、対時間振幅変化率を算出し、対時間振幅変化率異常
判定手段18aでは対時間振幅変化率算出手段15で算出さ
れた対時間振幅変化率と対時間振幅変化率異常判定しき
い値格納ファイル17aに格納されている対時間振幅変化
率異常判定しきい値を比較し、振幅変化率が異常判定し
きい値を超えているときに異常と判定する。
【0020】また、運転状態判定手段14で回転数が変化
していると判定されたときは対回転数振幅変化率算出手
段16、対回転数振幅変化率異常判定しきい値格納ファイ
ル17a、および対回転数振幅変化率異常判定手段18bを
用いて対回転数振幅変化率の異常判定を行う。
していると判定されたときは対回転数振幅変化率算出手
段16、対回転数振幅変化率異常判定しきい値格納ファイ
ル17a、および対回転数振幅変化率異常判定手段18bを
用いて対回転数振幅変化率の異常判定を行う。
【0021】つまり、対回転数振幅変化率算出手段16で
は、対回転数振幅変化率を算出し、対回転数振幅変化率
異常判定手段18bでは対回転数振幅変化率算出手段16で
算出した対回転数振幅変化率と対回転数振幅変化率異常
判定しきい値格納ファイル17bに格納されている対回転
数振幅変化率異常判定しきい値を比較し、振幅変化率が
異常判定しきい値を超えているときに異常と判定する。
は、対回転数振幅変化率を算出し、対回転数振幅変化率
異常判定手段18bでは対回転数振幅変化率算出手段16で
算出した対回転数振幅変化率と対回転数振幅変化率異常
判定しきい値格納ファイル17bに格納されている対回転
数振幅変化率異常判定しきい値を比較し、振幅変化率が
異常判定しきい値を超えているときに異常と判定する。
【0022】判定結果出力手段19では対時間振幅変化率
異常判定手段18aと対回転数振幅変化率異常判定手段18
bの判定結果を表示装置20に出力する。次に、このよう
に構成された振動監視装置の作用について、図2に示す
異常判定処理のフローチャートを参照して説明する。
異常判定手段18aと対回転数振幅変化率異常判定手段18
bの判定結果を表示装置20に出力する。次に、このよう
に構成された振動監視装置の作用について、図2に示す
異常判定処理のフローチャートを参照して説明する。
【0023】ステップS11ではタービン発電機の回転
数、振動振幅値を入力し、ステップS12ではタービン発
電機の回転数が一定であるか変化しているかの判定を行
う。ステップS12で回転数が一定であると判定されたと
き、ステップS13aにおいて対時間振幅変化率の算出を
行い、ステップS14aではステップS13aで算出した対
時間振幅変化率と装置に格納されている対時間振幅変化
率異常判定しきい値を比較し、振幅変化率がしきい値を
超えたとき、異常と判定する。
数、振動振幅値を入力し、ステップS12ではタービン発
電機の回転数が一定であるか変化しているかの判定を行
う。ステップS12で回転数が一定であると判定されたと
き、ステップS13aにおいて対時間振幅変化率の算出を
行い、ステップS14aではステップS13aで算出した対
時間振幅変化率と装置に格納されている対時間振幅変化
率異常判定しきい値を比較し、振幅変化率がしきい値を
超えたとき、異常と判定する。
【0024】また、ステップS12で回転数が変化してい
ると判定されたとき、ステップS13bにおいて対回転数
振幅変化率の算出を行い、ステップS14aではステップ
S13bで算出した対回転数振幅変化率と装置に格納され
ている対回転数振幅変化率異常判定しきい値を比較し、
振幅変化率がしきい値を超えていたとき、異常と判定す
る。
ると判定されたとき、ステップS13bにおいて対回転数
振幅変化率の算出を行い、ステップS14aではステップ
S13bで算出した対回転数振幅変化率と装置に格納され
ている対回転数振幅変化率異常判定しきい値を比較し、
振幅変化率がしきい値を超えていたとき、異常と判定す
る。
【0025】ステップS15では、ステップS14aまたは
ステップS14bでの異常判定結果を外部に出力する。こ
のように上記実施例においては、タービン発電機の運転
状態として回転数が一定しているときは対時間振幅変化
率、また回転数が変化しているときは対回転数振幅変化
率を用いて異常判定を行うようにしたので、回転数の変
化速度の影響を受けずに振幅変化率の異常判定を行うこ
とができる。
ステップS14bでの異常判定結果を外部に出力する。こ
のように上記実施例においては、タービン発電機の運転
状態として回転数が一定しているときは対時間振幅変化
率、また回転数が変化しているときは対回転数振幅変化
率を用いて異常判定を行うようにしたので、回転数の変
化速度の影響を受けずに振幅変化率の異常判定を行うこ
とができる。
【0026】なお、図3および図4は対回転数振幅変化
率の算出方法を示す。図3は一定回転数間隔Soで計測
した振動振幅値を規定個数N用いて最小二乗法による一
次近似を行い、その結果求められた近似直線Mの傾きを
対回転数振幅変化率とする方法を示している。
率の算出方法を示す。図3は一定回転数間隔Soで計測
した振動振幅値を規定個数N用いて最小二乗法による一
次近似を行い、その結果求められた近似直線Mの傾きを
対回転数振幅変化率とする方法を示している。
【0027】また、図4は一定時間間隔Toで計測した
回転数および振動振幅値をそれぞれ規定個数N用いて最
小二乗法による一次近似を行い、その結果求められた近
似直線PおよびQの傾きα,βよりβをαで除すること
により対回転数振幅変化率を算出する方法を示してい
る。
回転数および振動振幅値をそれぞれ規定個数N用いて最
小二乗法による一次近似を行い、その結果求められた近
似直線PおよびQの傾きα,βよりβをαで除すること
により対回転数振幅変化率を算出する方法を示してい
る。
【0028】
【発明の効果】このように本発明によれば、回転数が一
定しているときは対時間振幅変化率、また回転数が変化
しているときは対回転数振幅変化率を用いて異常判定す
ることにより、回転数が変化しているときに回転数の変
化速度に応じた異常判定しきい値の切換えが不要とな
り、また異常判定しきい値の設定数を削減した振動監視
装置を提供することができる。
定しているときは対時間振幅変化率、また回転数が変化
しているときは対回転数振幅変化率を用いて異常判定す
ることにより、回転数が変化しているときに回転数の変
化速度に応じた異常判定しきい値の切換えが不要とな
り、また異常判定しきい値の設定数を削減した振動監視
装置を提供することができる。
【図1】本発明による振動監視装置の実施例を示す機能
ブロック図。
ブロック図。
【図2】本発明の処理手順を示すフローチャート。
【図3】対回転数振動変化率の算出方法を説明するため
の図。
の図。
【図4】対回転数振動変化率の算出方法を説明するため
の図。
の図。
【図5】従来の振動監視装置を示す機能ブロック図。
【図6】従来の処理手順を示すフローチャート。
【図7】対時間振幅変化率の算出方法を説明するための
図。
図。
【図8】回転体の振動変化特性で説明するための図。
1 発電プラント 12 振動監視装置 13 データ入力手段 14 運転状態判定手段 15 対時間振幅変化率算出手段 16 対回転数振幅変化率算出手段 17a 対時間振幅変化率異常判定しきい値格納ファイル 17b 対回転数振幅変化率異常判定しきい値格納ファイ
ル 18a 対時間振幅変化率異常判定手段 18b 対回転数振幅変化率異常判定手段 19 判定結果出力手段 20 表示装置
ル 18a 対時間振幅変化率異常判定手段 18b 対回転数振幅変化率異常判定手段 19 判定結果出力手段 20 表示装置
Claims (4)
- 【請求項1】 回転体の振動を監視することにより回転
体の異常を判定する振動監視方法において、前記回転体
の回転数および振動振幅値を入力し、回転数が一定と判
定したとき対時間振幅変化率について算定してその振幅
変化率が決められた値よりも大きいとき異常と判定し、
あるいは回転数が変化していると判定したとき対回転数
振幅変化率について算定して、その振幅変化率が決めら
れた値を超えたとき、異常と判定することを特徴とする
振動監視方法。 - 【請求項2】 一定回転数間隔で計測した振動振幅値を
規定個数用いて最小二乗法による一次近似を行い求めた
近似直線の傾きを対回転数振幅変化率に定めることを特
徴とする請求項1記載の振動監視方法。 - 【請求項3】 一定時間間隔で計測した回転数および振
動振幅値をそれぞれ規定個数用いて最小二乗法による一
次近似を行って求めた振動振幅値の近似直線の傾きを回
転数の近似直線の傾きで除した値を対回転数振幅変化率
に定めることを特徴とする請求項1記載の振動監視方
法。 - 【請求項4】 回転体の振動を監視することにより回転
体の異常を判定する振動監視装置において、回転体の回
転数が一定であるか、変化しているかを判定する運転状
態判定手段と、前記運転状態判定手段で回転数が一定で
あると判定されたとき、対時間振幅変化率を、あるいは
回転数が変化していると判定されたとき、対回転数振幅
変化率を算出するデータ処理手段と、対時間振幅変化率
の異常判定しきい値および対回転数振幅変化率の異常判
定しきい値をそれぞれ格納する異常判定しきい値格納フ
ァイルと、 前記データ処理手段から与えられる対時間振幅変化率と
前記異常判定しきい値格納ファイルから与えられる対時
間振幅変化率異常判定しきい値とを比較し、あるいは対
回転数振幅変化率と、対回転数振幅変化率異常判定しき
い値とを比較し、振幅変化率が異常判定しきい値を超え
たとき、異常と判定する異常判定手段と、前記異常判定
手段で得られた判定結果を出力する判定結果手段とを具
備してなる振動監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4074494A JPH07248254A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 振動監視方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4074494A JPH07248254A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 振動監視方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07248254A true JPH07248254A (ja) | 1995-09-26 |
Family
ID=12589147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4074494A Pending JPH07248254A (ja) | 1994-03-11 | 1994-03-11 | 振動監視方法およびその装置 |
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1994
- 1994-03-11 JP JP4074494A patent/JPH07248254A/ja active Pending
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