JPH07253665A - Photosensitive resin composition and photosensitive film using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive film using the same

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JPH07253665A
JPH07253665A JP6044584A JP4458494A JPH07253665A JP H07253665 A JPH07253665 A JP H07253665A JP 6044584 A JP6044584 A JP 6044584A JP 4458494 A JP4458494 A JP 4458494A JP H07253665 A JPH07253665 A JP H07253665A
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JP
Japan
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group
photosensitive resin
resin composition
photosensitive
film
Prior art date
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JP6044584A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsunori Tsuchiya
勝則 土屋
Tetsuya Yoshida
哲也 吉田
Hiroshi Yamazaki
宏 山崎
Mitsuaki Watanabe
満明 渡辺
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain a photosensitive resin compsn. having good workability and excellent flexibility, heat resistance against soldering, etc., and to obtain a photosensitive film using this compsn. CONSTITUTION:This photosensitive resin compsn. contains (a) an ethylene-type unsatd. group-contg. polymerizable compd. containing a polymerizable compd. expressed by formula, (b) thermoplastic polymer having carboxyl groups, (c) photopolymn. initiator to produce flee radicals by active rays. This photosensitive resin can be developed with an alkali soln. In formula, A is an alkylene group of 2-12 carbon number or vinylene group, R<1> and R<5> are independently hydrogen atoms or methyl groups, R<2>, R<3> and R<4> are independently alkyl groups of 2 to 8 carbon number, w and z are integers 1 to 20, x is an integer 2 to 200, and y is an integer 1 to 100. This compsn. is used for the photosensitive film.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、感光性樹脂組成物に関
し、さらに詳しくはフレキシブルプリント配線板等の製
造に使用し得る保護膜(カバーレイ)形成に好適な感光
性樹脂組成物及び感光性エレメントに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more specifically to a photosensitive resin composition suitable for forming a protective film (coverlay) which can be used for manufacturing flexible printed wiring boards and the like. Regarding elements.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント配線板の製造には液状又
はフィルム状の感光性樹脂組成物が用いられており、例
えば、銅張積層板の銅箔をエッチングするレジストとし
て、また配線の形成されたプリント配線板には、はんだ
付け位置の限定及び配線の保護の目的に用いられてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, a liquid or film-shaped photosensitive resin composition has been used in the production of printed wiring boards. For example, it is used as a resist for etching a copper foil of a copper-clad laminate and also for forming wiring. The printed wiring board is used for the purpose of limiting the soldering position and protecting the wiring.

【0003】プリント配線板には、カメラなどの小型機
器に折り曲げて組み込めることが可能なフィルム状のも
のがあり、これはFPCと呼ばれている。このFPCに
もはんだ付け位置の限定及び配線の保護のためにレジス
トが必要であり、それはカバーレイまたはカバーコート
と呼ばれている。カバーレイは接着剤層を有するポリイ
ミドやポリエステルフィルムを所定の型に打ち抜いた後
FPC上に熱圧着などで形成される。カバーコートは熱
硬化や光硬化性のインクを印刷、硬化させて形成され
る。
There is a film-like printed wiring board that can be folded and incorporated into a small device such as a camera, which is called an FPC. This FPC also needs a resist for limiting the soldering position and protecting the wiring, which is called a cover lay or a cover coat. The coverlay is formed by punching a polyimide or polyester film having an adhesive layer into a predetermined mold and then thermocompression-bonding it on the FPC. The cover coat is formed by printing and curing a thermosetting or photocurable ink.

【0004】FPCのはんだ付け位置の限定及び配線の
保護の目的に用いられるこれらのレジストには可撓性が
特に重要な特性となる。そのため可撓性に優れるポリイ
ミドカバーレイが多く用いられている。しかし、このカ
バーレイは型抜きのために高価な金型が必要であり、ま
た型抜きしたフィルムの人手による張り合わせ、接着剤
のはみ出しなどのため歩留まりが低く、製造コストが高
くなりFPCの市場拡大の障害となっている。更に、近
年の高密度化に対応することが困難となっている。
Flexibility is a particularly important property of these resists used for the purpose of limiting the soldering position of the FPC and protecting the wiring. Therefore, a polyimide coverlay having excellent flexibility is often used. However, this cover lay requires an expensive die for die cutting, and the yield is low due to the manual laminating of die cut films and the protrusion of adhesive, resulting in high manufacturing costs and expanding the FPC market. Has become an obstacle. Further, it is difficult to cope with the recent increase in density.

【0005】そこで、写真現像法(イメージ露光に続く
現像により画像を形成する方法)で寸法精度、解像性に
優れた高精度、高信頼性のカバーレイを形成する感光性
樹脂組成物、特に感光性フィルムの出現が望まれてき
た。この目的のために、ソルダマスク形成用感光性樹脂
組成物を用いることが試みられた。例えば、アクリル系
ポリマー及び光重合性モノマーを主成分とする感光性樹
脂組成物(特開昭53−56018号公報、同54−1
018号公報等)、耐熱性の良好な感光性樹脂組成物と
して、主鎖にカルコン基を有する感光性エポキシ樹脂及
びエポキシ樹脂硬化剤を主成分とする組成物(特開昭5
4−82073号公報、同58−62636号公報
等)、エポキシ基を含有するノボラック型エポキシアク
リレート及び光重合開始剤を主成分とする組成物(特開
昭61−272号公報等)、安全性及び経済性に優れた
アルカリ水溶液で現像可能なソルダマスク形成用感光性
樹脂組成物としては、カルボキシル基含有ポリマー、単
量体、光重合開始剤及び熱硬化性樹脂を主成分とする組
成物(特開昭48−73148公報、同57−1782
37号公報、同58−42040号公報、同59−15
1152号公報等)等が挙げられるが、いずれも可撓性
が不十分であった。
Therefore, a photosensitive resin composition for forming a highly accurate and highly reliable coverlay excellent in dimensional accuracy and resolution by a photographic developing method (a method of forming an image by developing following image exposure), particularly The advent of photosensitive films has been desired. For this purpose, it has been attempted to use a photosensitive resin composition for forming a solder mask. For example, a photosensitive resin composition containing an acrylic polymer and a photopolymerizable monomer as main components (JP-A-53-56018 and JP-A-54-1).
No. 018, etc.), as a photosensitive resin composition having good heat resistance, a composition containing a photosensitive epoxy resin having a chalcone group in its main chain and an epoxy resin curing agent as main components (Japanese Patent Laid-open Publication No. Sho 5 (1999) -58242).
No. 4-82073, No. 58-62636, etc.), a composition containing an epoxy group-containing novolac type epoxy acrylate and a photopolymerization initiator as main components (JP-A-61-272, etc.), and safety. As the photosensitive resin composition for forming a solder mask, which is excellent in economic efficiency and can be developed with an alkaline aqueous solution, a composition mainly containing a carboxyl group-containing polymer, a monomer, a photopolymerization initiator and a thermosetting resin (special JP-A-48-73148, 57-1782
37, 58-42040 and 59-15.
No. 1152, etc.), but the flexibility was insufficient.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の技術の欠点を解消し、作業性が良好で可撓性、はん
だ耐熱性に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感
光性フィルムを提供するものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the prior art and provides a photosensitive resin composition having good workability, flexibility and solder heat resistance, and a photosensitive resin composition using the same. To provide a heat-resistant film.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、(a)一般式
(1)
The present invention provides (a) general formula (1)

【化4】 〔式中、Aは炭素数2〜12のアルキレン基、ビニレン
基、
[Chemical 4] [In the formula, A is an alkylene group having 2 to 12 carbon atoms, a vinylene group,

【化5】 (ここで、R6はメチレン基又はイミノ基を表す)又は
イソホロン基を表し、R及びRはそれぞれ独立して
水素原子又はメチル基を表し、R2、R3及びR4はそれ
ぞれ独立して炭素数2〜8のアルキレン基を表し、w及
びzはそれぞれ独立して1〜20の整数であり、xは2
〜200の整数であり、yは1〜100の整数である〕
で示される重合性化合物を含むエチレン性不飽和基含有
重合性化合物、(b)カルボキシル基を有する熱可塑性
重合体及び(c)活性光により遊離ラジカルを生成する
光重合開始剤を含有してなるアルカリ水溶液で現像可能
な感光性樹脂組成物並びに支持フィルム上に前記感光性
樹脂組成物の層を塗布、乾燥してなる感光性フィルムに
関する。
[Chemical 5] (Wherein R 6 represents a methylene group or an imino group) or an isophorone group, R 1 and R 5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 2 , R 3 and R 4 each independently Represents an alkylene group having 2 to 8 carbon atoms, w and z are each independently an integer of 1 to 20, and x is 2
To an integer of 200, and y is an integer of 1 to 100]
An ethylenically unsaturated group-containing polymerizable compound containing a polymerizable compound represented by the formula (b), a thermoplastic polymer having a carboxyl group (b), and (c) a photopolymerization initiator capable of generating a free radical by active light. The present invention relates to a photosensitive resin composition developable with an alkaline aqueous solution and a photosensitive film obtained by coating a layer of the photosensitive resin composition on a support film and drying the layer.

【0008】以下に、本発明の感光性樹脂組成物に含有
される各成分について詳述する。本発明の感光性樹脂組
成物は、必須成分(a)として一般式(1)で示される
重合性化合物を含むエチレン性不飽和基含有重合性化合
物を含有する。一般式(1)において、Aで表される炭
素数2〜12のアルキレン基としては、例えば、エチレ
ン基、n−プロピレン基、イソプロピレン基、n−ブチ
レン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ネオペンチレ
ン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、n−オクチレン
基、2−エチルヘキシレン基、ノニレン基、デシレン
基、ウンデシレン基、ドデシレン基等が挙げられる。炭
素数が1のもの又は13以上のものは材料の入手が困難
となる。Aで表される炭素数2〜12のアルキレン基、
ビニレン基、
The respective components contained in the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail below. The photosensitive resin composition of the present invention contains an ethylenically unsaturated group-containing polymerizable compound containing a polymerizable compound represented by the general formula (1) as an essential component (a). Examples of the alkylene group having 2 to 12 carbon atoms represented by A in the general formula (1) include an ethylene group, an n-propylene group, an isopropylene group, an n-butylene group, an isobutylene group, a pentylene group, and a neopentylene group. , Hexylene group, heptylene group, n-octylene group, 2-ethylhexylene group, nonylene group, decylene group, undecylene group, dodecylene group and the like. If the carbon number is 1 or 13 or more, it is difficult to obtain the material. An alkylene group having 2 to 12 carbon atoms represented by A,
Vinylene group,

【化6】 (ここで、R6はメチレン基又はイミノ基を表す)又は
イソホロン基は、アルキル基、アルコキシ基若しくはハ
ロゲン原子で置換されるか又は水素添加されていてもよ
い。一般式(1)において、R2、R3又はR4で表され
る炭素数が2〜8のアルキレン基としては、例えば、エ
チレン基、n−プロピレン基、イソプロピレン基、n−
ブチレン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ネオペン
チレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、n−オクチレ
ン基、2−エチルヘキシレン基等が挙げられる。炭素数
が1のもの又は9以上のものは材料の入手が困難とな
る。一般式(1)におけるw及びzはそれぞれ独立して
1〜20の整数とされる。w及びzが21以上のものは
材料の入手が困難となる。一般式(1)におけるx及び
yはそれぞれ2〜200及び1〜100の整数とされ
る。xが1の場合は、カバーレイとして十分な可撓性が
得られず、xが201以上の場合は、十分な光重合性が
得られず感度の低下をもたらす。同様にyが0の場合
は、カバーレイとして十分な可撓性が得られず、101
以上の場合は、十分な光重合性が得られず感度の低下を
もたらす。一般式(1)で示される重合性化合物の重量
平均分子量は、可撓性、光重合性等の点から、1,00
0〜50,000であることが好ましい。
[Chemical 6] (Wherein R 6 represents a methylene group or an imino group) or the isophorone group may be substituted with an alkyl group, an alkoxy group or a halogen atom, or may be hydrogenated. In the general formula (1), the alkylene group having 2 to 8 carbon atoms represented by R 2 , R 3 or R 4 includes, for example, ethylene group, n-propylene group, isopropylene group, n-
Examples thereof include butylene group, isobutylene group, pentylene group, neopentylene group, hexylene group, heptylene group, n-octylene group, 2-ethylhexylene group and the like. If the carbon number is 1 or 9 or more, it is difficult to obtain the material. W and z in the general formula (1) are each independently an integer of 1 to 20. If w and z are 21 or more, it is difficult to obtain the material. X and y in the general formula (1) are integers of 2 to 200 and 1 to 100, respectively. When x is 1, sufficient flexibility cannot be obtained as a coverlay, and when x is 201 or more, sufficient photopolymerizability is not obtained and sensitivity is lowered. Similarly, when y is 0, the coverlay does not have sufficient flexibility, and
In the above cases, sufficient photopolymerizability cannot be obtained and the sensitivity is lowered. The weight average molecular weight of the polymerizable compound represented by the general formula (1) is 1,00 from the viewpoints of flexibility, photopolymerizability and the like.
It is preferably 0 to 50,000.

【0009】一般式(1)で示される重合性化合物は、
例えば、ポリアルキルジオール(例えば、ポリ1,4−
ブタンジオール、ポリ1,6−ヘキサンジオール)と、
2個のイソシアナート基を含有する化合物(例えば、エ
チレンジイソシアネート、プロピレンジイソシアネー
ト、ブチレン−1,3−ジイソシアネート、1,6−ヘ
キサメチレンジイソシアネート、2,2,4−トリメチ
ル−1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート、2,4
−ジメチル−6−エチルオクタメチレンジイソシアネー
ト、シクロヘキシレンジイソシアネート、シクロペンチ
レンジイソシアネート、1,4−ジイソシアネートメチ
ルシクロヘキサン、1,3−ジイソシアネーチルシクロ
ヘキサン、イソホロンジイソシアネート、2,4−トリ
レンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネ
ート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、
ジアニシジンジイソシアネート、トリデンジイソシアネ
ート、メタキシリレンジイソシアネート、1,5−ナフ
タレンジイソシアネート、トランスビニレンジイソシア
ネート、2,6−ジイソシアネートメチルカプロエー
ト、水素化トリレンジイソシアネート、水素化キシリレ
ンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートの二量
体、トリレンジイソシアネートの三量体等の1種)と、
分子中にヒドロキシル基とアクリロイル基を有する化合
物(例えば、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−
ヒドロキシエチルメタクリレート等の1種)とを付加反
応させることにより得ることができる。また、これらの
例えば、ポリアルキルジオールと2個のイソシアナート
基を含有する化合物及び分子中にヒドロキシル基とアク
リロイル基を有する化合物の反応に際して用いるそれぞ
れの化合物は単独でまたは2種以上組み合わせて用いる
ことができる。市販品としては、例えばUF−700
3、UF−8003、U2−02(いずれも共栄社化学
株式会社製、商品名)等がある。一般式(1)で示され
る重合性化合物は、単独で又は2種以上組み合わせて用
いられる。
The polymerizable compound represented by the general formula (1) is
For example, polyalkyl diols (eg poly 1,4-
Butanediol, poly (1,6-hexanediol),
Compounds containing two isocyanate groups (for example, ethylene diisocyanate, propylene diisocyanate, butylene-1,3-diisocyanate, 1,6-hexamethylene diisocyanate, 2,2,4-trimethyl-1,6-hexamethylene diisocyanate , 2, 4
-Dimethyl-6-ethyloctamethylene diisocyanate, cyclohexylene diisocyanate, cyclopentylene diisocyanate, 1,4-diisocyanate methylcyclohexane, 1,3-diisocyanate cyclohexane, isophorone diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2, 6-tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate,
Of dianisidine diisocyanate, tridene diisocyanate, metaxylylene diisocyanate, 1,5-naphthalene diisocyanate, trans vinylene diisocyanate, 2,6-diisocyanate methyl caproate, hydrogenated tolylene diisocyanate, hydrogenated xylylene diisocyanate, tolylene diisocyanate 1 type of dimer, trimer of tolylene diisocyanate, etc.),
A compound having a hydroxyl group and an acryloyl group in the molecule (for example, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-
It can be obtained by an addition reaction with 1) such as hydroxyethyl methacrylate. In addition, for example, each compound used in the reaction of a compound having a polyalkyldiol and two isocyanate groups and a compound having a hydroxyl group and an acryloyl group in the molecule may be used alone or in combination of two or more kinds. You can As a commercially available product, for example, UF-700
3, UF-8003, U2-02 (all manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name) and the like. The polymerizable compound represented by the general formula (1) is used alone or in combination of two or more kinds.

【0010】(a)成分には、更に一般式(2)The component (a) is further represented by the general formula (2)

【化7】 〔式中、R7及びR8はそれぞれ独立して水素原子又はメ
チル基を表し、p及びqはp+qが4〜30となるよう
に選ばれる正の整数である〕で示される重合性化合物を
含有させることが好ましい。
[Chemical 7] [Wherein, R 7 and R 8 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and p and q are positive integers selected so that p + q is 4 to 30]. It is preferable to contain it.

【0011】一般式(2)で示される重合性化合物とし
ては、例えば、2,2′−ビス(4−メタクリロキシペ
ンタエトキシフェニル)プロパン、2,2′−ビス(4
−アクロキシペンタエトキシフェニル)プロパン、2,
2′−ビス(4−メタクリロキシテトラエトキシフェニ
ル)プロパン等があり、市販品としては、例えば、NK
エステルBPE−500(新中村化学工業株式会社製、
商品名)等がある。
Examples of the polymerizable compound represented by the general formula (2) include 2,2'-bis (4-methacryloxypentaethoxyphenyl) propane and 2,2'-bis (4).
-Acryloxypentaethoxyphenyl) propane, 2,
There are 2'-bis (4-methacryloxytetraethoxyphenyl) propane and the like, and commercially available products include, for example, NK.
Ester BPE-500 (manufactured by Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.,
Product name) etc.

【0012】一般式(2)で示される重合性化合物は単
独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。p+qが
4未満の場合は可撓性が低下し、30を超える場合は系
の親水性が増して現像時の密着性が低下する。(a)成
分としては、一般式(1)で示される重合性化合物及び
一般式(2)で示される重合性化合物以外の重合性化合
物として、常圧で沸点が100℃以上であるものを含有
してもよい。このようなものとしては、例えば、アクリ
ル酸、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−
プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、n
−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、シク
ロヘキシルアクリレート、ベンジルアクリレート、カル
ビトールアクリレート、メトキシエチルアクリレート、
エトキシエチルアクリレート、ブトキシエチルアクリレ
ート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、ブチレングリコールモノアクリレー
ト、N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,
N−ジエチルアミノエチルアクリレート、グリシジルア
クリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、ペ
ンタエリスリトールモノアクリレート、トリメチロール
プロパンモノアクリレート、アリルアクリレート、1,
3−プロピレングリコールジアクリレート、1,4−ブ
チレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキシレン
グリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ
アクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレー
ト、2,2−ビス(4−アクリロキシジエトキシフェニ
ル)プロパン、2,2−ビス(4−アクリロキシプロピ
ルキシフェニル)プロパン、トリメチロールプロパンジ
アクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、トリアクリルホルマー
ル、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、トリ
ス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌル酸のアクリル
酸エステル、
The polymerizable compound represented by the general formula (2) may be used alone or in combination of two or more kinds. When p + q is less than 4, flexibility decreases, and when it exceeds 30, hydrophilicity of the system increases and adhesion at development decreases. As the component (a), a polymerizable compound other than the polymerizable compound represented by the general formula (1) and the polymerizable compound represented by the general formula (2), which has a boiling point of 100 ° C. or higher at normal pressure, is contained. You may. Examples of such substances include acrylic acid, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-
Propyl acrylate, isopropyl acrylate, n
-Butyl acrylate, isobutyl acrylate, cyclohexyl acrylate, benzyl acrylate, carbitol acrylate, methoxyethyl acrylate,
Ethoxyethyl acrylate, butoxyethyl acrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acrylate, butylene glycol monoacrylate, N, N-dimethylaminoethyl acrylate, N,
N-diethylaminoethyl acrylate, glycidyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, pentaerythritol monoacrylate, trimethylolpropane monoacrylate, allyl acrylate, 1,
3-propylene glycol diacrylate, 1,4-butylene glycol diacrylate, 1,6-hexylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, dipropylene glycol diacrylate, 2,2-bis (4-acryloxydiethoxy) Phenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloxypropyloxyphenyl) propane, trimethylolpropane diacrylate, pentaerythritol diacrylate,
Trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, triacrylic formal, tetramethylolmethane tetraacrylate, acrylic acid ester of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid,

【化8】 (式中、mは1〜30の正の整数である)、メタクリル
酸、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プ
ロピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、
ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、シ
クロヘキシルメタクリレート、ベンジルメタクリレー
ト、オクチルメタクリレート、エチルヘキシルメタクリ
レート、メトキシエチルメタクリレート、エトキシエチ
ルメタクリレート、ブトキシエチルメタクリレート、ヒ
ドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメ
タクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、ヒド
ロキシペンチルメタクリレート、N,N−ジメチルアミ
ノメタクリレート、N,N−ジエチルアミノメタクリレ
ート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフ
リルメタクリレート、メタクリロキシプロピルトリメト
キシシラン、アリルメタクリレート、トリメチロールプ
ロパンモノメタクリレート、ペンタエリスリトールモノ
メタクリレート、1,3−ブチレングリコールジメタク
リレート、1,6−ヘキシレングリコールジメタクリレ
ート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、2,
2−ビス(4−メタクリロキシジエトキシフェニル)プ
ロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、
ペンタエリスリトールトリメタクリレート、テトラメチ
ロールメタンテトラメタクリレート、トリス(2−ヒド
ロキシエチル)イソシアヌル酸のメタクリル酸エステ
ル、
[Chemical 8] (In the formula, m is a positive integer of 1 to 30), methacrylic acid, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, isopropyl methacrylate,
Butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, octyl methacrylate, ethylhexyl methacrylate, methoxyethyl methacrylate, ethoxyethyl methacrylate, butoxyethyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl methacrylate, hydroxybutyl methacrylate, hydroxypentyl methacrylate, N, N- Dimethylaminomethacrylate, N, N-diethylaminomethacrylate, glycidylmethacrylate, tetrahydrofurfurylmethacrylate, methacryloxypropyltrimethoxysilane, allylmethacrylate, trimethylolpropane monomethacrylate, pentaerythritol monomethacrylate, 1 3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, 2,
2-bis (4-methacryloxydiethoxyphenyl) propane, trimethylolpropane trimethacrylate,
Pentaerythritol trimethacrylate, tetramethylolmethane tetramethacrylate, methacrylic acid ester of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid,

【化9】 (式中、nは1〜30の正の整数である)、トリメチル
ヘキサメチレンジイソシアナート/2−ヒドロキシエチ
ルアクリレート(1/2モル比)反応物、イソシアナー
トエチルメタアクリレート/水(2/1モル比)反応
物、クロトン酸ブチル、グリセリンモノクロネート、ビ
ニルブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニル
カプロエート、ビニルクロルアセテート、ビニルラクテ
ート、安息香酸ビニル、ジビニルサクシネート、ジビニ
ルフタレート、メタクリルアミド、N−メチルメタクリ
ルアミド、N−エチルメタクリルアミド、N−アリール
メタクリルアミド、N−ヒドロキシエチル−N−メチル
メタクリルアミド、アクリルアミド、N−t−ブチルア
クリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−イ
ソブトキシメチルアクリルアミド、N−ブトキシメチル
アクリルアミド、ダイアセトンアクリルアミド、ヘキシ
ルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、ビ
ニルトリエーテル、多価アルコールのポリビニルエーテ
ル、オルト又はパラ位にアルキル基、アルコキシ基、ハ
ロゲン、カルボキシル基、アリル基等の置換基を持った
スチレン誘導体、ジビニルベンゼン、アリルオキシエタ
ノール、ジカルボン酸のジアリルエステル、N−ビニル
オキサゾリドン、N−ビニルイミダゾール、N−ビニル
ピロリドン、N−ビニルカルバゾールなどを用いること
ができる。
[Chemical 9] (In the formula, n is a positive integer of 1 to 30), trimethylhexamethylene diisocyanate / 2-hydroxyethyl acrylate (1/2 molar ratio) reaction product, isocyanate ethyl methacrylate / water (2/1 (Molar ratio) Reactant, butyl crotonic acid, glycerin monoclonate, vinyl butyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl caproate, vinyl chloroacetate, vinyl lactate, vinyl benzoate, divinyl succinate, divinyl phthalate, methacrylamide, N- Methyl methacrylamide, N-ethyl methacrylamide, N-aryl methacrylamide, N-hydroxyethyl-N-methyl methacrylamide, acrylamide, Nt-butyl acrylamide, N-methylol acrylamide, N-isobutoxymethyl amide Rylamide, N-butoxymethyl acrylamide, diacetone acrylamide, hexyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ether, vinyl triether, polyvinyl alcohol of polyhydric alcohol, substitution of alkyl group, alkoxy group, halogen, carboxyl group, allyl group or the like at ortho or para position A styrene derivative having a group, divinylbenzene, allyloxyethanol, a diallyl ester of dicarboxylic acid, N-vinyloxazolidone, N-vinylimidazole, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcarbazole and the like can be used.

【0013】一般式(1)で示される重合性化合物を含
むエチレン性不飽和基含有重合性化合物の配合量は、
(a)及び(b)成分の合計量の10〜70重量%とす
ることが好ましい。10重量%未満ではカバーレイとし
ての可撓性が不充分な傾向があり、70重量%を超える
と、はんだ耐熱性が低下する傾向がある。一般式(1)
で示される重合性化合物の配合量は、可撓性の点から
(a)成分の25重量%以上とすることが好ましい。一
般式(2)で示される重合性化合物の配合量は、一般式
(1)で示される重合性化合物を必要量配合した上で
(a)成分の5〜60重量%とすることが好ましい。5
重量%未満では可撓性、はんだ耐熱性等が不充分となる
傾向があり、60重量%を超えると可撓性が低下する傾
向がある。
The amount of the ethylenically unsaturated group-containing polymerizable compound containing the polymerizable compound represented by the general formula (1) is
It is preferably 10 to 70% by weight of the total amount of the components (a) and (b). If it is less than 10% by weight, flexibility as a coverlay tends to be insufficient, and if it exceeds 70% by weight, solder heat resistance tends to be lowered. General formula (1)
From the viewpoint of flexibility, it is preferable that the compounding amount of the polymerizable compound represented by is 25% by weight or more of the component (a). The compounding amount of the polymerizable compound represented by the general formula (2) is preferably 5 to 60% by weight of the component (a) after the necessary amount of the polymerizable compound represented by the general formula (1) is compounded. 5
If it is less than 60% by weight, flexibility, solder heat resistance and the like tend to be insufficient, and if it exceeds 60% by weight, flexibility tends to decrease.

【0014】本発明の感光性樹脂組成は、必須成分
(b)としてカルボキシル基を有する熱可塑性重合体を
含有する。このような熱可塑性重合体は、重量平均分子
量が20,000〜300,000であることが好まし
い。また、カルボキシル基含有率が15〜50モル%の
ものが好ましく、2種以上を併用してもよい。また、こ
のカルボキシル基を有する熱可塑性重合体は、アルカリ
水溶液に可溶または膨潤可能であることが好ましいが、
感光性樹脂組成物としてアルカリ水溶液に可溶であれば
よい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains a thermoplastic polymer having a carboxyl group as an essential component (b). Such a thermoplastic polymer preferably has a weight average molecular weight of 20,000 to 300,000. Further, those having a carboxyl group content of 15 to 50 mol% are preferable, and two or more kinds may be used in combination. Further, the thermoplastic polymer having a carboxyl group is preferably soluble or swellable in an alkaline aqueous solution,
The photosensitive resin composition may be soluble in an alkaline aqueous solution.

【0015】(b)カルボキシル基を有する熱可塑性重
合体としては、ビニル共重合体が好ましく、ビニル共重
合体に用いられる共重合性単量体としては、例えば、ア
クリル酸、メタクリル酸等とメタクリル酸メチル、メタ
クリル酸ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メ
タクリル酸ラウリル、アクリル酸エチル、アクリル酸メ
チル、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエ
ン、N−ビニルピロリドン、2−ヒドロキシエチルメタ
クリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、アク
リルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、
ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノ
エチルアクリレート等が用いられる。また、スチレン/
マレイン酸共重合体のハーフエステル等も用いられる。
As the thermoplastic polymer having a carboxyl group (b), a vinyl copolymer is preferable, and examples of the copolymerizable monomer used in the vinyl copolymer include acrylic acid, methacrylic acid and methacrylic acid. Methyl acid, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, lauryl methacrylate, ethyl acrylate, methyl acrylate, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, N-vinylpyrrolidone, 2-hydroxyethylmethacrylate, 2-hydroxyethyl Acrylate, acrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile,
Dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate, etc. are used. Also, styrene /
A half ester of a maleic acid copolymer or the like is also used.

【0016】(b)成分の配合量は、(a)及び(b)
成分の合計量の30〜70重量%とすることが好まし
い。30重量%未満ではアルカリ現像性が低下する傾向
があり、感光性フィルムとした場合感光性樹脂組成物層
が柔らかくなりフィルム端面からのしみ出す傾向があ
る。また、70重量%を超えると感度の低下やはんだ耐
熱性の低下が起こる傾向がある。
The blending amount of the component (b) is (a) and (b).
It is preferably 30 to 70% by weight of the total amount of the components. If it is less than 30% by weight, the alkali developability tends to decrease, and when it is used as a photosensitive film, the photosensitive resin composition layer becomes soft and tends to exude from the end surface of the film. If it exceeds 70% by weight, the sensitivity and the solder heat resistance tend to decrease.

【0017】本発明の感光性樹脂組成は、必須成分
(c)として活性光により遊離ラジカルを生成する光重
合開始剤を含有する。使用しうる光重合開始剤として
は、例えば、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチ
ルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,
2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアント
ラキノン等の置換又は非置換の多核キノン類、ベンゾイ
ン、ピバロン等のα−ケタルドニルアルコール類及びエ
ーテル類、α−フェニル−ベンゾイン、α,α−ジエト
キシアセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族アシロ
イン類、ベンゾフェノン、4,4′−ビスジアルキルア
ミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、2−メチルチ
オキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−
クロルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサント
ン、2−エチルチオキサントン等のチオキサントン類、
2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2
−モノホリノ−プロパノン−1が挙げられ、これらは単
独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
The photosensitive resin composition of the present invention contains, as an essential component (c), a photopolymerization initiator which produces free radicals by active light. Examples of usable photopolymerization initiators include 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,
Substituted or unsubstituted polynuclear quinones such as 2-benzanthraquinone and 2,3-diphenylanthraquinone, α-ketaldonyl alcohols and ethers such as benzoin and pivalone, α-phenyl-benzoin, α, α-diethoxy Α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloins such as acetophenone, benzophenone, aromatic ketones such as 4,4′-bisdialkylaminobenzophenone, 2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-
Thioxanthones such as chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, and 2-ethylthioxanthone,
2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2
-Monofolino-propanone-1 may be mentioned, and these may be used alone or in combination of two or more kinds.

【0018】(c)成分の配合量は、感度の点から
(a)及び(b)成分の合計量の0.01〜20重量%
とすることが好ましい。
From the viewpoint of sensitivity, the amount of the component (c) blended is 0.01 to 20% by weight of the total amount of the components (a) and (b).
It is preferable that

【0019】本発明の感光性樹脂組成物には、さらに、
メラミン樹脂等の熱硬化成分、染料、顔料、可塑剤、安
定剤などを必要に応じで添加してもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention further comprises
A thermosetting component such as a melamine resin, a dye, a pigment, a plasticizer, a stabilizer and the like may be added if necessary.

【0020】本発明の感光性樹脂組成物は、これを支持
体フィルム上に塗布、乾燥し、感光性フィルムとして使
用することもできる。支持体としては、重合体フィル
ム、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピ
レン、ポリエチレン等からなるフィルムが用いられ、ポ
リエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。これら
に重合体フィルムは、後に感光層から除去可能でなくて
はならないため、除去不可能となるような表面処理が施
されたものであったり、材質であってはならない。これ
らの重合体フィルムの厚さは、通常5〜100μm、好
ましくは10〜30μmである。これらの重合体フィル
ムの一つは感光層の支持フィルムとして、他の一つは感
光層の保護フィルムとして感光層の両面に積層してもよ
い。
The photosensitive resin composition of the present invention can be used as a photosensitive film by coating it on a support film and drying it. As the support, a polymer film, for example, a film made of polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene or the like is used, and a polyethylene terephthalate film is preferable. Since the polymer film must be capable of being removed from the photosensitive layer later, it must not be surface-treated or made of a material that cannot be removed. The thickness of these polymer films is usually 5 to 100 μm, preferably 10 to 30 μm. One of these polymer films may be laminated on both sides of the photosensitive layer as a support film for the photosensitive layer and the other as a protective film for the photosensitive layer.

【0021】感光性フィルムを製造するに際しては、ま
ず、(a)〜(d)成分を含む感光性樹脂組成物を溶剤
に均一に溶解する。溶剤は、感光性樹脂組成物を溶解す
る溶剤であればよく、例えば、アセトン、メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、メ
チルソロソルブ、エチルセロソルブ等のエーテル系溶
剤、ジクロルメタン、クロロホルム等の塩素化炭化水素
系溶剤、メチルアルコール、エチルアルコール等のアル
コール系溶剤などが用いられる。これらの溶剤は単独で
又は2種以上を組み合わせて用いられる。
In producing the photosensitive film, first, the photosensitive resin composition containing the components (a) to (d) is uniformly dissolved in a solvent. The solvent may be any solvent that dissolves the photosensitive resin composition, for example, a ketone solvent such as acetone, methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, an ether solvent such as methyl solosolve and ethyl cellosolve, chlorine such as dichloromethane and chloroform. Chemical hydrocarbon solvents, alcohol solvents such as methyl alcohol and ethyl alcohol, etc. are used. These solvents may be used alone or in combination of two or more.

【0022】次いで、溶液状に感光性樹脂組成物を前記
支持フィルム層としての重合体フィルム上に均一に塗布
した後、加熱及び/又は熱風吹き付けにより溶剤を除去
し、乾燥皮膜とする。乾燥皮膜の厚さには特に制限はな
く、通常、10〜100μm、好ましくは20〜60μ
mとされる。
Then, the photosensitive resin composition is uniformly applied as a solution on the polymer film as the support film layer, and then the solvent is removed by heating and / or blowing with hot air to form a dry film. The thickness of the dry film is not particularly limited and is usually 10 to 100 μm, preferably 20 to 60 μm.
m.

【0023】このようにして得られる感光層と重合体フ
ィルムとの2層からなる本発明の感光性フィルムは、そ
のまま又は感光層の他の面に保護フィルムを更に積層し
てロール状に巻き取って貯蔵される。
The photosensitive film of the present invention comprising the two layers of the photosensitive layer and the polymer film thus obtained is wound in a roll form as it is or on the other surface of the photosensitive layer which is further laminated with a protective film. Stored.

【0024】本発明の感光性フィルムを用いてフォトレ
ジスト画像を製造するに際しては、前記保護フィルムが
存在している場合には、保護フィルムを除去後、感光層
を加熱しながら基板に圧着させることにより積層する。
より好ましくは減圧下で積層する.積層される表面は、
通常、エッチング等により配線の形成されるFPCであ
るが、特に制限はない。感光層の加熱、圧着は通常90
〜130℃、圧着圧力2.94×105Pa(3kgf/cm2
で4000Pa(30mmHg)以下の減圧下で行われるが、
これらの条件には特に制限はない。本発明の感光性フィ
ルムを用いる場合には、感光層を前記のように加熱すれ
ば、予め基板を予熱処理することは必要でない。積層性
を更に向上させるために、基板の予熱処理を行うことも
できる。
In producing a photoresist image using the photosensitive film of the present invention, when the protective film is present, after removing the protective film, the photosensitive layer is heated and pressed onto the substrate. To stack.
More preferably, they are laminated under reduced pressure. The surface to be laminated is
Usually, it is an FPC in which wiring is formed by etching or the like, but there is no particular limitation. Heating and pressure bonding of the photosensitive layer is usually 90
~ 130 ° C, Crimping pressure 2.94 × 10 5 Pa (3kgf / cm 2 )
It is performed under reduced pressure of 4000 Pa (30 mmHg) or less.
There are no particular restrictions on these conditions. When the photosensitive film of the present invention is used, if the photosensitive layer is heated as described above, it is not necessary to preheat the substrate in advance. In order to further improve the stackability, the substrate may be preheated.

【0025】このようにして積層が完了した感光層は、
ついでネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光に
画像的に露光される。この際感光層上に存在する重合体
フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよく、
また不透明の場合には、当然除去する必要がある。感光
層の保護という点からは、重合体フィルムは透明で、こ
の重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光
することが好ましい。活性光は公知の活性光源、例えば
カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、そ
の他から発生する光が用いられる。感光層に含まれる光
開始剤の感受性は、通常紫外線領域において最大である
ので、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するも
のにすべきである。
The photosensitive layer thus laminated is
It is then imagewise exposed to actinic light using a negative or positive film. At this time, when the polymer film present on the photosensitive layer is transparent, it may be exposed as it is,
If it is opaque, it is of course necessary to remove it. From the viewpoint of protecting the photosensitive layer, it is preferable that the polymer film is transparent, and the polymer film is allowed to remain and exposed through it. As the active light, light generated from a known active light source such as carbon arc, mercury vapor arc, xenon arc, etc. is used. The sensitivity of the photoinitiator contained in the photosensitive layer is usually maximum in the UV region, in which case the actinic light source should be one which emits UV radiation effectively.

【0026】次いで露光後、感光層上に重合体フィルム
が存在している場合には、これを除去した後、アルカリ
水溶液を用いて、例えばスプレー、揺動浸漬、ブラッシ
ング、スクラッピング等の公知方法により未露光部を除
去して現像する。アルカリ性水溶液の塩基としては、リ
チウム、ナトリウムあるいはカリウムの水酸化物等の水
酸化アルカリ、リチウム、ナトリウムあるいはカリウム
の炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウ
ム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロ
リン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金
属ピロリン酸塩などが用いられ、特に炭酸ナトリウムの
水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水溶液のpHは
好ましくは9〜11の間であり、またその温度は感光層
の現像性に合わせて調整される。該アルカリ水溶液中に
は、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量
の有機溶剤などを混入させてもよい。
After the exposure, if a polymer film is present on the photosensitive layer after exposure, it is removed and then an alkaline aqueous solution is used, for example, known methods such as spraying, rocking dipping, brushing, scraping and the like. To remove the unexposed portion and develop. Examples of the base of the alkaline aqueous solution include alkali hydroxides such as lithium, sodium or potassium hydroxides, alkali carbonates such as lithium, sodium or potassium carbonates or bicarbonates, alkali metals such as potassium phosphate and sodium phosphate. Phosphates, alkali metal pyrophosphates such as sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate and the like are used, and an aqueous solution of sodium carbonate is particularly preferable. The pH of the aqueous alkaline solution used for development is preferably between 9 and 11, and the temperature is adjusted according to the developability of the photosensitive layer. A surface active agent, a defoaming agent, and a small amount of an organic solvent for accelerating the development may be mixed in the alkaline aqueous solution.

【0027】更に現像後、FPCのカバーレイとしての
はんだ耐熱性、耐薬品性等を向上させる目的で、高圧水
銀ランプによる紫外線照射や加熱を行う。紫外線の照射
量は0.2〜10J/cm2程度が一般に用いられ、この照
射の際60〜150℃の熱を伴うことがより好ましい。
加熱は100〜170℃程度の範囲で15〜90分ほど
行われる。これら紫外線の照射と加熱の順はどちらが先
でもよい。このようにしてカバーレイの特性を付与され
た後、LSI等の部品の実装(はんだ付け)、カメラ等
の機器への装着がなされる。
Further, after the development, for the purpose of improving solder heat resistance, chemical resistance and the like as the coverlay of the FPC, ultraviolet irradiation and heating by a high pressure mercury lamp are performed. The irradiation amount of ultraviolet rays is generally about 0.2 to 10 J / cm 2 , and it is more preferable that the irradiation is accompanied by heat of 60 to 150 ° C.
The heating is performed in the range of about 100 to 170 ° C. for about 15 to 90 minutes. Either the irradiation of the ultraviolet rays or the heating may be performed first. After the characteristics of the coverlay have been imparted in this manner, components such as LSIs are mounted (soldered) and mounted on devices such as cameras.

【0028】[0028]

【実施例】次に、実施例により本発明を更に詳しく説明
する。下記例中の「%」は特に断わらない限り「重量
%」を意味する。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail by way of examples. "%" In the following examples means "% by weight" unless otherwise specified.

【0029】実施例1 表1及び表2に示す材料を配合した組成の溶液(溶液
A)を、図1に示す装置を用いて25μmの厚さのポリ
エチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布して、
100℃の熱風循環式乾燥機7で約5分間乾燥して溶剤
を除去した。図1において、1はポリエチレンテレフタ
レートフィルム繰り出しロール、2、3、4、9及び1
0はロール、5はナイフ、6は感光性樹脂組成物の溶
液、8はポリエチレンフィルム繰り出しロール、11は
感光性フィルム巻き取りロールである。感光層の乾燥後
の厚さは約50μmであった。
Example 1 A solution (solution A) having the composition shown in Tables 1 and 2 was uniformly coated on a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 μm by using the apparatus shown in FIG.
The solvent was removed by drying in a hot air circulation dryer 7 at 100 ° C. for about 5 minutes. In FIG. 1, 1 is a polyethylene terephthalate film feeding roll, 2, 3, 4, 9 and 1
Reference numeral 0 is a roll, 5 is a knife, 6 is a solution of a photosensitive resin composition, 8 is a polyethylene film feeding roll, and 11 is a photosensitive film winding roll. The thickness of the photosensitive layer after drying was about 50 μm.

【0030】[0030]

【表1】 [Table 1]

【表2】 [Table 2]

【0031】次いで、感光層の上に更に図1に示す装置
を用いてポリエチレンフィルムを保護フィルムとして貼
り合わせ、本発明の感光性フィルムを得た。
Then, a polyethylene film was bonded as a protective film on the photosensitive layer using the apparatus shown in FIG. 1 to obtain a photosensitive film of the present invention.

【0032】別に、35μm厚銅箔をポリイミド基材に
積層したFPC用基板(ニッカン工業株式会社製、商品
名F30VC125RC11)の銅表面を砥粒ブラシで
研磨、水洗し乾燥した。この基板(23℃)に真空ラミ
ネータ(日立化成工業株式会社製、商品名VLM−1
型)を用いて、ヒートシュー温度110℃、気圧400
0Pa(30mmHg)以下、積層圧力2.94×105Pa
(3kgf/cm2)で前記感光性フィルムを積層した。
Separately, the copper surface of an FPC substrate (F30VC125RC11, manufactured by Nikkan Kogyo Co., Ltd.) in which a 35 μm thick copper foil was laminated on a polyimide substrate was polished with an abrasive grain brush, washed with water and dried. A vacuum laminator (Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name VLM-1) is placed on this substrate (23 ° C.).
Type), heat shoe temperature 110 ° C, atmospheric pressure 400
0Pa (30mmHg) or less, lamination pressure 2.94 × 10 5 Pa
The photosensitive film was laminated at (3 kgf / cm 2 ).

【0033】次いで、得られた試料にストーファーの2
1段ステップタブレットと150μm/150μmのラ
イン/スペースになった直線状のラインのネガフィルム
を使用して、株式会社オーク製作所製HMW−201B
型露光機で、200mJ/cm2露光した常温で30分間放置
した後、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて30℃で1
00秒間スプレー現像した。ここで残存ステップタブレ
ットの段数を示した。次いで、150℃で45分間の加
熱処理を行った。更に東芝電材株式会社製東芝紫外線照
射装置(定格電圧200V、定格消費電力7.2kW、H
5600L/2xランプ1本)を使用し、3J/cm2の紫
外線照射を行いネガフィルムに相当するカバーレイを得
た。
Next, the obtained sample was mixed with a Stouffer
HMW-201B manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. using a 1-step step tablet and a negative film having a linear line with 150 μm / 150 μm lines / spaces.
After exposing it to 200 mJ / cm 2 for 30 minutes at room temperature with a mold exposure machine, use 1% sodium carbonate aqueous solution for 1 minute at 30 ° C.
Spray developed for 00 seconds. Here, the number of steps of the remaining step tablets is shown. Then, heat treatment was performed at 150 ° C. for 45 minutes. Furthermore, Toshiba Denshi Co., Ltd.'s Toshiba UV irradiation device (rated voltage 200V, rated power consumption 7.2kW, H
A 5600 L / 2x lamp (1) was used to irradiate with 3 J / cm 2 of ultraviolet rays to obtain a coverlay corresponding to a negative film.

【0034】この試料を可撓性評価のため180°の折
り曲げを行ったが、カバーレイにクラック等の異常は全
くなかった。次いで、ロジン系クラックMH−820V
(タムラ化研株式会社製、商品名)を用いて260℃で
10秒間はんだ付け処理し、はんだ耐熱性を観察した
が、ふくれ等の異常はなかった。さらに、ここで可撓性
評価のため180°の折り曲げを行ったが、カバーレイ
にクラック等の異常はなかった。以上の評価結果を表3
に示す。
This sample was bent at 180 ° for flexibility evaluation, but there was no abnormality such as cracks in the cover lay. Then, rosin-based crack MH-820V
(Tamura Kaken Co., Ltd., trade name) was used for soldering treatment at 260 ° C. for 10 seconds, and the solder heat resistance was observed, but there was no abnormality such as blister. Further, here, bending was performed at 180 ° for flexibility evaluation, but there were no abnormalities such as cracks in the coverlay. Table 3 shows the above evaluation results.
Shown in.

【0035】実施例2、3及び比較例1〜3 実施例1で用いた重合性化合物を表3に示す化合物に変
え、その他の化合物を実施例1と同様に配合し、但し共
重合体と重合性化合物の量を合計で100になるように
共重合体量も調整しフィルム化した。また、実施例1と
同様にカバーレイとして加工し評価した。その結果を表
3にまとめて示す。
Examples 2 and 3 and Comparative Examples 1 to 3 The polymerizable compounds used in Example 1 were changed to the compounds shown in Table 3, and the other compounds were blended in the same manner as in Example 1 except that the copolymer was used. The amount of the copolymerizable compound was adjusted so that the total amount was 100, and a film was formed. Moreover, it processed and evaluated as a coverlay like Example 1. The results are summarized in Table 3.

【0036】なお、表中の記号は下記の重合性化合物を
意味する。 ・UF−7003(共栄社化学株式会社製、商品名、重
量平均分子量13,000、一般式(1)において、R
1、R7は水素原子、R2はエチレン基、R3、R5はイソ
ホロン基、R4はテトラメチレン基とヘキサメチレン基
のモル比6/4の混合体、w、zが1、xが8、yが1
2の化合物、80%メチルエチルケトン溶液) ・A−TMPT(新中村化学工業株式会社製、商品名、
トリメチロールプロパントリアクリレート) ・TMCH(2,2,4−トリメチルヘキサメチレン−
1,6−ジイソシアナートと2−ヒドロキシエチルアク
リレートのモル比1:2付加物)
The symbols in the table mean the following polymerizable compounds. UF-7003 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name, weight average molecular weight 13,000, R in the general formula (1))
1 , R 7 is a hydrogen atom, R 2 is an ethylene group, R 3 and R 5 are isophorone groups, R 4 is a mixture of a tetramethylene group and a hexamethylene group in a molar ratio of 6/4, w and z are 1, x Is 8 and y is 1
2 compound, 80% methyl ethyl ketone solution) A-TMPT (Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name,
Trimethylolpropane triacrylate) -TMCH (2,2,4-trimethylhexamethylene-
Addition product of 1,6-diisocyanate and 2-hydroxyethyl acrylate in a molar ratio of 1: 2)

【0037】[0037]

【表3】 [Table 3]

【0038】表3から明らかなように、本発明の感光性
樹脂組成物を用いた場合には、はんだ耐熱性、折り曲げ
性(可撓性)ともに良好なカバーレイを得られることを
示す。
As is clear from Table 3, when the photosensitive resin composition of the present invention is used, it is possible to obtain a coverlay having good solder heat resistance and bending (flexibility).

【0039】[0039]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用
いた感光性フィルムによれば、はんだ耐熱性、折り曲げ
性(可撓性)に優れたFPC用のカバーレイを得ること
ができ、これによりこれまで手作業や接着剤のはみ出し
による低歩留まり、低生産性であったカバーレイの加工
が容易で高歩留まり、高生産性を達成でき、且つ高密度
化に対応できる。
According to the photosensitive resin composition of the present invention and the photosensitive film using the same, it is possible to obtain a coverlay for FPC which is excellent in solder heat resistance and bendability (flexibility). As a result, it is possible to easily process a cover lay, which has been low in yield and low in productivity due to manual work or adhesive squeezing out, to achieve high yield, high productivity, and high density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例で用いた感光性フィルムの製造装置の模
式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus for producing a photosensitive film used in Examples.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 :ポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロ
ール 2、3、4、9、10:ロール 5 :ナイフ 6 :感光性樹脂組成物の溶液 7 :乾燥機 8 :ポリエチレンフィルム繰り出しロール 11:感光性フィルム巻き取りロール
1: Polyethylene terephthalate film feeding roll 2, 3, 4, 9, 10: Roll 5: Knife 6: Solution of photosensitive resin composition 7: Dryer 8: Polyethylene film feeding roll 11: Photosensitive film winding roll

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/038 H05K 3/28 D (72)発明者 渡辺 満明 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI Technical indication location G03F 7/038 H05K 3/28 D (72) Inventor Mitsuaki Watanabe 4-13 Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture No. 1 Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Factory

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)一般式(1) 【化1】 〔式中、Aは炭素数2〜12のアルキレン基、ビニレン
基、 【化2】 (ここで、R6はメチレン基又はイミノ基を表す)又は
イソホロン基を表し、R1及びR5はそれぞれ独立して水
素原子又はメチル基を表し、R2、R3及びR4はそれぞ
れ独立して炭素数2〜8のアルキレン基を表し、w及び
zはそれぞれ独立して1〜20の整数であり、xは2〜
200の整数であり、yは1〜100の整数である〕で
示される重合性化合物を含むエチレン性不飽和基含有重
合性化合物、(b)カルボキシル基を有する熱可塑性重
合体及び(c)活性光により遊離ラジカルを生成する光
重合開始剤を含有してなるアルカリ水溶液で現像可能な
感光性樹脂組成物。
1. (a) General formula (1): [In the formula, A is an alkylene group having 2 to 12 carbon atoms, a vinylene group, and (Wherein R 6 represents a methylene group or an imino group) or an isophorone group, R 1 and R 5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and R 2 , R 3 and R 4 each independently. And represents an alkylene group having 2 to 8 carbon atoms, w and z are each independently an integer of 1 to 20, and x is 2 to
An integer of 200 and y is an integer of 1 to 100], an ethylenically unsaturated group-containing polymerizable compound containing a polymerizable compound represented by the formula (b), a thermoplastic polymer having a carboxyl group, and (c) activity. A photosensitive resin composition developable with an alkaline aqueous solution containing a photopolymerization initiator that generates free radicals by light.
【請求項2】 (a)エチレン性不飽和基含有重合性化
合物が、更に一般式(2) 【化3】 〔式中、R7及びR8はそれぞれ独立して水素原子又はメ
チル基を表し、p及びqはp+qが4〜30となるよう
に選ばれる正の整数である〕で示される重合性化合物を
含む請求項1記載のアルカリ水溶液で現像可能な感光性
樹脂組成物。
2. The (a) ethylenically unsaturated group-containing polymerizable compound further has the general formula (2): [Wherein, R 7 and R 8 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and p and q are positive integers selected so that p + q is 4 to 30]. A photosensitive resin composition which is developable with an aqueous alkaline solution according to claim 1.
【請求項3】 支持体フィルム上に請求項1又は2記載
の感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性フィル
ム。
3. A photosensitive film obtained by laminating a layer of the photosensitive resin composition according to claim 1 or 2 on a support film.
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