JPH07253665A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム - Google Patents

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

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JPH07253665A
JPH07253665A JP6044584A JP4458494A JPH07253665A JP H07253665 A JPH07253665 A JP H07253665A JP 6044584 A JP6044584 A JP 6044584A JP 4458494 A JP4458494 A JP 4458494A JP H07253665 A JPH07253665 A JP H07253665A
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photosensitive resin
resin composition
photosensitive
film
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JP6044584A
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English (en)
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Katsunori Tsuchiya
勝則 土屋
Tetsuya Yoshida
哲也 吉田
Hiroshi Yamazaki
宏 山崎
Mitsuaki Watanabe
満明 渡辺
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Resonac Corp
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 作業性が良好で可撓性、はんだ耐熱性等に優
れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム
を提供する。 【構成】 （ａ）一般式（１） 【化１】 〔式中、Ａは炭素数２〜１２のアルキレン基、ビニレン
基等を表し、Ｒ1及びＲ5はそれぞれ独立して水素原子又
はメチル基を表し、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4はそれぞれ独立し
て炭素数２〜８のアルキレン基を表し、ｗ及びｚはそれ
ぞれ独立して１〜２０の整数であり、ｘは２〜２００の
整数であり、ｙは１〜１００の整数である〕で示される
重合性化合物を含むエチレン性不飽和基含有重合性化合
物、（ｂ）カルボキシル基を有する熱可塑性重合体及び
（ｃ）活性光により遊離ラジカルを生成する光重合開始
剤を含有してなるアルカリ水溶液で現像可能な感光性樹
脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性樹脂組成物に関
し、さらに詳しくはフレキシブルプリント配線板等の製
造に使用し得る保護膜（カバーレイ）形成に好適な感光
性樹脂組成物及び感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント配線板の製造には液状又
はフィルム状の感光性樹脂組成物が用いられており、例
えば、銅張積層板の銅箔をエッチングするレジストとし
て、また配線の形成されたプリント配線板には、はんだ
付け位置の限定及び配線の保護の目的に用いられてい
る。
【０００３】プリント配線板には、カメラなどの小型機
器に折り曲げて組み込めることが可能なフィルム状のも
のがあり、これはＦＰＣと呼ばれている。このＦＰＣに
もはんだ付け位置の限定及び配線の保護のためにレジス
トが必要であり、それはカバーレイまたはカバーコート
と呼ばれている。カバーレイは接着剤層を有するポリイ
ミドやポリエステルフィルムを所定の型に打ち抜いた後
ＦＰＣ上に熱圧着などで形成される。カバーコートは熱
硬化や光硬化性のインクを印刷、硬化させて形成され
る。
【０００４】ＦＰＣのはんだ付け位置の限定及び配線の
保護の目的に用いられるこれらのレジストには可撓性が
特に重要な特性となる。そのため可撓性に優れるポリイ
ミドカバーレイが多く用いられている。しかし、このカ
バーレイは型抜きのために高価な金型が必要であり、ま
た型抜きしたフィルムの人手による張り合わせ、接着剤
のはみ出しなどのため歩留まりが低く、製造コストが高
くなりＦＰＣの市場拡大の障害となっている。更に、近
年の高密度化に対応することが困難となっている。
【０００５】そこで、写真現像法（イメージ露光に続く
現像により画像を形成する方法）で寸法精度、解像性に
優れた高精度、高信頼性のカバーレイを形成する感光性
樹脂組成物、特に感光性フィルムの出現が望まれてき
た。この目的のために、ソルダマスク形成用感光性樹脂
組成物を用いることが試みられた。例えば、アクリル系
ポリマー及び光重合性モノマーを主成分とする感光性樹
脂組成物（特開昭５３−５６０１８号公報、同５４−１
０１８号公報等）、耐熱性の良好な感光性樹脂組成物と
して、主鎖にカルコン基を有する感光性エポキシ樹脂及
びエポキシ樹脂硬化剤を主成分とする組成物（特開昭５
４−８２０７３号公報、同５８−６２６３６号公報
等）、エポキシ基を含有するノボラック型エポキシアク
リレート及び光重合開始剤を主成分とする組成物（特開
昭６１−２７２号公報等）、安全性及び経済性に優れた
アルカリ水溶液で現像可能なソルダマスク形成用感光性
樹脂組成物としては、カルボキシル基含有ポリマー、単
量体、光重合開始剤及び熱硬化性樹脂を主成分とする組
成物（特開昭４８−７３１４８公報、同５７−１７８２
３７号公報、同５８−４２０４０号公報、同５９−１５
１１５２号公報等）等が挙げられるが、いずれも可撓性
が不十分であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の技術の欠点を解消し、作業性が良好で可撓性、はん
だ耐熱性に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感
光性フィルムを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）一般式
（１）
【化４】 〔式中、Ａは炭素数２〜１２のアルキレン基、ビニレン
基、
【化５】 （ここで、Ｒ6はメチレン基又はイミノ基を表す）又は
イソホロン基を表し、Ｒ１及びＲ５はそれぞれ独立して
水素原子又はメチル基を表し、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4はそれ
ぞれ独立して炭素数２〜８のアルキレン基を表し、ｗ及
びｚはそれぞれ独立して１〜２０の整数であり、ｘは２
〜２００の整数であり、ｙは１〜１００の整数である〕
で示される重合性化合物を含むエチレン性不飽和基含有
重合性化合物、（ｂ）カルボキシル基を有する熱可塑性
重合体及び（ｃ）活性光により遊離ラジカルを生成する
光重合開始剤を含有してなるアルカリ水溶液で現像可能
な感光性樹脂組成物並びに支持フィルム上に前記感光性
樹脂組成物の層を塗布、乾燥してなる感光性フィルムに
関する。
【０００８】以下に、本発明の感光性樹脂組成物に含有
される各成分について詳述する。本発明の感光性樹脂組
成物は、必須成分（ａ）として一般式（１）で示される
重合性化合物を含むエチレン性不飽和基含有重合性化合
物を含有する。一般式（１）において、Ａで表される炭
素数２〜１２のアルキレン基としては、例えば、エチレ
ン基、ｎ−プロピレン基、イソプロピレン基、ｎ−ブチ
レン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ネオペンチレ
ン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、ｎ−オクチレン
基、２−エチルヘキシレン基、ノニレン基、デシレン
基、ウンデシレン基、ドデシレン基等が挙げられる。炭
素数が１のもの又は１３以上のものは材料の入手が困難
となる。Ａで表される炭素数２〜１２のアルキレン基、
ビニレン基、
【化６】 （ここで、Ｒ6はメチレン基又はイミノ基を表す）又は
イソホロン基は、アルキル基、アルコキシ基若しくはハ
ロゲン原子で置換されるか又は水素添加されていてもよ
い。一般式（１）において、Ｒ2、Ｒ3又はＲ4で表され
る炭素数が２〜８のアルキレン基としては、例えば、エ
チレン基、ｎ−プロピレン基、イソプロピレン基、ｎ−
ブチレン基、イソブチレン基、ペンチレン基、ネオペン
チレン基、ヘキシレン基、ヘプチレン基、ｎ−オクチレ
ン基、２−エチルヘキシレン基等が挙げられる。炭素数
が１のもの又は９以上のものは材料の入手が困難とな
る。一般式（１）におけるｗ及びｚはそれぞれ独立して
１〜２０の整数とされる。ｗ及びｚが２１以上のものは
材料の入手が困難となる。一般式（１）におけるｘ及び
ｙはそれぞれ２〜２００及び１〜１００の整数とされ
る。ｘが１の場合は、カバーレイとして十分な可撓性が
得られず、ｘが２０１以上の場合は、十分な光重合性が
得られず感度の低下をもたらす。同様にｙが０の場合
は、カバーレイとして十分な可撓性が得られず、１０１
以上の場合は、十分な光重合性が得られず感度の低下を
もたらす。一般式（１）で示される重合性化合物の重量
平均分子量は、可撓性、光重合性等の点から、１，００
０〜５０，０００であることが好ましい。
【０００９】一般式（１）で示される重合性化合物は、
例えば、ポリアルキルジオール（例えば、ポリ１，４−
ブタンジオール、ポリ１，６−ヘキサンジオール）と、
２個のイソシアナート基を含有する化合物（例えば、エ
チレンジイソシアネート、プロピレンジイソシアネー
ト、ブチレン−１，３−ジイソシアネート、１，６−ヘ
キサメチレンジイソシアネート、２，２，４−トリメチ
ル−１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート、２，４
−ジメチル−６−エチルオクタメチレンジイソシアネー
ト、シクロヘキシレンジイソシアネート、シクロペンチ
レンジイソシアネート、１，４−ジイソシアネートメチ
ルシクロヘキサン、１，３−ジイソシアネーチルシクロ
ヘキサン、イソホロンジイソシアネート、２，４−トリ
レンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネ
ート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、
ジアニシジンジイソシアネート、トリデンジイソシアネ
ート、メタキシリレンジイソシアネート、１，５−ナフ
タレンジイソシアネート、トランスビニレンジイソシア
ネート、２，６−ジイソシアネートメチルカプロエー
ト、水素化トリレンジイソシアネート、水素化キシリレ
ンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートの二量
体、トリレンジイソシアネートの三量体等の１種）と、
分子中にヒドロキシル基とアクリロイル基を有する化合
物（例えば、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−
ヒドロキシエチルメタクリレート等の１種）とを付加反
応させることにより得ることができる。また、これらの
例えば、ポリアルキルジオールと２個のイソシアナート
基を含有する化合物及び分子中にヒドロキシル基とアク
リロイル基を有する化合物の反応に際して用いるそれぞ
れの化合物は単独でまたは２種以上組み合わせて用いる
ことができる。市販品としては、例えばＵＦ−７００
３、ＵＦ−８００３、Ｕ２−０２（いずれも共栄社化学
株式会社製、商品名）等がある。一般式（１）で示され
る重合性化合物は、単独で又は２種以上組み合わせて用
いられる。
【００１０】（ａ）成分には、更に一般式（２）
【化７】 〔式中、Ｒ7及びＲ8はそれぞれ独立して水素原子又はメ
チル基を表し、ｐ及びｑはｐ＋ｑが４〜３０となるよう
に選ばれる正の整数である〕で示される重合性化合物を
含有させることが好ましい。
【００１１】一般式（２）で示される重合性化合物とし
ては、例えば、２，２′−ビス（４−メタクリロキシペ
ンタエトキシフェニル）プロパン、２，２′−ビス（４
−アクロキシペンタエトキシフェニル）プロパン、２，
２′−ビス（４−メタクリロキシテトラエトキシフェニ
ル）プロパン等があり、市販品としては、例えば、ＮＫ
エステルＢＰＥ−５００（新中村化学工業株式会社製、
商品名）等がある。
【００１２】一般式（２）で示される重合性化合物は単
独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。ｐ＋ｑが
４未満の場合は可撓性が低下し、３０を超える場合は系
の親水性が増して現像時の密着性が低下する。（ａ）成
分としては、一般式（１）で示される重合性化合物及び
一般式（２）で示される重合性化合物以外の重合性化合
物として、常圧で沸点が１００℃以上であるものを含有
してもよい。このようなものとしては、例えば、アクリ
ル酸、メチルアクリレート、エチルアクリレート、ｎ−
プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、ｎ
−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、シク
ロヘキシルアクリレート、ベンジルアクリレート、カル
ビトールアクリレート、メトキシエチルアクリレート、
エトキシエチルアクリレート、ブトキシエチルアクリレ
ート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、ブチレングリコールモノアクリレー
ト、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、Ｎ，
Ｎ−ジエチルアミノエチルアクリレート、グリシジルア
クリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、ペ
ンタエリスリトールモノアクリレート、トリメチロール
プロパンモノアクリレート、アリルアクリレート、１，
３−プロピレングリコールジアクリレート、１，４−ブ
チレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキシレン
グリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ
アクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレー
ト、２，２−ビス（４−アクリロキシジエトキシフェニ
ル）プロパン、２，２−ビス（４−アクリロキシプロピ
ルキシフェニル）プロパン、トリメチロールプロパンジ
アクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリ
スリトールトリアクリレート、トリアクリルホルマー
ル、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、トリ
ス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌル酸のアクリル
酸エステル、
【化８】 （式中、ｍは１〜３０の正の整数である）、メタクリル
酸、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プ
ロピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、
ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、シ
クロヘキシルメタクリレート、ベンジルメタクリレー
ト、オクチルメタクリレート、エチルヘキシルメタクリ
レート、メトキシエチルメタクリレート、エトキシエチ
ルメタクリレート、ブトキシエチルメタクリレート、ヒ
ドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメ
タクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、ヒド
ロキシペンチルメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミ
ノメタクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノメタクリレ
ート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフ
リルメタクリレート、メタクリロキシプロピルトリメト
キシシラン、アリルメタクリレート、トリメチロールプ
ロパンモノメタクリレート、ペンタエリスリトールモノ
メタクリレート、１，３−ブチレングリコールジメタク
リレート、１，６−ヘキシレングリコールジメタクリレ
ート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、２，
２−ビス（４−メタクリロキシジエトキシフェニル）プ
ロパン、トリメチロールプロパントリメタクリレート、
ペンタエリスリトールトリメタクリレート、テトラメチ
ロールメタンテトラメタクリレート、トリス（２−ヒド
ロキシエチル）イソシアヌル酸のメタクリル酸エステ
ル、
【化９】 （式中、ｎは１〜３０の正の整数である）、トリメチル
ヘキサメチレンジイソシアナート／２−ヒドロキシエチ
ルアクリレート（１／２モル比）反応物、イソシアナー
トエチルメタアクリレート／水（２／１モル比）反応
物、クロトン酸ブチル、グリセリンモノクロネート、ビ
ニルブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニル
カプロエート、ビニルクロルアセテート、ビニルラクテ
ート、安息香酸ビニル、ジビニルサクシネート、ジビニ
ルフタレート、メタクリルアミド、Ｎ−メチルメタクリ
ルアミド、Ｎ−エチルメタクリルアミド、Ｎ−アリール
メタクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチル−Ｎ−メチル
メタクリルアミド、アクリルアミド、Ｎ−ｔ−ブチルア
クリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−イ
ソブトキシメチルアクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチル
アクリルアミド、ダイアセトンアクリルアミド、ヘキシ
ルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエーテル、ビ
ニルトリエーテル、多価アルコールのポリビニルエーテ
ル、オルト又はパラ位にアルキル基、アルコキシ基、ハ
ロゲン、カルボキシル基、アリル基等の置換基を持った
スチレン誘導体、ジビニルベンゼン、アリルオキシエタ
ノール、ジカルボン酸のジアリルエステル、Ｎ−ビニル
オキサゾリドン、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ−ビニル
ピロリドン、Ｎ−ビニルカルバゾールなどを用いること
ができる。
【００１３】一般式（１）で示される重合性化合物を含
むエチレン性不飽和基含有重合性化合物の配合量は、
（ａ）及び（ｂ）成分の合計量の１０〜７０重量％とす
ることが好ましい。１０重量％未満ではカバーレイとし
ての可撓性が不充分な傾向があり、７０重量％を超える
と、はんだ耐熱性が低下する傾向がある。一般式（１）
で示される重合性化合物の配合量は、可撓性の点から
（ａ）成分の２５重量％以上とすることが好ましい。一
般式（２）で示される重合性化合物の配合量は、一般式
（１）で示される重合性化合物を必要量配合した上で
（ａ）成分の５〜６０重量％とすることが好ましい。５
重量％未満では可撓性、はんだ耐熱性等が不充分となる
傾向があり、６０重量％を超えると可撓性が低下する傾
向がある。
【００１４】本発明の感光性樹脂組成は、必須成分
（ｂ）としてカルボキシル基を有する熱可塑性重合体を
含有する。このような熱可塑性重合体は、重量平均分子
量が２０，０００〜３００，０００であることが好まし
い。また、カルボキシル基含有率が１５〜５０モル％の
ものが好ましく、２種以上を併用してもよい。また、こ
のカルボキシル基を有する熱可塑性重合体は、アルカリ
水溶液に可溶または膨潤可能であることが好ましいが、
感光性樹脂組成物としてアルカリ水溶液に可溶であれば
よい。
【００１５】（ｂ）カルボキシル基を有する熱可塑性重
合体としては、ビニル共重合体が好ましく、ビニル共重
合体に用いられる共重合性単量体としては、例えば、ア
クリル酸、メタクリル酸等とメタクリル酸メチル、メタ
クリル酸ブチル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メ
タクリル酸ラウリル、アクリル酸エチル、アクリル酸メ
チル、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエ
ン、Ｎ−ビニルピロリドン、２−ヒドロキシエチルメタ
クリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、アク
リルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、
ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノ
エチルアクリレート等が用いられる。また、スチレン／
マレイン酸共重合体のハーフエステル等も用いられる。
【００１６】（ｂ）成分の配合量は、（ａ）及び（ｂ）
成分の合計量の３０〜７０重量％とすることが好まし
い。３０重量％未満ではアルカリ現像性が低下する傾向
があり、感光性フィルムとした場合感光性樹脂組成物層
が柔らかくなりフィルム端面からのしみ出す傾向があ
る。また、７０重量％を超えると感度の低下やはんだ耐
熱性の低下が起こる傾向がある。
【００１７】本発明の感光性樹脂組成は、必須成分
（ｃ）として活性光により遊離ラジカルを生成する光重
合開始剤を含有する。使用しうる光重合開始剤として
は、例えば、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−ブチ
ルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，
２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルアント
ラキノン等の置換又は非置換の多核キノン類、ベンゾイ
ン、ピバロン等のα−ケタルドニルアルコール類及びエ
ーテル類、α−フェニル−ベンゾイン、α，α−ジエト
キシアセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族アシロ
イン類、ベンゾフェノン、４，４′−ビスジアルキルア
ミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、２−メチルチ
オキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−
クロルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサント
ン、２−エチルチオキサントン等のチオキサントン類、
２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２
−モノホリノ−プロパノン−１が挙げられ、これらは単
独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。
【００１８】（ｃ）成分の配合量は、感度の点から
（ａ）及び（ｂ）成分の合計量の０．０１〜２０重量％
とすることが好ましい。
【００１９】本発明の感光性樹脂組成物には、さらに、
メラミン樹脂等の熱硬化成分、染料、顔料、可塑剤、安
定剤などを必要に応じで添加してもよい。
【００２０】本発明の感光性樹脂組成物は、これを支持
体フィルム上に塗布、乾燥し、感光性フィルムとして使
用することもできる。支持体としては、重合体フィル
ム、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピ
レン、ポリエチレン等からなるフィルムが用いられ、ポ
リエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。これら
に重合体フィルムは、後に感光層から除去可能でなくて
はならないため、除去不可能となるような表面処理が施
されたものであったり、材質であってはならない。これ
らの重合体フィルムの厚さは、通常５〜１００μｍ、好
ましくは１０〜３０μｍである。これらの重合体フィル
ムの一つは感光層の支持フィルムとして、他の一つは感
光層の保護フィルムとして感光層の両面に積層してもよ
い。
【００２１】感光性フィルムを製造するに際しては、ま
ず、（ａ）〜（ｄ）成分を含む感光性樹脂組成物を溶剤
に均一に溶解する。溶剤は、感光性樹脂組成物を溶解す
る溶剤であればよく、例えば、アセトン、メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、メ
チルソロソルブ、エチルセロソルブ等のエーテル系溶
剤、ジクロルメタン、クロロホルム等の塩素化炭化水素
系溶剤、メチルアルコール、エチルアルコール等のアル
コール系溶剤などが用いられる。これらの溶剤は単独で
又は２種以上を組み合わせて用いられる。
【００２２】次いで、溶液状に感光性樹脂組成物を前記
支持フィルム層としての重合体フィルム上に均一に塗布
した後、加熱及び／又は熱風吹き付けにより溶剤を除去
し、乾燥皮膜とする。乾燥皮膜の厚さには特に制限はな
く、通常、１０〜１００μｍ、好ましくは２０〜６０μ
ｍとされる。
【００２３】このようにして得られる感光層と重合体フ
ィルムとの２層からなる本発明の感光性フィルムは、そ
のまま又は感光層の他の面に保護フィルムを更に積層し
てロール状に巻き取って貯蔵される。
【００２４】本発明の感光性フィルムを用いてフォトレ
ジスト画像を製造するに際しては、前記保護フィルムが
存在している場合には、保護フィルムを除去後、感光層
を加熱しながら基板に圧着させることにより積層する。
より好ましくは減圧下で積層する．積層される表面は、
通常、エッチング等により配線の形成されるＦＰＣであ
るが、特に制限はない。感光層の加熱、圧着は通常９０
〜１３０℃、圧着圧力２．９４×１０5Pa（３kgf/cm2）
で４０００Pa（３０mmHg）以下の減圧下で行われるが、
これらの条件には特に制限はない。本発明の感光性フィ
ルムを用いる場合には、感光層を前記のように加熱すれ
ば、予め基板を予熱処理することは必要でない。積層性
を更に向上させるために、基板の予熱処理を行うことも
できる。
【００２５】このようにして積層が完了した感光層は、
ついでネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光に
画像的に露光される。この際感光層上に存在する重合体
フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよく、
また不透明の場合には、当然除去する必要がある。感光
層の保護という点からは、重合体フィルムは透明で、こ
の重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露光
することが好ましい。活性光は公知の活性光源、例えば
カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク、そ
の他から発生する光が用いられる。感光層に含まれる光
開始剤の感受性は、通常紫外線領域において最大である
ので、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するも
のにすべきである。
【００２６】次いで露光後、感光層上に重合体フィルム
が存在している場合には、これを除去した後、アルカリ
水溶液を用いて、例えばスプレー、揺動浸漬、ブラッシ
ング、スクラッピング等の公知方法により未露光部を除
去して現像する。アルカリ性水溶液の塩基としては、リ
チウム、ナトリウムあるいはカリウムの水酸化物等の水
酸化アルカリ、リチウム、ナトリウムあるいはカリウム
の炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウ
ム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロ
リン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金
属ピロリン酸塩などが用いられ、特に炭酸ナトリウムの
水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水溶液のpHは
好ましくは９〜１１の間であり、またその温度は感光層
の現像性に合わせて調整される。該アルカリ水溶液中に
は、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量
の有機溶剤などを混入させてもよい。
【００２７】更に現像後、ＦＰＣのカバーレイとしての
はんだ耐熱性、耐薬品性等を向上させる目的で、高圧水
銀ランプによる紫外線照射や加熱を行う。紫外線の照射
量は０．２〜１０J/cm2程度が一般に用いられ、この照
射の際６０〜１５０℃の熱を伴うことがより好ましい。
加熱は１００〜１７０℃程度の範囲で１５〜９０分ほど
行われる。これら紫外線の照射と加熱の順はどちらが先
でもよい。このようにしてカバーレイの特性を付与され
た後、ＬＳＩ等の部品の実装（はんだ付け）、カメラ等
の機器への装着がなされる。
【００２８】
【実施例】次に、実施例により本発明を更に詳しく説明
する。下記例中の「％」は特に断わらない限り「重量
％」を意味する。
【００２９】実施例１ 表１及び表２に示す材料を配合した組成の溶液（溶液
Ａ）を、図１に示す装置を用いて２５μｍの厚さのポリ
エチレンテレフタレートフィルム上に均一に塗布して、
１００℃の熱風循環式乾燥機７で約５分間乾燥して溶剤
を除去した。図１において、１はポリエチレンテレフタ
レートフィルム繰り出しロール、２、３、４、９及び１
０はロール、５はナイフ、６は感光性樹脂組成物の溶
液、８はポリエチレンフィルム繰り出しロール、１１は
感光性フィルム巻き取りロールである。感光層の乾燥後
の厚さは約５０μｍであった。
【００３０】
【表１】
【表２】
【００３１】次いで、感光層の上に更に図１に示す装置
を用いてポリエチレンフィルムを保護フィルムとして貼
り合わせ、本発明の感光性フィルムを得た。
【００３２】別に、３５μｍ厚銅箔をポリイミド基材に
積層したＦＰＣ用基板（ニッカン工業株式会社製、商品
名Ｆ３０ＶＣ１２５ＲＣ１１）の銅表面を砥粒ブラシで
研磨、水洗し乾燥した。この基板（２３℃）に真空ラミ
ネータ（日立化成工業株式会社製、商品名ＶＬＭ−１
型）を用いて、ヒートシュー温度１１０℃、気圧４００
０Pa（３０mmHg）以下、積層圧力２．９４×１０5Pa
（３kgf/cm2）で前記感光性フィルムを積層した。
【００３３】次いで、得られた試料にストーファーの２
１段ステップタブレットと１５０μｍ／１５０μｍのラ
イン／スペースになった直線状のラインのネガフィルム
を使用して、株式会社オーク製作所製ＨＭＷ−２０１Ｂ
型露光機で、２００mJ/cm2露光した常温で３０分間放置
した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用いて３０℃で１
００秒間スプレー現像した。ここで残存ステップタブレ
ットの段数を示した。次いで、１５０℃で４５分間の加
熱処理を行った。更に東芝電材株式会社製東芝紫外線照
射装置（定格電圧２００Ｖ、定格消費電力７．２kW、Ｈ
５６００Ｌ／２ｘランプ１本）を使用し、３J/cm2の紫
外線照射を行いネガフィルムに相当するカバーレイを得
た。
【００３４】この試料を可撓性評価のため１８０°の折
り曲げを行ったが、カバーレイにクラック等の異常は全
くなかった。次いで、ロジン系クラックＭＨ−８２０Ｖ
（タムラ化研株式会社製、商品名）を用いて２６０℃で
１０秒間はんだ付け処理し、はんだ耐熱性を観察した
が、ふくれ等の異常はなかった。さらに、ここで可撓性
評価のため１８０°の折り曲げを行ったが、カバーレイ
にクラック等の異常はなかった。以上の評価結果を表３
に示す。
【００３５】実施例２、３及び比較例１〜３ 実施例１で用いた重合性化合物を表３に示す化合物に変
え、その他の化合物を実施例１と同様に配合し、但し共
重合体と重合性化合物の量を合計で１００になるように
共重合体量も調整しフィルム化した。また、実施例１と
同様にカバーレイとして加工し評価した。その結果を表
３にまとめて示す。
【００３６】なお、表中の記号は下記の重合性化合物を
意味する。 ・ＵＦ−７００３（共栄社化学株式会社製、商品名、重
量平均分子量１３，０００、一般式（１）において、Ｒ
1、Ｒ7は水素原子、Ｒ2はエチレン基、Ｒ3、Ｒ5はイソ
ホロン基、Ｒ4はテトラメチレン基とヘキサメチレン基
のモル比６／４の混合体、ｗ、ｚが１、ｘが８、ｙが１
２の化合物、８０％メチルエチルケトン溶液） ・Ａ−ＴＭＰＴ（新中村化学工業株式会社製、商品名、
トリメチロールプロパントリアクリレート） ・ＴＭＣＨ（２，２，４−トリメチルヘキサメチレン−
１，６−ジイソシアナートと２−ヒドロキシエチルアク
リレートのモル比１：２付加物）
【００３７】
【表３】
【００３８】表３から明らかなように、本発明の感光性
樹脂組成物を用いた場合には、はんだ耐熱性、折り曲げ
性（可撓性）ともに良好なカバーレイを得られることを
示す。
【００３９】
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用
いた感光性フィルムによれば、はんだ耐熱性、折り曲げ
性（可撓性）に優れたＦＰＣ用のカバーレイを得ること
ができ、これによりこれまで手作業や接着剤のはみ出し
による低歩留まり、低生産性であったカバーレイの加工
が容易で高歩留まり、高生産性を達成でき、且つ高密度
化に対応できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例で用いた感光性フィルムの製造装置の模
式図である。
【符号の説明】
１ ：ポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロ
ール ２、３、４、９、１０：ロール ５ ：ナイフ ６ ：感光性樹脂組成物の溶液 ７ ：乾燥機 ８ ：ポリエチレンフィルム繰り出しロール １１：感光性フィルム巻き取りロール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/038 Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｄ (72)発明者 渡辺 満明 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 （ａ）一般式（１） 【化１】 〔式中、Ａは炭素数２〜１２のアルキレン基、ビニレン
    基、 【化２】 （ここで、Ｒ6はメチレン基又はイミノ基を表す）又は
    イソホロン基を表し、Ｒ1及びＲ5はそれぞれ独立して水
    素原子又はメチル基を表し、Ｒ2、Ｒ3及びＲ4はそれぞ
    れ独立して炭素数２〜８のアルキレン基を表し、ｗ及び
    ｚはそれぞれ独立して１〜２０の整数であり、ｘは２〜
    ２００の整数であり、ｙは１〜１００の整数である〕で
    示される重合性化合物を含むエチレン性不飽和基含有重
    合性化合物、（ｂ）カルボキシル基を有する熱可塑性重
    合体及び（ｃ）活性光により遊離ラジカルを生成する光
    重合開始剤を含有してなるアルカリ水溶液で現像可能な
    感光性樹脂組成物。
  2. 【請求項２】 （ａ）エチレン性不飽和基含有重合性化
    合物が、更に一般式（２） 【化３】 〔式中、Ｒ7及びＲ8はそれぞれ独立して水素原子又はメ
    チル基を表し、ｐ及びｑはｐ＋ｑが４〜３０となるよう
    に選ばれる正の整数である〕で示される重合性化合物を
    含む請求項１記載のアルカリ水溶液で現像可能な感光性
    樹脂組成物。
  3. 【請求項３】 支持体フィルム上に請求項１又は２記載
    の感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性フィル
    ム。
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