JPH0725371U - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 開閉動作の際の大きな衝撃音や振動が起らな
いゲートバルブを提供することを目的としている。 【構成】 バルブボディー１内にスライド可能に設置し
た弁体２と、エアーシリンダー３のピストン９をリンク
機構４を介して連結したゲートバルブである。弁体２の
閉位置と対応する位置近辺のピストン９に対して、オイ
ルダンパー２４とスプリング２５の緩徐移動機構が設け
てある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、真空装置の仕切弁などに使用されるゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、真空装置の仕切弁などに使用されるゲートバルブは、バルブボディー内 にスライド可能に設置した弁体と、流体圧シリンダー（通常エアーシリンダーが 用いられる）のピストンをリンク機構を介して連結した構造としていた。

【０００３】 このようなゲートバルブの構造の一例を示すと図２の通りである。図において 、５１がバルブボディー、５２が弁体、５３がエアーシリンダー５４がリンク機 構である。

【０００４】 エアーシリンダー５３のピストン５５を矢示５６ａ、５６ｂの方向へ移動させ ることによって、リンク機構５４のアーム部材５７、５８が矢示５９ａ、５９ｂ のように回動し、これに従って弁体５２が矢示６０、６１のように移動する。弁 体５２が矢示６０（閉方向）に移動する時は、弁体５２の一側に設けたストップ ローラ６２がバルブボディー５１の端壁に当って、弁体５２の移動を停止させ、 アーム部材５７、５８が更に回動すると、弁体５２と弁体スライダー６３の間を 連結した離接リンク６４によって、弁体５２はバルブボディー５１の内壁に押し 付けられて、弁体５２の縁部に沿って設けたＯリング６５を介して気密が図られ るようになっている。

【０００５】 弁体５２が上記のようにして閉状態に移動した時、前記リンク機構５４のアー ム部材５７、５８は図２（ｃ）に示したように、く字状に屈曲し、かつアーム部 材５７に設けたストッパー杆６６がバルブボディー５１の内壁に当るようにし、 リンク機構５４の回動を停止させると共に、弁体５２の閉状態がロックされるよ うになっている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

前記のような構造の従来のゲートバルブにおいては、弁体５２の開閉動作の際 に、大きな衝撃音や振動が伴なう問題点があった。

【０００７】 即ち弁体５２の閉動作の際には、ストッパー杆６６がバルブボディー５１の内 壁に衝突する結果として、大きな衝撃音と振動を起していた。また弁体５２の開 動作の際は、アーム部材５７、５８が図２（ｃ）のような屈曲状態から逆の屈曲 状態へ一気に変位して、離接リンク６４を動作させるので、弁体５２が弁体スラ イダー６３に衝突して大きな衝撃音と振動を起していた。

【０００８】 このような大きな衝撃音と振動は、ゲートバルブを取り付けた真空装置（薄膜 形成装置、測定装置等）においては、 試料等の移動、破損が生ずる。 計測器等にノイズとして検出され誤測定が発生する。 塵埃が発生する。 装置組立ボルト類の緩み、高精度コンポーネントの精度低下や破損が発生す る。 騒音が発生する。 等の不具合が生ずる原因となっていた。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

この考案は前記のような問題点に鑑みてなされたもので、開閉動作の際の大き な衝撃音や振動が起らないゲートバルブを提供することを目的としている。

【００１０】 斯る目的を達成するこの考案のゲートバルブは、バルブボディー内にスライド 可能に設置した弁体と、流体圧シリンダーのピストンをリンク機構を介して連結 してなるゲートバルブにおいて、前記弁体の閉位置と対応する位置近辺のピスト ンに対する緩徐移動機構が設けてあることを特徴としている。

【００１１】 前記緩徐移動機構は、ピストンの弁体閉方向移動側に対向させた衝撃吸収部材 と、弁体開方向移動側に対向させたスプリングで構成することができる。そして 、前記衝撃吸収部材は、オイルダンパー又は対向同極磁石とすることができる。

【００１２】

【作用】

この考案のゲートバルブによれば、緩徐移動機構が流体圧シリンダーのピスト ンの移動を、弁体の閉位置近辺において緩徐にして、衝撃音や振動の発生を無く することができる。

【００１３】

【実施例】

以下この考案を実施例に基づいて説明する。図１は実施例のゲートバルブであ って、図２に示した従来のゲートバルブと同様に、バルブボディー１内に弁体２ が設置してあり、エアーシリンダー３を駆動源としたリンク機構４を介して弁体 ２を開閉動作させるようになっている。

【００１４】 リンク機構４は、バルブボディー１内にピン５を介して回動可能に設けたアー ム部材６と、該アーム部材６の先端に屈曲可能に連結したアーム部材７と、前記 アーム部材６のピン５寄りの位置に連結した連結杆８で構成されているもので、 連結杆８がエアーシリンダー３を構成したピストン９の軸杆１０と連結してある と共に、前記アーム部材７の先端が弁体スライダー１１に連結してある。

【００１５】 弁体２は前記弁体スライダー１１と離接リンク１３を介して離接可能に連結し てある。弁体スライダー１１にはバルブボディー１内を移動するためのローラ１ ４、１５が設けてあると共に、弁体２側にはアーム１６を介してストップローラ １７が、バルブボディー１の端壁１ａと対向させて設けてあり、弁体２の移動限 界を定めてある。

【００１６】 前記弁体２の周縁部にはＯリング１８が装着してあり、離接リンク１３を介し て弁体２がバルブボディー１の内壁に押し付けられた時に、弁体２とバルブボデ ィー１間の気密が図られるようになっている。図中１９はバルブボディー１に設 けた開口部、２０は開口部１９の外側に設けた接続フランジである。

【００１７】 エアーシリンダー３はピストン９で仕切られた両側の空気室２１ａ、２１ｂに 連通する給排口２２ａ、２２ｂを有しており、何れかの給排口へ加圧空気を送入 することによってピストン９が矢示２３ａ、２３ｂのように移動する。このピス トン９の移動範囲において、前記弁体２の閉位置と対応する位置（図１に示した 位置）の近辺において、ピストン９に対して作動するオイルダンパー２４とコイ ル状のスプリング２５が設けてある。

【００１８】 オイルダンパー２４はピストン９が弁体２を閉動作させる時の移動を緩徐にす るためのもので、エアーシリンダー３の一方の端板３ａを貫通させて、ピストン ９と対向するように設けてある。一方スプリング２５はピストン９が弁体２を開 動作させる時の移動を緩徐にするためのもので、エアーシリンダー３の他方の端 板３ｂとピストン９の間に設置してある。

【００１９】 前記リンク機構４を構成したアーム部材６のピン５寄りの位置には、従来と同 様に、ストッパー杆２６が外向きに設けてあり、弁体２が閉位置の時には、バル ブボディー１の内壁にストッパー杆２６の先端が突当ると共に、アーム部材６と アーム部材７は、図２（ｃ）と同様に、く字状に屈曲して、弁体２の移動がロッ クされるようになっている。

【００２０】 次に上記実施例のゲートバルブの弁体２を操作する様子を説明する。

【００２１】 弁体２を閉動作させる時は、エアーシリンダー３の空気室２１ｂ側へ圧縮空気 を送入し、ピストン９を矢示２３ａの方向へ移動させ、リンク機構４を介して弁 体スライダー１１および弁体２を同方向へ移動させる。ストップローラ１７がバ ルブボディ１の端壁１ａに突当り、弁体２が閉位置に移動する時期と対応して、 前記オイルダンパー２４の作動杆２４ａの先端とピストン９の端面が当接するよ うになっており、オイルダンパー２４の作用によりピストン９の移動が緩徐にな る。この結果、前記リンク機構４のアーム部材６、７がく字状に屈折し、かつス トッパー杆２６の先端がバルブボディー１の内壁に当る動作も緩徐に行なわれ、 大きな衝撃音や振動の発生を避けることができる。

【００２２】 次に弁体２を開動作させる時は、エアーシリンダー３の空気室２１ａへ圧縮空 気を送入し、ピストン９を矢示２３ｂの方向へ移動させ、前記閉動作と逆の移動 を行わせる。前記コイル状のスプリング２５は、ピストン９の矢示２３ｂ方向へ の移動を緩徐に行なわせる作用があり、弁体２の閉状態から開状態への移動が緩 徐に行なわれる。この結果、離接リンク１３によって起る弁体２の弁体スライダ ー１１側への近接動作が緩徐に行なわれ、弁体２と弁体スライダー１１の衝突で 生じる大きな衝撃音や振動の発生を避けることができる。

【００２３】 前記実施例では、ピストン９の矢示２３ａ方向（閉方向）の移動に対する緩徐 移動機構としてオイルダンパー２４を使用したが、ピストン端とシリンダー内端 に対向させて、同極の磁石を設置し、近接時の反撥力を利用するようにもできる 。又、ピストンに対する緩徐移動機構は、ピストン９に直接作用するように種々 の部材を設置した実施例の他、連結杆８に対して種々の部材を設置し、間接的に ピストン９に作用させるようにもできる。

【００２４】

【考案の効果】

以上に説明した通り、この考案によれば、弁体の閉位置近辺における移動を緩 徐に行なわせるので、弁体の移動で生じる大きな衝撃音や振動の発生を防止でき る効果がある。この結果、ゲートバルブを取り付けた真空装置の性能等を損わな いようにできるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例の図で、（ａ）は横断面図、
（ｂ）は縦断面図である。

【図２】従来のゲートバルブの図で、（ａ）は横断面
図、（ｂ）は縦断面図、（ｃ）は一部詳細説明図であ
る。

【符号の説明】

１ バルブボディー ２ 弁体 ３ エアーシリンダー ４ リンク機構 ９ ピストン １１ 弁体スライダー １３ 離接リンク １７ ストップローラ ２０ 接続フランジ ２４ オイルダンパー ２５ スプリング ２６ ストッパー杆

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 バルブボディー内にスライド可能に設置
   した弁体と、流体圧シリンダーのピストンをリンク機構
   を介して連結してなるゲートバルブにおいて、前記弁体
   の閉位置と対応する位置近辺のピストンに対する緩徐移
   動機構が設けてあることを特徴とするゲートバルブ。
2. 【請求項２】 緩徐移動機構は、ピストンの弁体閉方向
   移動側に対向させた衝撃吸収部材と、弁体開方向移動側
   に対向させたスプリングで構成した請求項１記載のゲー
   トバルブ。
3. 【請求項３】 衝撃吸収部材は、オイルダンパー又は対
   向同極磁石とした請求項２記載のゲートバルブ。