JPH0725632Y2 - 真空排気系の流量検出装置 - Google Patents
真空排気系の流量検出装置Info
- Publication number
- JPH0725632Y2 JPH0725632Y2 JP12334688U JP12334688U JPH0725632Y2 JP H0725632 Y2 JPH0725632 Y2 JP H0725632Y2 JP 12334688 U JP12334688 U JP 12334688U JP 12334688 U JP12334688 U JP 12334688U JP H0725632 Y2 JPH0725632 Y2 JP H0725632Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- pump
- exhaust system
- vacuum exhaust
- system flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 この考案は真空排気系の流量検出装置に関するものであ
って、その目的は、比較的簡素な構成でもって排気流量
を検出し得る流量検出装置を提供することにある。
って、その目的は、比較的簡素な構成でもって排気流量
を検出し得る流量検出装置を提供することにある。
すなわちこの考案の真空排気系の流量検出装置は、回転
翼を備えた第１ポンプと、この第１ポンプの排気側に接
続される第２ポンプとを有する真空排気系において、上
記第２ポンプの作動中に、上記第１ポンプの回転翼を自
由回転可能にすると共に、その回転数を検出し、これに
基づいて流量検出を行う流量検出手段を設けたことを特
徴としている。
翼を備えた第１ポンプと、この第１ポンプの排気側に接
続される第２ポンプとを有する真空排気系において、上
記第２ポンプの作動中に、上記第１ポンプの回転翼を自
由回転可能にすると共に、その回転数を検出し、これに
基づいて流量検出を行う流量検出手段を設けたことを特
徴としている。
以下、この考案の真空排気系の流量検出装置の具体的な
実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
第１図において、１は第１ポンプとしてのターボ分子ポ
ンプ、21は第２ポンプとしてのねじ溝真空ポンプをそれ
ぞれ示している。
ンプ、21は第２ポンプとしてのねじ溝真空ポンプをそれ
ぞれ示している。
上記ターボ分子ポンプ１は、本体ケーシング２内に配置
したモータ３によってロータシャフト４を回転駆動し、
これによって回転翼５を回転駆動し、吸気口６からの吸
気を排気口７から排気する構造のものである。上記ロー
タシャフト４は、その上部両部において磁気軸受８、９
によって径方向支持がなされており、下端部近傍に設け
た磁気軸受10によって軸方向支持がなされている。なお
11、12、13は、ロータシャフト４の最大変位量を規制す
る安全用のころがり軸受である。
したモータ３によってロータシャフト４を回転駆動し、
これによって回転翼５を回転駆動し、吸気口６からの吸
気を排気口７から排気する構造のものである。上記ロー
タシャフト４は、その上部両部において磁気軸受８、９
によって径方向支持がなされており、下端部近傍に設け
た磁気軸受10によって軸方向支持がなされている。なお
11、12、13は、ロータシャフト４の最大変位量を規制す
る安全用のころがり軸受である。
一方、上記ねじ溝真空ポンプ21は、本体ケーシング22内
に配置したモータ23によってロータシャフト24を回転駆
動し、これによってねじ溝ロータ25を回転駆動し、吸気
口26からの吸気を排気口27から排気する構造のものであ
る。このロータシャフト24は、その一端側が磁気軸受28
によって径方向支持されており、その他端側は、磁性流
体を利用したピボット軸受29によって径方向と軸方向と
の支持がなされている。なお30は安全用のころがり軸受
を示している。
に配置したモータ23によってロータシャフト24を回転駆
動し、これによってねじ溝ロータ25を回転駆動し、吸気
口26からの吸気を排気口27から排気する構造のものであ
る。このロータシャフト24は、その一端側が磁気軸受28
によって径方向支持されており、その他端側は、磁性流
体を利用したピボット軸受29によって径方向と軸方向と
の支持がなされている。なお30は安全用のころがり軸受
を示している。
そして上記ターボ分子ポンプ１の本体ケーシング２にお
ける排気口７の近傍位置には、第１取付部としての取付
孔30が、またねじ溝真空ポンプ21の本体ケーシング22に
おける吸気口26の近傍位置には、第２取付部としての取
付突部31がそれぞれ形成されており、上記取付突部31を
取付孔30内に嵌脱させることによって、ねじ溝真空ポン
プ21をターボ分子ポンプ１に対して着脱自在に構成され
ている。なおねじ溝真空ポンプ21をターボ分子ポンプ１
に取着した場合、ターボ分子ポンプ１の排気口７が、ね
じ溝真空ポンプ21の吸気口26に連通することはもちろん
である。
ける排気口７の近傍位置には、第１取付部としての取付
孔30が、またねじ溝真空ポンプ21の本体ケーシング22に
おける吸気口26の近傍位置には、第２取付部としての取
付突部31がそれぞれ形成されており、上記取付突部31を
取付孔30内に嵌脱させることによって、ねじ溝真空ポン
プ21をターボ分子ポンプ１に対して着脱自在に構成され
ている。なおねじ溝真空ポンプ21をターボ分子ポンプ１
に取着した場合、ターボ分子ポンプ１の排気口７が、ね
じ溝真空ポンプ21の吸気口26に連通することはもちろん
である。
次に上記装置における排気流量検出の原理について説明
する。まずねじ溝真空ポンプ21を駆動したままの状態
で、ターボ分子ポンプ１の駆動を停止し、その回転翼５
を自由に回転し得る状態にしておく。そうするとこの回
転翼５は、流体の流れによって回転させられることにな
るが、その時の単位時間当りの回転数が気体の流量に対
応することから、回転数を検出して、それを気体の流量
に換算するのである。この際の流量検出回路（流量検出
手段）の具体例は第２図及び第３図に示す通りである。
する。まずねじ溝真空ポンプ21を駆動したままの状態
で、ターボ分子ポンプ１の駆動を停止し、その回転翼５
を自由に回転し得る状態にしておく。そうするとこの回
転翼５は、流体の流れによって回転させられることにな
るが、その時の単位時間当りの回転数が気体の流量に対
応することから、回転数を検出して、それを気体の流量
に換算するのである。この際の流量検出回路（流量検出
手段）の具体例は第２図及び第３図に示す通りである。
なおこの考案の実施に際しては、上記のように、磁気軸
受を利用して軸受抵抗を小さくしたり、あるいは回転翼
５の一回転当りの回転検出信号を複数出力するようにす
るのが好ましい。
受を利用して軸受抵抗を小さくしたり、あるいは回転翼
５の一回転当りの回転検出信号を複数出力するようにす
るのが好ましい。
上記した真空排気系の流量検出装置には、次の（１）
（２）の利点が生ずる。すなわちそれは、 （１）ターボ分子ポンプとして使用しないときには流量
計として使用でき、特に粘性流の領域においては流量計
として有効に機能する。
（２）の利点が生ずる。すなわちそれは、 （１）ターボ分子ポンプとして使用しないときには流量
計として使用でき、特に粘性流の領域においては流量計
として有効に機能する。
（２）排気システム、ガス供給装置、その他の真空装置
のシーケンス制御に利用できる。
のシーケンス制御に利用できる。
ということである。
なお上記ではターボ分子ポンプとねじ溝真空ポンプとを
例示しているが、抵抗の小さい軸受で支持された羽車を
有する他の構造のポンプにおいても実施可能である。ま
た第２ポンプもねじ溝真空ポンプに限るものではなく、
他の形式のポンプでも実施可能である。
例示しているが、抵抗の小さい軸受で支持された羽車を
有する他の構造のポンプにおいても実施可能である。ま
た第２ポンプもねじ溝真空ポンプに限るものではなく、
他の形式のポンプでも実施可能である。
この考案の真空排気系の流量検出装置は上記のように構
成されたものであり、そのためこの考案の真空排気系の
流量検出装置では、比較的簡素な構成でもって排気流量
を検出することが可能となる。
成されたものであり、そのためこの考案の真空排気系の
流量検出装置では、比較的簡素な構成でもって排気流量
を検出することが可能となる。
第１図はこの考案を実施するのに好適な真空排気系の一
例の縦断面図、第２図及び第３図は流量検出回路例を示
すブロック図である。 １……第１ポンプ（ターボ分子ポンプ）、５……回転
翼、21……第２分子ポンプ（ねじ溝真空ポンプ）。
例の縦断面図、第２図及び第３図は流量検出回路例を示
すブロック図である。 １……第１ポンプ（ターボ分子ポンプ）、５……回転
翼、21……第２分子ポンプ（ねじ溝真空ポンプ）。
Claims (1)
- 【請求項１】回転翼を備えた第１ポンプと、この第１ポ
ンプの排気側に接続される第２ポンプとを有する真空排
気系において、上記第２ポンプの作動中に、上記第１ポ
ンプの回転翼を自由回転可能とすると共に、その回転数
を検出し、これに基づいて流量検出を行う流量検出手段
を設けたことを特徴とする真空排気系の流量検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12334688U JPH0725632Y2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 真空排気系の流量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12334688U JPH0725632Y2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 真空排気系の流量検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0245423U JPH0245423U (ja) | 1990-03-28 |
| JPH0725632Y2 true JPH0725632Y2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=31372112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12334688U Expired - Lifetime JPH0725632Y2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 真空排気系の流量検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725632Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6009193B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-10-19 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置 |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP12334688U patent/JPH0725632Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0245423U (ja) | 1990-03-28 |
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