JPH07258410A - ポリイミドシロキサン - Google Patents

ポリイミドシロキサン

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JPH07258410A
JPH07258410A JP4867194A JP4867194A JPH07258410A JP H07258410 A JPH07258410 A JP H07258410A JP 4867194 A JP4867194 A JP 4867194A JP 4867194 A JP4867194 A JP 4867194A JP H07258410 A JPH07258410 A JP H07258410A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 有機溶媒への可溶性、耐熱性及び耐薬品性を
有すると共に電気絶縁性を有するので電気・電子部品の
表面保護膜や層間絶縁膜、銅箔と基材間の接着剤成分と
して使用できる。 【構成】 3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカル
ボン酸類を主成分とする芳香族テトラカルボン酸成分と
ジアミノポリシロキサン45〜85モル%及び複数の芳
香族環を有する芳香族ジアミン15〜55モル%からな
るジアミン成分とを重合及びイミド化することにより得
られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、可溶性、耐熱性及び
耐薬品性を有すると共に電気絶縁性を有する電気・電子
部品用表面保護膜、層間絶縁膜及び銅箔と基材間の接着
剤成分として有用な特殊なポリイミドシロキサンに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来、芳香族ポリイミドなどを電気絶縁
性の保護膜及び耐熱性接着剤の主成分として利用するこ
とは 、例えば、フレキシブル配線板、半導体集積回路
などの層間絶縁膜や銅箔と基材間の接着剤組成物などの
用途において、既に種々知られている。しかしながら、
一般に芳香族ポリイミドは、有機溶媒に溶解しないの
で、芳香族ポリイミドの前駆体(芳香族ポリアミック
酸)の溶液として使用して、塗布膜を次いで、乾燥とイ
ミド化を高温で長時間、加熱処理することによって、保
護膜にする必要があり、保護すべき電気又は電子部材自
体が熱的な劣化を起こすという問題があった。一方、特
公昭57−41491号公報には有機溶媒に可溶性の芳
香族ポリイミドが開示されているが、シリコンウエハ
ー、ガラス板、フレキシブル配線基板などとの密着性が
充分でないので、予め基板などを密着促進剤で処理して
おくなどの方法が必要であった。
【0003】前述の問題点を解決するために、ジアミン
成分としてジアミノポリシロキサンを使用したポリイミ
ドシロキサンの前駆体が例えば、特開昭57−1433
28号公報、特開昭58−13631号公報に開示され
ているが、これらのポリイミドシロキサンの前駆体はイ
ミド化するためには高温で処理しなければならないとい
う欠点を有していた。
【0004】又、特開昭61−118424号公報、特
開昭61−207438号公報、特開昭63−2256
29号公報、特開平1−121325号公報には可溶性
ポリイミドシロキサンが開示されている。しかし、これ
らのポリイミドシロキサンは、その製造工程が数段階に
及び、製造に長時間を要するという問題があったり、ジ
アミン成分として芳香族ジアミンを全く含んでおらず、
耐熱性が低いという問題、種々の有機溶媒に対する溶解
性が必ずしも充分でないという問題、フレキシブル配線
基板などに塗布して乾燥した場合に、その基板が大きく
カールするという問題などがあった。
【0005】更に、特開平4−23833号公報、特開
平4−36321号公報の可溶性ポリイミドシロキサン
は、フレキシブル配線基板、半導体集積回路などの層間
絶縁膜や銅箔と基材間の接着剤組成物などの用途に使用
した場合に、製造工程でのアセトンを使用した洗浄工程
で溶解するという問題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、特
定の低沸点溶媒に対して高い溶解性、耐熱性を有すると
共に、耐薬品性も良好で、その製造工程が容易なポリイ
ミドシロキサンを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明者らは、上記の
課題を改良することを目的として鋭意研究を行って、3,
3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸類を主成分とする
芳香族テトラカルボン酸成分とジアミノポリシロキサン
45〜85モル%及び複数の芳香族環を有する芳香族ジ
アミン15〜55モル%からなるジアミン成分とを重合
及びイミド化することにより得られるポリイミドシロキ
サンが、特定の低沸点溶媒に対して高い溶解性、耐熱性
を有すると共に、耐薬品性も良好で、その製造工程が容
易なことを知り、この発明に至った。
【0008】この発明は、(a)3,3',4,4'-ビフェニル
テトラカルボン酸類を主成分とする芳香族テトラカルボ
ン酸成分と一般式(1)
【0009】
【化2】
【0010】(但し、式中のRは2価の炭化水素残基を
示し、R1 、R2 、R3 及びR4 は低級アルキル基又は
フェニル基を示し、nが3〜40の整数を示す)で示さ
れるジアミノポリシロキサン45〜85モル%及び複数
の芳香族環を有する芳香族ジアミン15〜55モル%か
らなるジアミン成分とを(b)重合及びイミド化するこ
とにより、得られることを特徴とするポリイミドシロキ
サン。
【0011】この発明において、ビフェニルテトラカル
ボン酸類を主成分とする芳香族テトラカルボン酸成分に
対して30モル%以下、特に25モル%以下の割合で、
3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸と共に使用する
ことができる他の芳香族テトラカルボン酸成分として
は、2,3,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸類、3,3',
4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸類、3,3',4,4'-
ビフェニルエーテルテトラカルボン酸類、ピロメリット
酸類などが使用される。これらの中でも特に、2,3,3',
4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物が、前記ポリ
イミドシロキサンの有機極性溶媒に対する溶解性、エポ
キシ化合物との相溶性などに優れているので好適であ
る。
【0012】この発明において、ビフェニルテトラカル
ボン酸類と共に使用することができる芳香族テトラカル
ボン酸成分としては、例えば、3,3',4,4'-ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸、3,3',4,4'-ジフェニルエーテルテ
トラカルボン酸、ビス(3, 4-ジカルボキシフェニル) メ
タン、2,2-ビス(3,4- ジカルボキシフェニル) プロパ
ン、ピロメリット酸、又はそれらの酸二無水物やエステ
ル化物等を好適に挙げることができる。しかし、これら
の使用量が多すぎると、前記ポリイミドシロキサンが有
機極性溶媒に対して難溶性となったり、エポキシ樹脂と
の相溶性が悪化したりするので適当ではない。
【0013】この発明において、一般式(1)で示され
るジアミノポリシロキサンとしては、式中のRが炭素数
2〜6個、特に3〜5個の『複数のメチレン基』、又は
フェニレン基からなる2価の炭化水素残基であり、R1
〜R4 がメチル基、エチル基、プロピル基等の炭素数1
〜5の低級アルキル基又はフェニル基であることが好ま
しく、更に、nが4〜20の整数、特に5〜20、更に
好ましくは5〜15程度であることが好ましい。R、R
1 〜R4 の炭素数が多すぎたり、nの数が大きすぎると
反応性が低下したり耐熱性が悪くなったり、得られるポ
リイミドシロキサンの分子量が低くなったり有機溶媒に
対する溶解性が低下したり、他の有機化合物との相溶性
が悪くなったりするので前記程度のものが適当である。
【0014】一般式(1)で示されるジアミノポリシロ
キサンの具体的種類としては、ω,ω’- ビス(2- アミ
ノエチル) ポリジメチルシロキサン、ω,ω’- ビス(3
- アミノプロピル) ポリジメチルシロキサン、ω,ω’
- ビス(3- アミノブチル) ポリジメチルシロキサン、
ω,ω’- ビス(3- アミノプロピル) ポリメチルフェニ
ルシロキサン、ω,ω’- ビス(4- アミノフェニル) ポ
リジメチルシロキサン、ω,ω’- ビス(4- アミノ-3-
メチルフェニル) ポリジメチルシロキサン、ω,ω’-
ビス(3- アミノプロピル) ポリジフェニルシロキサン等
を好適に挙げることができる。
【0015】また、ジアミノポリシロキサンと共に使用
される芳香族ジアミンとしては、一般にはベンゼン環等
の芳香族環を2個以上、特に2〜5個有する芳香族ジア
ミン化合物、例えばビフェニル系ジアミン化合物、ジフ
ェニルエーテル系ジアミン化合物、ベンゾフェノン系ジ
アミン化合物、ジフェニルスルホン系ジアミン化合物、
ジフェニルメタン系ジアミン化合物、ジフェニルプロパ
ン系ジアミン化合物、ジフェニルチオエーテル系ジアミ
ン化合物、 ビス(フェノキシ)ベンゼン系ジアミン化
合物、ビス(フェノキシフェニル)スルホン系ジアミン
化合物、ビス(フェノキシ)ジフェニルスルホン系ジア
ミン化合物、ビス(フェノキシフェニル)ヘキサフルオ
ロプロパン系ジアミン化合物、ビス(フェノキシフェニ
ル)プロパン系ジアミン化合物等を挙げることができ、
それらを単独、或いは、混合物として使用することがで
きる。
【0016】前記芳香族ジアミンの具体的種類として
は、4,4'- ジアミノジフェニルエーテル、3,3'- ジアミ
ノジフェニルエーテル等のジフェニルエーテル系ジアミ
ン化合物、1,3-ビス(3- アミノフェノキシ) ベンゼン、
1,4-ビス(4- アミノフェノキシ) ベンゼン等のビス( フ
ェノキシ) ベンゼン系ジアミン化合物、2,2-ビス[4-(4-
アミノフェノキシ) フェニル] プロパン、2,2-ビス[4-
(3-アミノフェノキシ) フェニル] プロパン等のビス(
フェノキシフェニル) プロパン系ジアミン化合物、ビス
[4-(4-アミノフェノキシ) フェニル] スルフォン、ビス
[4-(3-アミノフェノキシ) フェニル] スルフォン等のビ
ス( フェノキシフェニル) スルフォン系ジアミン化合物
等の芳香族環を2〜5個有する芳香族ジアミン化合物を
好適に挙げることができる。
【0017】この発明のポリイミドシロキサンにおい
て、ジアミノポリシロキサンと芳香族ジアミンは、前者
が45〜85モル%、好ましくは45〜80モル%、更
に好ましくは45〜75モル%、後者が15〜55モル
%、好ましくは20〜55モル%、更に好ましくは25
〜55モル%の割合で使用される。どちらかの成分が少
なすぎたり、多すぎたりしてこれらの範囲をはずれると
ポリイミドシロキサンの有機溶剤に対する溶解性が低下
したり、他の有機化合物との相溶性が悪くなったり、フ
レキシブル配線板上に保護膜を形成する際に大きくカー
ルしたり、又は耐熱性、機械特性などが低下するので適
当でない。
【0018】この発明において、(a)成分のポリイミ
ドシロキサンは、次の方法で製造される。 (a1) 芳
香族テトラカルボン酸成分とジアミノポリシロキサン及
び芳香族ジアミンのジアミン成分とを、略等モル使用し
て有機極性溶媒中で連続的に温度15〜250°Cで重
合及びイミド化させてポリイミドシロキサンを得る方
法。
【0019】(a2) ジアミン成分を分けて、まず芳香
族テトラカルボン酸成分の過剰量とジアミノポリシロキ
サンとを有機極性溶媒中で温度15〜250°Cで重合
及びイミド化させて、平均重合度1〜30、好ましくは
1〜20程度の末端に酸又は酸無水物基を有するイミド
シロキサンオリゴマーを調製し、別に芳香族テトラカル
ボン酸成分と過剰量の芳香族ジアミンとを有機極性溶媒
中で温度15〜250°Cで重合、及びイミド化させ
て、平均重合度1〜30、好ましくは1〜20程度の末
端にアミノ基を有するイミドオリゴマーを調製し、次い
でこの両者を酸成分とジアミン成分とが略等モルになる
ように混合して温度15〜60°Cで反応させて、更に
温度を130〜250°Cに昇温してブロックタイプの
ポリイミドシロキサンを得る方法。
【0020】(a3) 芳香族テトラカルボン酸成分とジ
アミノポリシロキサン及び芳香族ジアミン成分とを略等
モル使用して、有機極性溶媒中でまず温度20〜80°
Cで重合させて一度ポリアミック酸を得た後に、イミド
化してポリイミドシロキサンを得る方法等がある。
【0021】この発明でポリイミドシロキサンの製造に
使用される有機極性溶媒としては、例えば、N,N-ジメチ
ルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメ
チルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N-メチ
ル−2-ピロリドン等のアミド系溶媒、ジメチルスルホキ
シド、ジエチルスルホキシド、ジメチルスルホン、ジエ
チルスルホン、ヘキサメチルスルホルアミド等の硫黄原
子を含有する溶媒、クレゾール、フェノール、キシレノ
ールなどのフェノール系溶媒、アセトン、メタノール、
エタノール、エチレングリコール、ジオキサン、テトラ
ヒドロフラン等の酸素原子を分子内に有する溶媒、ピリ
ジン、テトラメチル尿素等のその他の溶媒を挙げること
ができる。更に、必要に応じて、ベンゼン、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒、ソルベントナフ
サ、ベンゾニトリルのような他の種類の有機溶媒を併用
することも可能である。
【0022】この発明において、ポリイミドシロキサン
は前記(a1)〜(a3)等いずれの方法で得られたものを
使用してもよいが、できるだけ高分子量でイミド化率が
高く、有機極性溶媒に少なくとも3重量%以上、特に5
〜40重量%程度の高濃度で溶解させることができるも
のが、積層操作や積層性能のよい積層板が得られるので
好適である。
【0023】ポリイミドシロキサンのイミド化率は、赤
外線吸収スペクトル分析法で測定してイミド化率が90
%以上、特に95%以上が好ましく赤外線吸収スペクト
ル分析においてポリマーのアミド−酸結合に係わる吸収
ピークが実質的に見出されず、イミド環結合に係わる吸
収ピークのみが見られるような高いイミド化率であるこ
とが好ましい。
【0024】ポリイミドシロキサンは、分子量の目安と
しての対数粘度(測定濃度:0.5g/100ミリリッ
トル溶液、溶媒:N-メチル−2-ピロリドン、測定温度:
30°C、粘度計:キャノンフェンスケ型粘度計)が、
0.05〜3、特に0.10〜2程度であるのが適当で
ある。
【0025】以下に実施例及び比較例を挙げ、この発明
を詳細に説明する。ポリイミドシロキサンの溶解性は、
ポリイミドシロキサン粉末0.2gを20°Cでテトラ
ヒドロフラン及びアセトン 0.8gに添加・放置し
て、その溶解状態を観察して、1時間以内に溶解した場
合を◎、1日以内に溶解した場合を○、単に溶媒中に膨
潤する場合を△、1週間でも全く不溶の場合を×、とし
て評価した。
【0026】実施例1 温度計、仕込・留出口及び攪拌機を備えた容量2リット
ルのガラス製フラスコに、N- メチル-2- ピロリドン(
NMP)1000gを入れ、次いで3,3’,4,4’
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s−BPD
A) 73.56g(250ミリモル)、ω, ω'-ビス
(3-アミノプロピル) ポリジメチルシロキサン(東レ・
ダウコーニング・シリコーン社製,BY16−853
U;DAPS) 132g(150ミリモル),2,2
−ビス[4-(4-アミノフェノキシ) フェニル] プロパン
(BAPP) 41.05g(100ミリモル)を仕込
み、窒素気流中で60°Cの温度に高め、この温度で3
時間反応した。次いで、その反応液を200°Cに昇温
して、その温度で3時間反応した。室温に下げた反応液
を10リットルの水中に添加して、ホモミキサーを使用
して30分間で析出させたポリマーを濾過して、ポリマ
ー粉末を単離して、そのポリマー粉末を5リットルの水
中でホモミキサーを使用して15分間の洗浄を2回行
い、120°Cで5時間熱風乾燥してポリイミドシロキ
サン粉末、220gを得た。得られたポリイミドシロキ
サンは、対数粘度(30°C)は0.26であり、イミ
ド化率は実質的に100%であった。
【0027】実施例2 容量1リットルのガラス製フラスコに、窒素雰囲気下で
NMP 500g、2,3 ,3’,4' −ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物(a−BPDA)29.25
g(100ミリモル)とBAPP 82.11g(20
0ミリモル)を添加して、60°C、2時間反応させ
た。更に温度を200°Cに昇温させて水を除去させな
がら3時間重合を行いジアミン末端イミドオリゴマー
(YO成分)を合成した。更に、容量1リットルのガラ
ス製フラスコに、NMP 500gを入れ、次いでs−
BPDA 88.27g(300ミリモル)、DAPS
176g(200ミリモル)を仕込み、窒素気流中で
60°Cの温度に高め、この温度で2時間反応した。次
いで、その反応液を200°Cに昇温して、水を除去し
ながらその温度で3時間反応して酸末端イミドオリゴマ
ー(X1成分)を合成した。次に、容量2リットルのガ
ラス製フラスコに、NMP 100g、YO成分10
7.93g(100ミリモル)とX1成分 257g
(100ミリモル)を加え、窒素下に60°C、2時
間、更に昇温して200°Cで水を除去しながら3時間
反応させた。最後にこの反応液を室温に下げて、10リ
ットルの水中に添加してホモミキサーを使用して30分
間でポリマーを析出させて、これを濾過させ、ポリマー
粉末を単離し、そのポリマー粉末を5リットルの水中で
ホモミキサーを使用して15分間の洗浄を2回行い、1
20°Cで5時間熱風乾燥してポリイミドシロキサン粉
末、340gを得た。得られたポリイミドシロキサンは
対数粘度(30°C)は0.24であり、イミド化率は
実質的に100%であった。
【0028】実施例3〜4及び比較例1〜6 芳香族テトラカルボン酸成分とジアミン成分として、第
1表に示す種類及び量(モル比)を使用したほかは、実
施例1と同様にして、ポリイミドシロキサン(イミド化
率は実質的に95%以上)をそれぞれ製造した。それら
のポリイミドシロキサンの溶解性を第1表に示した。
【0029】
【表1】
【0030】
【発明の効果】この発明のポリイミドシロキサンは、ジ
アミノポリシロキサンに基づく構成単位をかなり高い割
合で有している柔軟なポリマーであるので、耐熱性、電
気特性及び機械特性を保持していると共に、有機溶媒へ
の可溶性(特に、メチルジグライム、テトラヒドロフラ
ンに対する溶解性)が極めて優れており、しかも、電気
・電子部品の洗浄工程で使用されるアセトンやメタノー
ルに対しての優れた耐薬品性を示すものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 園山 研二 大阪府枚方市中宮北町3番10号 宇部興産 株式会社枚方研究所内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (a)3,3',4,4'-ビフェニルテトラカル
    ボン酸類を主成分とする芳香族テトラカルボン酸成分と
    一般式(1) 【化1】 (但し、式中のRは2価の炭化水素残基を示し、R1
    2 、R3 及びR4 は低級アルキル基又はフェニル基を
    示し、nが3〜40の整数を示す)で示されるジアミノ
    ポリシロキサン45〜85モル%及び複数の芳香族環を
    有する芳香族ジアミン15〜55モル%からなるジアミ
    ン成分とを(b)重合及びイミド化することにより得ら
    れることを特徴とするポリイミドシロキサン。
JP04867194A 1994-03-18 1994-03-18 ポリイミドシロキサン Expired - Lifetime JP3810100B2 (ja)

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