JPH07260205A - クリーンルーム用簡易作業ハウス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、メンテナンス時や薬液交換時に
発塵源を隔離し、発塵源から発生する異物によるクリー
ンルーム内の汚染を防止するクリーンルーム用簡易作業
ハウスを得ることを目的とする。 【構成】 作業ケース１４は、断面が矩形状に形成さ
れ、ひだ状の折り目１１ａを介して上下に伸長／縮小自
在な中空の蛇腹式の隔離幕１１と、この隔離幕１１の上
面を覆うように設けられたＵＬＰＡフィルタ１２とから
構成されている。この作業ケース１４には排気ユニット
１６および異物カウンタ１７が取り付けられている。そ
して、隔離幕１１を伸長して点検装置２を覆うように作
業ケース１４を配置し、排気ユニット１６により点検装
置２から発生する異物Ｐを排気して、異物Ｐによるクリ
ーンルーム１内の汚染を防止している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、クリーンルーム内に
おける半導体製造装置のメンテナンス時や薬液交換時等
に、作業場所から発生する異物がクリーンルーム内に拡
散するのを防止するクリーンルーム用簡易作業ハウスに
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造中のウェハにはミク
ロン単位の微細な加工が施されるため、このウェハへの
異物（例えば塵埃、ヒューム、煙等）の付着は直接製品
の歩留低下につながることになる。このため、半導体の
製造プロセスは、空気中の異物の量が低レベルに厳しく
管理された清浄空間であるクリーンルーム内で行われて
いる。そして、クリーンルームは、例えば２００ｍ×１
００ｍの大きさのフロアを有し、そこには検査装置を含
め２００台以上の各種装置が据え付けられている。そこ
で、装置のメンテナンスや薬液交換が頻繁に実施されて
いる。

【０００３】図８はメンテナンスが行なわれている場合
のクリーンルーム内の装置の状態を示す図であり、図に
おいて１はクリーンルーム、２はメンテナンスを行なっ
ているクリーンルーム１内の点検装置２、３は点検装置
２の周りに設置された他の装置、４は半導体を製作中の
ウェハ、５はクリーンルーム１の床部のグレーチング、
９はグレーチング５を取り付ける床梁である。なお、図
中Ｐは点検装置２から発生する異物を、Ｑはクリーンル
ーム１内のクリーン度を高めるために天井部から床部に
向かって流される清浄空気のダウンフローを示してい
る。ここで、点検装置２のメンテナンスが必要となれ
ば、作業者は点検装置２の蓋２ａを開けてメンテナンス
作業を実施することになる。この時、点検装置２は発塵
源となり、点検装置２から異物Ｐが外方に飛散する。そ
して、点検装置２から飛散した異物Ｐは、天井部からの
ダウンフローＱにより床部に流され、グレーチング５を
介してが外部に排出される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、クリー
ンルーム内で半導体製造装置のメンテナンスや薬液交換
等を行なえば、このような装置が発塵源となる。そし
て、この発塵源から発生した異物は天井部からのダウン
フローＱにより床部に流されてグレーチング５から外部
に排出されるが、発生した異物Ｐを全て排出することが
できず、異物Ｐの一部がクリーンルーム１内に拡散し、
点検装置２回りの他の装置３やウェハ４に付着すること
になる。さらに、メンテナンスや薬液交換作業が頻繁に
行われるため、クリーンルーム１内が異物Ｐに汚染され
る危険性が増大することになる。その結果、半導体製造
の歩留を低下させてしまうという課題があった。

【０００５】特に半導体の微細化が進めば、ウェハ４の
加工も微細化し、ウェハ４は異物Ｐの汚染によりますま
す歩留が低下することになる。また、半導体の微細化が
進めば、半導体製造装置の高性能化が進み、装置のメン
テナンス回数や薬液交換回数も増える。このため、装置
のメンテナンスや薬液交換等によるクリーンルーム１の
汚染の問題は、今後ますます大きな問題となってくる。

【０００６】なお、クリーンルーム１内の汚染を防止す
るため、メンテナンス時や薬液交換時等に対象装置をク
リーンルーム１外に持ち出すことも考えられるが、対象
装置の搬出／搬入作業が大掛かりとなるとともに、その
搬出／搬入作業による２次汚染の問題もあり、現実的で
はない。

【０００７】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、メンテナンス時や薬液交換時等に
発塵源を隔離し、クリーンルーム内の異物による汚染を
防止できるクリーンルーム用簡易作業ハウスを提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の発明に
係るクリーンルーム用簡易作業ハウスは、折り畳み可能
な蛇腹式の隔離幕を有し、この隔離幕を伸長させてクリ
ーンルーム内の異物が発生する作業場所回りを覆う作業
ケースと、作業ケースに着脱可能に取り付けられて作業
ケース内の空気を異物とともに強制的に排出する排気ユ
ニットと、排気ユニットに取り付けられて排気ユニット
中を通過する異物をカウントする異物カウンタとを備え
たものである。

【０００９】また、この発明の第２の発明に係るクリー
ンルーム用簡易作業ハウスは、上記第１の発明におい
て、クリーンルームの天井部に設けられた走行レールに
沿って作業ケースをクリーンルーム内の必要場所に移動
させる移動手段を備えたものである。

【００１０】

【作用】この発明の第１の発明では、作業ケースの隔離
幕を伸長させて異物が発生する作業場所回りを覆った
後、作業ケースに取り付けた排気ユニットを介して、作
業ケース内の空気を異物とともに所定の排出場所に排出
するようにしている。この場合、排気ユニットの排気に
より、作業ケース内が負圧状態となり、作業ケース内の
異物が外部に飛散することが抑えられる。また、排気ユ
ニット中を通過する異物が、異物カウンタによりカウン
トされるため、この異物カウンタによるカウントスピー
ドによって、作業ケース内の清浄度が推定できる。そし
て、作業終了後異物カウンタの測定値から作業ケース内
が所定の清浄度となったことを確認後、排気ユニットを
取り外し、隔壁幕を縮小させて簡易作業ハウスが撤去さ
れる。この時、作業ケース内の異物は排出されて、作業
ケース内に残留する異物によるクリーンルーム内の汚染
は抑えられる。

【００１１】この発明の第２の発明では、作業ケースを
移動手段により、クリーンルームの天井部に設けられた
走行レールに沿って移動できるようにしているため、ク
リーンルーム内の任意の場所に作業ケースを簡単に設置
できるようになる。

【００１２】

【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。 実施例１．図１はこの発明の実施例１に係るクリーンル
ーム用簡易作業ハウスをクリーンルーム内で使用してい
る状態を示す図であり、図において図８で示したものと
同一または相当部分には同一符号を付し、その説明を省
略する。

【００１３】図において、８はクリーンルーム１の天井
部に取り付けられたクリーンルーム１用のＵＬＰＡ（Ul
tra Low Penetrate Air）フィルタであり、このＵＬＰ
Ａフィルタ８は例えばグラスウールの濾材を２重折りし
て構成され、０．０５μm 以上の異物Ｐを除去可能とな
っている。１１は断面が矩形状に形成され、ひだ状の複
数の折り目１１ａを介して上下に伸長／縮小自在な中空
の蛇腹式の隔離幕、１２は隔離幕１１の上面を覆うよう
に設けられたＵＬＰＡフィルタ、１３は隔離幕１１の上
部の４隅に取り付けられた吊り具、１４は隔離幕１１、
ＵＬＰＡフィルタ１２、および吊り具１３から構成され
る作業ケースである。この作業ケース１４は、クリーン
ルーム１内の異物Ｐを発生する作業場所、この場合は点
検装置２周りを覆うように配置され、外部に異物Ｐが拡
散するのを防止するためのものである。

【００１４】１５は作業ケース１４内に取り付けられた
照明用のライト、１６は作業ケース１４とクリーンルー
ム１内の床部のグレーチング５とに着脱容易に取り付け
られ、作業ケース１４内の空気を異物Ｐとともにクリー
ンルーム１のグレーチング５下方に強制的に排出する排
気ユニットである。この排気ユニット１６は、その上部
が作業ケース１４の隔離幕１１の開口部１１ｂに密閉状
に取り付けられ、下部がグレーチング５に開けた開口部
５ａに差し込まれて使用される。１７は排気ユニット１
６に取り付けられ、排気ユニット１６中を通過する作業
ケース１４内の異物Ｐをカウントする異物カウンタであ
る。

【００１５】１８はクリーンルーム１の天井部に取り付
けられた走行レール６に沿って移動可能な移動手段とし
ての搬送機、１９は搬送機１８と作業ケース１４の吊り
具１３とを連結する吊りワイヤである。この吊りワイヤ
１９は、搬送機１８中のローラ（図示せず）に巻かれて
おり、ローラの回転によって作業ケース１４を上下に移
動させる。２０は作業ケース１４、ライト１５、排気ユ
ニット１６、異物カウンタ１７、搬送機１８、および吊
りワイヤ１９から構成されるクリーンルーム用簡易作業
ハウスである。２１はクリーンルーム１の側壁７に取り
付けられ、隔離幕１１を縮小して折り畳んだ（縮ませ
た）状態で圧縮バンド（図示せず）を装着した作業ケー
ス１４を横に寝かせた状態で収納する収納ボックスであ
る。

【００１６】図２はクリーンルーム１の平面図である。
クリーンルーム１内は、例えば半導体製造工程の前工程
である、パターン形成工程エリアＡ１、酸化工程エリア
Ａ２、拡散工程エリアＡ３、イオン注入工程エリアＡ４
が設けられている。また、クリーンルーム１の天井部に
設けられた走行レール６は、横走行レール６Ａおよび縦
走行レール６Ｂとから構成され、これらがそれぞれ作業
ケース１４の横幅と縦幅とほぼ同一の間隔で網の目状に
配置されている。そして、１つの作業ケース１４は、一
定間隔を保った状態で、例えば一対の横走行レール６
Ａ，６Ａ上を移動する４つの搬送機１８により、走行レ
ール６に沿って横方向であるＸ方向、または縦方向であ
るＹ方向に移動される。また、収納ボックス２１はクリ
ーンルーム１の側壁７に複数取り付けられている。

【００１７】つぎに、このクリーンルーム用簡易作業ハ
ウス２０の動作について説明する。まず、クリーンルー
ム１内で特定の装置（点検装置２）のメンテナンスが必
要となると、この点検装置２上の一対の横走行レール６
Ａ，６Ａの端部側にある収納ボックス２１から作業ケー
ス１４を取り出す。この場合、作業ケース１４の下部側
の吊り具１３と吊りワイヤ１９を介して連結されている
搬送機１８のローラを回転させて、この吊りワイヤ１９
をローラに巻きとる。このことにより、収納ボックス２
１内の作業ケース１４は、下部側の吊り具１３が上部側
の吊り具１３を中心に回転され、図２の矢印イで示され
るように走行レール６に沿って水平な状態に位置決めさ
れる。つぎに、４つの搬送機１８を一対の横走行レール
６Ａ，６Ａに沿ってＸ方向に移動させ、作業ケース１４
を図２の矢印ロで示される位置まで移動させる。

【００１８】なお、作業ケース１４を図２の矢印ハまた
は矢印ニの位置に移動させる場合は、矢印ロの位置から
搬送機１８を一対の縦走行レール６Ｂ，６Ｂに沿ってＹ
方向に移動させればよい。

【００１９】つづいて、例えば矢印ロの位置にある点検
装置２の方へ、作業ケース１４を下降させる。これは、
搬送機１８を停止させた後、ローラを回転させて、吊り
ワイヤ１９を下方に繰り出すようにして行なう。そし
て、作業ケース１４が必要位置まで下降すると、作業ケ
ース１４の隔離幕１１に装着されている圧縮バンドを取
り外し、この隔離幕１１を下方に自重等により伸長させ
て引き伸ばす。このことにより、点検装置２は作業ケー
ス１４により覆われ、外部から隔離された状態となる。
つぎに、排気ユニット１６を作業ケース１４の開口部１
１ａとグレーチング５の開口部５ａとの間に取り付ける
とともに、この排気ユニット１６に異物カウンタ１７を
取り付ける。

【００２０】つづいて、作業者が隔離幕１１を押し上げ
て、作業ケース１４内に入った後、必要により、作業ケ
ース１４の隔離幕１１の下部をグレーチング５側に固定
する。そして、排気ユニット１６を作動させ、作業ケー
ス１４内の空気をクリーンルーム１のグレーチング５の
下方に排出するようにする。また、必要によりライト１
５を点灯する。なお、ライト１５の点灯や、排気ユニッ
ト１６および異物カウンタ１７の作動には電力が必要と
なるが、この電力は、電源供給線としても使用される走
行レール６と吊りワイヤ１９とを介して、クリーンルー
ム１の天井側から供給される。

【００２１】上記状態で、点検装置２の蓋部２ａを開
け、この点検装置２のメンテナンス作業を行なう。この
場合、点検装置２から塵埃やヒュームのような異物Ｐが
飛散するが、この異物Ｐは異物カウンタ１７でカウント
されつつ、排気ユニット１６により作業ケース１４外に
排出される。この時、排気ユニット１６の排気により作
業ケース１４内は負圧状態となり、ＵＬＰＡフィルタ１
２を介して作業ケース１４に空気が導入される。そし
て、作業ケース１４内の負圧状態、ＵＬＰＡフィルタ１
２およびＵＬＰＡフィルタ１２から導入される空気によ
り、作業ケース１４内の異物Ｐの外部への飛散が防止さ
れる。なお、作業ケース１４内にはＵＬＰＡフィルタ１
２を介して内部に空気が導入されるため、作業ケース１
４内が大きく負圧になることはなく、負圧による作業ケ
ース１４の倒壊がない。

【００２２】そして、点検装置２のメンテナンス作業が
終了すると、点検装置２の蓋２ａを閉じ、そのまましば
らく待つ。この間、作業ケース１４内の異物Ｐは排気ユ
ニット１６により排出されるため、作業ケース１４内の
異物濃度は時間の経過とともに低下する。そして、異物
カウンタ１７のカウント間隔が一定時間より大きくなっ
たら、作業ケース１４内の異物濃度は基準値以下（所定
の清浄度）になるため、この作業ケース１４の撤去を行
う。

【００２３】まず、排気ユニット１６および異物カウン
タ１７を取り外した後、隔離幕１１を縮小して折り畳
み、この隔離幕１１に圧縮バンドを取り付ける。つづい
て、搬送機１８のローラを作動させ、吊りワイヤ１９を
介して作業ケース１４を走行レール６近傍まで吊り上げ
る。つぎに、搬送機１８を作動させ、作業ケース１４を
走行レール６に沿って収納ボックス２１の横まで搬送し
た後、一対の搬送機１８のローラを回転させて、作業ケ
ース１４の一端側の吊り具１３を下降させてクリーンル
ーム１の側壁に添わせるようにする。このことにより、
作業ケース１４は収納ボックス２１内に収納される。

【００２４】以上のように、このクリーンルーム用簡易
作業ハウス２０を使用すれば、作業ケース１４内におい
て、点検装置２のメンテナンスや薬液交換等の作業が外
部と隔離された状態で行なわれ、さらに排気ユニット１
６により作業ケース１４内の空気とともに発生する異物
Ｐが外部に排出されるため、異物Ｐが外部に飛散するこ
とはなく、クリーンルーム１内のクリーン度を高く維持
することができる。このため、メンテナンス時や薬液交
換時等に他の装置３や加工中のウェハ４を異物Ｐによっ
て汚染してしまうことはなく、製品の歩留を高めること
ができる。

【００２５】また、このクリーンルーム用簡易作業ハウ
ス２０では、作業ケース１４の主要部が蛇腹式の隔離幕
１１にて構成されているため、作業ケース１４を簡単に
小さく折り畳むことができる。したがって、作業ケース
１４の収納作業や取り扱い作業が容易となる。さらに、
このクリーンルーム用簡易作業ハウス２０では、収納ボ
ックス２１と点検装置２と間の作業ケース１４の搬送
を、搬送機１８によって自動的におこなうことができる
ため、作業の迅速化および容易化を図ることができる。
またこのクリーンルーム用簡易作業ハウス２０では、こ
の異物カウンタ１７により、作業ケース１４内の異物Ｐ
の濃度がわかるため、作業ケース１４の撤去時期を容易
に判断することができるとともに、作業ケース１４内に
残留する異物Ｐによるクリーンルーム１内の汚染を防止
することができる。

【００２６】なお、排気ユニット１６のかわりにクリー
ンルーム１内に備え付けられているバキュームホースを
使用してもよい。

【００２７】実施例２．図３はこの発明の実施例２に係
るクリーンルーム用簡易作業ハウスを示す斜視図であ
る。なお、図１および図２で示したものと同一または相
当部分には同一符号を付し、その説明を省略する。

【００２８】図において、３１は上下方向に向かって複
数のひだ状の折り目３１ａが形成された蛇腹式の隔離
幕、３１ｂは隔離幕３１の両端部に分離容易に設けられ
た接合部、３１ｃは隔離幕３１の両端外側に設けられた
把手である。３２はこの隔離幕３１を伸長させて接合部
３１ｂを接合させて円筒状に構成された自立式でアコー
ディオンタイプの作業ケースであり、この作業ケース３
１は、上部が開口して空気取り込み口を構成している。
３３は作業ケース３２に排気ユニット１６と異物カウン
タ１７（図示せず）を取り付けて構成されたクリーンル
ーム用簡易作業ハウスである。

【００２９】つぎに、このクリーンルーム用簡易作業ハ
ウス３３の動作について説明する。まず、クリーンルー
ム１内で特定の装置（点検装置２）のメンテナンスが必
要になると、点検装置２の回りに隔離幕３１を伸長さ
せ、接合部３１ｂを接合させることにより、作業ケース
３２でこの点検装置２周りを覆う。この場合、作業ケー
ス３２の上部は、図４で示されるように、クリーンルー
ム１の天井部のＵＬＰＡフィルタ８近傍まで達してい
る。そして、この作業ケース３２に排気ユニット１６と
異物カウンタ１７を取り付ける。つづいて、把手３１ｃ
を使用して接合部３１ｂを分離し、作業ケース３２内に
作業者が入った後、この接合部３１ｂを再び接合する。
その後、排気ユニット１６と異物カウンタ１７とを作動
させる。

【００３０】この状態で、作業者は点検装置２のメンテ
ナンス作業を行なう。点検装置２から発生した異物Ｐは
異物カウンタ１７でカウントされつつ排気ユニット１６
を介して、グレーチング５の下方に排出される。この場
合、作業ケース３２の上部は開口しているが、この作業
ケース３２がクリーンルーム１のＵＬＰＡフィルタ８近
傍まで達しており、また上部開口から取り込まれるＵＬ
ＰＡフィルタ８からのダウンフローＱと排気ユニット１
６の排気とにより、作業ケース３２内の異物Ｐが作業ケ
ース３１外に飛散することはない。

【００３１】そして、メンテナンス作業が終了すると、
上記実施例１と同様に、排気ユニット１６による排気を
続け、作業ケース３２内が所定の清浄度となった後、こ
のクリーンルーム用簡易作業ハウス３３の撤去を行うこ
とになる。

【００３２】このように、この実施例２によれば、作業
ケース３２は隔離幕３１の折り目３１ａを介して小さく
折り畳まれる。このため、この作業ケース３２の取り扱
いや収納は容易になされる。さらに、点検装置２回りを
外部と隔離して異物Ｐのクリーンルーム１内への拡散が
防止できる。したがって、このクリーンルーム用簡易作
業ハウス３３においても、上記実施例１のクリーンルー
ム用点検装置２０と同様の効果を得ることができる。

【００３３】また、このクリーンルーム用簡易作業ハウ
ス３３では、作業ケース３２に特別なフィルタが必要と
されない分、装置の小型化や低コスト化を達成できる。
また、このクリーンルーム用簡易作業ハウス３３では、
作業ケース３２の上部に覆いが不要という点でも、同様
な効果を得ることができる。

【００３４】なお、上記実施例２では、作業ケース３２
の上部に開口を形成するものとしているが、作業ケース
３２の隔離幕３１にフィルタ機能を持たせるとともに、
上部を塞口させてもよい。この場合、点検装置２は作業
ケース３２により外部と一層隔離され、作業ケース３２
内には隔離幕３１から空気が取り込まれ、点検装置２か
ら発生する異物Ｐによるクリーンルーム１内の汚染が一
層抑えられる。

【００３５】実施例３．図５はこの発明の実施例３に係
るクリーンルーム用簡易作業ハウスにおける作業ケース
を示す斜視図である。この作業ケース３４は、図６で示
されるように、側面部が扇状に形成された中空のかまぼ
こ状のものであり、図７で示されるように、その側面部
および外周部がひだ状の折り目３５ａを有する蛇腹式の
隔離幕３５で構成されている。そして、この作業ケース
３４に排気ユニット、異物カウンタが取り付けられてク
リーンルーム用簡易作業ハウスを構成している。

【００３６】この実施例３によれば、隔離幕３５を図７
に示すように伸長させて図５に示すように作業ケース３
４が組み立てられ、逆に隔離幕３５を縮小させて小さく
折り畳むことができる。また、点検装置２回りを覆うよ
うに作業ケース３４を配設することにより、点検装置２
を外部から隔離でき、排気ユニットの排気により点検装
置２から発生する異物をクリーンルームの外部に排出で
きる。したがって、この作業ケース３４を使用したクリ
ーンルーム用簡易作業ハウスでも、上記実施例２と同様
の効果を得ることができる。ここで、排気ユニットの排
気能力が大きく、作業ケース３４内が過度に負圧状態と
なるような場合には、隔離幕３５の少なくとも一部をＵ
ＬＰＡフィルタで構成すればよい。

【００３７】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので、以下に記載されるような効果を奏する。

【００３８】この発明の第１の発明によれば、折り畳み
可能な蛇腹式の隔離幕を有し、この隔離幕を伸長させて
クリーンルーム内の異物が発生する作業場所回りを覆う
作業ケースと、作業ケースに着脱可能に取り付けられて
作業ケース内の空気を異物とともに強制的に排出する排
気ユニットと、排気ユニットに取り付けられて排気ユニ
ット中を通過する異物をカウントする異物カウンタとを
備えているので、メンテナンス時や薬液交換時等に作業
場所から発生する異物のクリーンルーム内への拡散を防
止でき、クリーンルームの異物による汚染を防止でき
る。また、作業ケースの蛇腹式の隔離幕を縮小させて小
さく折り畳むことができるので、装置の収納や取り扱い
の容易化を図ることができる。。

【００３９】この発明の第２の発明によれば、上記第１
の発明において、クリーンルームの天井部に設けられた
走行レールに沿って作業ケースをクリーンルーム内の必
要場所に移動させる移動手段を備えているので、上記第
１の発明の効果に加えて、移動手段により作業ケースを
クリーンルーム内の必要な場所へ容易に移動できるの
で、作業の容易化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１に係るクリーンルーム用簡
易作業ハウスをクリーンルーム内に設置している状態を
示す図である。

【図２】クリーンルームの平面図である。

【図３】この発明の実施例２に係るクリーンルーム用簡
易作業ハウスを示す斜視図である。

【図４】この発明の実施例２に係るクリーンルーム用簡
易作業ハウスをクリーンルーム内に設置している状態を
示す図である。

【図５】この発明の実施例３に係るクリーンルーム用簡
易作業ハウスにおける作業ケースを示す斜視図である。

【図６】図５の作業ケースの側面図である。

【図７】図５の作業ケースの折り畳み状態を示す図であ
る。

【図８】従来のクリーンルーム内でのメンテナンス作業
時の異物の飛散状況を示す図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ２ 点検装置（作業場所） ６ 走行レール １１ 隔離幕 １４ 作業ケース １６ 排気ユニット １７ 異物カウンタ １８ 搬送機（移動手段） ２０ クリーンルーム用簡易作業ハウス ３１ 隔離幕 ３２ 作業ケース ３３ クリーンルーム用簡易作業ハウス ３４ 作業ケース ３５ 隔離幕

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 折り畳み可能な蛇腹式の隔離幕を有し、
   この隔離幕を伸長させてクリーンルーム内の異物が発生
   する作業場所回りを覆う作業ケースと、前記作業ケース
   に着脱可能に取り付けられて作業ケース内の空気を異物
   とともに強制的に排出する排気ユニットと、前記排気ユ
   ニットに取り付けられて排気ユニット中を通過する異物
   をカウントする異物カウンタとを備えたことを特徴とす
   るクリーンルーム用簡易作業ハウス。
2. 【請求項２】 クリーンルームの天井部に設けられた走
   行レールに沿って作業ケースを前記クリーンルーム内の
   必要場所に移動させる移動手段を備えたことを特徴とす
   る請求項１記載のクリーンルーム用簡易作業ハウス。