JPS6317254Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はウエハ搬送装置、特にウエハを搬送面
に沿つて搬送する装置に関する。

LSI等の半導体装置は完成品となるまでに各種
の製造工程を経るわけであるが、各製造工程にお
いて半導体部品を搭載したウエハを順次搬送する
ために、一般にウエハ搬送装置が設置されてい
る。

第１図には従来のウエハ搬送装置の１例が示さ
れ、第２図にはその外観が示されている。第１図
において基台１０には搬送台１２が支持されてお
り、基台１０に取り付けられた駆動モータ１４の
モータ軸には駆動プーリ１６が固定され、また搬
送台１２には駆動プーリ１８が回転自在に取り付
けられている。前記各駆動プーリ１６，１８には
駆動ベルト２０が架け渡され、更に駆動プーリ１
６には第２図で示されるような２本のコンベアベ
ルト２２，２４が搬送方向に沿つて架け渡されて
いる。従つて、駆動モータ１４の回転は駆動プー
リ１６、駆動ベルト２０、駆動プーリ１８を介し
てコンベアベルト２２，２４に伝達され、コンベ
アベルト２２，２４に載せられたウエハ２６は第
２図の矢印で示されるように搬送される。

このようなウエハ２６の搬送工程において、ウ
エハ２６に塵埃等が付着すると、製品の品質低下
の原因となるので、ウエハ２６の上部に浮遊して
いる塵埃やウエハ２６とコンベアベルト２２，２
４との接触部から発生した塵埃が、ウエハ２６の
表面に落下付着しないようにする必要がある。

このため、従来、ウエハ搬送装置が設置されて
いる部屋の天井に、装置全体を覆うように高性能
集塵機を取り付け、装置全面に清浄空気を吹き付
けることにより、ウエハ２６の表面に塵埃等が落
下付着しないような対策が採られていた。

しかしながら、このような従来装置において
は、ウエハ２６の近傍から舞い上るような局所的
塵埃等の付着を防止することができないので、製
品が充分に清浄に保たれず、製品の欠陥が生じる
という欠点があつた。

このようなウエハ２６の表面への塵埃等の付着
を少なくするために、次に説明するようなウエハ
搬送装置を使用することが試みられた。

第３図には改良されたウエハ搬送装置の一例が
示され、図において前述した従来装置と同一部材
には同一符号を付して説明を省略する。

図においてウエハ搬送面両側面には、搬送方向
に沿つて防塵覆い２８，３０が立設され、防塵覆
い２８，３０の上部にはウエハ搬送面と平行にチ
ヤンバ３２が設けられており、これら防塵覆い２
８，３０及びチヤンバ３２によりウエハ搬送面が
密閉状態に保持されている。

また、前記チヤンバ３２の下面にはウエハ搬送
面に向つてスリツト状の空気吹込口３４が形成さ
れており、送風機（図示せず）からチヤンバ３２
上部の吸気ダクト３９を介してチヤンバ３２に供
給された清浄空気は、この空気吹込口３４からウ
エハ２６の表面に向けて吹き込まれる。更に、前
記防塵覆い２８，３０にはスリツト状の空気吹出
口３８，４０が形成されており、ウエハ２６の表
面に向けて吹き込まれた清浄空気はこの空気吹出
口３８，４０から吹き出され、防塵覆い２８，３
０及びチヤンバ３２の周部に設けられた排気ダク
ト４２を通つて外部に排気される。ここで前記空
気吹出口３８，４０はウエハ２６の表面と同高さ
位置に形成されており、空気吹込口３４からウエ
ハの表面に向けて吹き込まれた清浄空気は、矢印
で示されるようにウエハ２６の表面に沿つて流
れ、空気吹出口３８，４０から吹き出されること
となる。

改良されたウエハ搬送装置は以上の構成から成
り、以下にその作用を説明する。

ウエハ２６を搬送している状態において、送風
機から吸気ダクト３６を介してチヤンバ３２に供
給された清浄空気は、空気吹込口３４からウエハ
２６の表面に向けて吹き込まれ、ウエハ２６の表
面に沿つて流れ、空気吹出口３８，４０から吹き
出される。このとき、ウエハ２６の表面にはエア
カーテン気流が形成される。従つて、清浄空気を
ウエハ２６に向けて吹き込めば、ウエハ２６の表
面には清浄空気層が形成され、ウエハ２６の搬送
時における塵埃等の付着を少なくすることができ
る。

しかしながら、この改良されたウエハ搬送装置
においては、非常に高い清浄度の空気を供給しな
ければ十分な防塵効果を得ることができないとい
う問題があつた。このため、十分な防塵効果を得
るためには圧力損失の高いエアフイルタで何回も
過して清浄度の高い空気を得なければならず、
多大な空気清浄動力を必要とする欠点があつた。

本考案は前述した従来の課題に鑑み為されたも
のであり、その目的は比較的清浄度の低い空気を
使用した場合でも十分な防塵効果を得ることがで
き、この結果空気清浄動力を低減することができ
るウエハ搬送装置を提供することにある。

上記目的を達成するために本考案は、ウエハを
搬送面に沿つて搬送するウエハ搬送装置におい
て、ウエハ搬送面に沿つて設けられ該ウエハ搬送
面を密閉状態に保持するウエハ搬送トンネルと、
ウエハ搬送トンネルの一側面に設けられ該ウエハ
搬送トンネルの幅方向であつてウエハ搬送面と平
行に清浄空気をウエハ搬送トンネル内に吹き込む
空気吹込口と、ウエハ搬送トンネルの他側面に前
記空気吹込口と対向して設けられウエハ搬送トン
ネル内に吹き込まれた清浄空気をウエハ搬送トン
ネル外に吹き出す空気吹出口と、を備えたことを
特徴とする。

以下図面に基づいて本考案の好適な実施例を説
明する。

第４図には本考案に係るウエハ搬送装置の好適
な実施例が示され、図において前述した従来例と
同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

本考案のウエハ搬送装置はウエハ搬送面に沿つ
て該ウエハ搬送面と平行に設けられるウエハ搬送
トンネル４４を有し、このウエハ搬送トンネル４
４によりウエハ搬送面は密閉状態に包囲保持さ
れ、ウエハ搬送トンネル４４内のウエハ２６と周
囲環境との接触が遮断されている。

上記ウエハ搬送トンネル４４の一側面には清浄
空気をウエハトンネル４４内に吹き込む空気吹込
口が設けられ、本実施例において空気吹込口は空
気中に浮遊する微粒子を除去するためのフイルタ
４６並びに整流格子４８から構成されている。そ
して、これらフイルタ４６並びに整流格子４８
は、ウエハ搬送トンネル４４の周部に設けられた
給気チヤンバ５０を介して給気ダクト５２につな
がつている。従つて、送風機（図示せず）から給
気ダクト５２及び給気チヤンバ５０を介して供給
された空気は、フイルタ４６にて微粒子が除去さ
れた後、ウエハ搬送トンネル４４の幅方向であつ
てウエハ搬送面と平行に清浄空気としてウエハ搬
送トンネル４４内に吹き込まれる。

また、ウエハ搬送トンネル４４の他端面には、
前記空気吹込口と対向して空気吹出口が設けら
れ、本実施例において空気吹出口は整流格子５４
にて構成されている。そして、この整流格子５４
は、ウエハ搬送トンネル４４の周部に設けられた
排気チヤンバ５６を介して排気ダクト５８につな
がつている。従つて、ウエハ搬送トンネル４４内
に吹き込まれた清浄空気は、整流格子５４かウウ
エハ搬送トンネル４４外に吹き出され、排気チヤ
ンバ５６及び排気ダクト５８を介して排気され
る。なお給気ダクト５２及び排ダクト５８は第５
図の如くトンネル４４の長手方向へ間欠的に設置
されている。

本考案の実施例は以上の構成から成り、以下に
その作用を説明する。

送風機から給気ダクト５２及び給気チヤンバ５
０を介して供給された空気は、フイルタ４６にて
微粒子が除去された後、ウエハ搬送トンネル４４
の幅方向であつてウエハ搬送面と平行に清浄空気
としてウエハ搬送トンネル４４内に吹き込まれ
る。そして、清浄空気はウエハ２６の表面に沿つ
て流れた後、整流格子５４からウエハ搬送トンネ
ル４４外に吹き出され、排気チヤンバ５６及び排
気ダクト５８を介して排気される。このとき、ウ
エハ２６の表面には該ウエハ２６の表面と平行な
清浄空気層が形成され、この清浄空気層内にウエ
ハ２６を搬送することにより、ウエハ２６の表面
への塵埃等の付着を極めて少なくすることができ
る。

第６図にはウエハ２６の表面に対する清浄空気
の吹込角度（水平面に対する吹込空気の角度）と
ウエハ２６表面への塵埃付着指数との関係が示さ
れている。ここで塵埃付着指数とは、清浄空気中
にウエハ２６を１時間だけ曝したときのウエハ２
６表面の3″φの広さ部分に付着していた塵埃数
と、清浄空気１〔ft₃〕中の塵埃数との比を表わす
ものとする。図から理解されるようにウエハ２６
の表面に対する清浄空気の吹込角度を０度〜90度
の範囲で変化させた場合、吹込角度が０度のとき
の塵埃付着指数は吹込角度が90度のときに比べて
かなり減少し、実験によると1/10〜1/100にまで
減少することが明らかになつた。

従つて、前記改良されたウエハ搬送装置のよう
に清浄空気の吹込角度を90度とした場合に比べ
て、本考案のように吹込角度を０度とした場合に
は、ウエハ２６表面への付着塵埃数を著しく減少
することができる。この結果、本考案装置におい
ては、従来と同じ清浄度の空気を用いればウエハ
２６表面への付着塵埃数を低減することができ、
また従来と同数程度の付着塵埃数を許容し得るな
らば空気の清浄度を低くすることができるので、
清浄空気動力の低減により省エネルギを図ること
ができる。

尚、以上説明した実施例においては、空気吹込
口及び空気吹出口の具体的形状について説明しな
かつたが、ウエハ２６の表面と平行に清浄空気層
を形成することができれば、どのような形状であ
つてもよい。

また、前述した実施例においては、フイルタ４
６が整流格子４８に隣接して設けられているが、
給気ダクト５２内あるいはそれより前の給気経路
内に設けてもよい。

更に、前述した実施例においては、空気吹出口
から吹き出された清浄空気は排気チヤンバ５６及
び排気ダクト５８を介して排気されるように構成
されているが、空気吹出口から直接吹き出すよう
に構成してもよい。

以上説明したように本考案によれば、ウエハと
平行に清浄空気を吹き込むことにより、ウエハの
表面に該ウエハと平行に清浄空気層が形成され、
比較的清浄度の低い空気を使用した場合でも十分
な防塵効果を得ることができ、この結果空気清浄
動力を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のウエハ搬送装置の１例を示す構
成図、第２図は第１図で示される装置の外観図、
第３図は改良されたウエハ搬送装置の構成図、第
４図は本考案に係るウエハ搬送装置の好適な実施
例を示す第５図−線断に相当する構成図、第
５図は第４図の斜視図、第６図はウエハの表面に
対する清浄空気の吹込角度とウエハ表面への塵埃
付着指数との関係を示す説明図である。 ２６……ウエハ、４４……ウエハ搬送トンネ
ル、４６……フイルタ、４８，５４……整流格
子。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハを搬送面に沿つて搬送するウエハ搬送装
   置において、 ウエハ搬送面に沿つて設けられ該ウエハ搬送面
   を包囲するウエハ搬送トンネルと、 ウエハ搬送トンネルの一側面に開口されて該ト
   ンネル内のウエハ搬送面の幅方向に向けて該トン
   ネル内に清浄空気を吹込み搬送されるウエハの表
   面と平行にウエハ上に清浄空気層を形成する吹込
   口と、 ウエハ搬送トンネルの他側面に前記空気吹込口
   と対向して開口され清浄空気をウエハ搬送トンネ
   ル外に排出する吹出口と、 を備えたことを特徴とするウエハ搬送装置。