JPH07263335A - 感光膜溶液塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システム - Google Patents
感光膜溶液塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システムInfo
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- JPH07263335A JPH07263335A JP7009475A JP947595A JPH07263335A JP H07263335 A JPH07263335 A JP H07263335A JP 7009475 A JP7009475 A JP 7009475A JP 947595 A JP947595 A JP 947595A JP H07263335 A JPH07263335 A JP H07263335A
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- photosensitive film
- film solution
- photosensitive
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
- B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 感光膜溶液の損失を減らして原価節減および
生産性増加を達成できるのみならず、ボトル交換周期延
長のために稼働率向上に寄与できる、高信頼性の感光膜
溶液塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システムを提
供する。 【構成】 感光膜溶液ボトル１０と、配管システム上の
感光膜溶液の有無を判断できるようにセンサが設置され
ている中間タンク２０と、中間タンク２０と連結されて
配管ラインの気泡防止用に使用されるドレインと、感光
膜溶液供給ポンプ３０と、パーティクルを制御させるた
めのスタックフィルタ４０と、気泡性によるコーティン
グ不良防止用に使用されるスタックフィルタ４０に連結
されているドレインと、半導体ウエハに感光膜溶液を噴
射するノズル６０と、サック−バックユニット５０とか
ら構成される感光膜溶液供給配管システムにおいて、配
管の気泡制御のためにドレインさせる感光液を感光膜溶
液ボトル１０にリターンして再使用するように配管が形
成されている。
生産性増加を達成できるのみならず、ボトル交換周期延
長のために稼働率向上に寄与できる、高信頼性の感光膜
溶液塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システムを提
供する。 【構成】 感光膜溶液ボトル１０と、配管システム上の
感光膜溶液の有無を判断できるようにセンサが設置され
ている中間タンク２０と、中間タンク２０と連結されて
配管ラインの気泡防止用に使用されるドレインと、感光
膜溶液供給ポンプ３０と、パーティクルを制御させるた
めのスタックフィルタ４０と、気泡性によるコーティン
グ不良防止用に使用されるスタックフィルタ４０に連結
されているドレインと、半導体ウエハに感光膜溶液を噴
射するノズル６０と、サック−バックユニット５０とか
ら構成される感光膜溶液供給配管システムにおいて、配
管の気泡制御のためにドレインさせる感光液を感光膜溶
液ボトル１０にリターンして再使用するように配管が形
成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工程（photolit
hography) に使用される感光膜（photoresist, PR)の塗
布装置に関するものであり、より詳しくは、感光膜塗布
装置のドレイン感光膜再使用システムに関するものであ
る。
hography) に使用される感光膜（photoresist, PR)の塗
布装置に関するものであり、より詳しくは、感光膜塗布
装置のドレイン感光膜再使用システムに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】感光膜は、光が透視されるとその分子構
造が変わる物質として、半導体工程にパターンを形成す
るために使用されるものであるが、これを半導体ウエハ
に供給するための感光膜塗布装置は、前記の感光膜溶液
をフィルタリングする手段を具備すべきである。
造が変わる物質として、半導体工程にパターンを形成す
るために使用されるものであるが、これを半導体ウエハ
に供給するための感光膜塗布装置は、前記の感光膜溶液
をフィルタリングする手段を具備すべきである。
【０００３】以下、添付する図１に示す従来の感光液供
給系統図を参照して、半導体写真製版に使用される感光
膜溶液塗布装置の感光液供給システムに採用している感
光膜溶液のフィルタリング方式について説明する。
給系統図を参照して、半導体写真製版に使用される感光
膜溶液塗布装置の感光液供給システムに採用している感
光膜溶液のフィルタリング方式について説明する。
【０００４】図１に示すように、従来の感光膜供給系統
図の感光膜溶液供給システムの構成は、感光膜溶液を入
れる容器の役割をする感光膜溶液ボトル（bottle) １０
と、前記配管システム上の感光膜溶液の有無を判断でき
るようにセンサが設置されている中間タンク２０と、前
記中間タンク２０と連結されて配管ラインの気泡除去用
に使用されるドレインと、感光膜溶液をポンピングさせ
る感光膜溶液供給ポンプ３０と、パーティクル（partic
le）を制御させるためのスタックフィルタ（stack filt
er) ４０と、感光膜に存在する気泡によるコーティング
不良を防止するために使用される前記スタックフィルタ
４０に連結されているドレインと、ウエハに感光膜溶液
を噴射するノズル（nozzle) ６０と、前記ノズル６０を
通じてウエハに感光膜を塗布する際、感光膜溶液が滴下
することを防止するために前記感光膜溶液を管の内側に
吸い寄せる役割をするサック−バックユニット（suck b
ack unit) ５０とから構成される。
図の感光膜溶液供給システムの構成は、感光膜溶液を入
れる容器の役割をする感光膜溶液ボトル（bottle) １０
と、前記配管システム上の感光膜溶液の有無を判断でき
るようにセンサが設置されている中間タンク２０と、前
記中間タンク２０と連結されて配管ラインの気泡除去用
に使用されるドレインと、感光膜溶液をポンピングさせ
る感光膜溶液供給ポンプ３０と、パーティクル（partic
le）を制御させるためのスタックフィルタ（stack filt
er) ４０と、感光膜に存在する気泡によるコーティング
不良を防止するために使用される前記スタックフィルタ
４０に連結されているドレインと、ウエハに感光膜溶液
を噴射するノズル（nozzle) ６０と、前記ノズル６０を
通じてウエハに感光膜を塗布する際、感光膜溶液が滴下
することを防止するために前記感光膜溶液を管の内側に
吸い寄せる役割をするサック−バックユニット（suck b
ack unit) ５０とから構成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
従来の感光膜溶液供給システムの配管方式は、感光膜溶
液供給ポンプ３０に感光膜溶液をポンピング後、スタッ
クフィルタ（stack filter) ４０を経て感光膜溶液が供
給されるとき、気泡性によるコーティング不良を防止す
るために、スタックフィルタ４０のカートリッジ（cart
ridge)“Ａ”に２〜３ｃｃずつ自動にドレインされて、
廃液容器に入れるようにされる。すなわち、感光膜溶液
供給ポンプ３０に感光膜溶液が供給されるとき、少量の
感光膜溶液が自動にドレインされるので、感光膜溶液の
浪費が相当量存在するという短所を有する。
従来の感光膜溶液供給システムの配管方式は、感光膜溶
液供給ポンプ３０に感光膜溶液をポンピング後、スタッ
クフィルタ（stack filter) ４０を経て感光膜溶液が供
給されるとき、気泡性によるコーティング不良を防止す
るために、スタックフィルタ４０のカートリッジ（cart
ridge)“Ａ”に２〜３ｃｃずつ自動にドレインされて、
廃液容器に入れるようにされる。すなわち、感光膜溶液
供給ポンプ３０に感光膜溶液が供給されるとき、少量の
感光膜溶液が自動にドレインされるので、感光膜溶液の
浪費が相当量存在するという短所を有する。
【０００６】また、前述の従来の感光膜溶液供給システ
ムの中間タンク２０の液面センサにより、感光膜溶液が
ないことが感知されてエラー（error)が発生すると、感
光膜溶液ボトル１０を作業者が直接交換すべきである。
そのため、このとき、再び気泡を完全に制御するため
に、感光膜溶液が前記中間タンク２０に連結される廃液
容器に自動ドレインされて入れられる。その結果、上述
のように、感光膜溶液の浪費がこの場合にも存在する。
ムの中間タンク２０の液面センサにより、感光膜溶液が
ないことが感知されてエラー（error)が発生すると、感
光膜溶液ボトル１０を作業者が直接交換すべきである。
そのため、このとき、再び気泡を完全に制御するため
に、感光膜溶液が前記中間タンク２０に連結される廃液
容器に自動ドレインされて入れられる。その結果、上述
のように、感光膜溶液の浪費がこの場合にも存在する。
【０００７】本発明の目的は、前述の問題点を解決し、
（１） スタックフィルタのカートリッジを通じて自動
ドレインされる感光液が、感光膜溶液ボトル部にリター
ンされるように配管系を形成し、（２） 中間タンク部
に気泡を制御するために自動ドレインされる感光液およ
びスタックフィルタのカートリッジを通じてドレインさ
れる感光液が、全部感光膜溶液ボトル部にリターンされ
るように配管系を形成することにより、感光膜溶液損失
を減らして費用節減および生産性増加を達成できる、感
光膜塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システムを提
供することにある。
（１） スタックフィルタのカートリッジを通じて自動
ドレインされる感光液が、感光膜溶液ボトル部にリター
ンされるように配管系を形成し、（２） 中間タンク部
に気泡を制御するために自動ドレインされる感光液およ
びスタックフィルタのカートリッジを通じてドレインさ
れる感光液が、全部感光膜溶液ボトル部にリターンされ
るように配管系を形成することにより、感光膜溶液損失
を減らして費用節減および生産性増加を達成できる、感
光膜塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システムを提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明による感
光膜溶液塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システム
は、感光膜溶液を入れる容器の役割をする感光膜溶液ボ
トル（bottle) と、感光膜溶液ボトルに連結されて、パ
ーティクル（particle）を制御するためのフィルタの役
割をするスタックフィルタ（stack filter) と、スタッ
クフィルタに感光膜溶液を吐出する際の気泡によるコー
ティング不良防止用に使用されるスタックフィルタに連
結されるドレインと、ウエハに感光膜溶液を噴射するノ
ズル（nozzle) とにより構成される感光液供給システム
において、配管の気泡制御のためにドレインされる感光
液を感光膜溶液ボトルにリターンさせて再使用できるよ
うに配管系が形成されることを特徴としている。
光膜溶液塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システム
は、感光膜溶液を入れる容器の役割をする感光膜溶液ボ
トル（bottle) と、感光膜溶液ボトルに連結されて、パ
ーティクル（particle）を制御するためのフィルタの役
割をするスタックフィルタ（stack filter) と、スタッ
クフィルタに感光膜溶液を吐出する際の気泡によるコー
ティング不良防止用に使用されるスタックフィルタに連
結されるドレインと、ウエハに感光膜溶液を噴射するノ
ズル（nozzle) とにより構成される感光液供給システム
において、配管の気泡制御のためにドレインされる感光
液を感光膜溶液ボトルにリターンさせて再使用できるよ
うに配管系が形成されることを特徴としている。
【０００９】請求項２の発明による感光膜溶液塗布装置
のドレイン感光膜溶液再使用システムは、請求項１の発
明において、システムは、配管システム上に感光膜溶液
の有無を判断するためのセンサが設置されている中間タ
ンクと、感光膜溶液ボトルと連結されて、感光膜溶液を
ポンピングさせる感光膜溶液供給ポンプと、ノズルを通
じてウエハに感光膜溶液を塗布する際に、感光膜溶液が
滴下することを防止するために、感光膜溶液を管の内側
に吸い寄せる役割をするサック−バックユニット（suck
back unit) をさらに包含することを特徴としている。
のドレイン感光膜溶液再使用システムは、請求項１の発
明において、システムは、配管システム上に感光膜溶液
の有無を判断するためのセンサが設置されている中間タ
ンクと、感光膜溶液ボトルと連結されて、感光膜溶液を
ポンピングさせる感光膜溶液供給ポンプと、ノズルを通
じてウエハに感光膜溶液を塗布する際に、感光膜溶液が
滴下することを防止するために、感光膜溶液を管の内側
に吸い寄せる役割をするサック−バックユニット（suck
back unit) をさらに包含することを特徴としている。
【００１０】請求項３の発明による感光膜溶液塗布装置
のドレイン感光膜溶液再使用システムは、請求項２の発
明において、感光膜溶液ボトルにリターンされるように
構成される配管系は、スタックフィルタのカートリッジ
を通じて自動にドレインされる感光液が感光膜溶液ボト
ルにリターンされるように構成されることを特徴として
いる。
のドレイン感光膜溶液再使用システムは、請求項２の発
明において、感光膜溶液ボトルにリターンされるように
構成される配管系は、スタックフィルタのカートリッジ
を通じて自動にドレインされる感光液が感光膜溶液ボト
ルにリターンされるように構成されることを特徴として
いる。
【００１１】請求項４の発明による感光膜溶液塗布装置
のドレイン感光膜溶液再使用システムは、請求項２の発
明において、感光膜溶液ボトルにリターンされるように
構成される配管系は、中間タンクの気泡を制御するため
に自動にドレインされる感光液およびスタックフィルタ
のカートリッジを通じてドレインされる感光液を、全部
感光膜溶液ボトルにリターンさせるように構成されるこ
とを特徴としている。
のドレイン感光膜溶液再使用システムは、請求項２の発
明において、感光膜溶液ボトルにリターンされるように
構成される配管系は、中間タンクの気泡を制御するため
に自動にドレインされる感光液およびスタックフィルタ
のカートリッジを通じてドレインされる感光液を、全部
感光膜溶液ボトルにリターンさせるように構成されるこ
とを特徴としている。
【００１２】すなわち、本発明の一例による感光膜溶液
塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システムの構成
は、感光膜溶液を入れる容器の役割をする感光膜溶液ボ
トル（bottle) １０と、配管システム上に感光膜溶液の
有無を判断できるようにセンサが設置されている中間タ
ンク２０と、中間タンク２０と連結されて配管ラインの
気泡防止用に使用されるドレインと、感光膜溶液をポン
ピングさせる感光膜溶液供給ポンプ３０と、パーティク
ル（particle）を制御するためのスタックフィルタ（st
ack filter) ４０と、スタックフィルタ４０に感光膜溶
液供給時気泡性によるコーティング不良防止用に使用さ
れるスタックフィルタ４０に連結されているドレイン
と、半導体ウエハに感光膜溶液を噴射するノズル（nozz
le) ６０と、ノズル６０を通じてウエハに感光膜溶液塗
布時感光膜溶液が滴下することを防止するために感光膜
溶液を管の内側に吸い寄せる役割をするサック−バック
ユニット（suck back unit) ５０とから構成される感光
液供給配管システムにおいて、配管の気泡制御のために
ドレインさせる感光液を前記の感光膜溶液ボトル１０に
リターンして再使用するように配管が形成されているこ
とを特徴としている。
塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システムの構成
は、感光膜溶液を入れる容器の役割をする感光膜溶液ボ
トル（bottle) １０と、配管システム上に感光膜溶液の
有無を判断できるようにセンサが設置されている中間タ
ンク２０と、中間タンク２０と連結されて配管ラインの
気泡防止用に使用されるドレインと、感光膜溶液をポン
ピングさせる感光膜溶液供給ポンプ３０と、パーティク
ル（particle）を制御するためのスタックフィルタ（st
ack filter) ４０と、スタックフィルタ４０に感光膜溶
液供給時気泡性によるコーティング不良防止用に使用さ
れるスタックフィルタ４０に連結されているドレイン
と、半導体ウエハに感光膜溶液を噴射するノズル（nozz
le) ６０と、ノズル６０を通じてウエハに感光膜溶液塗
布時感光膜溶液が滴下することを防止するために感光膜
溶液を管の内側に吸い寄せる役割をするサック−バック
ユニット（suck back unit) ５０とから構成される感光
液供給配管システムにおいて、配管の気泡制御のために
ドレインさせる感光液を前記の感光膜溶液ボトル１０に
リターンして再使用するように配管が形成されているこ
とを特徴としている。
【００１３】
【実施例】以下、添付した図面を参照して、本発明の実
施例について詳細に説明する。
施例について詳細に説明する。
【００１４】本発明の実施例においては、図１に示した
従来の構成と同一の部分は同一符号を使用して図示する
ものとし、重複を避けるためにこれに対する説明は省略
する。
従来の構成と同一の部分は同一符号を使用して図示する
ものとし、重複を避けるためにこれに対する説明は省略
する。
【００１５】図２は、本発明の第１実施例による感光液
供給系統図を示す概略図である。図２を参照して、本発
明の第１実施例によると、従来は感光膜溶液をポンピン
グした後にスタックフィルタ４０を通って感光膜溶液が
吐出されるとき、気泡によるコーティング不良を制御す
るためにスタックフィルタ４０のカートリッジ“Ａ”に
２〜３ｃｃずつ自動ドレインされて廃液容器に入れて捨
てられていた感光膜溶液が、配管“Ｂ”を通じて感光膜
溶液ボトル１０にリターンされるように配管系を形成し
ている。すなわち、感光膜溶液の損失を減らして、感光
液使用効率が高まるように構成されていることがわか
る。
供給系統図を示す概略図である。図２を参照して、本発
明の第１実施例によると、従来は感光膜溶液をポンピン
グした後にスタックフィルタ４０を通って感光膜溶液が
吐出されるとき、気泡によるコーティング不良を制御す
るためにスタックフィルタ４０のカートリッジ“Ａ”に
２〜３ｃｃずつ自動ドレインされて廃液容器に入れて捨
てられていた感光膜溶液が、配管“Ｂ”を通じて感光膜
溶液ボトル１０にリターンされるように配管系を形成し
ている。すなわち、感光膜溶液の損失を減らして、感光
液使用効率が高まるように構成されていることがわか
る。
【００１６】図３は、本発明の第２実施例による感光液
供給系統図を示す概略図である。図３を参照して、本発
明の第２実施例によると、従来、スタックフィルタ４０
のカートリッジ“Ａ”に自動にドレインされて廃液容器
に入れて捨てられていた感光膜溶液のみならず、新規に
感光膜溶液ボトル１０を交換する場合に、すなわち、中
間タンク２０の液面センサにより感光膜溶液がないこと
が感知されてエラーが発生したことにより感光膜溶液ボ
トル１０を作業者が直接交替する場合に、中間タンク２
０に気泡を制御するために廃液容器に自動にドレインさ
れていた感光膜溶液も、ともに感光膜溶液ボトル１０に
リターンされるように配管系を形成している。その結
果、前記第１実施例よりもさらに優れた効果が得られ
る。
供給系統図を示す概略図である。図３を参照して、本発
明の第２実施例によると、従来、スタックフィルタ４０
のカートリッジ“Ａ”に自動にドレインされて廃液容器
に入れて捨てられていた感光膜溶液のみならず、新規に
感光膜溶液ボトル１０を交換する場合に、すなわち、中
間タンク２０の液面センサにより感光膜溶液がないこと
が感知されてエラーが発生したことにより感光膜溶液ボ
トル１０を作業者が直接交替する場合に、中間タンク２
０に気泡を制御するために廃液容器に自動にドレインさ
れていた感光膜溶液も、ともに感光膜溶液ボトル１０に
リターンされるように配管系を形成している。その結
果、前記第１実施例よりもさらに優れた効果が得られ
る。
【００１７】前記実施例による実験結果を、図４（Ａ）
および図４（Ｂ）に示す。図４（Ａ）は、従来技術（適
用前）によるウエハコーティング枚数と本発明（適用
後）によるウエハコーティング枚数とを比較して表に表
わしたものであり、図４（Ｂ）は、これをグラフ化した
ものである。
および図４（Ｂ）に示す。図４（Ａ）は、従来技術（適
用前）によるウエハコーティング枚数と本発明（適用
後）によるウエハコーティング枚数とを比較して表に表
わしたものであり、図４（Ｂ）は、これをグラフ化した
ものである。
【００１８】前記の実験は、４回反復して行ない、本発
明により配管系を形成した場合のウエハ処理枚数と、従
来の配管系を使用した場合のウエハ処理枚数とを記録し
た後に、その平均値を計算してボトル当り消耗される感
光膜溶液の量を比較した。その結果は、図４（Ａ），
（Ｂ）に示すとおりである。
明により配管系を形成した場合のウエハ処理枚数と、従
来の配管系を使用した場合のウエハ処理枚数とを記録し
た後に、その平均値を計算してボトル当り消耗される感
光膜溶液の量を比較した。その結果は、図４（Ａ），
（Ｂ）に示すとおりである。
【００１９】また、平均値だけに言及してみると、下記
のとおりである。すなわち、従来の場合にはボトル当り
のウエハの処理枚数が６０８枚であるのに対して、本発
明を適用した場合は、ボトル当りのウエハ処理枚数が７
３３枚に増加し、本発明によれば、１２５枚のウエハに
塗布される感光膜溶液の量を節約できることがわかる。
のとおりである。すなわち、従来の場合にはボトル当り
のウエハの処理枚数が６０８枚であるのに対して、本発
明を適用した場合は、ボトル当りのウエハ処理枚数が７
３３枚に増加し、本発明によれば、１２５枚のウエハに
塗布される感光膜溶液の量を節約できることがわかる。
【００２０】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、スタ
ックフィルタのカートリッジを通じて自動ドレインされ
る感光液が感光膜溶液ボトルにリターンされるように配
管系を形成し、また、中間タンク部に気泡を制御するた
めに自動ドレインされる感光液およびスタックフィルタ
のカートリッジを通じてドレインされる感光液が全部感
光膜溶液ボトルにリターンされるように配管系を形成し
ているので、損失（loss) される感光膜溶液を再使用で
き、従来に比較してボトル当り４〜６ＬＯＴのウエハを
さらに処理することができて、原価節減および生産性を
向上させることができる。
ックフィルタのカートリッジを通じて自動ドレインされ
る感光液が感光膜溶液ボトルにリターンされるように配
管系を形成し、また、中間タンク部に気泡を制御するた
めに自動ドレインされる感光液およびスタックフィルタ
のカートリッジを通じてドレインされる感光液が全部感
光膜溶液ボトルにリターンされるように配管系を形成し
ているので、損失（loss) される感光膜溶液を再使用で
き、従来に比較してボトル当り４〜６ＬＯＴのウエハを
さらに処理することができて、原価節減および生産性を
向上させることができる。
【図１】従来の技術による感光液供給系統図を示す概略
図である。
図である。
【図２】本発明の第１実施例による感光液供給系統図を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図３】本発明の第２実施例による感光液供給系統図を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図４】（Ａ）は従来技術によるウエハコーティング枚
数と本発明によるウエハコーティング枚数を比較して示
した表であり、（Ｂ）はこれをグラフ化したものであ
る。
数と本発明によるウエハコーティング枚数を比較して示
した表であり、（Ｂ）はこれをグラフ化したものであ
る。
１０ 感光膜溶液ボトル ２０ 中間タンク ３０ 感光膜溶液供給ポンプ ４０ スタックフィルタ ５０ サック−バックユニット ６０ ノズル なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 申 東和 大韓民国京畿道水原市八達区梅灘２洞104 −32
Claims (4)
- 【請求項１】 感光膜溶液を入れる容器の役割をする感
光膜溶液ボトルと、 前記感光膜溶液ボトルに連結されて、パーティクルを制
御するためのフィルタの役割をするスタックフィルタ
と、 前記スタックフィルタに感光膜溶液を吐出する際の気泡
によるコーティング不良防止用に使用される前記スタッ
クフィルタに連結されるドレインと、 ウエハに感光膜溶液を噴射するノズルとにより構成され
る感光液供給システムにおいて、 配管の気泡制御のためにドレインされる感光液を感光膜
溶液ボトルにリターンさせて再使用できるように配管系
が形成されることを特徴とする、感光膜溶液塗布装置の
ドレイン感光膜溶液再使用システム。 - 【請求項２】 前記システムは、 前記配管システム上に感光膜溶液の有無を判断するため
のセンサが設置されている中間タンクと、 前記感光膜溶液ボトルと連結されて、感光膜溶液をポン
ピングさせる感光膜溶液供給ポンプと、 前記ノズルを通じてウエハに感光膜溶液を塗布する際
に、感光膜溶液が滴下することを防止するために、前記
感光膜溶液を管の内側に吸い寄せる役割をするサック−
バックユニットをさらに包含することを特徴とする、請
求項１記載の感光膜溶液塗布装置のドレイン感光膜溶液
再使用システム。 - 【請求項３】 前記感光膜溶液ボトルにリターンされる
ように構成される配管系は、スタックフィルタのカート
リッジを通じて自動にドレインされる感光液が感光膜溶
液ボトルにリターンされるように構成されることを特徴
とする、請求項２記載の感光膜溶液塗布装置のドレイン
感光膜溶液再使用システム。 - 【請求項４】 前記感光膜溶液ボトルにリターンされる
ように構成される配管系は、中間タンクの気泡を制御す
るために自動にドレインされる感光液およびスタックフ
ィルタのカートリッジを通じてドレインされる感光液
を、全部感光膜溶液ボトルにリターンさせるように構成
されることを特徴とする、請求項２記載の感光膜溶液塗
布装置のドレイン感光膜溶液再使用システム。。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940001899A KR950025911A (ko) | 1994-02-02 | 1994-02-02 | 포토 공정 도포장치의 드레인 포토레지스트 재사용 시스템 |
| KR94P1899 | 1994-02-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07263335A true JPH07263335A (ja) | 1995-10-13 |
Family
ID=19376657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7009475A Withdrawn JPH07263335A (ja) | 1994-02-02 | 1995-01-25 | 感光膜溶液塗布装置のドレイン感光膜溶液再使用システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07263335A (ja) |
| KR (1) | KR950025911A (ja) |
| CN (1) | CN1075209C (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990001552A (ko) * | 1997-06-16 | 1999-01-15 | 윤종용 | 반도체장치 제조용 스피너의 배관구조 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100234527B1 (ko) * | 1996-05-16 | 1999-12-15 | 윤종용 | 반도체 제조설비의 진공장치 |
| KR20000026455A (ko) * | 1998-10-20 | 2000-05-15 | 윤종용 | 포토레지스트 분사 장치 |
| JP3890229B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-03-07 | 株式会社コガネイ | 薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法 |
| US8580117B2 (en) * | 2007-03-20 | 2013-11-12 | Taiwan Semiconductor Manufactuing Company, Ltd. | System and method for replacing resist filter to reduce resist filter-induced wafer defects |
| CN102540706A (zh) * | 2012-01-18 | 2012-07-04 | 上海华力微电子有限公司 | 一种延长光刻胶有效使用时间的方法 |
| CN103769351B (zh) * | 2014-01-20 | 2016-08-17 | 北京京东方显示技术有限公司 | 一种光刻胶回收系统 |
-
1994
- 1994-02-02 KR KR1019940001899A patent/KR950025911A/ko not_active Ceased
-
1995
- 1995-01-25 JP JP7009475A patent/JPH07263335A/ja not_active Withdrawn
- 1995-01-28 CN CN95102906A patent/CN1075209C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990001552A (ko) * | 1997-06-16 | 1999-01-15 | 윤종용 | 반도체장치 제조용 스피너의 배관구조 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1121845A (zh) | 1996-05-08 |
| CN1075209C (zh) | 2001-11-21 |
| KR950025911A (ko) | 1995-09-18 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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