JPH07265604A - 洗浄乾燥方法 - Google Patents

洗浄乾燥方法

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JPH07265604A
JPH07265604A JP6395994A JP6395994A JPH07265604A JP H07265604 A JPH07265604 A JP H07265604A JP 6395994 A JP6395994 A JP 6395994A JP 6395994 A JP6395994 A JP 6395994A JP H07265604 A JPH07265604 A JP H07265604A
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halogenated hydrocarbon
cleaned
immersion
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JP6395994A
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Masaaki Tsuzaki
真彰 津崎
Shigeru Handa
滋 半田
Yukio Otoshi
幸男 大歳
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Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】可燃性洗浄剤を用いる洗浄において、被洗浄物
を短時間で確実にリンス及び乾燥できる、ハロゲン化炭
化水素を用いた洗浄乾燥方法の提供。 【構成】被洗浄物品を可燃性洗浄剤で洗浄後、塩素系有
機溶剤、ハイドロクロロフルオロカーボン、ハイドロフ
ルオロカーボンから選ばれるハロゲン化炭化水素を用い
て浸漬洗浄とその上部で蒸気洗浄を行う方法であり、蒸
気洗浄には理論段数1段以上の蒸留器から送られる蒸気
を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、精密機械工業、光学機
械工業、電気電子工業及びプラスチック工業等におい
て、製造加工工程等で付着した油、フラックス、埃等を
除去するための洗浄乾燥方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、洗浄剤として1,1,2−トリク
ロロ−1,2,2−トリフルオロエタン(R113)等
のフロン系溶剤や、1,1,1−トリクロロエタン等の
塩素系溶剤が種々の工業分野において広く用いられてい
る。これらの溶剤は金属等の基材を侵さず、またR11
3はプラスチック、エラストマー等の基材に対する影響
も小さく、洗浄剤に最適であった。
【0003】しかし、従来使用されていたフロン系溶剤
や塩素系溶剤は、種々の利点を有するにもかかわらず、
化学的にきわめて安定なため、対流圏内での寿命が長
く、拡散して成層圏に達し、ここで紫外線により分解し
て塩素ラジカルを発生し、この塩素ラジカルが成層圏オ
ゾンと連鎖反応をおこし、オゾン層を破壊するとのこと
から、その使用規制が実施され、1996年にR113
と1,1,1−トリクロロエタンは全廃されることにな
っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】これらのフロン系溶剤
や塩素系溶剤にかわり、石油系や炭化水素系の可燃性洗
浄剤や、ハイドロクロロフルオロカーボン類で洗浄する
方法が一部で用いられている。しかし、ハイドロクロロ
フルオロカーボンは一般に価格が高く、コスト的に広範
囲の用途には適応し難い場合がある。
【0005】また可燃性洗浄剤を洗浄に用いる場合には
燃焼の危険性があり、またこれまでのフロン系溶剤や塩
素系溶剤と違い蒸気洗浄ができないため、仕上げのリン
スや乾燥が困難であった。
【0006】これらの問題を解決するために、可燃性洗
浄剤とパーフルオロカーボンを組み合わせた洗浄方法が
考えられている。例えば、特開平2−191581号、
特開平2−152234号、特開平4−256402
号、特開平4−297590号、特開平5−4067
号、特開平5−70981号、特開平5−184807
号各公報等が挙げられる。これらの方法は、全てが可燃
性の洗浄剤とパーフルオロカーボン又はハイドロフルオ
ロカーボンの組み合わせによる洗浄方法に関するもので
ある。
【0007】しかし、これらの方法では、パーフルオロ
カーボン又はハイドロフルオロカーボンによるリンスが
不充分となったり、これらによる蒸気洗浄の際に可燃性
洗浄剤が蒸気に混入し再汚染が発生する問題がある。ま
た、比較的高価なパーフルオロカーボン又はハイドロフ
ルオロカーボンの蒸気面が大きく、そのためにこれらの
消耗量が多くなりコストが高くなるという問題点もあっ
た。
【0008】そのため被洗物表面に付着した可燃性洗浄
剤を安全に、かつ効率よく行い安価な洗浄乾燥方法が必
要であった。本発明はこれらの問題点を解決する新規な
洗浄乾燥方法の提供を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述の目的を
達成すべくなされたものであり、ハロゲン化炭化水素を
利用した洗浄乾燥方法を提供する。
【0010】本発明における可燃性洗浄剤とは、引火点
を有し燃焼するもので、特に組成を限定するものではな
い。被洗浄物品の油、フラックス、埃等の汚れに合わせ
て選択することができる。
【0011】例えば、i又はn−ペンタン、i又はn−
ヘキサン、i又はn−ヘプタン、i又はn−オクタン、
i又はn−ノナン、石油エーテル、石油ベンジン、リグ
ロイン、ミネラルスピリット、ケロシン、ベンゼン、キ
シレンなどの炭化水素類、d−リモネン、l−リモネ
ン、ジペンテンなどのテルペン類、メタノール、エタノ
ール、i又はn−プロパノールなどのアルコール類、酢
酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピルなどのエステル
類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類、
ジ、トリ又はテトラエチレングリコールのモノ又はジア
ルキルエーテルなどのグリコールエーテル類など、又は
これらの混合物が挙げられる。また、前記化合物と下記
ハロゲン化炭化水素の混合物で引火点を有し、下記ハロ
ゲン化炭化水素よりも燃焼しやすいものが挙げられる。
【0012】本発明におけるハロゲン化炭化水素とは、
可燃性洗浄剤を溶解できるもので、可燃性洗浄剤よりも
燃焼しにくいものであれば構造は特に限定されない。し
かし、安全性の面から引火点を有さない塩素系有機溶
剤、ハイドロクロロフルオロカーボン類、ハイドロフル
オロカーボン類、パーフルオロカーボン類から選ばれる
少なくとも1種であることが好ましい。
【0013】具体的には、塩化メチレン、トリクロロエ
チレン、テトラクロロエチレン等の塩素系有機溶剤、
3,3−ジクロロ−1,1,1,2,2−ペンタフルオ
ロプロパン、1,3−ジクロロ−1,1,2,2,3−
ペンタフルオロプロパン、1,1−ジクロロ−1−フル
オロエタン、1,1−ジクロロ−2,2,2−トリフル
オロエタン等のハイドロクロロフルオロカーボン類、
1,1,2,3−テトラフルオロプロパン、1,1,
2,2,3,3,4,4−オクタフルオロブタン、1,
1,2,2,3,3,4−ヘプタフルオロブタン、1,
2,2,3,3,4−ヘキサフルオロブタン、1,2,
2,3,4−ペンタフルオロブタン、1,1,1,2,
2,3,4,5,5,5−デカフルオロペンタン、1,
1,1,2,2,3,3,4,4−ノナフルオロヘキサ
ン、2−トリフルオロメチル−1,1,1,2,3,
4,5,5,5−ノナフルオロペンタン、1,1,1,
2,2,3,3,4,4,5,5,6,6−トリデカフ
ルオロヘキサン等のハイドロフルオロカーボン類が挙げ
られる。
【0014】本発明方法によれば、まず油、フラック
ス、埃等の汚れが付着した被洗浄物品を石油系や炭化水
素系の可燃性洗浄剤で洗浄する。洗浄の方法としては、
浸漬洗浄やシャワー洗浄、更にこれらに揺動洗浄、超音
波洗浄、ブラシ洗浄及び噴流洗浄から選ばれる少なくと
も1種の洗浄を併用できる。
【0015】更に、必要ならば可燃性洗浄剤での洗浄を
複数回行うこともできる。更に本発明方法では、可燃性
洗浄剤の使用温度が低い等により洗浄力が不足しても、
この後で行うハロゲン化炭化水素による浸漬や蒸気洗浄
により完全に洗浄することもできる。
【0016】次に、表面の汚れを除去され更に表面に可
燃性洗浄剤の付着した被洗浄物品は、ハロゲン化炭化水
素によりリンスされる。このリンスに先立ち、可燃性洗
浄剤での洗浄が終了した被洗浄物品をエアーブロー、温
風ブロー、遠心、振動等の手段により、表面に付着して
いる可燃性洗浄剤の持ち出し及びハロゲン化炭化水素へ
の持ち込み量を低減することができる。これにより、可
燃性洗浄剤の消耗量、蒸留器での廃棄物量、廃棄物とし
て廃棄されるハロゲン化炭化水素量を低減することがで
きる。
【0017】ハロゲン化炭化水素を用いるリンスでは、
まず被洗浄物品をハロゲン化炭化水素浸漬洗浄槽に浸漬
する。この浸漬の際にはリンスの効果を向上するため
に、揺動洗浄、超音波洗浄、ブラシ洗浄や噴流洗浄等の
浸漬洗浄に併用される一般的手段を用いることができ
る。この浸漬により被洗浄物品の表面に付着した可燃性
洗浄剤の大部分は、ハロゲン化炭化水素に溶解し除去さ
れる。
【0018】このハロゲン化炭化水素の温度は、次に行
われるハロゲン化炭化水素蒸気での洗浄を充分に行うた
めに、沸点以下であることが必要で、沸点より10℃前
後低い温度以下にすることが好ましい。更に、可燃性洗
浄剤の温度が低い等の理由により、可燃性洗浄剤の洗浄
が不足しても、ハロゲン化炭化水素で完全な洗浄ができ
る。
【0019】次に、被洗浄物品は、浸漬洗浄槽のハロゲ
ン化炭化水素が付着した状態で浸漬洗浄槽から引き上げ
られる。この際には、浸漬洗浄槽の上部は、ハロゲン化
炭化水素の蒸気で覆われていることが必要である。蒸気
で覆われていない場合には、被洗浄物品の表面に付着し
ているハロゲン化炭化水素が蒸発し、浸漬洗浄で除去で
きなかった可燃性洗浄剤や、引き上げの際に付着してい
る浸漬洗浄槽に含まれているハロゲン化炭化水素に含ま
れる可燃性洗浄剤だけが残存し、結果として洗浄不良の
原因となる。
【0020】そのため、浸漬洗浄槽の上部はハロゲン化
炭化水素の蒸気で覆われている必要があり、この蒸気層
の中で引き上げられた被洗浄物品は蒸気洗浄される。蒸
気洗浄は、清浄なハロゲン化炭化水素の蒸気で行われ、
この蒸気が沸点以下の表面温度の被洗浄物品の表面で凝
縮し、被洗浄部品の表面は更にリンスされる。蒸気洗浄
は被洗浄物表面の温度が沸点に達するまで有効である。
【0021】最後に、蒸気洗浄によりリンスされ更に表
面温度がハロゲン化炭化水素の沸点に達した被洗浄物品
は、蒸気層から引き上げられる。引き上げられた被洗浄
物品は短時間に乾燥し、洗浄及びリンスが終了する。
【0022】更に本発明の特徴の一つである蒸気発生器
は、洗浄及びリンスを行う装置と独立した装置で用いる
ことができる。蒸気発生器には、浸漬洗浄槽の可燃性洗
浄剤を含んだハロゲン化炭化水素が送られる。蒸気発生
器においては、蒸留により可燃性洗浄剤とハロゲン化炭
化水素を分離し、ハロゲン化炭化水素の蒸気を浸漬洗浄
槽の上部に供給する。これにより、浸漬洗浄槽の上部で
はハロゲン化炭化水素の蒸気層が形成される。
【0023】蒸気洗浄は最終的なリンスであり、用いら
れるハロゲン化炭化水素の蒸気に含まれる可燃性洗浄剤
の濃度が、乾燥後の被洗浄物品表面の清浄度に大きな影
響を与える。このことは、蒸気発生器から浸漬洗浄槽上
部に供されるハロゲン化炭化水素の蒸気の純度が本発明
方法の成立の重要な要因となる。そのためには、前記蒸
気発生器が、1段以上の理論段数を有することが好まし
い。
【0024】以下に図を示し、本発明の特徴とするとこ
ろを一層明らかにする。本発明方法で使用する洗浄乾燥
方法に用いることができる装置の一例を示した図1にお
いて、油、フラックス、埃等の汚れの付着した被洗浄物
品は、洗浄乾燥装置(1)の中の第1洗浄槽(2)に入
れた可燃性洗浄剤に浸漬され、ここで被洗浄物品の表面
に付着した前記汚れを除去する。第1洗浄槽(2)に入
れられた可燃性洗浄剤は洗浄力の向上のために、ヒータ
ー(7)による加温や、超音波発振器(8)により超音
波洗浄を行うことができる。
【0025】次に、第1洗浄槽(2)で充分な洗浄効果
が得られない場合には、更に第2洗浄槽(3)で洗浄す
ることができる。第2洗浄槽(3)においても第1洗浄
槽(2)同様に、加温や超音波の使用を行うことが望ま
しい。図1では洗浄槽を2槽示したが、特に限定はなく
必要に応じて1槽から複数槽で行うことができる。
【0026】洗浄が終了し可燃性洗浄剤が付着した被洗
浄物品は、次に浸漬リンス槽(4)に入れられたハロゲ
ン化炭化水素に浸漬される。ここで、被洗浄物品表面に
付着している可燃性洗浄剤の大部分は被洗浄物品表面か
ら除去される。
【0027】次に浸漬リンス槽(4)から引き上げられ
た被洗浄物品は、蒸気層(5)の中で蒸気洗浄される。
この蒸気洗浄では、被洗浄物品の表面温度がハロゲン化
炭化水素の沸点に達するまでの間、被洗浄物品の表面で
ハロゲン化炭化水素の凝縮がおこり、凝縮したハロゲン
化炭化水素により更にリンスされる。また、被洗浄物品
の温度がハロゲン化炭化水素の沸点に達した後に、蒸気
層(5)から取り出すことにより、液体状のハロゲン化
炭化水素の持ち出しをなくすことができる。そのため、
被洗浄物品の表面は蒸気層(5)から取り出し後、完全
に乾燥状態となる。
【0028】図1におけるハロゲン化炭化水素の循環経
路としては、まずハロゲン化炭化水素は蒸気発生器
(6)で蒸留され蒸気となり浸漬リンス槽(4)に送ら
れて、蒸気層(5)を形成する。次に、蒸気層(5)の
ハロゲン化炭化水素蒸気の一部は、冷却管(9)まで上
昇し表面で凝縮する。この凝縮したハロゲン化炭化水素
は水分離器(10)で、空気中の湿度由来の水分と分離
され、ハロゲン化炭化水素のみが浸漬リンス槽(4)へ
送られる。
【0029】更に蒸気層(5)のハロゲン化炭化水素の
残りは浸漬リンス槽(4)のハロゲン化炭化水素溶剤の
表面や被洗浄物の凝縮し、浸漬リンス槽(4)に入る。
浸漬リンス槽(4)のハロゲン化炭化水素には、被洗浄
物品が持ち込む可燃性洗浄剤が混合される。この浸漬リ
ンス槽(4)のハロゲン化炭化水素は、図1では低部か
らであるが、可燃性洗浄剤がハロゲン化炭化水素と分離
する場合にはオーバーフロー等により上部から蒸気発生
器(6)に送られ、蒸留により可燃性洗浄剤と分離され
る。
【0030】蒸気発生器(6)は、1段以上の理論段数
を有し、清浄なハロゲン化炭化水素の蒸気が発生し、こ
の蒸気が蒸気層(5)へ送られる。更に蒸気発生器
(6)では、蒸留分離した可燃性洗浄剤を廃棄物(1
1)として除去する。
【0031】図1は本発明方法を用いる一例を示したも
ので、洗浄を行う第一洗浄槽及び第二洗浄槽、リンスを
行う浸漬リンス槽(4)、蒸気発生器(6)は装置とし
てそれどれが独立したものでもよく、全てが同一の装置
としても行うことができる。また個々の洗浄方法やリン
ス方法、水分離方法は特に限定されるものではなく、他
の一般的方法を用いることができる。
【0032】
【実施例】以下に実施例を示し、本発明の特徴とすると
ころをより一層明らかにする。
【0033】[実施例1]予めよく洗浄したステンレス
メッシュ(5cm×5cm)に切削油ダフニカットAS
−40H(出光興産)を塗布し100℃で1時間加熱し
たものを被洗浄物品とし、可燃性洗浄剤はイソドデカン
を用いて洗浄乾燥試験を行った。
【0034】まず、被洗浄物を60℃のイソドデカンに
30秒間浸漬洗浄し、次に30℃のハロゲン化炭化水素
に30秒間浸漬リンスし、最後にハロゲン化炭化水素の
蒸気ゾーンで30秒間蒸気洗浄を行った。この蒸気洗浄
の際に使用した蒸気は、それぞれのハロゲン化炭化水素
にイソドデカンを5重量%加えた溶剤を、5段の理論段
数を持つ蒸留器で蒸留した際の蒸気を使用した。
【0035】ハロゲン化炭化水素としては、塩化メチレ
ン、3,3−ジクロロ−1,1,1,2,2−ペンタフ
ルオロプロパン(R225ca)、1,3−ジクロロ−
1,1,2,2,3−ペンタフルオロプロパン(R22
5cb)、1,1−ジクロロ−1−フルオロエタン(R
141b)、1,1,2,3−テトラフルオロプロパン
(R254)、1,1,2,2,3,3,4,4−オク
タフルオロブタン(R338)、1,1,2,2,3,
3,4−ヘプタフルオロブタン(R347)、1,2,
2,3,3,4−ヘキサフルオロブタン(R356)、
1,2,2,3,4−ペンタフルオロブタン(R36
5)、1,1,1,2,2,3,4,5,5,5−デカ
フルオロペンタン(R4310)、1,1,1,2,
2,3,3,4,4−ノナフルオロヘキサン(R56
9)、2−トリフルオロメチル−1,1,1,2,3,
4,5,5,5−ノナフルオロペンタン(R531
2)、1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,
6,6−トリデカフルオロヘキサン(R5213)、R
225ca50重量%とR225cb50重量%の混合
物(R225ca/cb)を用いた。
【0036】ダフニカットAS−40Hを塗布前と塗布
後、また洗浄乾燥後の被洗浄物の重量測定結果から、切
削油の残存率を算出し、また蒸気洗浄直後の被洗浄物の
乾燥状態を観察した結果を表1に示す。表中、油の残存
率は、◎;0.1重量%未満、○;0.1重量%以上
0.5重量%未満、△;0.5重量%以上2重量%未
満、×;2重量%以上で表した。また乾燥状態は、◎;
ただちに乾燥、○;ゆっくり乾燥、△;部分的に乾燥、
×;乾燥できず、で表した。
【0037】[比較例1]実施例1の被洗浄物質を、
1,1,2−トリクロロ−1,2,2−トリフルオロエ
タン(R113)を用いて洗浄乾燥試験を行った。ま
ず、被洗浄物質を45℃のイソドデカンが1重量%含ま
れるR113に20秒間浸漬洗浄し、次に40℃のR1
13に30秒間浸漬洗浄し、最後にイソドデカンが5重
量%含まれるR113の蒸気で30秒間蒸気洗浄した。
実施例1と同様に切削油の残存率と乾燥状態を観察した
結果を表1に示す。
【0038】表1に示す結果より、本発明方法における
実施例は従来用いられているR113の洗浄と較べて
も、良好な洗浄効果を示し、また可燃性洗浄剤の残存に
よる乾燥の遅れも見られなかった。
【0039】[実施例2]予めよく洗浄したガラス板
(7cm×7cm)を被洗浄物品とし、可燃性洗浄剤は
イソドデカンを用いて洗浄乾燥試験を行った。
【0040】まず、被洗浄物を60℃のイソドデカンに
30秒間浸漬洗浄し、次に約25℃のイソドデカンを1
重量%含むハロゲン化炭化水素に30秒間浸漬リンス
し、最後にハロゲン化炭化水素の蒸気ゾーンで30秒間
蒸気洗浄を行った。この蒸気洗浄の際に使用した蒸気
は、それぞれのハロゲン化炭化水素にイソドデカンを1
0重量%加えた溶剤を、1、2、5段の理論段数を持つ
蒸留器で蒸留した際の、蒸気を使用した。
【0041】ハロゲン化炭化水素としては、塩化メチレ
ン、R225cb、R141b、R569、R521
3、R225ca/cbを用いた。
【0042】洗浄乾燥後の被洗浄物に水蒸気をあて、表
面のくもりかたの様子からガラス表面の清浄度を観察し
た結果を表2に示す。表中、ガラス表面の清浄度は、
◎;均一なくもり、○;若干数の点状の不均一なくもり
あり、△;多くの点状の不均一なくもりあり、×;全体
的にくもりが不均一、で表した。
【0043】[比較例2]実施例2の被洗浄物質を、R
113を用いて洗浄乾燥試験を行った。まず、被洗浄物
質を45℃のイソドデカンが1重量%含まれるR113
に20秒間浸漬洗浄し、次に40℃のR113に30秒
間浸漬洗浄し、最後にイソドデカンが5重量%含まれる
R113を沸騰させ発生した蒸気を用いて30秒間蒸気
洗浄した。実施例1と同様にガラス表面のくもりを観察
した結果を表2に示す。
【0044】表2に示す結果より、本発明方法における
実施例は比較例2の従来用いられているR113の洗浄
と較べても、蒸留器の理論段数を1段以上にすること
で、洗浄乾燥後のシミの発生のない良好な洗浄効果を示
した。
【0045】
【表1】
【0046】
【表2】
【0047】
【発明の効果】本発明による洗浄乾燥方法は、オゾン層
破壊などの環境問題を生じることはない。さらに、本発
明の洗浄乾燥方法は、被洗浄物品の表面に付着した油、
フラックス、埃等の汚染物を洗浄により除去し、更にリ
ンス、乾燥を問題なく行うことができる。また、従来の
洗浄方法と較べ、コストに影響を与える可燃性洗浄剤や
ハロゲン化炭化水素の使用量を抑制することができ、乾
燥にかかる電気コストを削減することで、安価に洗浄乾
燥を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の洗浄乾燥方法に用いる洗浄、リンス、
乾燥を行う装置の一例を示す図である。
【符号の説明】
1:洗浄乾燥装置 2:第1洗浄槽 3:第2洗浄槽 4:浸漬リンス槽 5:蒸気層 6:蒸気発生器 7:ヒーター 8:超音波発振器 9:冷却管 10:水分離器 11:廃棄物

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】可燃性洗浄剤で洗浄した被洗浄物品をハロ
    ゲン化炭化水素の浸漬洗浄槽に浸漬して引き上げ、つい
    で前記浸漬洗浄槽の上部で前記ハロゲン化炭化水素の蒸
    気に暴露することにより被洗浄物表面に付着した可燃性
    洗浄剤を除去する方法において、前記浸漬洗浄槽の可燃
    性洗浄剤含有ハロゲン化炭化水素の一部を蒸気発生器に
    送り、この蒸気発生器から得られる可燃性洗浄剤を蒸留
    除去したハロゲン化炭化水素の蒸気を前記浸漬洗浄槽上
    部に供給し蒸気の暴露に用いることを特徴とする洗浄乾
    燥方法。
  2. 【請求項2】ハロゲン化炭化水素が、塩素系有機溶剤、
    ハイドロクロロフルオロカーボン類及びハイドロフルオ
    ロカーボン類から選ばれる少なくとも1種である請求項
    1の洗浄乾燥方法。
  3. 【請求項3】ハロゲン化炭化水素が、引火点のないもの
    である請求項1の洗浄乾燥方法。
  4. 【請求項4】浸漬洗浄槽のハロゲン化炭化水素の温度が
    そのハロゲン化炭化水素の沸点よりも低いものである請
    求項1の洗浄乾燥方法。
  5. 【請求項5】浸漬洗浄槽において被洗浄物品の浸漬洗浄
    とともに、超音波洗浄、揺動洗浄及び噴流洗浄から選ば
    れる少なくとも1種の洗浄を併用する請求項1の洗浄乾
    燥方法。
  6. 【請求項6】浸漬洗浄槽の上部に冷却部を設けハロゲン
    化炭化水素の蒸気を凝縮し、凝縮したハロゲン化炭化水
    素を前記浸漬洗浄槽に供給する請求項1の洗浄乾燥方
    法。
  7. 【請求項7】浸漬洗浄槽に被洗浄物品を浸漬する前に、
    エアーブロー、温風ブロー、遠心、振動から選ばれる少
    なくとも1種の手段により被洗浄物品表面に付着した可
    燃性洗浄剤を除去する請求項1の洗浄乾燥方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997045522A1 (en) * 1996-05-30 1997-12-04 Nippon Zeon Co., Ltd. Process for the recovery of cyclic hydrofluorocarbon and process for cleaning articles
WO1997045521A1 (fr) * 1996-05-30 1997-12-04 Nippon Zeon Co., Ltd. Procede de nettoyage d'articles
JP2011031144A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Asahi Kasei Chemicals Corp リンス工程のない洗浄方法及び洗浄装置
JP2021038274A (ja) * 2019-08-30 2021-03-11 Eneos株式会社 洗浄剤及び洗浄方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1997045522A1 (en) * 1996-05-30 1997-12-04 Nippon Zeon Co., Ltd. Process for the recovery of cyclic hydrofluorocarbon and process for cleaning articles
WO1997045521A1 (fr) * 1996-05-30 1997-12-04 Nippon Zeon Co., Ltd. Procede de nettoyage d'articles
JP2011031144A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Asahi Kasei Chemicals Corp リンス工程のない洗浄方法及び洗浄装置
JP2021038274A (ja) * 2019-08-30 2021-03-11 Eneos株式会社 洗浄剤及び洗浄方法

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