JPH07269722A - 流量制御弁 - Google Patents
流量制御弁Info
- Publication number
- JPH07269722A JPH07269722A JP5643994A JP5643994A JPH07269722A JP H07269722 A JPH07269722 A JP H07269722A JP 5643994 A JP5643994 A JP 5643994A JP 5643994 A JP5643994 A JP 5643994A JP H07269722 A JPH07269722 A JP H07269722A
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- JP
- Japan
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- valve shaft
- nozzle
- end surface
- flow rate
- flow passage
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】シール用パッキンの軸方向の微少な変位で流量
が大きく変わらないように制御する。 【構成】ノズル端面とシール用弾性体との当接面の何れ
か一方を斜面に形成する。
が大きく変わらないように制御する。 【構成】ノズル端面とシール用弾性体との当接面の何れ
か一方を斜面に形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、圧力又は流量をより
微細に制御できるようにした流量制御弁に関するもので
ある。このような流量制御弁は、例えばガスクロマトグ
ラフでキャリアガスを供給する流路などにに利用され
る。
微細に制御できるようにした流量制御弁に関するもので
ある。このような流量制御弁は、例えばガスクロマトグ
ラフでキャリアガスを供給する流路などにに利用され
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の流量制御弁の一例を図３に示す。
図において、１は流路８の一端に設けられた弁座を構成
するノズル、２はシール用パッキンで弁軸４の一端に保
持され、前記ノズル１の端面１′に当接し、その流路を
遮断するものである。弁軸４は軸駆動部６により軸方向
に昇降する。５は軸封パッキン、９は流体出口流路、７
は弁装置全体のケーシングである。以上の構成において
図のようにノズル端面１′とシール用パッキン２との間
隔が広くあいているときは、流体は入口部８から出口部
９へ殆ど抵抗なく流れるが、弁軸４を軸方向に駆動して
パッキン２とノズル端面１′との隙間を小さくすると流
路抵抗が増え、ここを流れる流体の流量は小さくなり、
両者が完全に当接すると、流体の流れは完全に遮断され
る。一般にこの種流量制御では、流量は隙間３乗に比例
するので、隙間の微少な変化に対して流量は大きく変わ
る傾向がある。そのため、微妙な制御、微小精密な制御
が困難であった。例えば、ガスクロマトグラフなどでは
キャリアガス流量を極めて精密に制御できないと精密な
定性・定量がむつかしいので、この種制御弁の改善が要
望されていた。
図において、１は流路８の一端に設けられた弁座を構成
するノズル、２はシール用パッキンで弁軸４の一端に保
持され、前記ノズル１の端面１′に当接し、その流路を
遮断するものである。弁軸４は軸駆動部６により軸方向
に昇降する。５は軸封パッキン、９は流体出口流路、７
は弁装置全体のケーシングである。以上の構成において
図のようにノズル端面１′とシール用パッキン２との間
隔が広くあいているときは、流体は入口部８から出口部
９へ殆ど抵抗なく流れるが、弁軸４を軸方向に駆動して
パッキン２とノズル端面１′との隙間を小さくすると流
路抵抗が増え、ここを流れる流体の流量は小さくなり、
両者が完全に当接すると、流体の流れは完全に遮断され
る。一般にこの種流量制御では、流量は隙間３乗に比例
するので、隙間の微少な変化に対して流量は大きく変わ
る傾向がある。そのため、微妙な制御、微小精密な制御
が困難であった。例えば、ガスクロマトグラフなどでは
キャリアガス流量を極めて精密に制御できないと精密な
定性・定量がむつかしいので、この種制御弁の改善が要
望されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、以上の問
題点を解決したもので、弁軸の通常の変位だけで、流量
をより精細且つ微小に制御できるようにした流量制御弁
を提供するものである。
題点を解決したもので、弁軸の通常の変位だけで、流量
をより精細且つ微小に制御できるようにした流量制御弁
を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、かかる目的
を達成するために、ノズル端面とシール用弾性体との当
接面の何れか一方を斜面に形成したものである。
を達成するために、ノズル端面とシール用弾性体との当
接面の何れか一方を斜面に形成したものである。
【０００５】
【作用】極めて簡単な構造改良によって流量制御特性を
大幅に改善でき、より精密な流量制御が可能となった。
大幅に改善でき、より精密な流量制御が可能となった。
【０００６】
【実施例】以下、この発明の実施例を図１を参照して説
明する。ケーシング７の内部にノズル１と軸方向可動な
シール用パッキン２が対向配置され、流体入口用の流路
８と流体出口用の流路９がケーシング７に一体に構成さ
れている。パッキン保持部３に保持されたシール用パッ
キン２は、ゴム製で弾性変形が可能であり、その端面
２′は弁軸４の軸心に対して垂直に形成されている。ケ
ーシング７の下部に一体的に構成されたノズル１の端面
１′は弁軸４の軸心に対して傾斜した面になっている。
弁軸４はケーシング７の外部に設置された軸駆動部６の
駆動により軸方向に移動する。弁軸４をノズル１の方向
に移動するとシール用パッキン２はノズル１の傾斜した
端面１′のシール用パッキン２に最も近い部分１ａから
接触して、ついには端面１′全体と接触し、図１（ｂ）
のように流路８を全閉し、流路を遮断する。弁軸４をノ
ズル１と反対方向に徐々に移動すると図１（ｃ）のよう
に流路８の端面１′での開口の一部が開き流体がこの部
分を通過して流れる。弁軸４の移動とともにシール用パ
ッキン２は、ノズル１の傾斜した端面１′の最も低い部
分１ｂより徐々に離れていく。これにより、弁軸４の変
位に対して流路８の開口の大きさは徐々に大きくなるの
で、流体の流量は弁軸４の変位に対して微細に変化す
る。これにより精密な流量制御が可能になる。５は軸封
パッキンである。図１で、流体は流路８より入って流路
９より流出しているが、流路９より入って流路８から流
出させるようにしてもよい。
明する。ケーシング７の内部にノズル１と軸方向可動な
シール用パッキン２が対向配置され、流体入口用の流路
８と流体出口用の流路９がケーシング７に一体に構成さ
れている。パッキン保持部３に保持されたシール用パッ
キン２は、ゴム製で弾性変形が可能であり、その端面
２′は弁軸４の軸心に対して垂直に形成されている。ケ
ーシング７の下部に一体的に構成されたノズル１の端面
１′は弁軸４の軸心に対して傾斜した面になっている。
弁軸４はケーシング７の外部に設置された軸駆動部６の
駆動により軸方向に移動する。弁軸４をノズル１の方向
に移動するとシール用パッキン２はノズル１の傾斜した
端面１′のシール用パッキン２に最も近い部分１ａから
接触して、ついには端面１′全体と接触し、図１（ｂ）
のように流路８を全閉し、流路を遮断する。弁軸４をノ
ズル１と反対方向に徐々に移動すると図１（ｃ）のよう
に流路８の端面１′での開口の一部が開き流体がこの部
分を通過して流れる。弁軸４の移動とともにシール用パ
ッキン２は、ノズル１の傾斜した端面１′の最も低い部
分１ｂより徐々に離れていく。これにより、弁軸４の変
位に対して流路８の開口の大きさは徐々に大きくなるの
で、流体の流量は弁軸４の変位に対して微細に変化す
る。これにより精密な流量制御が可能になる。５は軸封
パッキンである。図１で、流体は流路８より入って流路
９より流出しているが、流路９より入って流路８から流
出させるようにしてもよい。
【０００７】なお、この発明の変形例として、図２のよ
うにシール用パッキン２２の端面２２′を弁軸４の軸心
に対して傾斜した面とし、ノズル２１の端面２１′を水
平に構成しても弁軸４の変位に対して流路８の開口の大
きさは徐々に変化するので、図１の構造のものと同様の
効果が得られる。
うにシール用パッキン２２の端面２２′を弁軸４の軸心
に対して傾斜した面とし、ノズル２１の端面２１′を水
平に構成しても弁軸４の変位に対して流路８の開口の大
きさは徐々に変化するので、図１の構造のものと同様の
効果が得られる。
【０００８】
【発明の効果】この発明は、以上のように、弁軸の軸方
向の微少な変位に対して流量が大きく変わらないため、
流体の圧力又は流量を精密かつ安定に制御することがで
きる。
向の微少な変位に対して流量が大きく変わらないため、
流体の圧力又は流量を精密かつ安定に制御することがで
きる。
【図１】この発明の実施例の流量制御弁の構成を示す
図。
図。
【図２】この発明の他の実施例の流量制御弁の弁シール
部の構成を示す図。
部の構成を示す図。
【図３】従来の流量制御弁の構成を示す図。
１…ノズル ２…シール用パッキン ３…
パッキン保持部 ４…弁軸 ６…軸駆動部 ７…
ケーシング ８、９…流路
パッキン保持部 ４…弁軸 ６…軸駆動部 ７…
ケーシング ８、９…流路
Claims (1)
- 【請求項１】流路の一端を構成するノズルの開放端面
を、先端にシール用弾性体を備えた可動弁軸を介して閉
塞することにより流量を制御するようにした弁装置にお
いて、前記ノズル端面とシール用弾性体との当接面の何
れか一方を斜面に形成したことを特徴とする流量制御
弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5643994A JP2762920B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 流量制御弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5643994A JP2762920B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 流量制御弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07269722A true JPH07269722A (ja) | 1995-10-20 |
| JP2762920B2 JP2762920B2 (ja) | 1998-06-11 |
Family
ID=13027127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5643994A Expired - Fee Related JP2762920B2 (ja) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | 流量制御弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2762920B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000320696A (ja) * | 1999-05-06 | 2000-11-24 | Ckd Corp | 流量調節弁 |
| JP2008101777A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Varian Bv | 耐振比例バルブおよび流体の流れ調整時の振動減衰方法 |
| JP2009019742A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Denso Corp | ブリード式バルブ装置 |
| CN110388529A (zh) * | 2018-04-20 | 2019-10-29 | 北京先驱威锋技术开发公司 | 一种端面密封装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4522833B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2010-08-11 | 株式会社キッツ | ニードルバルブ |
| KR101749957B1 (ko) * | 2015-05-07 | 2017-07-19 | 엠케이프리시젼 주식회사 | 질량유량계 유량제어밸브의 노즐 구조 |
| KR102420517B1 (ko) * | 2020-09-29 | 2022-07-13 | 엠케이프리시젼 주식회사 | 질량유량제어기 |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP5643994A patent/JP2762920B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000320696A (ja) * | 1999-05-06 | 2000-11-24 | Ckd Corp | 流量調節弁 |
| JP2008101777A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Varian Bv | 耐振比例バルブおよび流体の流れ調整時の振動減衰方法 |
| JP2009019742A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Denso Corp | ブリード式バルブ装置 |
| CN110388529A (zh) * | 2018-04-20 | 2019-10-29 | 北京先驱威锋技术开发公司 | 一种端面密封装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2762920B2 (ja) | 1998-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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