JPH07270743A - フローティング処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワ−クにダストの付着や損傷させることな
く、また薄いワ−クでも損傷なく搬送し、処理する。 【構成】 気体を吹き出すことにより無接触状態にてワ
−クを懸垂保持する吸着具と処理装置６とにより構成さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】本発明は、ワ−クを浮上した状態にて処理
するフローティング処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、液晶ガラス基板、セラミック
基板等の製造工程に於いては、紫外線照射による表面改
質処理あるいは加熱による乾燥等の工程がある。

【０００３】従来ワ−クを１個づつ処理を行なうバッチ
処理方式では、ワ−クをテーブル上に載置した状態にて
処理する方法が採られている。

【０００４】又連続して処理を行なう連続処理方式で
は、ワ−クの左右側端をベルトに乗せ処理装置へワ−ク
を供給及び排出を行なっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記ワ−クを１個づつ
処理を行なうバッチ処理方式では、ワ−クをテーブル上
に載置した状態にて処理するため、テーブル上のダスト
がワ−クに付着したり、ワ−クの裏面を処理する場合、
処理前のワ−クに損傷を与えたりし、ワ−クに悪影響を
及ぼすという問題があり、又連続処理装置方式では、ベ
ルトにより薄いワ−ク２を搬送する場合、ワ−ク側端部
をベルトに載置させるため、ワ−クの自重によりワ−ク
中央部が垂れ下がり、ベルトより落下し、破損するとい
う問題がある。

【０００６】

【問題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに、ワ−クを１枚づつ処理するバッチ処理方式に於い
ては、気体を吹き出すことによりワ−クを吸引し、無接
触状態にて保持する吸着具と、前記吸着具の周囲に配設
され、ワ−クの水平方向の移動を規制するガイド及びワ
−クの処理を行なう処理装置とからなるフローティング
処理装置によって、 又、ワ−クを連続して供給して処
理する連続処理方式に於いては、前記吸着具をワ−ク搬
送方向に複数並設し、該吸着具のワ−ク搬送方向の左右
両側に前後端を回行するべルトを掛渡し、該ベルトの上
走行線が前記吸着具の上面より上方に配設してワ−ク搬
送路となし、該ワ−ク搬送路中間部の上方に処理装置を
設けてなるフローティング処理装置により解決すること
が可能である。

【０００７】

【作用】バッチ処理方式では上記の構成により、本発明
では、処理前のワ−クは、搬送具によりフローティング
処理装置内の吸着具の上部に移送されると、吸着具より
気体を吹き出すことによりワ−クは吸引され、無接触状
態にて保持される。

【０００８】吸着具の周囲には、ワ−クの水平方向の移
動を規制するガイドが設けられているため、ワ−クが吸
着具より外れて落下することはない。

【０００９】この状態にて、吸着具の上部に配設された
処理装置が行なう処理作用により、ワ−クが所定の処理
をされる。

【００１０】このことにより、ワ−クがテーブルに載置
されることにより生じるダストの付着及び裏面に生じる
損傷の問題は解決される。

【００１１】また連続処理方式に於いては、搬送方向に
並設された吸着具と、その左右側方に設けられているベ
ルトにより形成されている搬送路の最前端ベルト上に、
処理前のワ−クが置かれると、ワ−クの下にある吸着具
から吹き出し、ワ−クを吸引する。

【００１２】吸引された前記ワ−クは、吸着具と一定間
隔を開けた無接触状態にて吸引保持されているため、ベ
ルトに密着し、ワ−ク搬送時のベルトとのすべりをなく
すと同時に、ワ−ク中心部は一定以上垂れ下がることが
ないため、ベルトより外れて落下することはない。

【００１３】この状態にてベルトが回転すると、ワ−ク
は後方に送られ、ワ−クの先端が次の吸着具の上部にく
るとセンサが感知し、その気体噴出口より気体を吹き出
し、ワ−クを吸引し、ワ−クは搬送路の後方へ送られ
る。

【００１４】搬送路中央部上方には処理装置が配設され
ており、処理装置の下を通過するワ−クは、処理装置の
処理作用により所定の処理がされ、後方へ送られる。

【００１５】処理の終わったワ−クは、搬送路最後端に
て次の工程に移載される。

【００１６】上述のように、薄いワ−クでも中心部が自
重により垂れ下がり、ベルトより外れて落下し、搬送が
不可能になることはない。

【００１７】

【実施例１】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説
明する。

【００１８】図１は、本発明のバッチ処理方式のフロー
ティング処理装置の全体構成を示しており、このフロー
ティング処理装置は、例えば液晶ガラス基板等のワ−ク
をバッチ処理方式にて乾燥させる乾燥装置である。

【００１９】図に於て、１は気体を吹き出すことにより
ワ−ク２を吸引し、無接触状態にて保持する吸着具であ
る。

【００２０】周囲を壁７によって囲まれたフローティン
グ処理装置１５の内部底面上に、ワ−ク２を吸引し、無
接触状態にて保持する吸着具１が、気体噴出口３を上に
向けて設置されている。

【００２１】この吸着具１は気体を気体噴出口３よりワ
−ク２に向かって吹き出すことにより、気体流によるベ
ルヌ−イ効果によりワ−ク２を吸引し、無接触状態にて
保持するものである。

【００２２】吸着具１の周囲には、ガイド５、５、５、
５が設けられており、ワ−ク２の水平方向の移動を規制
し、ワ−ク２が吸着具１より外れて落下しないようにな
っている。

【００２３】フローティング処理装置１５の前壁７には
開口部４２が形成されており、ワ−ク２の出し入れ時開
閉を行なう扉８が設けてある。

【００２４】扉８の上部は、フローティング処理装置１
５の上部にブラケット２１により取り付けられたシリン
ダー１９のロッド２０先端が取り付いており、ロッド２
０の伸縮により、扉８が昇降する機構になっている。

【００２５】フローティング処理装置１５内の吸着具１
の上部には、加熱源を備えた処理装置６が配設されてい
る。

【００２６】気体噴出口３に接続する管路９は、開閉弁
１４、加熱器１０及び排熱回収器１１を介して気体供給
源１１に接続している。

【００２７】又フローティング処理装置１５の側壁７の
上部には、装置内の気体を排出する管路１２が接続して
おり、管路１２は排熱回収器１１を介し排風機１３に接
続している。

【００２８】ワ−ク２のフローティング処理装置１５へ
の出し入れは、ロボット３８のアーム１６に装着されて
いる吸着具１７により行なう。

【００２９】該吸着具１７は、気体噴出口２３より気体
を吹き出すことによりワ−ク２を吸引し、無接触状態に
て保持する。

【００３０】前記吸着具１７の気体噴出口２３には管路
２２が接続されており、管路２３は、開閉弁３９を介し
て気体供給源（図示せず）に連結している。

【００３１】以上の構成に於て、供給台２４に置かれた
処理前のワ−ク２上に、ロボット３８のアーム１６に取
り付けてある吸着具１７が接近すると、センサ（図示せ
ず）が感知し、開閉弁３９を開にする。

【００３２】管路２２より気体が気体噴出口２３に供給
され、供給台４上のワ−ク２に向かって吹き出され、ワ
−ク２は吸着具１７に吸引される。

【００３３】吸引されたワ−ク２は、吸着具１７に周囲
に設けられたガイド１８により、吸着具１７から外れる
ことなく、無接触状態にて保持されている。

【００３４】次にロッド２０の収縮により扉８上昇し、
開口部４２が開かれ、アーム１６が伸長し、フローティ
ング処理装置１５内の吸着具１の真上に、吸着具１７に
保持されているワ−ク２を移動する。

【００３５】この状態にて、開閉弁１４を開にして吸着
具１の気体噴出口３より気体を吹き出すと同時に、吸着
具１７の気体噴出口２３よりの気体の吹き出しを停止す
る。

【００３６】上記の操作により、ワ−ク２は吸着具１７
より吸着具１へ移載され、ワ−ク２は吸着具１上に無接
触状態にて保持される。

【００３７】アーム１６がフローティング処理装置１５
外へ出ると、ロッド２０が伸長し、扉８が下降し、開口
部４２が閉じ、フローティング処理装置１５は密閉され
る。

【００３８】この状態にて、処理装置６の加熱源が作動
し、ワ−ク２を加熱する。

【００３９】また気体噴出口３より吹き出す気体も、排
熱回収器１１および加熱器１０により所定の温度に加熱
されて吸着具１に供給され、ワ−ク２に向かって吹き出
される。

【００４０】フローティング処理装置１５内の気体性状
に応じて、自動的に排風器１３を運転し、装置内の排気
体は、管路１２より排熱回収器３６に入り、供給気体と
熱交換をし、排風機１３より排出される。

【００４１】フローティング処理装置１５内に於けるワ
−ク２の処理が終了すれば、ロッド２０が収縮し、扉８
が上昇し、開口部４２が開き、アーム１６の移動により
吸着具１７がフローティング処理装置１５内の吸着具１
に保持されているワ−ク２に近接し、気体噴出口２３よ
り気体を吹き出し、ワ−ク２を無接触状態にて受取、フ
ローティング処理装置１５外の受給台（図示せず）上ま
で搬送し、気体噴出口２３からの気体吹き出しを停止
し、ワ−ク２を受給台に載置する。

【００４２】以上で１つのワ−ク２に対する処理動作が
終了し、以後同様の動作が繰り返される。

【００４３】本実施例では、フローティング処理装置１
５の下部に吸着具１の気体噴出口３を上に向けて設置
し、処理装置６を上部に配設したが、吸着具１をフロー
ティング処理装置１５内の上部に、気体噴出口３を下に
向け、処理装置６を下部に配設してもよい。

【００４４】またフローティング処理装置の処理装置６
は、気体噴出口より吹き出す気体のにて処理可能な場合
は、処理装置６は設けなくてもよい。

【００４５】

【実施例２】本発明の別の実施例をずめんに基ずいて説
明する。

【００４６】図２は、本発明に係る連続してワ−クを処
理する連続処理方式のフローティング処理装置の全体構
成を示している。

【００４７】図３は、図２のアーア断面図を示す。

【００４８】壁３５により周囲を囲まれたフローティン
グ処理装置３６の上部には処理装置６が設けられてお
り、下部にはベース３４上に、ワ−ク２の搬送方向（図
では左右方向）に吸着具２６、２６、２６、・・・が気
体噴出口３７、３７、３７、・・・を上に向けて並設さ
れており、前記吸着具２６の左右両側にワ−ク２の側端
部が載置可能な間隔にて前後端回行するベルト２７、２
７を掛渡してワ−ク搬送路４０を形成し、前記ワ−ク搬
送路４０は、フローティング処理装置３６の前後壁３
５、３５に設けられた開口部４１、４１より貫通して設
置されている。

【００４９】ベルト２７、２７の上走行線は、気体噴出
口３７の上面よりやや高い位置に配設されている。

【００５０】フローティング処理装置３６の前側にある
吸着具２６、２６、２６、・・・には開閉弁３１を介し
て管路２８、２８、２８、・・・が、フローティング処
理装置３６の内にある吸着具２６、２６、２６、・・・
には開閉弁３２を介して管路２９、２９、２９、・・・
が、フローティング処理装置３６の後側にある吸着具２
６、２６、２６、・・・には開閉弁３３を介して管路３
０、３０、３０、・・・が接続されており、管路を通る
気体温度を所定の温度に調節して供給している。

【００５１】このような構成にて、処理前のワ−ク２
は、ワ−ク搬送路４０の最前端部のベルト２７上に置か
れると同時に、ワ−ク２の下方にある吸着具２６の気体
噴出口３７より気体が吹き出し、ワ−ク２を吸引する。

【００５２】ワ−ク２は吸着具２６に吸引される垂れ下
がるが、ワ−ク２は常に吸着具２６と一定間隔を開けた
無接触状態にて保持されているため、一定以上垂れ下が
ることなく、ベルト２７、２７から外れて落下すること
なく、ベルト２７、２７上に載置されている。

【００５３】この状態にてベルト２７、２７が後方に移
動するにともないワ−ク２も後方に移送され、ワ−ク２
先端部が後方の吸着具２６の上面を通過すると、センサ
（図示せず）が感知し、気体噴出口３７より気体を吹き
出しワ−ク２を吸引し、順次後方へ送られていく。

【００５４】かようにしてワ−ク２がフローティング処
理装置３６内に移送され、内部を移送中に処理装置６に
より処理され、フローティング処理装置３６より送り出
され、ワ−ク搬送路４０の最後端に到達し、次工程に移
載される。

【００５５】順次同様な操作が連続して行なわれる。

【００５６】以上述べたごとく、ワ−ク２は吸着具２６
と一定間隔を保った無接触状態にて吸引保持されている
ためベルト２７に密着し、すべりをおこすことなく移送
されるとともに、移送中ワ−ク２に過度の垂れ下がりを
生させることが無いため、ベルト２７から外れて落下
し、破損することもない。

【００５７】本例の移送機構では、ベルトを用いている
が、回転駆動が可能なコロによりワ−ク側部を支持する
機構等、ワ−クの両側部を支持して移送する機構のもの
であればよい。

【００５８】また吸着具側部にガイドを設け、吸着具に
より浮上しているワ−クを進行方向に噴出する気体流に
より送るワ−ク搬送方式もよい。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
気体を吹き出すことによりワ−クを吸引し、無接触状態
にて保持する吸着具を用いたフローティング処理装置に
より、ワ−クにダストを付着さすことなく、ワ−ク裏面
を損傷することなく、また薄い大型のワ−クも自重によ
るたわみにより、落下し破損することなく無接触状態に
移送し、処理が可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフローティング処理装置の実施例の要
部断面図を示す。

【図２】本発明の別のフローティング処理装置の実施例
の要部断面図を示す。

【図３】図２のアーア断面図を示す。

【符号の説明】

１、１７、２６ 吸着具 ２ ワ−ク ３、２３、３７ 気体噴出口 ５、１８ ガイド ６ 処理装置 ７ 壁 １５、３６ フローティング処理装置 ２７ ベルト ４０ ワ−ク搬送路 @@

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワ−クを浮上させた状態にて、ワ−クを
   処理する装置であって、気体を吹き出すことによりワ−
   クを吸引し、無接触状態にて保持する吸着具と、前記吸
   着具の周囲に配設され、ワ−クの水平方向の移動を規制
   するガイド及びワ−クの処理を行なう処理装置とからな
   るフローティング処理装置。
2. 【請求項２】 前記吸着具をワ−ク搬送方向に複数並設
   し、該吸着具のワ−ク搬送方向の左右両側に前後端を回
   行するべルトを掛渡し、該ベルトの上走行線が前記吸着
   具の上面より上方に配設してワ−ク搬送路となし、該ワ
   −ク搬送路中間部上方に処理装置を設けてなるフローテ
   ィング処理装置。