JPH07272896A - 高周波誘導結合プラズマ装置用分割型トーチ - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ装置用分割型トーチInfo
- Publication number
- JPH07272896A JPH07272896A JP6060860A JP6086094A JPH07272896A JP H07272896 A JPH07272896 A JP H07272896A JP 6060860 A JP6060860 A JP 6060860A JP 6086094 A JP6086094 A JP 6086094A JP H07272896 A JPH07272896 A JP H07272896A
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- JP
- Japan
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- torch
- plasma
- cylindrical portion
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 トーチ外筒が変形した場合にも容易に着脱交
換できるようにする。 【構成】 高周波誘導結合プラズマ装置用のトーチ外筒
部をトーチから着脱交換ができるように分割し、両者を
突き合わせてトーチ支持アームで周囲を支持固定するよ
うにしたことを特徴とする。
換できるようにする。 【構成】 高周波誘導結合プラズマ装置用のトーチ外筒
部をトーチから着脱交換ができるように分割し、両者を
突き合わせてトーチ支持アームで周囲を支持固定するよ
うにしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高周波誘導結合プラズマ
装置（ＩＣＰ）用のトーチに関するものである。
装置（ＩＣＰ）用のトーチに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のＩＣＰのトーチとその支持
状態を示す断面図である。ＩＣＰのトーチはキャリアガ
スで試料液を霧化し、点火したプラズマ中でイオン化し
て分析装置へ導くためのものである。通常、トーチ１は
外筒１３、内筒１２、インジェクタ筒１１の石英製三重
管として作られており、これらは一体化或いはインジェ
クタ筒１１が分離された構造となっている。このような
トーチ１は、図４（ｂ）に示すように、端部に半球状の
凹部を有する上下のトーチ支持アーム２によって挟持さ
れている。そして、このトーチ１の各筒にはプラズマガ
ス４、補助ガス５、キャリアガス６がそれぞれ導入さ
れ、ロードコイル３によりプラズマ化されて分析装置へ
導かれるようになっている。
状態を示す断面図である。ＩＣＰのトーチはキャリアガ
スで試料液を霧化し、点火したプラズマ中でイオン化し
て分析装置へ導くためのものである。通常、トーチ１は
外筒１３、内筒１２、インジェクタ筒１１の石英製三重
管として作られており、これらは一体化或いはインジェ
クタ筒１１が分離された構造となっている。このような
トーチ１は、図４（ｂ）に示すように、端部に半球状の
凹部を有する上下のトーチ支持アーム２によって挟持さ
れている。そして、このトーチ１の各筒にはプラズマガ
ス４、補助ガス５、キャリアガス６がそれぞれ導入さ
れ、ロードコイル３によりプラズマ化されて分析装置へ
導かれるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、プラズマ点
火時や急激なガス流の変化によりプラズマが不安定とな
った場合、プラズマがトーチ１の外筒１３の内側に接触
してその熱により外筒が変形してしまう場合がある。こ
のような変形が生ずると安定したプラズマの形成ができ
ないばかりか、点火そのものも再現性よくできなくな
る。なお、外筒としてアルミナ等の耐熱性部材を使うこ
とも考えられるが、その場合にはその溶融成分が不純物
として作用してしまう可能性があり、これを避けるには
石英管で構成することが望ましい。そして、熱により変
形した外筒は交換する必要があるが、現状では全体が一
体に作製されているため、全体を取り換えなければなら
ないという問題があった。
火時や急激なガス流の変化によりプラズマが不安定とな
った場合、プラズマがトーチ１の外筒１３の内側に接触
してその熱により外筒が変形してしまう場合がある。こ
のような変形が生ずると安定したプラズマの形成ができ
ないばかりか、点火そのものも再現性よくできなくな
る。なお、外筒としてアルミナ等の耐熱性部材を使うこ
とも考えられるが、その場合にはその溶融成分が不純物
として作用してしまう可能性があり、これを避けるには
石英管で構成することが望ましい。そして、熱により変
形した外筒は交換する必要があるが、現状では全体が一
体に作製されているため、全体を取り換えなければなら
ないという問題があった。
【０００４】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、トーチの外筒が変形した場合にも容易に着脱交換を
行えるようにした高周波誘導結合プラズマ装置用分割型
トーチを提供することを目的とする。
で、トーチの外筒が変形した場合にも容易に着脱交換を
行えるようにした高周波誘導結合プラズマ装置用分割型
トーチを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、試料液を霧化
したキャリアガスが導入されるインジェクタ筒と、イン
ジェクタ筒の周囲に設けられ、補助ガスが導入される内
筒と、内筒の周囲に設けられ、プラズマガスが導入され
る外筒とからなり、トーチ支持アームで周囲を支持固定
し、導入されるガスをロードコイルで励起してプラズマ
化させるようにした高周波誘導結合プラズマ装置用トー
チにおいて、前記外筒をトーチ基部とトーチ外筒部とに
分割して両者を突き合わせ、トーチ支持アームで周囲を
支持固定するようにしたことを特徴とする。
したキャリアガスが導入されるインジェクタ筒と、イン
ジェクタ筒の周囲に設けられ、補助ガスが導入される内
筒と、内筒の周囲に設けられ、プラズマガスが導入され
る外筒とからなり、トーチ支持アームで周囲を支持固定
し、導入されるガスをロードコイルで励起してプラズマ
化させるようにした高周波誘導結合プラズマ装置用トー
チにおいて、前記外筒をトーチ基部とトーチ外筒部とに
分割して両者を突き合わせ、トーチ支持アームで周囲を
支持固定するようにしたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明はトーチの構成要素部分であるトーチ外
筒部をトーチ基部から分割するようにしたので、トーチ
外筒部が消耗、劣化、変形しても、その着脱交換が容易
にでき、またトーチ外筒部の材質をトーチ基部とは異な
ったものを使用することにより耐熱性、機械的強度等を
上げるようにすることも可能となる。
筒部をトーチ基部から分割するようにしたので、トーチ
外筒部が消耗、劣化、変形しても、その着脱交換が容易
にでき、またトーチ外筒部の材質をトーチ基部とは異な
ったものを使用することにより耐熱性、機械的強度等を
上げるようにすることも可能となる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の１実施例を示す図である。な
お、図４と同一番号は同一内容を示している。本実施例
において、トーチ外筒はトーチ基部１３ａとトーチ外筒
部１３ｂとに分割され、これらはトーチ支持アーム２の
位置で突き合わせる恰好で支持固定されている。このよ
うに、トーチ基部１３ａとトーチ外筒部１３ｂとは突き
合わせられてトーチ支持アーム２により固定されるが、
この内部に導入されるガスはロードコイル３で励起され
てプラズマ７が発生し、このプラズマ７が不安定になっ
てトーチ外筒部内面に接触するとその熱により変形し、
プラズマ７がより不安定になったり、点火時にうまく着
火できなくなってしまう場合が生ずる。しかし、トーチ
外筒部１３ｂはトーチ基部１３ａより分割されているの
で、プラズマを消してトーチ外筒部１３ｂを外し、新し
いものと容易に交換することができる。
お、図４と同一番号は同一内容を示している。本実施例
において、トーチ外筒はトーチ基部１３ａとトーチ外筒
部１３ｂとに分割され、これらはトーチ支持アーム２の
位置で突き合わせる恰好で支持固定されている。このよ
うに、トーチ基部１３ａとトーチ外筒部１３ｂとは突き
合わせられてトーチ支持アーム２により固定されるが、
この内部に導入されるガスはロードコイル３で励起され
てプラズマ７が発生し、このプラズマ７が不安定になっ
てトーチ外筒部内面に接触するとその熱により変形し、
プラズマ７がより不安定になったり、点火時にうまく着
火できなくなってしまう場合が生ずる。しかし、トーチ
外筒部１３ｂはトーチ基部１３ａより分割されているの
で、プラズマを消してトーチ外筒部１３ｂを外し、新し
いものと容易に交換することができる。
【０００８】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、色々な変形が可能である。例えば、トーチ
外筒部１３ｂはトーチ基部１３ａと同一材質でなくても
良く、より耐熱性のあるもの、機械的強度の強いものな
どを使用しても良い。更に導電性のメッシュを筒状に
し、完全に一周しない形状で石英ガラスなどを封入した
シールドを目的としたものでも良い。また、分割トーチ
の支持固定は図２に示すように接続アダプタ８で周囲を
囲んで、これを介してトーチ支持アーム２により固定す
るようにしても良く、あるいは図３に示すように、０リ
ング９を使って密閉度や支持性等の改善を図るようにし
ても良い。また、トーチ基部１３ａがインジェクタ筒１
１の部分を切り離せる型のものにしても可能である。
のではなく、色々な変形が可能である。例えば、トーチ
外筒部１３ｂはトーチ基部１３ａと同一材質でなくても
良く、より耐熱性のあるもの、機械的強度の強いものな
どを使用しても良い。更に導電性のメッシュを筒状に
し、完全に一周しない形状で石英ガラスなどを封入した
シールドを目的としたものでも良い。また、分割トーチ
の支持固定は図２に示すように接続アダプタ８で周囲を
囲んで、これを介してトーチ支持アーム２により固定す
るようにしても良く、あるいは図３に示すように、０リ
ング９を使って密閉度や支持性等の改善を図るようにし
ても良い。また、トーチ基部１３ａがインジェクタ筒１
１の部分を切り離せる型のものにしても可能である。
【０００９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、プラズマ
の高温により消耗、劣化等が激しく、交換修理の対象と
なるトーチ外筒部をトーチから着脱交換ができるように
分割したことで、この部分だけを取り換えればよいた
め、メンテナンスが容易になり、またトーチ外筒部の材
質をトーチ基部とは異なった、例えば耐熱性のもの等を
使用することも可能であり、全体としての耐久性を向上
させることも可能となる。
の高温により消耗、劣化等が激しく、交換修理の対象と
なるトーチ外筒部をトーチから着脱交換ができるように
分割したことで、この部分だけを取り換えればよいた
め、メンテナンスが容易になり、またトーチ外筒部の材
質をトーチ基部とは異なった、例えば耐熱性のもの等を
使用することも可能であり、全体としての耐久性を向上
させることも可能となる。
【図１】 本発明の１実施例を示す図である。
【図２】 接続アダプタを用いた本発明の他の実施例の
トーチを示す図である。
トーチを示す図である。
【図３】 Ｏリングを用いた本発明の他の実施例のトー
チを示す図である。
チを示す図である。
【図４】 従来のＩＣＰのトーチとその支持状態を示す
断面図である。
断面図である。
２…トーチ支持アーム、７…プラズマ、１３ａ…トーチ
基部、１３ｂ…トーチ外筒部、
基部、１３ｂ…トーチ外筒部、
Claims (1)
- 【請求項１】 試料液を霧化したキャリアガスが導入さ
れるインジェクタ筒と、インジェクタ筒の周囲に設けら
れ、補助ガスが導入される内筒と、内筒の周囲に設けら
れ、プラズマガスが導入される外筒とからなり、トーチ
支持アームで周囲を支持固定し、導入されるガスをロー
ドコイルで励起してプラズマ化させるようにした高周波
誘導結合プラズマ装置用トーチにおいて、前記外筒をト
ーチ基部とトーチ外筒部とに分割して両者を突き合わ
せ、トーチ支持アームで周囲を支持固定するようにした
ことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ装置用分割型
トーチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06060860A JP3083443B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 高周波誘導結合プラズマ装置用分割型トーチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06060860A JP3083443B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 高周波誘導結合プラズマ装置用分割型トーチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07272896A true JPH07272896A (ja) | 1995-10-20 |
| JP3083443B2 JP3083443B2 (ja) | 2000-09-04 |
Family
ID=13154570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06060860A Expired - Fee Related JP3083443B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 高周波誘導結合プラズマ装置用分割型トーチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3083443B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014011919A2 (en) | 2012-07-13 | 2014-01-16 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Torches and methods of using them |
| CN106645073A (zh) * | 2017-03-08 | 2017-05-10 | 力合科技（湖南）股份有限公司 | 一种原子化器及其点火装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6184576B1 (ja) | 2016-10-18 | 2017-08-23 | 株式会社タカラトミー | コマ玩具 |
| JP6261786B1 (ja) | 2017-02-10 | 2018-01-17 | 株式会社タカラトミー | コマ玩具 |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP06060860A patent/JP3083443B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014011919A2 (en) | 2012-07-13 | 2014-01-16 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Torches and methods of using them |
| EP2904881A4 (en) * | 2012-07-13 | 2016-06-01 | Perkinelmer Health Sci Inc | ILLUMINATES AND METHOD FOR USE THEREOF |
| AU2013290093B2 (en) * | 2012-07-13 | 2017-09-21 | Peter Morrisroe | Torches and methods of using them |
| CN106645073A (zh) * | 2017-03-08 | 2017-05-10 | 力合科技（湖南）股份有限公司 | 一种原子化器及其点火装置 |
| CN106645073B (zh) * | 2017-03-08 | 2023-09-29 | 力合科技（湖南）股份有限公司 | 一种原子化器及其点火装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3083443B2 (ja) | 2000-09-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000606 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080630 Year of fee payment: 8 |
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