JPH07273179A - 基板用カセット - Google Patents
基板用カセットInfo
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- JPH07273179A JPH07273179A JP6299894A JP6299894A JPH07273179A JP H07273179 A JPH07273179 A JP H07273179A JP 6299894 A JP6299894 A JP 6299894A JP 6299894 A JP6299894 A JP 6299894A JP H07273179 A JPH07273179 A JP H07273179A
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- Japan
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- tube
- stopper
- fluororesin
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Links
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Landscapes
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Weting (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 金属製の芯材をフッ素樹脂製のチューブで被
覆して構成したストッパの前記芯材とフッ素樹脂との間
に生ずる隙間の内部に、薬液等の液体が染み込んで溜ま
る液溜り現象を確実かつ経時的に防止して液切れを良く
する。 【構成】 金属製の芯材４をフッ素樹脂性のチューブ５
で被覆した棒部材をストッパ３として使用した基板用カ
セットにおいて、前記芯材４の長さを前記チューブ５の
長さより短くして該チューブ５の両端に空間部２０を形
成するとともに、この空間部２０内にフッ素樹脂製の栓
部材２１を挿着し、この栓部材２１の外周面と前記空間
部を区画するチューブ５の内周面とを、例えは溶解性フ
ッ素樹脂からなる糊２２を介して融着して前記ストッパ
３を構成したことを特徴とする。
覆して構成したストッパの前記芯材とフッ素樹脂との間
に生ずる隙間の内部に、薬液等の液体が染み込んで溜ま
る液溜り現象を確実かつ経時的に防止して液切れを良く
する。 【構成】 金属製の芯材４をフッ素樹脂性のチューブ５
で被覆した棒部材をストッパ３として使用した基板用カ
セットにおいて、前記芯材４の長さを前記チューブ５の
長さより短くして該チューブ５の両端に空間部２０を形
成するとともに、この空間部２０内にフッ素樹脂製の栓
部材２１を挿着し、この栓部材２１の外周面と前記空間
部を区画するチューブ５の内周面とを、例えは溶解性フ
ッ素樹脂からなる糊２２を介して融着して前記ストッパ
３を構成したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板、その他各
種の基板を、互いに接触しないように分離させた状態で
収容して搬送するのに使用して最適な基板用カセット、
特にこの基板カセットに基板を受け止めるために使用さ
れるストッパの改良に関する。
種の基板を、互いに接触しないように分離させた状態で
収容して搬送するのに使用して最適な基板用カセット、
特にこの基板カセットに基板を受け止めるために使用さ
れるストッパの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】前記基板用カセットとしては、例えば図
３に示すように、互いに所定間隔離間して配置された一
対の矩形平板枠状フレーム１，１の上下（または前後）
両側縁部間に、複数の溝付き丸棒２を並列的に架設し、
この溝付き丸棒２の各溝部２ａ内に基板Ｗの側端部を差
し込んでこれを横移動不能に保持するとともに、前記フ
レーム１，１間の奥部に基板Ｗを受け止める棒状のスト
ッパ３を配置したものが知られている（例えば、特開平
３−２７３６６４号公報参照）。
３に示すように、互いに所定間隔離間して配置された一
対の矩形平板枠状フレーム１，１の上下（または前後）
両側縁部間に、複数の溝付き丸棒２を並列的に架設し、
この溝付き丸棒２の各溝部２ａ内に基板Ｗの側端部を差
し込んでこれを横移動不能に保持するとともに、前記フ
レーム１，１間の奥部に基板Ｗを受け止める棒状のスト
ッパ３を配置したものが知られている（例えば、特開平
３−２７３６６４号公報参照）。
【０００３】ここに、この種の基板用カセットにおいて
は、この内部に複数の基板を収容した状態で、この搬送
の過程で基板に対する各種の処理を施すことが広く行わ
れており、このため、基板用カセットとして、耐薬品性
及び耐熱性を有することが要求されている。
は、この内部に複数の基板を収容した状態で、この搬送
の過程で基板に対する各種の処理を施すことが広く行わ
れており、このため、基板用カセットとして、耐薬品性
及び耐熱性を有することが要求されている。
【０００４】更に、前記ストッパ３においては、これに
基板Ｗが衝突して割れたりひびが入ってしまうことを防
止するとともに、基板Ｗを支持するのに十分な強度を持
たせる必要がある。
基板Ｗが衝突して割れたりひびが入ってしまうことを防
止するとともに、基板Ｗを支持するのに十分な強度を持
たせる必要がある。
【０００５】このため、従来、上記ストッパ３として
は、図４に示すように、例えば、高い剛性を有するＳＵ
Ｓ（ステンレス鋼）等の金属製の芯材４を、その全長に
亘って、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレ
ン）等の、耐薬品性、耐熱性及び耐衝撃性に優れたフッ
素樹脂製のチューブ５で被覆するとともに、前記芯材４
の端面に、ストッパ３を前記フレーム１にボルト６を介
して固定するための雌ねじ部７を形成したり、図５に示
すように、金属製の芯材４の端部に楔状に外方に突出す
る複数の突条部４ａを形成し、芯材４をフッ素樹脂製の
チューブ５で被覆した後、この端部に金属カバー８を被
せ、この金属カバー８をかしめることにより前記突条部
４ａをチューブ５の内部に食い込ませ、更に、芯材４の
端面に、ストッパ３を前記フレーム１にナット９を介し
て固定するための雄ねじ部１０を形成したもの等が一般
に知られている。
は、図４に示すように、例えば、高い剛性を有するＳＵ
Ｓ（ステンレス鋼）等の金属製の芯材４を、その全長に
亘って、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレ
ン）等の、耐薬品性、耐熱性及び耐衝撃性に優れたフッ
素樹脂製のチューブ５で被覆するとともに、前記芯材４
の端面に、ストッパ３を前記フレーム１にボルト６を介
して固定するための雌ねじ部７を形成したり、図５に示
すように、金属製の芯材４の端部に楔状に外方に突出す
る複数の突条部４ａを形成し、芯材４をフッ素樹脂製の
チューブ５で被覆した後、この端部に金属カバー８を被
せ、この金属カバー８をかしめることにより前記突条部
４ａをチューブ５の内部に食い込ませ、更に、芯材４の
端面に、ストッパ３を前記フレーム１にナット９を介し
て固定するための雄ねじ部１０を形成したもの等が一般
に知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例においては、フッ素樹脂は、いかなる物質にも貼着
しない、即ち接着剤が効かない性質を有しているため、
金属製の芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆した時
に、芯材の外周面とチューブの内周面との間に隙間が発
生し、基板の処理の際に基板カセットを薬液の中に浸漬
させると、この隙間の中に薬液が染み込みで溜まる液溜
り現象を起こしてしまうといった問題点があった。
来例においては、フッ素樹脂は、いかなる物質にも貼着
しない、即ち接着剤が効かない性質を有しているため、
金属製の芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆した時
に、芯材の外周面とチューブの内周面との間に隙間が発
生し、基板の処理の際に基板カセットを薬液の中に浸漬
させると、この隙間の中に薬液が染み込みで溜まる液溜
り現象を起こしてしまうといった問題点があった。
【０００７】即ち、このように、液溜まり現象が生じる
と、この隙間に溜まった液体がなかなか抜けずに、芯材
を腐蝕させて、芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆し
た意味がなくなってしまうばかりでなく、他の薬液中に
浸漬させた時に、この隙間に溜まった液体（薬液）が徐
々に染み出して、薬液が混じり合ってしまうことがあっ
た。
と、この隙間に溜まった液体がなかなか抜けずに、芯材
を腐蝕させて、芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆し
た意味がなくなってしまうばかりでなく、他の薬液中に
浸漬させた時に、この隙間に溜まった液体（薬液）が徐
々に染み出して、薬液が混じり合ってしまうことがあっ
た。
【０００８】このことは、前記図５に示すように、金属
製カバーによるかしめ加工によって芯材の外周部をフッ
素樹脂製のチューブの内部に食い込ませたとしても同様
であった。これは、高温・高湿下でのヒートサイクル等
によって、フッ素樹脂製のチューブがクリープ現象を起
こしてしまい、このクリープ現象によって、芯材のチュ
ーブへの食い込みが緩んでしまうからである。
製カバーによるかしめ加工によって芯材の外周部をフッ
素樹脂製のチューブの内部に食い込ませたとしても同様
であった。これは、高温・高湿下でのヒートサイクル等
によって、フッ素樹脂製のチューブがクリープ現象を起
こしてしまい、このクリープ現象によって、芯材のチュ
ーブへの食い込みが緩んでしまうからである。
【０００９】本発明は上記に鑑み、金属製の芯材をフッ
素樹脂製のチューブで被覆して構成したストッパの前記
芯材とフッ素樹脂との間に生ずる隙間の内部に、薬液等
の液体が染み込んで溜まる液溜り現象を確実かつ経時的
に防止して液切れを良くしたものを提供することを目的
とする。
素樹脂製のチューブで被覆して構成したストッパの前記
芯材とフッ素樹脂との間に生ずる隙間の内部に、薬液等
の液体が染み込んで溜まる液溜り現象を確実かつ経時的
に防止して液切れを良くしたものを提供することを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る基板用カセットは、金属製の芯材をフ
ッ素樹脂性のチューブで被覆した棒部材をストッパとし
て使用した基板用カセットにおいて、前記芯材の長さを
前記チューブの長さより短くして該チューブの両端に空
間部を形成するとともに、この空間部内にフッ素樹脂製
の栓部材を挿着し、この栓部材の外周面と前記空間部を
区画するチューブの内周面とを融着して前記ストッパを
構成したことを特徴とするものである。
め、本発明に係る基板用カセットは、金属製の芯材をフ
ッ素樹脂性のチューブで被覆した棒部材をストッパとし
て使用した基板用カセットにおいて、前記芯材の長さを
前記チューブの長さより短くして該チューブの両端に空
間部を形成するとともに、この空間部内にフッ素樹脂製
の栓部材を挿着し、この栓部材の外周面と前記空間部を
区画するチューブの内周面とを融着して前記ストッパを
構成したことを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】上記のように構成した本発明によれば、金属製
の芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆して構成したス
トッパの該チューブの両端は、フッ素樹脂製の栓部材で
閉塞され、しかもこの栓部材の外周面はチューブの内周
面に融着によって密封状態で接合されているため、ここ
でチューブ内への液体の流入を確実に阻止して液溜りを
防止し、しかもヒートサイクル等によってチューブにク
リープ現象が生じたとしても、この効果を維持すること
ができる。
の芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆して構成したス
トッパの該チューブの両端は、フッ素樹脂製の栓部材で
閉塞され、しかもこの栓部材の外周面はチューブの内周
面に融着によって密封状態で接合されているため、ここ
でチューブ内への液体の流入を確実に阻止して液溜りを
防止し、しかもヒートサイクル等によってチューブにク
リープ現象が生じたとしても、この効果を維持すること
ができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。前述のように、基板カセットは、図３に示すよう
に、互いに所定間隔離間して配置された一対の矩形平板
枠状フレーム１，１の上下（または前後）両側縁部間
に、複数の溝付き丸棒２を並列的に架設し、この溝付き
丸棒２の各溝部２ａ内に基板Ｗの側端部を差し込んでこ
れを横移動不能に保持するとともに、前記フレーム１，
１間の奥部に基板Ｗを受け止める棒状のストッパ３を配
置して構成されている。
する。前述のように、基板カセットは、図３に示すよう
に、互いに所定間隔離間して配置された一対の矩形平板
枠状フレーム１，１の上下（または前後）両側縁部間
に、複数の溝付き丸棒２を並列的に架設し、この溝付き
丸棒２の各溝部２ａ内に基板Ｗの側端部を差し込んでこ
れを横移動不能に保持するとともに、前記フレーム１，
１間の奥部に基板Ｗを受け止める棒状のストッパ３を配
置して構成されている。
【００１３】このストッパ３の詳細を図１に示す。即
ち、ストッパ３は、ＳＵＳ等の金属製の芯材４をＰＴＦ
Ｅ等のフッ素樹脂製のチューブ５で被覆して主に構成さ
れ、これによって、金属製の芯材４によって十分な強度
を有し、しかもフッ素樹脂製のチューブ５によって、耐
薬品性、耐熱性及び耐衝撃性を有するよう構成されてい
る。
ち、ストッパ３は、ＳＵＳ等の金属製の芯材４をＰＴＦ
Ｅ等のフッ素樹脂製のチューブ５で被覆して主に構成さ
れ、これによって、金属製の芯材４によって十分な強度
を有し、しかもフッ素樹脂製のチューブ５によって、耐
薬品性、耐熱性及び耐衝撃性を有するよう構成されてい
る。
【００１４】そして、前記芯材４の長さは、チューブ５
の長さより短く設定され、芯材４をチューブ５で被覆し
た時、このチューブ５の両端に空間部２０が形成される
ようになっている。
の長さより短く設定され、芯材４をチューブ５で被覆し
た時、このチューブ５の両端に空間部２０が形成される
ようになっている。
【００１５】前記空間部２０内には、この内径とほぼ同
じ外径を有する、例えばＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の円
柱状の栓部材２１が、端面が面一となるように挿入さ
れ、この栓部材２１の外周面と空間部２０を区画するチ
ューブ５の内周面とは融着によって接合されている。
じ外径を有する、例えばＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の円
柱状の栓部材２１が、端面が面一となるように挿入さ
れ、この栓部材２１の外周面と空間部２０を区画するチ
ューブ５の内周面とは融着によって接合されている。
【００１６】この融着は、チューブ５及び栓部材２１と
して共にＰＴＦＥを使用した場合、この融点（約３２７
℃）より低い融点の溶融性フッ素樹脂、例えば融点が約
３０５℃のＰＦＡ（四フッ化エチレン−パーフルオロア
ルキルビニルエーテル共重合体樹脂）を糊２２として、
ＰＴＦＥの融点以上に加熱することによって行われてい
る。
して共にＰＴＦＥを使用した場合、この融点（約３２７
℃）より低い融点の溶融性フッ素樹脂、例えば融点が約
３０５℃のＰＦＡ（四フッ化エチレン−パーフルオロア
ルキルビニルエーテル共重合体樹脂）を糊２２として、
ＰＴＦＥの融点以上に加熱することによって行われてい
る。
【００１７】なお、ＰＴＦＥは、融点以上になっても流
動しない性質を有しているため、前述のように、熱融着
させても、チューブ５及び栓部材２１の形状が変化する
ことはない。
動しない性質を有しているため、前述のように、熱融着
させても、チューブ５及び栓部材２１の形状が変化する
ことはない。
【００１８】このように構成することにより、金属製の
芯材４を被覆したフッ素樹脂製のチューブ５の両端をフ
ッ素樹脂製の栓部材２１で閉塞し、しかもチューブ５の
内周面と栓部材２１の外周面とを融着によって密封状態
で水密的に接合させて、基板カセットを薬液中に浸漬さ
せた時に、チューブ５内への液体の流入を確実に阻止し
て液溜りを防止し、しかもヒートサイクル等によってチ
ューブ５にクリープ現象が生じたとしても、この効果を
維持することができる。
芯材４を被覆したフッ素樹脂製のチューブ５の両端をフ
ッ素樹脂製の栓部材２１で閉塞し、しかもチューブ５の
内周面と栓部材２１の外周面とを融着によって密封状態
で水密的に接合させて、基板カセットを薬液中に浸漬さ
せた時に、チューブ５内への液体の流入を確実に阻止し
て液溜りを防止し、しかもヒートサイクル等によってチ
ューブ５にクリープ現象が生じたとしても、この効果を
維持することができる。
【００１９】そして、前記栓部材２１の端面には、雌ね
じ部２３が形成され、この雌ねじ部２３内にボルト６を
螺入させて、ストッパ３をフレーム１に固定するように
なっている。
じ部２３が形成され、この雌ねじ部２３内にボルト６を
螺入させて、ストッパ３をフレーム１に固定するように
なっている。
【００２０】この実施例の場合、芯材４と栓部材２１と
が互いに分離しているため、チューブ５の引張強度との
関係で、基板Ｗを支持した時にこの重さで両者４，２１
の接合部で撓み易くなってしまうが、図２に示すように
構成することにより、撓み難くすることができる。
が互いに分離しているため、チューブ５の引張強度との
関係で、基板Ｗを支持した時にこの重さで両者４，２１
の接合部で撓み易くなってしまうが、図２に示すように
構成することにより、撓み難くすることができる。
【００２１】即ち、図２は、他の実施例を示すもので、
この実施例は、金属製の芯材４の端面に軸方向に延びる
凹部２４を形成し、この凹部２４の内径とほぼ等しい外
径の小径部２５と前記空間部２０の内径とほぼ等しい外
径の大径部２６を有する異径の栓部材２１の該小径部２
５を前記凹部２４内に、大径部２６を前記空間部２０内
にそれぞれ位置させ、前述と同様にして、大径部２６の
外周面と空間部２０を区画するチューブ５の内周面と
を、ＰＦＡ等の溶融性フッ素樹脂からなる糊２２等を介
して融着させ、更にストッパ３をフレーム１に固定する
ためのボルト６の軸部が前記凹部２４内に達するように
したものである。
この実施例は、金属製の芯材４の端面に軸方向に延びる
凹部２４を形成し、この凹部２４の内径とほぼ等しい外
径の小径部２５と前記空間部２０の内径とほぼ等しい外
径の大径部２６を有する異径の栓部材２１の該小径部２
５を前記凹部２４内に、大径部２６を前記空間部２０内
にそれぞれ位置させ、前述と同様にして、大径部２６の
外周面と空間部２０を区画するチューブ５の内周面と
を、ＰＦＡ等の溶融性フッ素樹脂からなる糊２２等を介
して融着させ、更にストッパ３をフレーム１に固定する
ためのボルト６の軸部が前記凹部２４内に達するように
したものである。
【００２２】このように構成することにより、ボルト６
の軸部が芯材４の端面と栓部材２１との接合部の内部を
挿通し、この剪断強度または栓部材２１の圧縮強度によ
って、芯材４の端面と栓部材２１との接合部での撓みの
発生を極力防止することができる。
の軸部が芯材４の端面と栓部材２１との接合部の内部を
挿通し、この剪断強度または栓部材２１の圧縮強度によ
って、芯材４の端面と栓部材２１との接合部での撓みの
発生を極力防止することができる。
【００２３】なお上記実施例においては、芯材４に雌ね
じ部２３を形成し、この雌ねじ部２３内にボルト６を螺
合させて、ストッパ３をフレーム１に固定するようにし
た例を示しているが、芯材の端面に、雄ねじ部を突設
し、この雄ねじ部にナットを螺合させてストッパをフレ
ームに固定するようにすることもできる。
じ部２３を形成し、この雌ねじ部２３内にボルト６を螺
合させて、ストッパ３をフレーム１に固定するようにし
た例を示しているが、芯材の端面に、雄ねじ部を突設
し、この雄ねじ部にナットを螺合させてストッパをフレ
ームに固定するようにすることもできる。
【００２４】
【発明の効果】本発明は上記のような構成であるので、
金属製の芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆してスト
ッパを構成することにより、ストッパとしての強度、耐
薬品性、耐熱性及び耐衝撃性といった要求を満足するこ
とができる。
金属製の芯材をフッ素樹脂製のチューブで被覆してスト
ッパを構成することにより、ストッパとしての強度、耐
薬品性、耐熱性及び耐衝撃性といった要求を満足するこ
とができる。
【００２５】しかも、前記金属製の芯材を被覆したフッ
素樹脂製のチューブの両端をフッ素樹脂製の栓部材で閉
塞し、この栓部材の外周面をチューブの内周面に融着に
よって密封状態で接合させることによって、ここでチュ
ーブ内への液体の流入を確実に阻止して液溜り現象を確
実に防止し、しかもヒートサイクル等によってチューブ
にクリープ現象が生じたとしても、この効果を維持し
て、液切れを良くすることができる。
素樹脂製のチューブの両端をフッ素樹脂製の栓部材で閉
塞し、この栓部材の外周面をチューブの内周面に融着に
よって密封状態で接合させることによって、ここでチュ
ーブ内への液体の流入を確実に阻止して液溜り現象を確
実に防止し、しかもヒートサイクル等によってチューブ
にクリープ現象が生じたとしても、この効果を維持し
て、液切れを良くすることができる。
【図１】本発明の一実施例の要部を示す断面図。
【図２】他の実施例の要部を示す縦断面図。
【図３】基板用カセットを示す斜視図。
【図４】従来例の要部を示す断面図。
【図５】他の従来例の要部を示す縦断面図。
２ 溝付き丸棒 ３ ストッパ ４ 芯材 ５ チューブ ２０ 空間部 ２１ 栓部材 ２２ 糊
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/31 // Ｂ６５Ｄ 81/24 Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】金属製の芯材をフッ素樹脂性のチューブで
被覆した棒部材をストッパとして使用した基板用カセッ
トにおいて、前記芯材の長さを前記チューブの長さより
短くして該チューブの両端に空間部を形成するととも
に、この空間部内にフッ素樹脂製の栓部材を挿着し、こ
の栓部材の外周面と前記空間部を区画するチューブの内
周面とを融着して前記ストッパを構成したことを特徴と
する基板用カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6299894A JPH07273179A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 基板用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6299894A JPH07273179A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 基板用カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07273179A true JPH07273179A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13216563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6299894A Withdrawn JPH07273179A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 基板用カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07273179A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100494013C (zh) | 2004-10-20 | 2009-06-03 | 奇菱科技股份有限公司 | 用来容置薄板物的框架 |
| US7736461B2 (en) * | 2002-10-07 | 2010-06-15 | Lg Display Co., Ltd. | Cassette for preventing breakage of glass substrate |
| WO2012174432A3 (en) * | 2011-06-15 | 2013-05-23 | Entegris, Inc. | Solar cell process carrier |
| CN103359407A (zh) * | 2013-07-11 | 2013-10-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 卡匣 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6299894A patent/JPH07273179A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7736461B2 (en) * | 2002-10-07 | 2010-06-15 | Lg Display Co., Ltd. | Cassette for preventing breakage of glass substrate |
| CN100494013C (zh) | 2004-10-20 | 2009-06-03 | 奇菱科技股份有限公司 | 用来容置薄板物的框架 |
| WO2012174432A3 (en) * | 2011-06-15 | 2013-05-23 | Entegris, Inc. | Solar cell process carrier |
| CN103359407A (zh) * | 2013-07-11 | 2013-10-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 卡匣 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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