JPH04167542A - 薬液処理用基板収納カセット及びその製造方法 - Google Patents
薬液処理用基板収納カセット及びその製造方法Info
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- JPH04167542A JPH04167542A JP2295797A JP29579790A JPH04167542A JP H04167542 A JPH04167542 A JP H04167542A JP 2295797 A JP2295797 A JP 2295797A JP 29579790 A JP29579790 A JP 29579790A JP H04167542 A JPH04167542 A JP H04167542A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は薬液処理用基板収納カセット及びその製造方法
に関するものであも 従来の技術 基板上に所要の材質の膜を所要のパターンに形成してた
とえば液晶デイスプレィ用の基板を作成するには 半導
体デバイスの場合と同様に基板性＆ ５１［フォトリ
ングラフィ、エツチング、 レジスト剥離等の工程がが
所要回数繰り返されもこの隊 基板洗朱 エツチング、
レジスト剥離の各工程では薬液が使用されることが多
−一 各工程での処理能率を上げるため＆へ 複数（２
０〜３０枚）の基板をカセットと称する容器に入れて薬
液中に浸漬して処理するいわゆるバッチ処理が行われも 液晶デイスプレィにおいて（友 年々高まるサイズの大
型化要求につれて、基板も大型化しつつある。薬液処理
用の基板収納カセットには、耐薬品性が要求されるので
通常フ・７素樹脂が用いられる。
に関するものであも 従来の技術 基板上に所要の材質の膜を所要のパターンに形成してた
とえば液晶デイスプレィ用の基板を作成するには 半導
体デバイスの場合と同様に基板性＆ ５１［フォトリ
ングラフィ、エツチング、 レジスト剥離等の工程がが
所要回数繰り返されもこの隊 基板洗朱 エツチング、
レジスト剥離の各工程では薬液が使用されることが多
−一 各工程での処理能率を上げるため＆へ 複数（２
０〜３０枚）の基板をカセットと称する容器に入れて薬
液中に浸漬して処理するいわゆるバッチ処理が行われも 液晶デイスプレィにおいて（友 年々高まるサイズの大
型化要求につれて、基板も大型化しつつある。薬液処理
用の基板収納カセットには、耐薬品性が要求されるので
通常フ・７素樹脂が用いられる。
発明が解決しようとする課題
ところがフッ素樹脂は他の樹脂と比較して比重が大であ
り、しかも荷重に対する変形のしにくさの指標である弾
性係数が小さい。すなわち重くて荷重に対して変形しや
すい（剛性が小さい）。
り、しかも荷重に対する変形のしにくさの指標である弾
性係数が小さい。すなわち重くて荷重に対して変形しや
すい（剛性が小さい）。
例えば液晶デイスプレィの工程で、工程間の基板搬送に
よく使用されるＰＥＩ（ポリエーテルイミド）と、薬液
処理用の基板収納カセットに用いられる代表的なフッ素
樹脂であるＰＴＦＥ （４フツ化エチレン）及びＰＦＡ
（パーフロロアルコキシ）を比較すると、フッ素樹脂は
ＰＥＩに対して比重は約１．７倍、弾性係数はｌ／８〜
１１５である。
よく使用されるＰＥＩ（ポリエーテルイミド）と、薬液
処理用の基板収納カセットに用いられる代表的なフッ素
樹脂であるＰＴＦＥ （４フツ化エチレン）及びＰＦＡ
（パーフロロアルコキシ）を比較すると、フッ素樹脂は
ＰＥＩに対して比重は約１．７倍、弾性係数はｌ／８〜
１１５である。
このようなフッ素樹脂で、大型の基板を複数枚収納でき
るカセットを十分な剛性を持たせて作成すると非常に重
くなり、人手による取り扱いが困難となるばかりでなく
、それを機械的に取り扱う場合にも搬送装置やロボット
等への負荷が大きくなり、それらが大型化すると同時に
高価となる等の問題があった そこで本発明は 耐薬品性に優れたフッソ樹脂を用いて
大型基板用のカセットを軽量でしかも充分な剛性をもた
せて作成するための構成と、その製造方法を提供するこ
とを目的とするものであも課題を解決するための手段 そして上記課題を解決するため請求項１記載の発明は
複数の基板を所要の間隔をあけて保持する溝を形成され
た一対の樹脂製の側板と、その−対の側板をその側板の
周辺部で接続する接続部材とから成り、前記１対の側板
の所要の箇所に その側板を構成する材料よりも弾性係
数の高い材料で作成された構造部材を一体的番ミ し
かもその構造部材よりも耐薬品性の高い樹脂材料で被覆
した状態で設けて成る薬液処理用基板収納カセットであ
も 請求項３記載の発明は 前記構造部材をインサートして
前記側板を樹脂成形して成る請求項１記載の薬液処理用
基板収納カセットの製造方法であム 請求項４記載の発明１１ 前記構造部材にその構造部
材よりも耐薬品性の高い樹脂を被覆材料として被覆した
被覆構造部材を作成Ｌ 次にその被覆構造部材をその被
覆材料部で前記側板に溶接して成る請求項１記載の薬液
処理用基板収納カセットの製造方法であム 作用 請求項１記載の発明は上記したようく カセット側板の
所要箇所にその側板を構成する材料よりも弾性係数の高
い材料で作成された構造部材を一体的く しかもその構
造部材よりも耐薬品性の高い樹脂材料で被覆した状態で
設けて前記側板を補強したことにより、カセット重量の
大半を占める側板の厚さを小さくし 肉ヌスミのための
抜き穴゛ を大きくして軽量化された しかも耐薬品
性に優れたカセットを実現することができも 請求項３記載の発明は上記したようへ 請求項１記載の
優れた特徴を有するカセットを効率的に大量に製造する
ことができも 請求項４記載の発明は上記したようへ 請求項１記載の
優れた特徴を有するカセットを容易に少量製造すること
ができも 実施例 以下、本発明の一実施例を液晶デイスプレィ等の矩形の
大型ガラス基板の薬液処理用カセットに適用した例につ
いて添付図面に基づいて説明すも第１図〜第９図は本発
明の薬液処理用基板収納カセットの第１実施例を示す図
であム 第１図及び第１図のＡ−Ａ’ 断面である第２
図において、１は左側板 ２は右側板で、それぞれ耐薬
品性を有する例えばフッ素樹脂で形成され それぞれの
側板が向かい合う内側には複数の基板Ｋｎ、Ｋｎ十１・
・・・・を所要の間隔をあけて保持する複数ノ溝Ｍｎ、
Ｍｎ＋１・・・・が設けられていもこの溝Ｍｎ、Ｍｎ＋
１・・・・に対向してそれぞれの側板ｌ、 ２の外側に
は 温度変化によって側板が反る事を、側板の断面形状
を略左右対称とすることによって防止するために溝Ｃｎ
、Ｃｎ＋１・・・・を設けてあム １０は後述する補強フレームのパイプであ也ｌａ、２ａ
はそれぞれ側板の重量を軽減するための肉ヌスミの抜き
穴であａ４、５（友 前記補強それぞれ前記側板１、２
を補強する補強フレームであり、第３図に示す様へ 「
目」の字形に構成されていも この補強フレーム４．５（よ その側板ｌ、 ２を形成
するフッ素樹脂よりも耐薬品性は劣るカミ 弾性係数が
大きい例えばステンレスで作成されたバイブｌＯを目の
字形に溶接して形成されもこの時パイプの端面１０ｅの
孔は溶接等により封孔しておくほうが好ましｔ〜 この補強フレーム４．５を内部に組みこんだ側板１、２
を大量に作成するには この補強フレーム４、５をイン
サートして側板をフッ素樹脂で射出成形 すなわちイン
サート成形すれば最も効率的であも インサート成形するために１友 その補強フレームを金
型内で複数箇所ピン等で支える必要があるので、成形さ
れた側板１．２には そのビンの跡が孔として残本 こ
の複数のピンの孔のうちの一対の孔１１力（例えば第１
図のＲ位置にあったとすると、そのＲ位置の断面である
第４図に示すようにこの孔１１は側板成形丸 フッ素樹
脂を溶接等によりハツチング部１２で示すように充填し
て容易に封孔することができも この線 充填は必ずし
も孔１１の底まで行う必要はなｌ、％このようにして作
成された側板１、２（よ 第１図に示すようにフッ素樹
脂製の棒状の複数の接続部材６、７、８により連結され
てカセットが完成す翫 この接続部材６、７、８は第５図にその断面を示すよう
に いずれも中央部を前記と同様にステンレスバイブ１
３で補強されていも この接続部材６、７．８（よ 前記と同様にステンレス
パイプ１３をインサート成形して、あるいはフッ素樹脂
のパイプにステンレスバイブを挿入して作成することが
できも 第１図において、接続部材６の小径部６Ｓは基板を収納
したカセットを薬液処理する装置へ図示しないが公知の
カセット保持機構がカセットを容易に保持できるように
するために設けてあムまた前記接続部材８には 基板が
下方に落下しないようにするための抜は止め棒９が掛は
渡されて例えば第６ａ 第７図に示すような方法で固定
されていも 第６図において、前記抜は止め棒９も前記接続部材６、
７、８と同様にステンレスバイブ１４で補強され その
バイブ１４の端部は 突起１５を形成するように加工さ
れていも この突起１５を矢印り方向に前記接続部材８に加工され
た長孔８ａに第７図に示すように差し込んだ抵 フッ素
樹脂でハツチング部１６で示すように肉盛りし 溶接す
も 第６図における前記抜は止め棒９の端部の面取り９
ａは溶接時の肉盛りを容易に行うために設けてあム 次に前記接続部材６、７、８で前記側板１、２を連結す
るための両者の接続部の構造の一例を第８ａ 第９図に
て説明すも 第８図において、 １７はフッ素樹脂製のスリーブゑ
前記接続部材６、７、８の端部から突出させたステンレ
スバイブ１３にはめ込まれて接続部材６、７、８にハツ
チング部１８で溶接され ステンレスバイブ１３の端部
が外部に露出しないようにしてあ４１７ａはそのスリー
ブに形成した小径部であム 次に’Ｊ１図のＥ−Ｅｌ断面である第９図に示すように
この接続部材６、７、８を前記スリーブ１７の小径部１
７ａにて前記側板１．２の周辺部に設けた穴１９に圧入
した後ハツチング部２０、２１で溶接してカセットが完
成すも 前記スリーブ１７の段付き部の端面１７ｂと、前記側板
ｌ、 ２の側面１ｂ、２ｂとの間にわずかではあるが隙
間ができも この隙間に薬液が滲み込んでも次の水洗工
程や乾燥工程に影響が無い場合は ハツチング部２１の
溶接は省略してもよｔ〜以上において、接続部材６、７
、８はスリーブ１７を両端に溶接して作成する方法で説
明した力（ステンレスバイブ１３にスリーブ１７の部分
も含めてインサート成形することにより作成してもよ（
〜 インサート成形する場合はパイプ１３の両端の孔は
前記と同様に溶接等により封孔しておくほうが好ましし
〜 以上のように側板の所要の箇所に側板の構成材料である
フッ素樹脂よりも弾性係数の高いステンレス族のパイプ
からなる構造部材をインサートして側板を形成したこと
により側板の厚みを小さくし 重量軽減のための抜き穴
を大きくして比重の大なるフッ素樹脂を減らすことによ
り、カセットの耐薬品性と剛性を維持しつつ軽量化を図
ることが可能となム 次へ 本発明の薬液処理用基板収納カセットの第２実施
例を第１０図〜第１４図を用いて説明すも 前記第１実
施例と同一機能の構成要素には同一番号を付し その詳
細な説明は省略すも第１Ｏ図において、３１は右側板
３２は右側板であム ３１ａ、３２ａはそれぞれ前記と同機 側板の重量を軽
減するための肉ヌスミの抜き穴であも第１１図に示す角
柱状の縦部材３３と横部材３４は前記接続部材６．７．
８と同様に中央部をステンレスパイプ３５で補強されて
おり、両端部も図示しないが前記接続部材の端部と同様
にスリーブが溶接されて、あるいはスリーブの部分も含
めてインサート成形されてステンレスパイプ３５の端部
が外部へ露出しないようにしてあム すなわちステンレ
スパイプ３５は全周フッソ樹脂により被覆されていも
この縦部材３３と横部材３４はそれぞれ前記左側板３１
と右側板３２に補強部材として溶接されも 先ず、縦部材３３を側板３１、３２に溶接するための構
造を、第１Ｏ図のＦ−Ｆｌ断面である第１２図にて説明
すも 鑞 第１０図においては 図が煩雑になることを
避けるために 右側板３２のステンレスパイプ３５の図
示は省略してあム第１２図において、側板３２に長穴３
６を加ニレ その長穴３６に縦部材３３をはめ込んで前
記と同様にハツチング部３７で両者をフッソ樹脂で溶接
すム 次に 横部材３４を側板３１．３２に溶接するための構
造を、第１Ｏ図のＧ−Ｇｌ断面である第１３因 第１４
図にて説明すも 先ず、第１３図に示すように側板３２に段部３８を有す
る長穴３９を加工し その長穴３９に横部材３４をはめ
込んで前記と同様にハツチング部４０に示すように両者
をフッ素樹脂で溶接すム次に第１４図に示すようへ 前
記第２図と同様な複数の溝Ｍｎ、Ｍｎ＋１・・・・、Ｃ
ｎ、Ｃｎ＋１・・・・を加工すム 前記縦部材３３と横部材３４はフッソ樹脂によりすでに
被覆されているので、溶接部である前記ハツチング部３
７、４０に多少ピンホールなどの欠陥があっても薬液が
ステンレスパイプ３５に達することはないのでステンレ
スパイプが腐食する可能性をきわめて小さくすることが
出来る以上の説明において、縦部材３３と横部材３４は
共へ 側板に加工した長孔にはめ込んで溶接する構造と
した力（第１２図を例に取れば 第１′５図に示すよう
に溶接代を充分確保できれば片側溶接としてもよｔ〜 以上の側板の加工法沫 前記第１実施例のように成形金
型を必要としないので側板を少量作成する場合に適して
いも 前記縦部材３３と横部材３４が溶接された側板３１、３
２を前記第１実施例と同様にして前記抜は止め棒９、接
続部材６、７、８で連結すればカセットが完成すも 以上 側板の構成材料であるフッ素樹脂よりも弾性係数
の高いステンレスパイプから成る構造部材にフッ素樹脂
を被覆した縦部材と横部材を作成し 次にその縦部材と
横部材をフッソ樹脂部分で側板の所要の箇所に溶接した
ことにより、前記第１実施例と同様に側板の厚みを小さ
くし 重量軽減のための抜き穴を大きくして比重の犬な
るフッソ素樹脂を減らすことにより、カセットの耐薬品
性と剛性を維持しつつ軽量化を図ることが可能となム 以上第１実施仇 第２実施例共に説明を省略したカミ
溶接箇所は必要に応じて余分な肉盛りを削除するたべ
あるいは面を平滑に仕上げるために切削加工してもよし
− また 抜き穴の数は側板１枚当り３箇所とした力（これ
に限るものではなＬ％ また 側板の材質はフッソ樹脂に限るものではなく、パ
イプの材質もステンレスに限るものではなｔ℃ また パイプの断面形状は円形に限るものではなく角形
であってもよ（〜 また 以上において構造部材はすべてパイプにて説明し
たカミ カセット重量が多少重くなることが許される場
合６表 パイプのかわりに中実棒を用いてもよｔ〜 また 本発明−（戴 矩形の基板を対象とした形状にて
説明したカミ 円形状あるいはその他の形状の基板にも
前記側板を基板の形状に沿った形状とすることにより適
用できるものであも 発明の効果 本発明の薬液処理用基板収納カセットは上記構成とした
ことにより、耐薬品性と剛性が高く、 しかも軽量であ
るという優れた特徴を有していも従ってこのカセットを
取り扱う搬送装置やロボット等の負荷を小さくすること
ができるのでそれらを小型にしかも安価に作成すること
が可能となり、大きな経済的効果を得ることができ也ま
た 本発明の薬液処理用基板収納カセットの製造方法に
よれば 上記優れた特徴を有する薬液処理用基板収納カ
セットを効率的番ミ 容易に製造することができも
るカセットを十分な剛性を持たせて作成すると非常に重
くなり、人手による取り扱いが困難となるばかりでなく
、それを機械的に取り扱う場合にも搬送装置やロボット
等への負荷が大きくなり、それらが大型化すると同時に
高価となる等の問題があった そこで本発明は 耐薬品性に優れたフッソ樹脂を用いて
大型基板用のカセットを軽量でしかも充分な剛性をもた
せて作成するための構成と、その製造方法を提供するこ
とを目的とするものであも課題を解決するための手段 そして上記課題を解決するため請求項１記載の発明は
複数の基板を所要の間隔をあけて保持する溝を形成され
た一対の樹脂製の側板と、その−対の側板をその側板の
周辺部で接続する接続部材とから成り、前記１対の側板
の所要の箇所に その側板を構成する材料よりも弾性係
数の高い材料で作成された構造部材を一体的番ミ し
かもその構造部材よりも耐薬品性の高い樹脂材料で被覆
した状態で設けて成る薬液処理用基板収納カセットであ
も 請求項３記載の発明は 前記構造部材をインサートして
前記側板を樹脂成形して成る請求項１記載の薬液処理用
基板収納カセットの製造方法であム 請求項４記載の発明１１ 前記構造部材にその構造部
材よりも耐薬品性の高い樹脂を被覆材料として被覆した
被覆構造部材を作成Ｌ 次にその被覆構造部材をその被
覆材料部で前記側板に溶接して成る請求項１記載の薬液
処理用基板収納カセットの製造方法であム 作用 請求項１記載の発明は上記したようく カセット側板の
所要箇所にその側板を構成する材料よりも弾性係数の高
い材料で作成された構造部材を一体的く しかもその構
造部材よりも耐薬品性の高い樹脂材料で被覆した状態で
設けて前記側板を補強したことにより、カセット重量の
大半を占める側板の厚さを小さくし 肉ヌスミのための
抜き穴゛ を大きくして軽量化された しかも耐薬品
性に優れたカセットを実現することができも 請求項３記載の発明は上記したようへ 請求項１記載の
優れた特徴を有するカセットを効率的に大量に製造する
ことができも 請求項４記載の発明は上記したようへ 請求項１記載の
優れた特徴を有するカセットを容易に少量製造すること
ができも 実施例 以下、本発明の一実施例を液晶デイスプレィ等の矩形の
大型ガラス基板の薬液処理用カセットに適用した例につ
いて添付図面に基づいて説明すも第１図〜第９図は本発
明の薬液処理用基板収納カセットの第１実施例を示す図
であム 第１図及び第１図のＡ−Ａ’ 断面である第２
図において、１は左側板 ２は右側板で、それぞれ耐薬
品性を有する例えばフッ素樹脂で形成され それぞれの
側板が向かい合う内側には複数の基板Ｋｎ、Ｋｎ十１・
・・・・を所要の間隔をあけて保持する複数ノ溝Ｍｎ、
Ｍｎ＋１・・・・が設けられていもこの溝Ｍｎ、Ｍｎ＋
１・・・・に対向してそれぞれの側板ｌ、 ２の外側に
は 温度変化によって側板が反る事を、側板の断面形状
を略左右対称とすることによって防止するために溝Ｃｎ
、Ｃｎ＋１・・・・を設けてあム １０は後述する補強フレームのパイプであ也ｌａ、２ａ
はそれぞれ側板の重量を軽減するための肉ヌスミの抜き
穴であａ４、５（友 前記補強それぞれ前記側板１、２
を補強する補強フレームであり、第３図に示す様へ 「
目」の字形に構成されていも この補強フレーム４．５（よ その側板ｌ、 ２を形成
するフッ素樹脂よりも耐薬品性は劣るカミ 弾性係数が
大きい例えばステンレスで作成されたバイブｌＯを目の
字形に溶接して形成されもこの時パイプの端面１０ｅの
孔は溶接等により封孔しておくほうが好ましｔ〜 この補強フレーム４．５を内部に組みこんだ側板１、２
を大量に作成するには この補強フレーム４、５をイン
サートして側板をフッ素樹脂で射出成形 すなわちイン
サート成形すれば最も効率的であも インサート成形するために１友 その補強フレームを金
型内で複数箇所ピン等で支える必要があるので、成形さ
れた側板１．２には そのビンの跡が孔として残本 こ
の複数のピンの孔のうちの一対の孔１１力（例えば第１
図のＲ位置にあったとすると、そのＲ位置の断面である
第４図に示すようにこの孔１１は側板成形丸 フッ素樹
脂を溶接等によりハツチング部１２で示すように充填し
て容易に封孔することができも この線 充填は必ずし
も孔１１の底まで行う必要はなｌ、％このようにして作
成された側板１、２（よ 第１図に示すようにフッ素樹
脂製の棒状の複数の接続部材６、７、８により連結され
てカセットが完成す翫 この接続部材６、７、８は第５図にその断面を示すよう
に いずれも中央部を前記と同様にステンレスバイブ１
３で補強されていも この接続部材６、７．８（よ 前記と同様にステンレス
パイプ１３をインサート成形して、あるいはフッ素樹脂
のパイプにステンレスバイブを挿入して作成することが
できも 第１図において、接続部材６の小径部６Ｓは基板を収納
したカセットを薬液処理する装置へ図示しないが公知の
カセット保持機構がカセットを容易に保持できるように
するために設けてあムまた前記接続部材８には 基板が
下方に落下しないようにするための抜は止め棒９が掛は
渡されて例えば第６ａ 第７図に示すような方法で固定
されていも 第６図において、前記抜は止め棒９も前記接続部材６、
７、８と同様にステンレスバイブ１４で補強され その
バイブ１４の端部は 突起１５を形成するように加工さ
れていも この突起１５を矢印り方向に前記接続部材８に加工され
た長孔８ａに第７図に示すように差し込んだ抵 フッ素
樹脂でハツチング部１６で示すように肉盛りし 溶接す
も 第６図における前記抜は止め棒９の端部の面取り９
ａは溶接時の肉盛りを容易に行うために設けてあム 次に前記接続部材６、７、８で前記側板１、２を連結す
るための両者の接続部の構造の一例を第８ａ 第９図に
て説明すも 第８図において、 １７はフッ素樹脂製のスリーブゑ
前記接続部材６、７、８の端部から突出させたステンレ
スバイブ１３にはめ込まれて接続部材６、７、８にハツ
チング部１８で溶接され ステンレスバイブ１３の端部
が外部に露出しないようにしてあ４１７ａはそのスリー
ブに形成した小径部であム 次に’Ｊ１図のＥ−Ｅｌ断面である第９図に示すように
この接続部材６、７、８を前記スリーブ１７の小径部１
７ａにて前記側板１．２の周辺部に設けた穴１９に圧入
した後ハツチング部２０、２１で溶接してカセットが完
成すも 前記スリーブ１７の段付き部の端面１７ｂと、前記側板
ｌ、 ２の側面１ｂ、２ｂとの間にわずかではあるが隙
間ができも この隙間に薬液が滲み込んでも次の水洗工
程や乾燥工程に影響が無い場合は ハツチング部２１の
溶接は省略してもよｔ〜以上において、接続部材６、７
、８はスリーブ１７を両端に溶接して作成する方法で説
明した力（ステンレスバイブ１３にスリーブ１７の部分
も含めてインサート成形することにより作成してもよ（
〜 インサート成形する場合はパイプ１３の両端の孔は
前記と同様に溶接等により封孔しておくほうが好ましし
〜 以上のように側板の所要の箇所に側板の構成材料である
フッ素樹脂よりも弾性係数の高いステンレス族のパイプ
からなる構造部材をインサートして側板を形成したこと
により側板の厚みを小さくし 重量軽減のための抜き穴
を大きくして比重の大なるフッ素樹脂を減らすことによ
り、カセットの耐薬品性と剛性を維持しつつ軽量化を図
ることが可能となム 次へ 本発明の薬液処理用基板収納カセットの第２実施
例を第１０図〜第１４図を用いて説明すも 前記第１実
施例と同一機能の構成要素には同一番号を付し その詳
細な説明は省略すも第１Ｏ図において、３１は右側板
３２は右側板であム ３１ａ、３２ａはそれぞれ前記と同機 側板の重量を軽
減するための肉ヌスミの抜き穴であも第１１図に示す角
柱状の縦部材３３と横部材３４は前記接続部材６．７．
８と同様に中央部をステンレスパイプ３５で補強されて
おり、両端部も図示しないが前記接続部材の端部と同様
にスリーブが溶接されて、あるいはスリーブの部分も含
めてインサート成形されてステンレスパイプ３５の端部
が外部へ露出しないようにしてあム すなわちステンレ
スパイプ３５は全周フッソ樹脂により被覆されていも
この縦部材３３と横部材３４はそれぞれ前記左側板３１
と右側板３２に補強部材として溶接されも 先ず、縦部材３３を側板３１、３２に溶接するための構
造を、第１Ｏ図のＦ−Ｆｌ断面である第１２図にて説明
すも 鑞 第１０図においては 図が煩雑になることを
避けるために 右側板３２のステンレスパイプ３５の図
示は省略してあム第１２図において、側板３２に長穴３
６を加ニレ その長穴３６に縦部材３３をはめ込んで前
記と同様にハツチング部３７で両者をフッソ樹脂で溶接
すム 次に 横部材３４を側板３１．３２に溶接するための構
造を、第１Ｏ図のＧ−Ｇｌ断面である第１３因 第１４
図にて説明すも 先ず、第１３図に示すように側板３２に段部３８を有す
る長穴３９を加工し その長穴３９に横部材３４をはめ
込んで前記と同様にハツチング部４０に示すように両者
をフッ素樹脂で溶接すム次に第１４図に示すようへ 前
記第２図と同様な複数の溝Ｍｎ、Ｍｎ＋１・・・・、Ｃ
ｎ、Ｃｎ＋１・・・・を加工すム 前記縦部材３３と横部材３４はフッソ樹脂によりすでに
被覆されているので、溶接部である前記ハツチング部３
７、４０に多少ピンホールなどの欠陥があっても薬液が
ステンレスパイプ３５に達することはないのでステンレ
スパイプが腐食する可能性をきわめて小さくすることが
出来る以上の説明において、縦部材３３と横部材３４は
共へ 側板に加工した長孔にはめ込んで溶接する構造と
した力（第１２図を例に取れば 第１′５図に示すよう
に溶接代を充分確保できれば片側溶接としてもよｔ〜 以上の側板の加工法沫 前記第１実施例のように成形金
型を必要としないので側板を少量作成する場合に適して
いも 前記縦部材３３と横部材３４が溶接された側板３１、３
２を前記第１実施例と同様にして前記抜は止め棒９、接
続部材６、７、８で連結すればカセットが完成すも 以上 側板の構成材料であるフッ素樹脂よりも弾性係数
の高いステンレスパイプから成る構造部材にフッ素樹脂
を被覆した縦部材と横部材を作成し 次にその縦部材と
横部材をフッソ樹脂部分で側板の所要の箇所に溶接した
ことにより、前記第１実施例と同様に側板の厚みを小さ
くし 重量軽減のための抜き穴を大きくして比重の犬な
るフッソ素樹脂を減らすことにより、カセットの耐薬品
性と剛性を維持しつつ軽量化を図ることが可能となム 以上第１実施仇 第２実施例共に説明を省略したカミ
溶接箇所は必要に応じて余分な肉盛りを削除するたべ
あるいは面を平滑に仕上げるために切削加工してもよし
− また 抜き穴の数は側板１枚当り３箇所とした力（これ
に限るものではなＬ％ また 側板の材質はフッソ樹脂に限るものではなく、パ
イプの材質もステンレスに限るものではなｔ℃ また パイプの断面形状は円形に限るものではなく角形
であってもよ（〜 また 以上において構造部材はすべてパイプにて説明し
たカミ カセット重量が多少重くなることが許される場
合６表 パイプのかわりに中実棒を用いてもよｔ〜 また 本発明−（戴 矩形の基板を対象とした形状にて
説明したカミ 円形状あるいはその他の形状の基板にも
前記側板を基板の形状に沿った形状とすることにより適
用できるものであも 発明の効果 本発明の薬液処理用基板収納カセットは上記構成とした
ことにより、耐薬品性と剛性が高く、 しかも軽量であ
るという優れた特徴を有していも従ってこのカセットを
取り扱う搬送装置やロボット等の負荷を小さくすること
ができるのでそれらを小型にしかも安価に作成すること
が可能となり、大きな経済的効果を得ることができ也ま
た 本発明の薬液処理用基板収納カセットの製造方法に
よれば 上記優れた特徴を有する薬液処理用基板収納カ
セットを効率的番ミ 容易に製造することができも
第１図は本発明の第１実施例における薬液処理用基板収
納カセットの外観斜視ａ 第２図は第１図のＡ−ＡＩ断
面斜視医 第３図は補強フレームの斜視図 第４図は第
１図の２位蓋の断面斜視１第５図は接続部材の断面医
第６図は接続部材と抜は止め棒の固定法説明のための要
部斜視図 第７図は接続部材と抜は止め棒の固定法説明
のための要部断面医 第８図は接続部材の端部断面医第
９図は接続部材と側板の連結部の断面ａ ｊｉｌＯ図
は本発明の第２実施例における薬液処理用基板収納カセ
ットの外観斜視＠ 第１１図は横部材と縦部材の斜視ａ
第１２図は第１Ｏ図のＦ−Ｆ１断面斜視医 第１３＠
第１４図は第１０図のＧ−Ｇｌ断面斜視図で示す加工
説明文 第１５図はその他の実施例を示す断面斜視図で
あａ ｌ、３１−・・左側Ｋ ｌａ、 ２ａ、 ３１ａ
、 ３２ａ・・・抜き穴 ２、３２・・・右側板 ４
・・・補強フレーム ６、７、８・・・接続部材、ＫＫ
ｎ＋１・・・基板Ｍｎ、Ｍｎ＋１−鳳 ｔｏ、 １３、
１４、３５ ・・・ステンレスパイプ、３３・・・縦部
抹 ３４・・・横部材１１、１６．１８．２０．２１，
３７．４０・・・溶接慝 代理人の氏名 弁理士 小蝦治 明 ほか２名菓 １
図 第２図 第３図 蕗４図 ５Ｌｕ 篇６図 第７図 第８図 第９図 １０図 第１ ｌ因 箒１２０ 第１３図 第１５１１Ｗ
納カセットの外観斜視ａ 第２図は第１図のＡ−ＡＩ断
面斜視医 第３図は補強フレームの斜視図 第４図は第
１図の２位蓋の断面斜視１第５図は接続部材の断面医
第６図は接続部材と抜は止め棒の固定法説明のための要
部斜視図 第７図は接続部材と抜は止め棒の固定法説明
のための要部断面医 第８図は接続部材の端部断面医第
９図は接続部材と側板の連結部の断面ａ ｊｉｌＯ図
は本発明の第２実施例における薬液処理用基板収納カセ
ットの外観斜視＠ 第１１図は横部材と縦部材の斜視ａ
第１２図は第１Ｏ図のＦ−Ｆ１断面斜視医 第１３＠
第１４図は第１０図のＧ−Ｇｌ断面斜視図で示す加工
説明文 第１５図はその他の実施例を示す断面斜視図で
あａ ｌ、３１−・・左側Ｋ ｌａ、 ２ａ、 ３１ａ
、 ３２ａ・・・抜き穴 ２、３２・・・右側板 ４
・・・補強フレーム ６、７、８・・・接続部材、ＫＫ
ｎ＋１・・・基板Ｍｎ、Ｍｎ＋１−鳳 ｔｏ、 １３、
１４、３５ ・・・ステンレスパイプ、３３・・・縦部
抹 ３４・・・横部材１１、１６．１８．２０．２１，
３７．４０・・・溶接慝 代理人の氏名 弁理士 小蝦治 明 ほか２名菓 １
図 第２図 第３図 蕗４図 ５Ｌｕ 篇６図 第７図 第８図 第９図 １０図 第１ ｌ因 箒１２０ 第１３図 第１５１１Ｗ
Claims (4)
- （１）複数の基板を所要の間隔をあけて保持する溝を形
成された一対の樹脂製の側板と、その一対の側板をその
側板の周辺部で接続する接続部材とから成り、前記１対
の側板の所要の箇所にその側板を構成する材料よりも弾
性係数の高い材料で作成された構造部材を一体的に、し
かもその構造部材よりも耐薬品性の高い樹脂材料で被覆
した状態で設けて成る薬液処理用基板収納カセット。 - （２）前記構造部材を筒状部材から構成して成る請求項
１記載の薬液処理用基板収納カセット。 - （３）前記構造部材をインサートして前記側板を樹脂成
形して成る請求項１記載の薬液処理用基板収納カセット
の製造方法。 - （４）構造部材にその構造部材よりも耐薬品性の高い樹
脂を被覆材料として被覆した被覆構造部材を作成し、次
にその被覆構造部材をその被覆材料部分で前記側板に溶
接して成る請求項１記載の薬液処理用基板収納カセット
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2295797A JPH04167542A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 薬液処理用基板収納カセット及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2295797A JPH04167542A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 薬液処理用基板収納カセット及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04167542A true JPH04167542A (ja) | 1992-06-15 |
Family
ID=17825290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2295797A Pending JPH04167542A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 薬液処理用基板収納カセット及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04167542A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06286812A (ja) * | 1993-03-13 | 1994-10-11 | Yodogawa Kasei Kk | カセット |
| JP2001102437A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Yodogawa Kasei Kk | 基板用カセット |
| KR100361464B1 (ko) * | 2000-05-24 | 2002-11-18 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 기판 수납용 카세트 |
| WO2015163163A1 (ja) * | 2014-04-25 | 2015-10-29 | 日本電気硝子 株式会社 | ガラス板保持具、ガラス板移動規制装置、及びガラス物品の製造方法 |
| JP2018104099A (ja) * | 2018-02-26 | 2018-07-05 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板移動規制装置、及びガラス物品の製造方法 |
-
1990
- 1990-10-31 JP JP2295797A patent/JPH04167542A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06286812A (ja) * | 1993-03-13 | 1994-10-11 | Yodogawa Kasei Kk | カセット |
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| WO2015163163A1 (ja) * | 2014-04-25 | 2015-10-29 | 日本電気硝子 株式会社 | ガラス板保持具、ガラス板移動規制装置、及びガラス物品の製造方法 |
| JP2015209306A (ja) * | 2014-04-25 | 2015-11-24 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板保持具、ガラス板移動規制装置、及びガラス物品の製造方法 |
| CN105873840A (zh) * | 2014-04-25 | 2016-08-17 | 日本电气销子株式会社 | 玻璃板保持架、玻璃板移动限制装置及玻璃物品的制造方法 |
| TWI593610B (zh) * | 2014-04-25 | 2017-08-01 | 日本電氣硝子股份有限公司 | 玻璃板保持具、玻璃板移動限制裝置及玻璃物品之製造方法 |
| JP2018104099A (ja) * | 2018-02-26 | 2018-07-05 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板移動規制装置、及びガラス物品の製造方法 |
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