JPH0727385A - 製造ライン - Google Patents
製造ラインInfo
- Publication number
- JPH0727385A JPH0727385A JP19794093A JP19794093A JPH0727385A JP H0727385 A JPH0727385 A JP H0727385A JP 19794093 A JP19794093 A JP 19794093A JP 19794093 A JP19794093 A JP 19794093A JP H0727385 A JPH0727385 A JP H0727385A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- tunnel
- stocker
- communication passage
- production line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーントンネルとクリーンストッカーを並
設した物品の製造ラインにおいて、処理工程における処
理物品等の保管作業を円滑に行うことができる製造ライ
ンを提供することを目的とする。 【構成】 クリーントンネル１とクリーンストッカー３
を並設した物品の製造ラインにおいて、前記クリーント
ンネル１と前記クリーンストッカー３間に、外部環境よ
り隔離された連絡通路２を連設し、前記クリーントンネ
ル１と前記クリーンストッカー３間の処理物品等の搬送
を前記連絡通路を介して行うようにした。
設した物品の製造ラインにおいて、処理工程における処
理物品等の保管作業を円滑に行うことができる製造ライ
ンを提供することを目的とする。 【構成】 クリーントンネル１とクリーンストッカー３
を並設した物品の製造ラインにおいて、前記クリーント
ンネル１と前記クリーンストッカー３間に、外部環境よ
り隔離された連絡通路２を連設し、前記クリーントンネ
ル１と前記クリーンストッカー３間の処理物品等の搬送
を前記連絡通路を介して行うようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体のような
電子部品等の製造ラインのように清浄環境下での処理工
程を要する製造ラインにおいて、処理物品等の保管作業
を処理工程に含む製造ラインに関する。
電子部品等の製造ラインのように清浄環境下での処理工
程を要する製造ラインにおいて、処理物品等の保管作業
を処理工程に含む製造ラインに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、清浄環境下での処理工程を要する
物品の製造ラインにおいては、該処理工程を天井部に設
けた空気清浄装置から清浄空気を下方へ流し、清浄空間
をトンネル状に続くようにしたクリーントンネル内に配
置し、工程途中で一時保管を要する処理物品等は搬送装
置等を使用して該処理物品等をクリーントンネルから搬
出し、その後、清浄状態で保管を要する製品等を保管す
るために内部を清浄状態に保つようにした保管庫である
クリーンストッカーへ搬送用の清浄機能付き運搬車を使
用して搬入し保管していた。また、クリーンストッカー
に保管中の処理物品等が処理工程で必要となった場合
は、搬送装置等を使用してクリーンストッカーより該処
理物品等を搬出し、その後、前記運搬車を使用してクリ
ーントンネルへ搬送していた。
物品の製造ラインにおいては、該処理工程を天井部に設
けた空気清浄装置から清浄空気を下方へ流し、清浄空間
をトンネル状に続くようにしたクリーントンネル内に配
置し、工程途中で一時保管を要する処理物品等は搬送装
置等を使用して該処理物品等をクリーントンネルから搬
出し、その後、清浄状態で保管を要する製品等を保管す
るために内部を清浄状態に保つようにした保管庫である
クリーンストッカーへ搬送用の清浄機能付き運搬車を使
用して搬入し保管していた。また、クリーンストッカー
に保管中の処理物品等が処理工程で必要となった場合
は、搬送装置等を使用してクリーンストッカーより該処
理物品等を搬出し、その後、前記運搬車を使用してクリ
ーントンネルへ搬送していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の製造ライン
では、クリーントンネル及びクリーンストッカーからの
或いはクリーントンネル及びクリーンストッカーへの処
理物品等の搬出入時に、該処理物品等が外部環境へ曝露
される恐れがあった。また、運搬車への積載及び運搬作
業によって発生する塵埃等のため、クリーントンネル及
びクリーンストッカーが低清浄度となり易いという問題
があった。また、前記従来技術においては専用の搬送台
車や天井走行形の搬送装置等が必要となり、積載及び運
搬作業も煩雑であった。そこで本発明は、前記従来技術
の不都合を解消し、処理工程における処理物品等の保管
作業を円滑に行うことができる製造ラインを提供するこ
とを目的とする。
では、クリーントンネル及びクリーンストッカーからの
或いはクリーントンネル及びクリーンストッカーへの処
理物品等の搬出入時に、該処理物品等が外部環境へ曝露
される恐れがあった。また、運搬車への積載及び運搬作
業によって発生する塵埃等のため、クリーントンネル及
びクリーンストッカーが低清浄度となり易いという問題
があった。また、前記従来技術においては専用の搬送台
車や天井走行形の搬送装置等が必要となり、積載及び運
搬作業も煩雑であった。そこで本発明は、前記従来技術
の不都合を解消し、処理工程における処理物品等の保管
作業を円滑に行うことができる製造ラインを提供するこ
とを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の製造ラインは、
前記目的を達成するべく、クリーントンネルとクリーン
ストッカーを並設した物品の製造ラインにおいて、前記
クリーントンネルと前記クリーンストッカー間に、外部
環境より隔離された連絡通路を連設し、前記クリーント
ンネルと前記クリーンストッカー間の処理物品等の搬送
を前記連絡通路を介して行うようにしたことを特徴とす
る。前記連絡通路と、前記クリーントンネル及び前記ク
リーンストッカーとの各連結面には、開閉自在の扉を設
け、クリーントンネルとクリーンストッカーとを遮断自
在とすることが好ましい。また、前記連絡通路内には、
清浄化用フィルタと送風機を設置することが好ましい。
前記目的を達成するべく、クリーントンネルとクリーン
ストッカーを並設した物品の製造ラインにおいて、前記
クリーントンネルと前記クリーンストッカー間に、外部
環境より隔離された連絡通路を連設し、前記クリーント
ンネルと前記クリーンストッカー間の処理物品等の搬送
を前記連絡通路を介して行うようにしたことを特徴とす
る。前記連絡通路と、前記クリーントンネル及び前記ク
リーンストッカーとの各連結面には、開閉自在の扉を設
け、クリーントンネルとクリーンストッカーとを遮断自
在とすることが好ましい。また、前記連絡通路内には、
清浄化用フィルタと送風機を設置することが好ましい。
【０００５】尚、前記クリーントンネルと、これに並設
するクリーンストッカーの個数は各１個に限定されるも
のではなく、所望個数を組み合わせて用いることもでき
る。また、一つのクリーントンネルと一つのクリーンス
トッカー間に連設する連絡通路の個数も１個に限定され
るものではなく、処理工程の必要に応じ複数個の連絡通
路を連設することができる。
するクリーンストッカーの個数は各１個に限定されるも
のではなく、所望個数を組み合わせて用いることもでき
る。また、一つのクリーントンネルと一つのクリーンス
トッカー間に連設する連絡通路の個数も１個に限定され
るものではなく、処理工程の必要に応じ複数個の連絡通
路を連設することができる。
【０００６】
【作用】本発明によれば、クリーントンネル内で処理さ
れて次工程に進む前に保管を要する処理物品等は、連絡
通路を介してクリーンストッカーへ搬送され、保管され
る。そしてクリーンストッカーに保管されている処理物
品等を処理作業に供する場合は、前記連絡通路を介して
クリーントンネル内へ搬送され、処理作業に供される。
また、クリーントンネル及びクリーンストッカーと連絡
通路との各連結面に開閉自在の扉を設けた場合は、処理
物品等が連絡通路に搬出入される時のみ扉を開閉するこ
とで、クリーントンネル及びクリーンストッカーの清浄
度を夫々厳密に調整し得、かつ夫々の環境が相互に影響
を与えることがない。また、清浄化用フィルタと送風機
を設けた連絡通路においては、清浄空気を該連絡通路内
に循環させる等して、処理物品等を該連絡通路内におい
て搬送中も清浄度が調整できる。
れて次工程に進む前に保管を要する処理物品等は、連絡
通路を介してクリーンストッカーへ搬送され、保管され
る。そしてクリーンストッカーに保管されている処理物
品等を処理作業に供する場合は、前記連絡通路を介して
クリーントンネル内へ搬送され、処理作業に供される。
また、クリーントンネル及びクリーンストッカーと連絡
通路との各連結面に開閉自在の扉を設けた場合は、処理
物品等が連絡通路に搬出入される時のみ扉を開閉するこ
とで、クリーントンネル及びクリーンストッカーの清浄
度を夫々厳密に調整し得、かつ夫々の環境が相互に影響
を与えることがない。また、清浄化用フィルタと送風機
を設けた連絡通路においては、清浄空気を該連絡通路内
に循環させる等して、処理物品等を該連絡通路内におい
て搬送中も清浄度が調整できる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の製造ラインの一実施例を図面
に基づき説明する。図中１はクリーントンネルを示し、
このクリーントンネル１内には処理工程Ａ〜Ｆが一列に
連続配置されている。このクリーントンネル１には連絡
通路２を介してクリーンストッカー３が接続されてい
る。
に基づき説明する。図中１はクリーントンネルを示し、
このクリーントンネル１内には処理工程Ａ〜Ｆが一列に
連続配置されている。このクリーントンネル１には連絡
通路２を介してクリーンストッカー３が接続されてい
る。
【０００８】図３は、前記連絡通路２の一部切断斜視図
を示すもので、連絡通路２は仕切壁４により外部環境か
ら隔離されており、クリーントンネル１及びクリーンス
トッカー２との各連結面にフランジ５ａ及びフランジ５
ｂが設けられ、これらフランジ５ａ及びフランジ５ｂを
介してクリーントンネル１及びクリーンストッカー２に
接続されている。また、これらフランジ５ａ及びフラン
ジ５ｂには夫々扉６ａ及び６ｂが備えられている。工程
途中で処理物品等を一時保管する場合は、クリーントン
ネル１側に設けられた扉６ａを開き、処理物品等をクリ
ーントンネル１内より連絡通路２内へ搬送し、扉６ａを
閉じる。次にクリーンストッカー３側に設けられた扉６
ｂを開き、処理物品等を連絡通路２からクリーンストッ
カー３内へ搬送して扉６ｂを閉じ、処理物品等をクリー
ンストッカー３内に保管する。また、クリーンストッカ
ー３内に保管中の処理物品等を処理作業に供する場合
は、処理物品等は上記と逆の行程をたどり連絡通路２を
介してクリーンストッカー３内からクリーントンネル１
内へ搬送される。
を示すもので、連絡通路２は仕切壁４により外部環境か
ら隔離されており、クリーントンネル１及びクリーンス
トッカー２との各連結面にフランジ５ａ及びフランジ５
ｂが設けられ、これらフランジ５ａ及びフランジ５ｂを
介してクリーントンネル１及びクリーンストッカー２に
接続されている。また、これらフランジ５ａ及びフラン
ジ５ｂには夫々扉６ａ及び６ｂが備えられている。工程
途中で処理物品等を一時保管する場合は、クリーントン
ネル１側に設けられた扉６ａを開き、処理物品等をクリ
ーントンネル１内より連絡通路２内へ搬送し、扉６ａを
閉じる。次にクリーンストッカー３側に設けられた扉６
ｂを開き、処理物品等を連絡通路２からクリーンストッ
カー３内へ搬送して扉６ｂを閉じ、処理物品等をクリー
ンストッカー３内に保管する。また、クリーンストッカ
ー３内に保管中の処理物品等を処理作業に供する場合
は、処理物品等は上記と逆の行程をたどり連絡通路２を
介してクリーンストッカー３内からクリーントンネル１
内へ搬送される。
【０００９】尚、本実施例では連絡通路２内における処
理物品等の搬送を、連絡通路２内の下部に設置した搬送
コンベア７を使用して行うようにした。また、上述のク
リーントンネル１とクリーンストッカー３間の処理物品
等の搬送並びにクリーンストッカー３内の保管棚への収
納作業等は自動的に行うようにしてもよい。
理物品等の搬送を、連絡通路２内の下部に設置した搬送
コンベア７を使用して行うようにした。また、上述のク
リーントンネル１とクリーンストッカー３間の処理物品
等の搬送並びにクリーンストッカー３内の保管棚への収
納作業等は自動的に行うようにしてもよい。
【００１０】また、本実施例では連絡通路２の上部に送
風機８を収容した送風機箱９を設置し、送風機箱９内の
空気を送風機８により天井板１０に取り付けたフィルタ
１１を通過させて清浄化し、連絡通路２内に送るように
した。そして連絡通路２内の空気は連絡通路２の下部に
設けた排気口１２より、ダクト１３を通って吸込口１４
から送風機箱１０内に戻すようにし、このように清浄空
気を循環させることにより、連絡通路２内の清浄度の調
整を行うようにした。
風機８を収容した送風機箱９を設置し、送風機箱９内の
空気を送風機８により天井板１０に取り付けたフィルタ
１１を通過させて清浄化し、連絡通路２内に送るように
した。そして連絡通路２内の空気は連絡通路２の下部に
設けた排気口１２より、ダクト１３を通って吸込口１４
から送風機箱１０内に戻すようにし、このように清浄空
気を循環させることにより、連絡通路２内の清浄度の調
整を行うようにした。
【００１１】次に、本発明の製造ラインによる処理例を
図１により説明する。処理工程Ａ、Ｂの順に作業が終了
した処理物品は、処理工程Ｂの近傍のクリーントンネル
１側面に連設した連絡通路２を介してクリーンストッカ
ー３内へ搬送され、保管される。そしてクリーンストッ
カー３内に所定時間保管後、該処理物品は連絡通路２を
介してクリーントンネル１内に搬送され処理工程Ｃの処
理作業に供される。その後、処理物品は処理工程Ｄ，
Ｅ，Ｆの各工程で処理され、処理工程を終える。
図１により説明する。処理工程Ａ、Ｂの順に作業が終了
した処理物品は、処理工程Ｂの近傍のクリーントンネル
１側面に連設した連絡通路２を介してクリーンストッカ
ー３内へ搬送され、保管される。そしてクリーンストッ
カー３内に所定時間保管後、該処理物品は連絡通路２を
介してクリーントンネル１内に搬送され処理工程Ｃの処
理作業に供される。その後、処理物品は処理工程Ｄ，
Ｅ，Ｆの各工程で処理され、処理工程を終える。
【００１２】尚、例えば処理工程Ｄの作業後にも処理物
品の保管を要する場合は、仮想線で示した如く、クリー
ントンネル１側面とクリーンストッカー３との間に連設
する連絡通路２を処理工程Ｄの近傍にも設け、処理物品
をかかる連絡通路２を介してクリーントンネル１とクリ
ーンストッカー３間で搬出入するようにすればよい。
品の保管を要する場合は、仮想線で示した如く、クリー
ントンネル１側面とクリーンストッカー３との間に連設
する連絡通路２を処理工程Ｄの近傍にも設け、処理物品
をかかる連絡通路２を介してクリーントンネル１とクリ
ーンストッカー３間で搬出入するようにすればよい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によればク
リーントンネル内で処理された処理物品等は連絡通路を
介して外部環境への曝露の恐れなくクリーントンネルと
クリーンストッカー間を搬送され、製品等の不良発生防
止、歩留向上に役立つ。また、連絡通路の両端に開閉自
在の扉を設けることにより、クリーントンネル及びクリ
ーンストッカー内の陽圧を保持することに役立ち、ま
た、クリーントンネル或いはクリーンストッカーのどち
らかに空気清浄に関するトラブルが発生した場合も、お
互いに影響を及ぼすことを防止できる。また、処理物品
等の保管を要する処理工程の多い製造ラインでも対応す
ることができ、処理物品等の積載、搬送及び保管作業が
簡便に行えるようになり、また自動化できるため、前記
作業を合理的且つ円滑に行うことができる。また、クリ
ーントンネル及びクリーンストッカーの設置場所の清浄
度はあまり高いものでなくてよいため、設備費及びメン
テナンスに関する負担を軽減することができる。
リーントンネル内で処理された処理物品等は連絡通路を
介して外部環境への曝露の恐れなくクリーントンネルと
クリーンストッカー間を搬送され、製品等の不良発生防
止、歩留向上に役立つ。また、連絡通路の両端に開閉自
在の扉を設けることにより、クリーントンネル及びクリ
ーンストッカー内の陽圧を保持することに役立ち、ま
た、クリーントンネル或いはクリーンストッカーのどち
らかに空気清浄に関するトラブルが発生した場合も、お
互いに影響を及ぼすことを防止できる。また、処理物品
等の保管を要する処理工程の多い製造ラインでも対応す
ることができ、処理物品等の積載、搬送及び保管作業が
簡便に行えるようになり、また自動化できるため、前記
作業を合理的且つ円滑に行うことができる。また、クリ
ーントンネル及びクリーンストッカーの設置場所の清浄
度はあまり高いものでなくてよいため、設備費及びメン
テナンスに関する負担を軽減することができる。
【図１】本発明による製造ラインの一実施例の平面図
【図２】本発明による製造ラインの一実施例の立面図
【図３】本発明による製造ラインの一実施例で用いた連
絡通路の一部切断斜視図
絡通路の一部切断斜視図
１ クリーントンネル ２ 連絡通路 ３ クリーンストッカー ４ 仕切壁 ５ａ クリーントンネル側フランジ ５ｂ クリーンストッカー側フランジ ６ａ クリーントンネル側扉 ６ｂ クリーンストッカー側扉 ８ 送風機 ９ 送風機箱 １０ 天井板 １１ フィルタ １２ 排気口 １３ ダクト １４ 吸込口
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーントンネルとクリーンストッカー
を並設した物品の製造ラインにおいて、前記クリーント
ンネルと前記クリーンストッカー間に、外部環境より隔
離された連絡通路を連設し、前記クリーントンネルと前
記クリーンストッカー間の処理物品等の搬送を前記連絡
通路を介して行うようにしたことを特徴とする製造ライ
ン。 - 【請求項２】 前記連絡通路と、前記クリーントンネル
及び前記クリーンストッカーとの各連結面に開閉自在の
扉を設け、クリーントンネルとクリーンストッカーとを
遮断自在としたことを特徴とする請求項１記載の製造ラ
イン。 - 【請求項３】 前記連絡通路内に、清浄化用フィルタと
送風機を設置したことを特徴とする請求項１または２記
載の製造ライン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19794093A JPH0727385A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 製造ライン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19794093A JPH0727385A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 製造ライン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727385A true JPH0727385A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=16382830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19794093A Pending JPH0727385A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 製造ライン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727385A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1179318A (ja) * | 1997-09-05 | 1999-03-23 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 自動倉庫 |
-
1993
- 1993-07-15 JP JP19794093A patent/JPH0727385A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1179318A (ja) * | 1997-09-05 | 1999-03-23 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 自動倉庫 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020319 |