JPH0727546A - 真直度の計測装置 - Google Patents
真直度の計測装置Info
- Publication number
- JPH0727546A JPH0727546A JP16908193A JP16908193A JPH0727546A JP H0727546 A JPH0727546 A JP H0727546A JP 16908193 A JP16908193 A JP 16908193A JP 16908193 A JP16908193 A JP 16908193A JP H0727546 A JPH0727546 A JP H0727546A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring device
- measured
- displacement
- position sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 長さ２０〜１００ｍ規模の被測定物の真直度
を測定すること。 【構成】 被測定物１にコーナーキューブ３と反射鏡４
を設け、またレーザ発生器６と固体撮像素子カメラ１１
および受光ガラス１０からなる位置センサー１２を搭載
した変位測定装置５を設け、さらにその変位測定装置５
の姿勢を制御するための位置センサー１４を設けると共
に、移動距離Ｌを計測するために被測定物１と一体とな
って動く定規１５と固体撮像素子カメラ１６を設置し、
被測定物１の直線運動に伴う変位と角度の計測を行うこ
と。
を測定すること。 【構成】 被測定物１にコーナーキューブ３と反射鏡４
を設け、またレーザ発生器６と固体撮像素子カメラ１１
および受光ガラス１０からなる位置センサー１２を搭載
した変位測定装置５を設け、さらにその変位測定装置５
の姿勢を制御するための位置センサー１４を設けると共
に、移動距離Ｌを計測するために被測定物１と一体とな
って動く定規１５と固体撮像素子カメラ１６を設置し、
被測定物１の直線運動に伴う変位と角度の計測を行うこ
と。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば大型の工作機械
等のように直線運動する機器の精度検査とか、大型の被
測定物を三次元計測をする際に他の装置と組み合わせて
被測定物を直線運動させる場合など、比較的大きい物体
の直線運動の測定に関するものである。
等のように直線運動する機器の精度検査とか、大型の被
測定物を三次元計測をする際に他の装置と組み合わせて
被測定物を直線運動させる場合など、比較的大きい物体
の直線運動の測定に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３に示すように、物体２２がＸ軸方向
に（Ｌ）だけ直線運動した場合には、変位誤差（ΔＸ，
ΔＹ，ΔＺ）と角度誤差（Δα，Δβ，Δγ）の６成分
の誤差が発生することが知られている。従来、これらの
誤差成分の計測では、６成分の誤差のうち４成分（Δ
Ｙ，ΔＺ，Δβ，Δγ）を同時に測定し得るようにした
先行技術として、 （イ）高田，吉田，前田：“レーザビームを利用した直
線運動精度測定”，昭和５９年度精機学会秋期大会学術
講演会論文集，Ｐ１３２〜１３３ （ロ）マシニングセンタにおける直線運動精度検査の高
度化、財団法人工作機械技術振興財団編（昭和６０年５
月） （ハ）直線運動測定装置（特開昭６４−５７１１０） などが知られている。これらの先行技術は小規模の工作
機械などには有効である。
に（Ｌ）だけ直線運動した場合には、変位誤差（ΔＸ，
ΔＹ，ΔＺ）と角度誤差（Δα，Δβ，Δγ）の６成分
の誤差が発生することが知られている。従来、これらの
誤差成分の計測では、６成分の誤差のうち４成分（Δ
Ｙ，ΔＺ，Δβ，Δγ）を同時に測定し得るようにした
先行技術として、 （イ）高田，吉田，前田：“レーザビームを利用した直
線運動精度測定”，昭和５９年度精機学会秋期大会学術
講演会論文集，Ｐ１３２〜１３３ （ロ）マシニングセンタにおける直線運動精度検査の高
度化、財団法人工作機械技術振興財団編（昭和６０年５
月） （ハ）直線運動測定装置（特開昭６４−５７１１０） などが知られている。これらの先行技術は小規模の工作
機械などには有効である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
先行技術は小規模の被測定物に対して有効であるが、こ
れを長さ２０〜100 ｍ規模の被測定物を対象とした場合
には測定範囲が拡大されるため、次のような諸問題が生
じる。すなわち、計測範囲を拡大するため計測装置を大
型化した場合には諸部品が高価になり、かつ装置が複雑
であるため重くなる。また角度の計測範囲が狭いので大
規模の測定には不向きである。さらに被測定物が大規模
になると、その自重によって計測装置の姿勢が変ったり
するなどの問題がある。
先行技術は小規模の被測定物に対して有効であるが、こ
れを長さ２０〜100 ｍ規模の被測定物を対象とした場合
には測定範囲が拡大されるため、次のような諸問題が生
じる。すなわち、計測範囲を拡大するため計測装置を大
型化した場合には諸部品が高価になり、かつ装置が複雑
であるため重くなる。また角度の計測範囲が狭いので大
規模の測定には不向きである。さらに被測定物が大規模
になると、その自重によって計測装置の姿勢が変ったり
するなどの問題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上述の問題を解決するた
め本発明においては、被測定物にコーナーキューブと反
射鏡を設け、またレーザ発生器と固体撮像素子カメラお
よび受光ガラスからなる位置センサー（特開平４−２７
８４０１号）を搭載した変位測定装置を設け、さらにそ
の変位測定装置の姿勢を制御するための位置センサーを
設けると共に、被測定物と一体となって動く定規とその
目盛りを読むための固体撮像素子カメラから構成される
直線移動量の読み取り装置を設置して被測定物の直線運
動に伴う変位と角度の計測装置を構成する。
め本発明においては、被測定物にコーナーキューブと反
射鏡を設け、またレーザ発生器と固体撮像素子カメラお
よび受光ガラスからなる位置センサー（特開平４−２７
８４０１号）を搭載した変位測定装置を設け、さらにそ
の変位測定装置の姿勢を制御するための位置センサーを
設けると共に、被測定物と一体となって動く定規とその
目盛りを読むための固体撮像素子カメラから構成される
直線移動量の読み取り装置を設置して被測定物の直線運
動に伴う変位と角度の計測装置を構成する。
【０００５】また、被測定物にコーナーキューブと反射
鏡を設け、またレーザ発生器と固体撮像素子カメラおよ
び受光ガラスからなる位置センサー（特開平４−２７８
４０１号）を搭載した変位測定装置を設け、さらにその
変位測定装置の姿勢を制御するための位置センサーを設
け、被測定物の移動距離を利用して被測定物の直線運動
に伴う変位と角度の計測装置を構成する。
鏡を設け、またレーザ発生器と固体撮像素子カメラおよ
び受光ガラスからなる位置センサー（特開平４−２７８
４０１号）を搭載した変位測定装置を設け、さらにその
変位測定装置の姿勢を制御するための位置センサーを設
け、被測定物の移動距離を利用して被測定物の直線運動
に伴う変位と角度の計測装置を構成する。
【０００６】
【作用】上述のように本発明の第１発明によれば、計測
装置が簡単であるため軽量でしかも安価である。また計
測範囲が広く、計測精度も高い。さらに計測装置の姿勢
が確認できるので、計測装置をセットした初期状態に計
測値を補正することができる。
装置が簡単であるため軽量でしかも安価である。また計
測範囲が広く、計測精度も高い。さらに計測装置の姿勢
が確認できるので、計測装置をセットした初期状態に計
測値を補正することができる。
【０００７】また本発明の第２発明によれば、被測定物
自身（例えば工作機械等）に直線移動距離を計測する装
置が付いている場合は、これを利用できるので第１発明
の定規と固体撮像素子カメラは不要となるので経済的に
なる。
自身（例えば工作機械等）に直線移動距離を計測する装
置が付いている場合は、これを利用できるので第１発明
の定規と固体撮像素子カメラは不要となるので経済的に
なる。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により本発明実施の態様を説明
するが、これは単に説明用のもので、発明思想の制限ま
たは限定を意味するものではない。
するが、これは単に説明用のもので、発明思想の制限ま
たは限定を意味するものではない。
【０００９】図１は本発明の第１発明の計測装置を説明
するための平面図である。図において、被測定物１にコ
ーナーキューブ３と反射鏡４を設け、またレーザ発生器
６と固体撮像素子カメラ１１および受光ガラス１０から
なる位置センサー１２を搭載した変位測定装置５を設
け、さらにこの変位測定装置５の姿勢を制御するための
位置センサー１４を設けると共に、移動距離Ｌを計測す
るために定規１５と固体撮像素子カメラ１６を設置し、
被測定物１の直線運動に伴う変位と角度の計測装置を構
成する。
するための平面図である。図において、被測定物１にコ
ーナーキューブ３と反射鏡４を設け、またレーザ発生器
６と固体撮像素子カメラ１１および受光ガラス１０から
なる位置センサー１２を搭載した変位測定装置５を設
け、さらにこの変位測定装置５の姿勢を制御するための
位置センサー１４を設けると共に、移動距離Ｌを計測す
るために定規１５と固体撮像素子カメラ１６を設置し、
被測定物１の直線運動に伴う変位と角度の計測装置を構
成する。
【００１０】図２は本発明の第２発明の計測装置を説明
するための斜視図であり、ＮＣ切断機の真直度の精度を
確認する態様を示した例である。被測定物のフレーム１
９にコーナーキューブ３と反射鏡４を設け、また第１発
明と同じ変位測定装置５（図１のようにレーザ発生器６
と固体撮像素子カメラ１１および受光ガラス１０からな
る位置センサー１２を搭載）を設け、さらにその変位測
定装置５の姿勢を制御するために第１発明と同じ位置セ
ンサー１４（図１に示すように固体撮像素子カメラ１１
と受光ガラス１０からなる）を設け、被測定物１９の移
動距離Ｌを利用して被測定物１９の直線運動に伴う変位
と角度の計測装置を構成する。
するための斜視図であり、ＮＣ切断機の真直度の精度を
確認する態様を示した例である。被測定物のフレーム１
９にコーナーキューブ３と反射鏡４を設け、また第１発
明と同じ変位測定装置５（図１のようにレーザ発生器６
と固体撮像素子カメラ１１および受光ガラス１０からな
る位置センサー１２を搭載）を設け、さらにその変位測
定装置５の姿勢を制御するために第１発明と同じ位置セ
ンサー１４（図１に示すように固体撮像素子カメラ１１
と受光ガラス１０からなる）を設け、被測定物１９の移
動距離Ｌを利用して被測定物１９の直線運動に伴う変位
と角度の計測装置を構成する。
【００１１】
【発明の効果】上述のように本発明の第１発明によれ
ば、計測装置が簡単であるため軽量でしかも安価であ
り、また計測範囲が広く、計測精度も高く、さらに計測
装置の姿勢が確認できるので計測装置をセットした初期
状態に計測値を補正することができるという効果があ
る。また本発明の第２発明によれば、上記の効果に加
え、被測定物自身の直線移動距離を利用できるので第１
発明の定規と固体撮像素子カメラは不要となるので経済
的になるという効果がある。
ば、計測装置が簡単であるため軽量でしかも安価であ
り、また計測範囲が広く、計測精度も高く、さらに計測
装置の姿勢が確認できるので計測装置をセットした初期
状態に計測値を補正することができるという効果があ
る。また本発明の第２発明によれば、上記の効果に加
え、被測定物自身の直線移動距離を利用できるので第１
発明の定規と固体撮像素子カメラは不要となるので経済
的になるという効果がある。
【図１】本発明の第１発明を説明するための平面図であ
る。
る。
【図２】本発明の第２発明の計測装置を説明するための
斜視図であり、ＮＣ切断機の真直度の精度を確認する状
態を示した例である。
斜視図であり、ＮＣ切断機の真直度の精度を確認する状
態を示した例である。
【図３】物体が直線移動した場合の誤差成分を説明する
ための斜視図である。
ための斜視図である。
１ 被測定物２ 検出ブロック ３ 変位検出用コーナーキューブ ４ 角度検出用反射鏡 ５ 変位測定器 ６ レーザ発生器 ７ レーザビーム ８ ハーフミラー ９ 反射鏡 10 受光ガラス 11 変位測定用固体撮像素子カメラ（ＣＣＤカメラ） 12 位置センサー 13 シャッター 14 変位測定器の姿勢確認用位置センサー 15 定規 16 移動距離測定用固体撮像素子カメラ（ＣＣＤカメ
ラ） 17 レール 18 切断トーチ 19 被測定物（フレーム） 20 ローラ 21 鋼板 22 物体
ラ） 17 レール 18 切断トーチ 19 被測定物（フレーム） 20 ローラ 21 鋼板 22 物体
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物にコーナーキューブと反射鏡を
設け、またレーザ発生器と固体撮像素子カメラおよび受
光ガラスからなる位置センサーを搭載した変位測定装置
を設け、さらにその変位測定装置の姿勢を制御するため
の位置センサーを設けると共に、被測定物と一体となっ
て動く定規とその目盛りを読むための固体撮像素子カメ
ラを設置して被測定物の直線運動に伴う変位および角度
を計測するようにしたことを特徴とする真直度の計測装
置。 - 【請求項２】 被測定物にコーナーキューブと反射鏡を
設け、またレーザ発生器と固体撮像素子カメラおよび受
光ガラスからなる位置センサーを搭載した変位測定装置
を設け、さらにその変位測定装置の姿勢を制御するため
の位置センサーを設け、被測定物の移動距離を利用して
被測定物の直線運動に伴う変位および角度を計測するよ
うにしたことを特徴とする真直度の計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16908193A JP2650830B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 真直度の計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16908193A JP2650830B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 真直度の計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727546A true JPH0727546A (ja) | 1995-01-27 |
| JP2650830B2 JP2650830B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=15879976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16908193A Expired - Fee Related JP2650830B2 (ja) | 1993-07-08 | 1993-07-08 | 真直度の計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2650830B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101225729B1 (ko) * | 2011-02-24 | 2013-01-24 | 현대제철 주식회사 | 슬라브용 길이측정장치 |
| JP2023157770A (ja) * | 2022-04-15 | 2023-10-26 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | レーザビーム真直度測定機及びレーザビーム真直度測定方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4875409B2 (ja) * | 2006-06-06 | 2012-02-15 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 被平面研削加工物の平面研削方法 |
-
1993
- 1993-07-08 JP JP16908193A patent/JP2650830B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101225729B1 (ko) * | 2011-02-24 | 2013-01-24 | 현대제철 주식회사 | 슬라브용 길이측정장치 |
| JP2023157770A (ja) * | 2022-04-15 | 2023-10-26 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | レーザビーム真直度測定機及びレーザビーム真直度測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2650830B2 (ja) | 1997-09-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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