JPH0727635B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0727635B2 JPH0727635B2 JP7972086A JP7972086A JPH0727635B2 JP H0727635 B2 JPH0727635 B2 JP H0727635B2 JP 7972086 A JP7972086 A JP 7972086A JP 7972086 A JP7972086 A JP 7972086A JP H0727635 B2 JPH0727635 B2 JP H0727635B2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒
体の製造方法に関する。
体の製造方法に関する。
従来の技術 近年、磁気記録の高密度化の進歩は著しく、強磁性金属
薄膜を磁気記録層として磁気記録媒体の実用化が強く望
まれている。
薄膜を磁気記録層として磁気記録媒体の実用化が強く望
まれている。
強磁性金属薄膜として用いられているものは、Co−ni−
Ｏ系の斜め蒸着膜、Co−Cr等の垂直磁化膜で、これら
は、記録波長１μｍ以下を前提としているから、記録再
生でのスペーシング損失が無視できないため、磁気ヘッ
ドとの直接摺動が前提となり、摩耗の問題がある。
Ｏ系の斜め蒸着膜、Co−Cr等の垂直磁化膜で、これら
は、記録波長１μｍ以下を前提としているから、記録再
生でのスペーシング損失が無視できないため、磁気ヘッ
ドとの直接摺動が前提となり、摩耗の問題がある。
この問題を解決すべく、多くの実験がなされており、各
種の改良提案がなされている。
種の改良提案がなされている。
大きくわけて、保護膜を設ける方法と、潤滑剤をヘッド
と媒体間に介在させる方法と、それらを組合わせたもの
に分類され、中でも、プラズマ重合膜などのプラズマの
活性を利用して反応膜を強磁性金属薄膜上に形成するも
のが有望視されている。
と媒体間に介在させる方法と、それらを組合わせたもの
に分類され、中でも、プラズマ重合膜などのプラズマの
活性を利用して反応膜を強磁性金属薄膜上に形成するも
のが有望視されている。
第３図はプラズマを利用して保護膜の形成を行うのに使
用する装置の一例の要部構成図である。
用する装置の一例の要部構成図である。
第３図に於いて、１は真空容器、2,3は放電電極、４は
磁気記録媒体となる被処理材で、これは高分子フィルム
５と強磁性金属薄膜６からなっている。７はガス導入口
で、８は排気孔、９は絶縁導入端子である。
磁気記録媒体となる被処理材で、これは高分子フィルム
５と強磁性金属薄膜６からなっている。７はガス導入口
で、８は排気孔、９は絶縁導入端子である。
第３図の装置を用いて、強磁性金属薄膜６上に、カーボ
ン皮膜をCH4,C2H6等を単独又はキャリアガスとしてAr等
を用いた混合ガスを導入し、例えば13.56MHzの高周波グ
ロー放電を発生させ、そのエネルギーで形成したり、ス
チレン、パーフロロシクロブタン等を用いてプラズマ重
合膜を形成するのが一般的で、被処理材は静止している
場合と巻取り機構を配して運動状態に保持する２種類が
ある。特に運動状態で処理する場合は、膜形成速度が実
用化の鍵をにぎっており、高速化の工夫が検討されてい
る中で、被処理材を冷却して、プラズマのパワーを増大
させたり、プラズマを励起する周波数を変化させて、最
大となる領域を見つけるなどが例として挙げられる。
ン皮膜をCH4,C2H6等を単独又はキャリアガスとしてAr等
を用いた混合ガスを導入し、例えば13.56MHzの高周波グ
ロー放電を発生させ、そのエネルギーで形成したり、ス
チレン、パーフロロシクロブタン等を用いてプラズマ重
合膜を形成するのが一般的で、被処理材は静止している
場合と巻取り機構を配して運動状態に保持する２種類が
ある。特に運動状態で処理する場合は、膜形成速度が実
用化の鍵をにぎっており、高速化の工夫が検討されてい
る中で、被処理材を冷却して、プラズマのパワーを増大
させたり、プラズマを励起する周波数を変化させて、最
大となる領域を見つけるなどが例として挙げられる。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記した構成では、磁気記録媒体としてテ
ープ状の媒体に応用するには、膜形成速度がまだ小さ
く、高速化が必要である。
ープ状の媒体に応用するには、膜形成速度がまだ小さ
く、高速化が必要である。
本発明は上記事情に鑑みなされたもので、特にカーボン
皮膜を高速で強磁性金属薄膜上に形成することの出来る
方法を提供するものである。
皮膜を高速で強磁性金属薄膜上に形成することの出来る
方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段 上記問題を解決するために、本発明の磁気記録媒体の製
造方法は、基板に対して負電位に保たれたグラファイト
電極を配し、炭化水素気体を導入し、グロー放電を発生
させることで強磁性金属薄膜表面にカーボン皮膜を形成
させるようにしたものである。
造方法は、基板に対して負電位に保たれたグラファイト
電極を配し、炭化水素気体を導入し、グロー放電を発生
させることで強磁性金属薄膜表面にカーボン皮膜を形成
させるようにしたものである。
作用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記した構成によ
り、グロー放電により、炭化水素が分解し、遊離した炭
素が皮膜形成にあずかるのは勿論のこと、分解で出来た
水素がグラファイトを反応性スパッタメカニズムによ
り、高速でスパッタするため、炭素皮膜の形成がこのグ
ラファイトのスパッタでもできるため、この両者でアル
ゴン等を用いなくてもよいため良質のカーボン皮膜が高
速で形成されるのである。
り、グロー放電により、炭化水素が分解し、遊離した炭
素が皮膜形成にあずかるのは勿論のこと、分解で出来た
水素がグラファイトを反応性スパッタメカニズムによ
り、高速でスパッタするため、炭素皮膜の形成がこのグ
ラファイトのスパッタでもできるため、この両者でアル
ゴン等を用いなくてもよいため良質のカーボン皮膜が高
速で形成されるのである。
実 施 例 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明す
る。
る。
第１図は本発明により得られる磁気記録媒体の拡大断面
図である。第１図に於いて、10は高分子フィルム、11は
強磁性金属薄膜、12はカーボン皮膜である。
図である。第１図に於いて、10は高分子フィルム、11は
強磁性金属薄膜、12はカーボン皮膜である。
第２図は本発明を実施するのに用いたカーボン皮膜形成
装置の要部構成図である。第２図に於いて、13は真空容
器、14は被処理材で、高分子フィルム15と、強磁性金属
薄膜16とから成っている。17はグラファイト電極で、強
磁性金属薄膜16に対して負電位に保つようにする。18は
高周波電極、19はガス導入ノズルで、円板上で複数の孔
が配されたものである。20は絶縁導入端子である。21は
真空排気系に通じる排気孔である。
装置の要部構成図である。第２図に於いて、13は真空容
器、14は被処理材で、高分子フィルム15と、強磁性金属
薄膜16とから成っている。17はグラファイト電極で、強
磁性金属薄膜16に対して負電位に保つようにする。18は
高周波電極、19はガス導入ノズルで、円板上で複数の孔
が配されたものである。20は絶縁導入端子である。21は
真空排気系に通じる排気孔である。
第２図の装置を用いて、厚み10.5μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に直径1mの円筒キャンに沿わせ
た状態で、１×10-5（Torr）の酸素中でCo−Ni（Ni20wt
％）を電子ビーム蒸着し、膜厚0.14（μｍ），抗磁力10
50（Oe）の強磁性金属薄膜を形成した被処理材を、10m/
minで移動させながら、カーボン皮膜を90Å形成した。
レフタレートフィルム上に直径1mの円筒キャンに沿わせ
た状態で、１×10-5（Torr）の酸素中でCo−Ni（Ni20wt
％）を電子ビーム蒸着し、膜厚0.14（μｍ），抗磁力10
50（Oe）の強磁性金属薄膜を形成した被処理材を、10m/
minで移動させながら、カーボン皮膜を90Å形成した。
CH4ガスを0.4/min導入しながら0.13Torrで29KHzの高
周波を1.9KW投入し、グロー放電を発生させる条件で、
カーボン皮膜を形成した。又、グラファイトは強磁性金
属薄膜が接地電位に対し、−660Vの電位に保つようにし
た。この条件でのカーボン皮膜を形成したテープをテー
プＡとした。
周波を1.9KW投入し、グロー放電を発生させる条件で、
カーボン皮膜を形成した。又、グラファイトは強磁性金
属薄膜が接地電位に対し、−660Vの電位に保つようにし
た。この条件でのカーボン皮膜を形成したテープをテー
プＡとした。
又、C2H6＋H2（流量比4:3）を合計で0.56/min導入
し、0.2Torrで13.56MHzの高周波を0.5KW投入し、グラフ
ァイトに−960V印加して得たカーボン皮膜を配したもの
をテープＢとした。
し、0.2Torrで13.56MHzの高周波を0.5KW投入し、グラフ
ァイトに−960V印加して得たカーボン皮膜を配したもの
をテープＢとした。
比較例として、CH4＋Ar（流量比1:2）ガスを合計で0.5
/min導入し0.22Torrで13.56MHzの高周波を2.7KW投入
して得たカーボン皮膜を配したものをテープＣとした。
尚テープＣを得るのに上記条件でカーボン皮膜90Åを得
る条件での被処理材の移動速度は0.9m/minであった。
/min導入し0.22Torrで13.56MHzの高周波を2.7KW投入
して得たカーボン皮膜を配したものをテープＣとした。
尚テープＣを得るのに上記条件でカーボン皮膜90Åを得
る条件での被処理材の移動速度は0.9m/minであった。
テープA,B,Cを夫々センダストヘッドで3600回転／分の
条件で記録した画像を静止状態でモニタし、ノイズが発
生するまでの時間を比較した所、夫々450分、490分,19
分であった。尚、測定環境は40℃,20％RHである。
条件で記録した画像を静止状態でモニタし、ノイズが発
生するまでの時間を比較した所、夫々450分、490分,19
分であった。尚、測定環境は40℃,20％RHである。
本発明のカーボン皮膜は、ダイアモンド的であることが
ラマン分光法等から推定され、そのため、上記したよう
にすぐれた耐久性があるのが特徴で又、膜形成速度も従
来の10倍強の大きさで、耐久性からみた保護膜形成とし
ては極めて高速といえる。
ラマン分光法等から推定され、そのため、上記したよう
にすぐれた耐久性があるのが特徴で又、膜形成速度も従
来の10倍強の大きさで、耐久性からみた保護膜形成とし
ては極めて高速といえる。
尚本発明の実施例では、CH4,C2H6を用いたが、他の炭化
水素単独、又は混合気体、或いはH2ガスを加えた系につ
いても同様の効果がある。
水素単独、又は混合気体、或いはH2ガスを加えた系につ
いても同様の効果がある。
又、カーボン皮膜を形成するのに強磁性金属薄膜として
Co−Ni−Ｏ膜を用いたが、他にCo−O,Co−Fe−O,Co−C
r,Co−Ti,Co−Rh,Co−Ru,Co−Pt,Co−Mo,Co−Mg,Co−W,
Co−Ta等であってもよい。
Co−Ni−Ｏ膜を用いたが、他にCo−O,Co−Fe−O,Co−C
r,Co−Ti,Co−Rh,Co−Ru,Co−Pt,Co−Mo,Co−Mg,Co−W,
Co−Ta等であってもよい。
発明の効果 以上のように本発明によれば、ダイアモンド的なカーボ
ン皮膜を強磁性金属薄膜に高速で形成できるといったす
ぐれた効果があり、得られる皮膜の保護効果も大きいと
いったすぐれた効果もある。
ン皮膜を強磁性金属薄膜に高速で形成できるといったす
ぐれた効果があり、得られる皮膜の保護効果も大きいと
いったすぐれた効果もある。
第１図は本発明の方法により製造した磁気記録媒体の一
例の拡大断面図、第２図は本発明の実施に用いた製造装
置の要部構成図、第３図は従来の製法で利用される製造
装置の要部構成図である。 10……高分子フィルム、11……強磁性金属薄膜、12……
カーボン皮膜、14……被処理材、17……グラファイト電
極、18……高周波電極、19……ガス導入ノズル。
例の拡大断面図、第２図は本発明の実施に用いた製造装
置の要部構成図、第３図は従来の製法で利用される製造
装置の要部構成図である。 10……高分子フィルム、11……強磁性金属薄膜、12……
カーボン皮膜、14……被処理材、17……グラファイト電
極、18……高周波電極、19……ガス導入ノズル。
Claims (1)
- 【請求項１】基板に対して負電位に保たれたグラファイ
ト電極を配し、炭化水素系気体を導入し、グロー放電を
発生させることで、強磁性金属薄膜表面にカーボン皮膜
を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7972086A JPH0727635B2 (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7972086A JPH0727635B2 (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62236137A JPS62236137A (ja) | 1987-10-16 |
| JPH0727635B2 true JPH0727635B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=13698034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7972086A Expired - Lifetime JPH0727635B2 (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727635B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4567867B2 (ja) * | 2000-10-24 | 2010-10-20 | キヤノンアネルバ株式会社 | 磁気記録ディスク用成膜装置及び磁気記録ディスク製作方法 |
-
1986
- 1986-04-07 JP JP7972086A patent/JPH0727635B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62236137A (ja) | 1987-10-16 |
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