JPH0740357B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0740357B2 JPH0740357B2 JP17694386A JP17694386A JPH0740357B2 JP H0740357 B2 JPH0740357 B2 JP H0740357B2 JP 17694386 A JP17694386 A JP 17694386A JP 17694386 A JP17694386 A JP 17694386A JP H0740357 B2 JPH0740357 B2 JP H0740357B2
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
気記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術 高分子フィルム上に直接又は、下地層を介して、電子ビ
ーム蒸着法で、Co−Niを斜め蒸着した、いわゆる蒸着テ
ープは、蒸着時に酸素ガスを導入することで、保磁力を
制御すると共に、耐久性，耐食性の向上をはかってい
る。〔外国論文誌：アイイーイーイー トランザクショ
ンズ オン マグネティクス（IEEE TRANSACTIONS ON M
AGNETICS）Vol.MAG−20,NO,−5,p.p.824〜826（198
4）〕 蒸着テープの耐久性の向上にとって有力な手段は、磁気
記録層の微細凹凸化である〔外国論文誌：アイイーイー
イー トランザクションズ オン マグネティクス（IE
EE TRANSACTIONS ON MAGNETICS）Vol.MAG−21,
,p.p.1524〜1526（1985）〕が、最近、より耐久性能
の向上をはかるために、ダイアモンド状硬質炭素薄膜
（以下、D.L.C膜と記す）を保護膜として検討が進み、
スチル耐久性の向上が確認されている〔電子通信学会，
磁気記録研究会試料,MR85−56（1986）〕。
ーム蒸着法で、Co−Niを斜め蒸着した、いわゆる蒸着テ
ープは、蒸着時に酸素ガスを導入することで、保磁力を
制御すると共に、耐久性，耐食性の向上をはかってい
る。〔外国論文誌：アイイーイーイー トランザクショ
ンズ オン マグネティクス（IEEE TRANSACTIONS ON M
AGNETICS）Vol.MAG−20,NO,−5,p.p.824〜826（198
4）〕 蒸着テープの耐久性の向上にとって有力な手段は、磁気
記録層の微細凹凸化である〔外国論文誌：アイイーイー
イー トランザクションズ オン マグネティクス（IE
EE TRANSACTIONS ON MAGNETICS）Vol.MAG−21,
,p.p.1524〜1526（1985）〕が、最近、より耐久性能
の向上をはかるために、ダイアモンド状硬質炭素薄膜
（以下、D.L.C膜と記す）を保護膜として検討が進み、
スチル耐久性の向上が確認されている〔電子通信学会，
磁気記録研究会試料,MR85−56（1986）〕。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、Co−Ni−Ｏ膜やCo−Ｏ膜等の部分酸化膜
を磁気記録層とする蒸着テープの保護膜としてD.L.C膜
を直接磁気記録層上に形成した磁気記録媒体は、短波長
での信号出力に変動が生じるといつた問題があり、改善
が望まれていた。本発明は上記した事情に鑑みてなされ
たものであり、長手方向で再生出力が安定し、且つ耐久
性能の向上した磁気記録媒体を製造することの出来る方
法を提供するものである。
を磁気記録層とする蒸着テープの保護膜としてD.L.C膜
を直接磁気記録層上に形成した磁気記録媒体は、短波長
での信号出力に変動が生じるといつた問題があり、改善
が望まれていた。本発明は上記した事情に鑑みてなされ
たものであり、長手方向で再生出力が安定し、且つ耐久
性能の向上した磁気記録媒体を製造することの出来る方
法を提供するものである。
問題点を解決するための手段 上記した問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体
の製造方法は、高分子フィルム上に部分酸化された強磁
性金属薄膜を配した処理体を回転支持体に沿って移動し
ながら、表面酸化層をドライエッチング直後、ダイアモ
ンド状硬質炭素薄膜を形成するものである。
の製造方法は、高分子フィルム上に部分酸化された強磁
性金属薄膜を配した処理体を回転支持体に沿って移動し
ながら、表面酸化層をドライエッチング直後、ダイアモ
ンド状硬質炭素薄膜を形成するものである。
作用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記した構成によ
り、ダイアモンド状硬質炭素薄膜の形成過程で、表面酸
化層がエッチングされることがなくなるため、該薄膜の
厚みを一定に制御できるようになり、スペーシングが安
定な磁気記録媒体を得ることができるのと、表面酸化層
によるスペーシング損失分をダイアモンド状硬質炭素薄
膜の厚み分にふり向ければ、耐久性が一層向上した磁気
記録媒体が確実に得られることになる。
り、ダイアモンド状硬質炭素薄膜の形成過程で、表面酸
化層がエッチングされることがなくなるため、該薄膜の
厚みを一定に制御できるようになり、スペーシングが安
定な磁気記録媒体を得ることができるのと、表面酸化層
によるスペーシング損失分をダイアモンド状硬質炭素薄
膜の厚み分にふり向ければ、耐久性が一層向上した磁気
記録媒体が確実に得られることになる。
実施例 以下、図面を参照しながら、本発明の実施例について説
明する。第１図は、本発明の製法により得られる磁気記
録媒体の拡大断面図で、図中、１は厚みが9.5μｍのポ
リエチレンテレフタレートフィルムのごとき高分子フィ
ルム、２は微粒子塗布層で、平均170Åのチタニア粒子
を109個／cm2ポリエステル樹脂で固定したものである。
３は部分酸化された柱状結晶微粒子から成る磁気記録
層、４はダイアモンド状硬質炭素薄膜、５は潤滑剤層で
ある。３と４の界面は、柱状結晶微粒子表面の酸化層は
後述するようにエッチングされて無視できる厚み（磁気
記録のスペーシング損失面からみて、20〜30Å以下好ま
しくは０Å）になっている。
明する。第１図は、本発明の製法により得られる磁気記
録媒体の拡大断面図で、図中、１は厚みが9.5μｍのポ
リエチレンテレフタレートフィルムのごとき高分子フィ
ルム、２は微粒子塗布層で、平均170Åのチタニア粒子
を109個／cm2ポリエステル樹脂で固定したものである。
３は部分酸化された柱状結晶微粒子から成る磁気記録
層、４はダイアモンド状硬質炭素薄膜、５は潤滑剤層で
ある。３と４の界面は、柱状結晶微粒子表面の酸化層は
後述するようにエッチングされて無視できる厚み（磁気
記録のスペーシング損失面からみて、20〜30Å以下好ま
しくは０Å）になっている。
第１図に示した磁気記録媒体を製造するのに用いた処理
装置は第２図に示した通りである。すなわち、第２図
で、６は磁気記録層として直径が1mのクーリングキャン
に沿わせて、４×10-5（Torr）の酸素中で、Co−Ni（N
i:20wt％）を最小入射角40度で電子ビーム蒸着で形成し
たもので、膜厚0.16μm,表面酸化層120Åとした層を有
する被処理体で、微粒子塗布，高分子フィルムは前記し
た通りである。７はエッチングで表面酸化層（120Å）
を除去後、ダイアモンド状硬質炭素膜を配した原反で、
８は送り出し軸、９は巻取り軸、10はクーリングキャン
（直径50cm,回転方向は矢印Ａ）、11はエッチングのた
めの放電電極で、電極のクーリングキャンとの対向面に
微細な孔を複数個あけて、放電ガスとしてAr＋H2（Ar:H
2＝2:1）を0.014l/min導入できるよう構成したものであ
る。12はプラズマ管で、13は外部励起高周波コイル、14
はメッシュ状電極で、1200Vにした。16は真空槽、17
は真空排気系、18は絶縁導入端子である。
装置は第２図に示した通りである。すなわち、第２図
で、６は磁気記録層として直径が1mのクーリングキャン
に沿わせて、４×10-5（Torr）の酸素中で、Co−Ni（N
i:20wt％）を最小入射角40度で電子ビーム蒸着で形成し
たもので、膜厚0.16μm,表面酸化層120Åとした層を有
する被処理体で、微粒子塗布，高分子フィルムは前記し
た通りである。７はエッチングで表面酸化層（120Å）
を除去後、ダイアモンド状硬質炭素膜を配した原反で、
８は送り出し軸、９は巻取り軸、10はクーリングキャン
（直径50cm,回転方向は矢印Ａ）、11はエッチングのた
めの放電電極で、電極のクーリングキャンとの対向面に
微細な孔を複数個あけて、放電ガスとしてAr＋H2（Ar:H
2＝2:1）を0.014l/min導入できるよう構成したものであ
る。12はプラズマ管で、13は外部励起高周波コイル、14
はメッシュ状電極で、1200Vにした。16は真空槽、17
は真空排気系、18は絶縁導入端子である。
この構成でガス導入孔15より、Arとメタンガスを混合比
1:1で混合した状態で0.019l/min導入し、13に13.56（MH
z）1900（Ｗ）を投入し、ダイアモンド状硬質炭素薄膜
を140Å形成した。この上に、別の蒸着機で、潤滑剤層
としてステアリン酸のコバルト塩を約40Å蒸着形成し
た。11には13.56（MHz）を実施例では2400（Ｗ）投入し
たが、比較例では、ガス導入と高周波の印加をしないで
直接、ダイアモンド状硬質炭素膜を実施例と同じ条件で
形成した。
1:1で混合した状態で0.019l/min導入し、13に13.56（MH
z）1900（Ｗ）を投入し、ダイアモンド状硬質炭素薄膜
を140Å形成した。この上に、別の蒸着機で、潤滑剤層
としてステアリン酸のコバルト塩を約40Å蒸着形成し
た。11には13.56（MHz）を実施例では2400（Ｗ）投入し
たが、比較例では、ガス導入と高周波の印加をしないで
直接、ダイアモンド状硬質炭素膜を実施例と同じ条件で
形成した。
比較テープと実施例のテープを任意に100ｍ×10本を選
び、0.75μｍの記録波長を記録し、再生出力をモニター
したところ、実施例では、±0.2（dB）の範囲内に全て
入っていたが、比較テープは、±1.4（dB）と変動が大
きかった。−５℃でのスチル特性を比較したところ、任
意の30ケ所で、再生出力が２（dB）低下する時間は、実
施例は75分〜79分と均一であったが、比較例では、19分
〜72分とバラツキが大きかった。
び、0.75μｍの記録波長を記録し、再生出力をモニター
したところ、実施例では、±0.2（dB）の範囲内に全て
入っていたが、比較テープは、±1.4（dB）と変動が大
きかった。−５℃でのスチル特性を比較したところ、任
意の30ケ所で、再生出力が２（dB）低下する時間は、実
施例は75分〜79分と均一であったが、比較例では、19分
〜72分とバラツキが大きかった。
なお、初期出力でも本実施例に対して、平均値比較で比
較例は−1.6（dB）と低く、スペース損失が大きいこと
を示している。このことは、本実施例を、更に、70〜10
0Åダイアモンド状硬質炭素膜を厚くして耐久性向上に
主体においた改良のために適用することができることを
物語るものである。
較例は−1.6（dB）と低く、スペース損失が大きいこと
を示している。このことは、本実施例を、更に、70〜10
0Åダイアモンド状硬質炭素膜を厚くして耐久性向上に
主体においた改良のために適用することができることを
物語るものである。
本実施例に述べた条件に本発明が限定されるものでない
ことは勿論で、高分子フィルム材料，磁気記録層材料の
選択は自由であり、ダイアモンド状硬質炭素膜の製法使
用ガス等も適宜工夫できるものである。
ことは勿論で、高分子フィルム材料，磁気記録層材料の
選択は自由であり、ダイアモンド状硬質炭素膜の製法使
用ガス等も適宜工夫できるものである。
発明の効果 以上のように本発明によれば、短波長出力が安定してい
て、かつ出力と耐久性が共に良好な磁気記録媒体を大量
に得ることができるといったすぐれた効果がある。
て、かつ出力と耐久性が共に良好な磁気記録媒体を大量
に得ることができるといったすぐれた効果がある。
第１図は本発明により製造できる磁気記録媒体の一例の
拡大断面図、第２図は本発明を実施するのに用いた処理
装置の一例の要部構成図である。 １……高分子フィルム、２……微粒子塗布層、３……磁
気記録層、４……ダイアモンド状硬質炭素膜、６……被
処理体、10……クーリングキャン、11……放電電極、12
……プラズマ管。
拡大断面図、第２図は本発明を実施するのに用いた処理
装置の一例の要部構成図である。 １……高分子フィルム、２……微粒子塗布層、３……磁
気記録層、４……ダイアモンド状硬質炭素膜、６……被
処理体、10……クーリングキャン、11……放電電極、12
……プラズマ管。
Claims (1)
- 【請求項１】高分子フィルム上に部分酸化された強磁性
金属薄膜を配した処理体を回転支持体に沿って移動しな
がら、表面酸化層をドライエッチング直後、ダイアモン
ド状硬質炭素薄膜を形成することを特徴とする磁気記録
媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17694386A JPH0740357B2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17694386A JPH0740357B2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334728A JPS6334728A (ja) | 1988-02-15 |
| JPH0740357B2 true JPH0740357B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=16022448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17694386A Expired - Lifetime JPH0740357B2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740357B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0833993B2 (ja) * | 1988-11-07 | 1996-03-29 | 松下電器産業株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-28 JP JP17694386A patent/JPH0740357B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6334728A (ja) | 1988-02-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |