JPH0727681A - Gas condition inspection device - Google Patents
Gas condition inspection deviceInfo
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- JPH0727681A JPH0727681A JP19299393A JP19299393A JPH0727681A JP H0727681 A JPH0727681 A JP H0727681A JP 19299393 A JP19299393 A JP 19299393A JP 19299393 A JP19299393 A JP 19299393A JP H0727681 A JPH0727681 A JP H0727681A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 気体の状態検査装置において、吸引ポンプの
寿命を長くすると共に吸引流量を多くする。
【構成】 検査対象の気体を吸引する吸引ポンプと、こ
の吸引ポンプで吸引される気体の配管３の途中に設けら
れ該気体の状態を検査する気体検知器４とを有する気体
の状態検査装置１０において、上記吸引ポンプとして高
圧の流体の流れによって他の流体を吸引する噴流ポンプ
１１を用い、上記気体検知器４の下流側に設けたもので
ある。これにより、吸引ポンプとしての寿命を長くする
と共に、吸引流量を多くすることができる。
(57) [Summary] [Purpose] In a gas state inspection device, the life of the suction pump is extended and the suction flow rate is increased. A gas state inspection device 10 having a suction pump for sucking a gas to be inspected and a gas detector 4 for inspecting the state of the gas provided in the middle of a pipe 3 for the gas sucked by the suction pump. In the above, the jet pump 11 that sucks another fluid by the flow of the high-pressure fluid is used as the suction pump, and is provided on the downstream side of the gas detector 4. This makes it possible to extend the life of the suction pump and increase the suction flow rate.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象の気体を吸引
してその気体について例えばガス濃度又は異物混入など
の状態を検査する気体の状態検査装置に関し、特に吸引
ポンプの寿命を長くすると共に吸引流量を多くすること
ができる気体の状態検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas state inspecting apparatus for inhaling a gas to be inspected and inspecting the state of the gas, for example, gas concentration or inclusion of foreign matter, and particularly to prolong the life of a suction pump. The present invention relates to a gas state inspection device capable of increasing the suction flow rate.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の気体の状態検査装置１
は、図３に示すように、検査対象の気体を吸引する吸引
ポンプ２と、この吸引ポンプ２で吸引される気体の配管
３の途中に設けられ該気体の状態を検査する気体検知器
４とを有して成っていた。なお、図３において、符号５
は上記配管３を流れる気体の流量を計測する流量計を示
している。そして、上記吸引ポンプ２を動作させて減圧
状態を作り、この圧力差により入口６から検査対象の気
体を吸引してサンプリングし、配管３及び流量計５を介
して気体検知器４に流入してガス濃度等の気体の状態が
検査され、その後上記吸引ポンプ２を通って出口７から
外部へ排出されるようになっていた。2. Description of the Related Art A conventional gas state inspection device 1 of this type.
As shown in FIG. 3, a suction pump 2 for sucking the gas to be inspected, and a gas detector 4 provided in the middle of the pipe 3 for the gas sucked by the suction pump 2 for inspecting the state of the gas. Was made up of. In FIG. 3, reference numeral 5
Indicates a flow meter for measuring the flow rate of gas flowing through the pipe 3. Then, the suction pump 2 is operated to create a depressurized state, the gas to be inspected is sucked from the inlet 6 by this pressure difference, sampled, and flows into the gas detector 4 via the pipe 3 and the flow meter 5. The gas condition such as the gas concentration was inspected, and then the gas was discharged from the outlet 7 through the suction pump 2.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の気体の状態検査装置においては、前記吸引ポンプ２
としてダイアフラムポンプを用いていたので、その構造
上の特性から１分間に数百〜数千回の往復振動を行う膜
板が使用期間の経過に従って劣化し、吸引ポンプ２の寿
命が例えば約１年と短いものであった。従って、上記ダ
イアフラムポンプから成る吸引ポンプ２を例えば１年ご
とに交換しなければならず、保守及び整備性があまり良
くはなかった。また、上記膜板の往復振動により気体を
吸引及び吐出しているので、吸引流量があまり多くない
と共に、流れの変動に対する応答性も良くないものであ
った。これらのことから、気体の状態検査が効率よく行
えないものであった。However, in such a conventional gas state inspection apparatus, the suction pump 2 is used.
Since the diaphragm pump is used as the above, the membrane plate that reciprocates several hundred to several thousand times per minute deteriorates with the lapse of the usage period due to its structural characteristics, and the life of the suction pump 2 is, for example, about one year. It was a short one. Therefore, the suction pump 2 composed of the diaphragm pump must be replaced, for example, every year, and maintenance and maintainability are not so good. Further, since the gas is sucked and discharged by the reciprocating vibration of the film plate, the suction flow rate is not so large and the responsiveness to the fluctuation of the flow is not good. For these reasons, it has been impossible to efficiently inspect the gas state.
【０００４】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、吸引ポンプの寿命を長くすると共に吸引流量を多
くすることができる気体の状態検査装置を提供すること
を目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a gas state inspecting apparatus capable of coping with such problems and prolonging the life of the suction pump and increasing the suction flow rate.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による気体の状態検査装置は、検査対象の気
体を吸引する吸引ポンプと、この吸引ポンプで吸引され
る気体の配管の途中に設けられ該気体の状態を検査する
気体検知器とを有する気体の状態検査装置において、上
記吸引ポンプとして高圧の流体の流れによって他の流体
を吸引する噴流ポンプを用い、上記気体検知器の下流側
に設けたものである。In order to achieve the above object, a gas state inspection apparatus according to the present invention is provided with a suction pump for sucking a gas to be inspected and a gas pipe sucked by the suction pump. And a gas detector for inspecting the state of the gas, wherein a jet pump for sucking another fluid by a flow of a high-pressure fluid is used as the suction pump, and the gas detector is provided downstream of the gas detector. It is provided on the side.
【０００６】また、上記吸引される気体の配管の途中に
流量変化を検出しうる流量計を設けると共に、上記噴流
ポンプと並列に他の吸引ポンプを設け、上記流量計によ
る流量低下の検出信号により噴流ポンプと他の吸引ポン
プとを切り換えて使用するようにしてもよい。Further, a flow meter capable of detecting a flow rate change is provided in the middle of the pipe of the sucked gas, and another suction pump is provided in parallel with the jet pump to detect a flow rate decrease detection signal from the flow meter. The jet pump and another suction pump may be switched and used.
【０００７】[0007]
【作用】このように構成された気体の状態検査装置は、
吸引ポンプとして用いた噴流ポンプで検査対象の気体を
吸引し、この噴流ポンプで吸引される気体の配管の途中
に設けられた気体検知器で上記吸引された気体の状態を
検査するように動作する。このように噴流ポンプを用い
ることにより、吸引ポンプの寿命を長くすると共に、吸
引流量を多くすることができる。The gas state inspection device configured as described above is
The jet pump used as a suction pump sucks the gas to be inspected, and the gas detector provided in the middle of the pipe for the gas sucked by this jet pump operates to inspect the state of the sucked gas. . By using the jet pump in this manner, the life of the suction pump can be extended and the suction flow rate can be increased.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明による気体の状態検査装
置１０の実施例を示すシステム図である。この気体の状
態検査装置１０は、検査対象の気体を吸引してその気体
について例えばガス濃度又は異物混入などの状態を検査
するもので、図１に示すように、噴流ポンプ１１と、気
体検知器４と、流量計５とを備えて成る。Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment of a gas state inspection device 10 according to the present invention. The gas state inspection device 10 sucks a gas to be inspected and inspects the state of the gas, for example, gas concentration or inclusion of foreign matter. As shown in FIG. 1, the jet pump 11 and a gas detector are used. 4 and a flow meter 5.
【０００９】上記噴流ポンプ１１は、検査対象の気体を
吸引する吸引ポンプの一種であり、高圧の流体の流れに
よって他の流体を吸引するようになっており、例えばジ
ェットポンプ又はアスピレータポンプなどであり、後述
の気体検知器４の下流側に設けられている。この噴流ポ
ンプ１１は、例えば窒素ガスＮ2等を高圧の流体として
用い、ガス供給口１２から供給すると共に配管１３上に
設けられたバルブ１４を開くことにより、上記窒素ガス
Ｎ2が噴流ポンプ１１内を高速で通過し、これと交わる
他の経路上の流体を真空圧で吸引するものである。この
ように運動する機械部分がないので、上記噴流ポンプ１
１は、部品点数が少なく、構造が簡単である。The jet pump 11 is a kind of suction pump for sucking the gas to be inspected, and is adapted to suck another fluid by the flow of the high-pressure fluid, such as a jet pump or an aspirator pump. It is provided on the downstream side of the gas detector 4 described later. This jet pump 11 uses, for example, nitrogen gas N 2 or the like as a high-pressure fluid, and supplies the nitrogen gas N 2 from the gas supply port 12 and opens a valve 14 provided on the pipe 13 to cause the nitrogen gas N 2 to flow. The fluid on the other path that passes through the inside at a high speed and intersects with the inside is sucked by the vacuum pressure. Since there is no mechanical part that moves in this way, the jet pump 1
1 has a small number of parts and has a simple structure.
【００１０】気体検知器４は、上記噴流ポンプ１１で吸
引される気体の状態、例えばガス濃度又は異物混入など
の状態を検査するもので、その噴流ポンプ１１で吸引さ
れる気体の配管３の途中に設けられている。また、流量
計５は、上記噴流ポンプ１１の動作により、入口６から
配管３内に吸引される検査対象の気体の流量を計測する
ものである。なお、上記噴流ポンプ１１の動作により吸
引された検査対象の気体と、該噴流ポンプ１１を動作さ
せる流体である窒素ガスＮ2とは、検査終了後は配管３
の出口７から外部へ排出されるようになっている。The gas detector 4 is for inspecting the state of the gas sucked by the jet pump 11, for example, the state of gas concentration or the inclusion of foreign matter. The gas detector 4 is in the middle of the pipe 3 for the gas sucked by the jet pump 11. It is provided in. The flow meter 5 measures the flow rate of the gas to be inspected that is sucked into the pipe 3 from the inlet 6 by the operation of the jet pump 11. It should be noted that the gas to be inspected that has been sucked by the operation of the jet pump 11 and the nitrogen gas N 2 that is a fluid that operates the jet pump 11 are the pipes 3 after the inspection.
It is designed to be discharged to the outside through the outlet 7.
【００１１】次に、このように構成された気体の状態検
査装置１０により対象となる気体を検査するには、ま
ず、噴流ポンプ１１の配管１３のガス供給口１２を窒素
ガスＮ2の供給源（工場のライン又はガスボンベ等）へ
接続する。そして、上記配管１３上のバルブ１４を開
く。すると、高圧の窒素ガスＮ2が上記バルブ１４及び
配管１３を介して噴流ポンプ１１の中を高速で通過し、
これと交わる気体検知器４からの配管が接続された箇所
が真空状態となり、この真空圧により流量計５より上流
の配管３の入口６から検査対象の気体を吸引してサンプ
リングする。このサンプリングされた気体は、流量計５
及び配管３を介して気体検知器４に流入し、この気体検
知器４によってガス濃度等の気体の状態が検査される。
その後、検査後の気体は引き続き噴流ポンプ１１内へ吸
引され、そこで上記噴流ポンプ１１を動作させる窒素ガ
スＮ2と混合された状態となり、そのまま最後は配管３
の出口７から外部へ排出される。この場合、上記ガス供
給口１２から供給する窒素ガスＮ2の圧力を高くして流
速を大きくすると、噴流ポンプ１１で形成される負圧が
高くなり、検査対象の気体の吸引流量を多くすることが
できると共に、流れの変動に対する応答性も良くするが
できる。また、気体の吸引流量が多くなることから、多
点サンプリングも可能となる。Next, in order to inspect the target gas by the gas state inspection device 10 thus constructed, first, the gas supply port 12 of the pipe 13 of the jet pump 11 is connected to the nitrogen gas N 2 supply source. (Factory line or gas cylinder, etc.). Then, the valve 14 on the pipe 13 is opened. Then, the high-pressure nitrogen gas N 2 passes through the jet pump 11 at high speed through the valve 14 and the pipe 13,
A portion where the pipe from the gas detector 4 intersecting with this is connected to a vacuum state, and the vacuum pressure sucks the gas to be inspected from the inlet 6 of the pipe 3 upstream of the flow meter 5 for sampling. This sampled gas is flow meter 5
Also, the gas flows into the gas detector 4 through the pipe 3, and the gas detector 4 inspects the gas state such as the gas concentration.
After that, the gas after the inspection is continuously sucked into the jet pump 11, where it is mixed with the nitrogen gas N 2 for operating the jet pump 11, and finally the pipe 3
It is discharged from the outlet 7 of the outside. In this case, when the pressure of the nitrogen gas N 2 supplied from the gas supply port 12 is increased to increase the flow velocity, the negative pressure formed by the jet pump 11 is increased and the suction flow rate of the gas to be inspected is increased. It is possible to improve the responsiveness to flow fluctuations. In addition, since the gas suction flow rate increases, multipoint sampling becomes possible.
【００１２】図２は本発明の第二の実施例を示すシステ
ム図である。この実施例は、検査対象の気体が吸引され
る配管３の途中に流量変化を検出しうるスイッチ付流量
計５′を設けると共に、上記噴流ポンプ１１と並列に他
の吸引ポンプ２（例えばダイアフラムポンプ）を設け、
上記スイッチ付流量計５′による流量低下の検出信号に
より噴流ポンプ１１と他の吸引ポンプ２とを切り換えて
使用するようにしたものである。この場合、前記気体検
知器４と噴流ポンプ１１とを結ぶ配管上には第一の切換
バルブ１５が設けられ、他の吸引ポンプ２の下流側には
第二の切換バルブ１６が設けられている。そして、上記
スイッチ付流量計５′による流量低下の検出信号Ｓが信
号線を介して上記それぞれのバルブ１５，１６に入力す
るようになっており、第一及び第二の切換バルブ１５，
１６を互い違いに開閉するようになっている。FIG. 2 is a system diagram showing a second embodiment of the present invention. In this embodiment, a flowmeter 5'with a switch capable of detecting a flow rate change is provided in the middle of a pipe 3 through which a gas to be inspected is sucked, and another suction pump 2 (for example, a diaphragm pump) is provided in parallel with the jet pump 11. ),
The jet pump 11 and the other suction pump 2 are switched and used according to the detection signal of the flow rate decrease by the flow meter with switch 5 '. In this case, a first switching valve 15 is provided on the pipe connecting the gas detector 4 and the jet pump 11, and a second switching valve 16 is provided downstream of the other suction pump 2. . The detection signal S of the flow rate decrease by the flow meter with switch 5'is input to the respective valves 15 and 16 through a signal line, and the first and second switching valves 15 and 16 are provided.
16 are opened and closed alternately.
【００１３】この第二の実施例により対象となる気体を
検査するには、噴流ポンプ１１をメインとして使用する
場合は、第一の切換バルブ１５を開とすると共に第二の
切換バルブ１６を閉としてセットしておき、この状態で
図１に示すと同様に、バルブ１４を開いて高圧の窒素ガ
スＮ2を上記噴流ポンプ１１に供給する。すると、前記
と全く同様にして噴流ポンプ１１が動作して気体を吸引
し、気体検知器４で検査する。このような状態で、何ら
かの原因で配管３内の流量が低下すると、これをスイッ
チ付流量計５′が検出し、検出信号Ｓを出力する。する
と、この検出信号Ｓが第一及び第二の切換バルブ１５，
１６に入力し、今度は第一の切換バルブ１５を閉とする
と共に第二の切換バルブ１６を開として、噴流ポンプ１
１と他の吸引ポンプ２とを切り換え、例えばダイアフラ
ムポンプから成る他の吸引ポンプ２を動作させる。これ
により、図３に示す従来例と同様に気体の状態検査が実
行される。この場合は、メインと予備用の二つの吸引ポ
ンプを使い分けて、何らかのトラブルが発生しても検査
を中断することなく実行することができる。なお、上記
スイッチ付流量計５′で配管３内の流量低下を検出して
二つの吸引ポンプ(２，１１）を切り換える際には、音
又は光によって警報を出させるようにしてもよい。In order to inspect the target gas according to the second embodiment, when the jet pump 11 is mainly used, the first switching valve 15 is opened and the second switching valve 16 is closed. As shown in FIG. 1, in this state, the valve 14 is opened to supply the high pressure nitrogen gas N 2 to the jet pump 11. Then, in the same manner as described above, the jet pump 11 operates to suck gas, and the gas detector 4 inspects. In such a state, if the flow rate in the pipe 3 decreases for some reason, the flow meter with switch 5'detects this and outputs the detection signal S. Then, this detection signal S causes the first and second switching valves 15,
16 and then the first switching valve 15 is closed and the second switching valve 16 is opened.
1 and the other suction pump 2 are switched, and the other suction pump 2 including, for example, a diaphragm pump is operated. As a result, the gas state inspection is performed as in the conventional example shown in FIG. In this case, it is possible to perform the inspection without interruption even if some trouble occurs by properly using the two main and spare suction pumps. When switching the two suction pumps (2, 11) by detecting the decrease in the flow rate in the pipe 3 by the flow meter with switch 5 ', an alarm may be issued by sound or light.
【００１４】なお、以上の説明では、図１及び図２に示
す噴流ポンプ１１を動作させるために供給する流体は窒
素ガスＮ2としたが、本発明はこれに限らず、他の不活
性ガス又は空気であってもよい。In the above description, the fluid supplied to operate the jet pump 11 shown in FIGS. 1 and 2 was nitrogen gas N 2 , but the present invention is not limited to this, and other inert gas may be used. Alternatively, it may be air.
【００１５】[0015]
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
検査対象の気体を吸引する吸引ポンプとして、高圧の流
体の流れによって他の流体を吸引する噴流ポンプを用い
ることにより、運動する機械部分がなく、部品点数が少
ないと共に構造が簡単であることから、吸引ポンプとし
ての寿命を長くすると共に、吸引流量を多くすることが
でき、さらに流れの変動に対する応答性も良くすること
ができる。従って、本発明によれば、気体の状態検査を
効率よく行うことができる。Since the present invention is constructed as described above,
As a suction pump that sucks the gas to be inspected, by using a jet pump that sucks another fluid by the flow of high-pressure fluid, there is no moving mechanical part, the number of parts is small, and the structure is simple, The life of the suction pump can be extended, the suction flow rate can be increased, and the responsiveness to flow fluctuations can be improved. Therefore, according to the present invention, the gas state inspection can be efficiently performed.
【図１】本発明による気体の状態検査装置の実施例を示
すシステム図である。FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment of a gas state inspection device according to the present invention.
【図２】本発明の第二の実施例を示すシステム図であ
る。FIG. 2 is a system diagram showing a second embodiment of the present invention.
【図３】従来の気体の状態検査装置を示すシステム図で
ある。FIG. 3 is a system diagram showing a conventional gas state inspection device.
２…吸引ポンプ ３，１３…配管 ４…気体検知器 ５…流量計 ５′…スイッチ付流量計 １０…気体の状態検査装置 １１…噴流ポンプ １５，１６…切換バルブ 2 ... Suction pump 3, 13 ... Piping 4 ... Gas detector 5 ... Flowmeter 5 '... Switched flowmeter 10 ... Gas state inspection device 11 ... Jet pump 15, 16 ... Switching valve
Claims (2)
と、この吸引ポンプで吸引される気体の配管の途中に設
けられ該気体の状態を検査する気体検知器とを有する気
体の状態検査装置において、上記吸引ポンプとして高圧
の流体の流れによって他の流体を吸引する噴流ポンプを
用い、上記気体検知器の下流側に設けたことを特徴とす
る気体の状態検査装置。1. A gas state inspection device having a suction pump for sucking a gas to be inspected, and a gas detector provided in the middle of a pipe for gas sucked by the suction pump to inspect the state of the gas. A gas state inspection device, characterized in that a jet pump for sucking another fluid by a flow of a high-pressure fluid is used as the suction pump, and the jet pump is provided on the downstream side of the gas detector.
変化を検出しうる流量計を設けると共に、上記噴流ポン
プと並列に他の吸引ポンプを設け、上記流量計による流
量低下の検出信号により噴流ポンプと他の吸引ポンプと
を切り換えて使用するようにしたことを特徴とする請求
項１記載の気体の状態検査装置。2. A flow meter capable of detecting a flow rate change is provided in the middle of the pipe of the sucked gas, and another suction pump is provided in parallel with the jet pump to detect a flow rate decrease signal from the flow meter. 2. The gas state inspection device according to claim 1, wherein the jet pump and another suction pump are switched and used.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19299393A JPH0727681A (en) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | Gas condition inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19299393A JPH0727681A (en) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | Gas condition inspection device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727681A true JPH0727681A (en) | 1995-01-31 |
Family
ID=16300443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19299393A Pending JPH0727681A (en) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | Gas condition inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727681A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008105755A2 (en) | 2005-12-20 | 2008-09-04 | Ems Technologies, Inc. | Ferrite waveguide circulator with thermally-conductive dielectric attachments |
-
1993
- 1993-07-09 JP JP19299393A patent/JPH0727681A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008105755A2 (en) | 2005-12-20 | 2008-09-04 | Ems Technologies, Inc. | Ferrite waveguide circulator with thermally-conductive dielectric attachments |
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