JPH0727681A - 気体の状態検査装置 - Google Patents
気体の状態検査装置Info
- Publication number
- JPH0727681A JPH0727681A JP19299393A JP19299393A JPH0727681A JP H0727681 A JPH0727681 A JP H0727681A JP 19299393 A JP19299393 A JP 19299393A JP 19299393 A JP19299393 A JP 19299393A JP H0727681 A JPH0727681 A JP H0727681A
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- pump
- jet pump
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 気体の状態検査装置において、吸引ポンプの
寿命を長くすると共に吸引流量を多くする。 【構成】 検査対象の気体を吸引する吸引ポンプと、こ
の吸引ポンプで吸引される気体の配管３の途中に設けら
れ該気体の状態を検査する気体検知器４とを有する気体
の状態検査装置１０において、上記吸引ポンプとして高
圧の流体の流れによって他の流体を吸引する噴流ポンプ
１１を用い、上記気体検知器４の下流側に設けたもので
ある。これにより、吸引ポンプとしての寿命を長くする
と共に、吸引流量を多くすることができる。
寿命を長くすると共に吸引流量を多くする。 【構成】 検査対象の気体を吸引する吸引ポンプと、こ
の吸引ポンプで吸引される気体の配管３の途中に設けら
れ該気体の状態を検査する気体検知器４とを有する気体
の状態検査装置１０において、上記吸引ポンプとして高
圧の流体の流れによって他の流体を吸引する噴流ポンプ
１１を用い、上記気体検知器４の下流側に設けたもので
ある。これにより、吸引ポンプとしての寿命を長くする
と共に、吸引流量を多くすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象の気体を吸引
してその気体について例えばガス濃度又は異物混入など
の状態を検査する気体の状態検査装置に関し、特に吸引
ポンプの寿命を長くすると共に吸引流量を多くすること
ができる気体の状態検査装置に関する。
してその気体について例えばガス濃度又は異物混入など
の状態を検査する気体の状態検査装置に関し、特に吸引
ポンプの寿命を長くすると共に吸引流量を多くすること
ができる気体の状態検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の気体の状態検査装置１
は、図３に示すように、検査対象の気体を吸引する吸引
ポンプ２と、この吸引ポンプ２で吸引される気体の配管
３の途中に設けられ該気体の状態を検査する気体検知器
４とを有して成っていた。なお、図３において、符号５
は上記配管３を流れる気体の流量を計測する流量計を示
している。そして、上記吸引ポンプ２を動作させて減圧
状態を作り、この圧力差により入口６から検査対象の気
体を吸引してサンプリングし、配管３及び流量計５を介
して気体検知器４に流入してガス濃度等の気体の状態が
検査され、その後上記吸引ポンプ２を通って出口７から
外部へ排出されるようになっていた。
は、図３に示すように、検査対象の気体を吸引する吸引
ポンプ２と、この吸引ポンプ２で吸引される気体の配管
３の途中に設けられ該気体の状態を検査する気体検知器
４とを有して成っていた。なお、図３において、符号５
は上記配管３を流れる気体の流量を計測する流量計を示
している。そして、上記吸引ポンプ２を動作させて減圧
状態を作り、この圧力差により入口６から検査対象の気
体を吸引してサンプリングし、配管３及び流量計５を介
して気体検知器４に流入してガス濃度等の気体の状態が
検査され、その後上記吸引ポンプ２を通って出口７から
外部へ排出されるようになっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の気体の状態検査装置においては、前記吸引ポンプ２
としてダイアフラムポンプを用いていたので、その構造
上の特性から１分間に数百〜数千回の往復振動を行う膜
板が使用期間の経過に従って劣化し、吸引ポンプ２の寿
命が例えば約１年と短いものであった。従って、上記ダ
イアフラムポンプから成る吸引ポンプ２を例えば１年ご
とに交換しなければならず、保守及び整備性があまり良
くはなかった。また、上記膜板の往復振動により気体を
吸引及び吐出しているので、吸引流量があまり多くない
と共に、流れの変動に対する応答性も良くないものであ
った。これらのことから、気体の状態検査が効率よく行
えないものであった。
来の気体の状態検査装置においては、前記吸引ポンプ２
としてダイアフラムポンプを用いていたので、その構造
上の特性から１分間に数百〜数千回の往復振動を行う膜
板が使用期間の経過に従って劣化し、吸引ポンプ２の寿
命が例えば約１年と短いものであった。従って、上記ダ
イアフラムポンプから成る吸引ポンプ２を例えば１年ご
とに交換しなければならず、保守及び整備性があまり良
くはなかった。また、上記膜板の往復振動により気体を
吸引及び吐出しているので、吸引流量があまり多くない
と共に、流れの変動に対する応答性も良くないものであ
った。これらのことから、気体の状態検査が効率よく行
えないものであった。
【０００４】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、吸引ポンプの寿命を長くすると共に吸引流量を多
くすることができる気体の状態検査装置を提供すること
を目的とする。
処し、吸引ポンプの寿命を長くすると共に吸引流量を多
くすることができる気体の状態検査装置を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による気体の状態検査装置は、検査対象の気
体を吸引する吸引ポンプと、この吸引ポンプで吸引され
る気体の配管の途中に設けられ該気体の状態を検査する
気体検知器とを有する気体の状態検査装置において、上
記吸引ポンプとして高圧の流体の流れによって他の流体
を吸引する噴流ポンプを用い、上記気体検知器の下流側
に設けたものである。
に、本発明による気体の状態検査装置は、検査対象の気
体を吸引する吸引ポンプと、この吸引ポンプで吸引され
る気体の配管の途中に設けられ該気体の状態を検査する
気体検知器とを有する気体の状態検査装置において、上
記吸引ポンプとして高圧の流体の流れによって他の流体
を吸引する噴流ポンプを用い、上記気体検知器の下流側
に設けたものである。
【０００６】また、上記吸引される気体の配管の途中に
流量変化を検出しうる流量計を設けると共に、上記噴流
ポンプと並列に他の吸引ポンプを設け、上記流量計によ
る流量低下の検出信号により噴流ポンプと他の吸引ポン
プとを切り換えて使用するようにしてもよい。
流量変化を検出しうる流量計を設けると共に、上記噴流
ポンプと並列に他の吸引ポンプを設け、上記流量計によ
る流量低下の検出信号により噴流ポンプと他の吸引ポン
プとを切り換えて使用するようにしてもよい。
【０００７】
【作用】このように構成された気体の状態検査装置は、
吸引ポンプとして用いた噴流ポンプで検査対象の気体を
吸引し、この噴流ポンプで吸引される気体の配管の途中
に設けられた気体検知器で上記吸引された気体の状態を
検査するように動作する。このように噴流ポンプを用い
ることにより、吸引ポンプの寿命を長くすると共に、吸
引流量を多くすることができる。
吸引ポンプとして用いた噴流ポンプで検査対象の気体を
吸引し、この噴流ポンプで吸引される気体の配管の途中
に設けられた気体検知器で上記吸引された気体の状態を
検査するように動作する。このように噴流ポンプを用い
ることにより、吸引ポンプの寿命を長くすると共に、吸
引流量を多くすることができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明による気体の状態検査装
置１０の実施例を示すシステム図である。この気体の状
態検査装置１０は、検査対象の気体を吸引してその気体
について例えばガス濃度又は異物混入などの状態を検査
するもので、図１に示すように、噴流ポンプ１１と、気
体検知器４と、流量計５とを備えて成る。
詳細に説明する。図１は本発明による気体の状態検査装
置１０の実施例を示すシステム図である。この気体の状
態検査装置１０は、検査対象の気体を吸引してその気体
について例えばガス濃度又は異物混入などの状態を検査
するもので、図１に示すように、噴流ポンプ１１と、気
体検知器４と、流量計５とを備えて成る。
【０００９】上記噴流ポンプ１１は、検査対象の気体を
吸引する吸引ポンプの一種であり、高圧の流体の流れに
よって他の流体を吸引するようになっており、例えばジ
ェットポンプ又はアスピレータポンプなどであり、後述
の気体検知器４の下流側に設けられている。この噴流ポ
ンプ１１は、例えば窒素ガスＮ2等を高圧の流体として
用い、ガス供給口１２から供給すると共に配管１３上に
設けられたバルブ１４を開くことにより、上記窒素ガス
Ｎ2が噴流ポンプ１１内を高速で通過し、これと交わる
他の経路上の流体を真空圧で吸引するものである。この
ように運動する機械部分がないので、上記噴流ポンプ１
１は、部品点数が少なく、構造が簡単である。
吸引する吸引ポンプの一種であり、高圧の流体の流れに
よって他の流体を吸引するようになっており、例えばジ
ェットポンプ又はアスピレータポンプなどであり、後述
の気体検知器４の下流側に設けられている。この噴流ポ
ンプ１１は、例えば窒素ガスＮ2等を高圧の流体として
用い、ガス供給口１２から供給すると共に配管１３上に
設けられたバルブ１４を開くことにより、上記窒素ガス
Ｎ2が噴流ポンプ１１内を高速で通過し、これと交わる
他の経路上の流体を真空圧で吸引するものである。この
ように運動する機械部分がないので、上記噴流ポンプ１
１は、部品点数が少なく、構造が簡単である。
【００１０】気体検知器４は、上記噴流ポンプ１１で吸
引される気体の状態、例えばガス濃度又は異物混入など
の状態を検査するもので、その噴流ポンプ１１で吸引さ
れる気体の配管３の途中に設けられている。また、流量
計５は、上記噴流ポンプ１１の動作により、入口６から
配管３内に吸引される検査対象の気体の流量を計測する
ものである。なお、上記噴流ポンプ１１の動作により吸
引された検査対象の気体と、該噴流ポンプ１１を動作さ
せる流体である窒素ガスＮ2とは、検査終了後は配管３
の出口７から外部へ排出されるようになっている。
引される気体の状態、例えばガス濃度又は異物混入など
の状態を検査するもので、その噴流ポンプ１１で吸引さ
れる気体の配管３の途中に設けられている。また、流量
計５は、上記噴流ポンプ１１の動作により、入口６から
配管３内に吸引される検査対象の気体の流量を計測する
ものである。なお、上記噴流ポンプ１１の動作により吸
引された検査対象の気体と、該噴流ポンプ１１を動作さ
せる流体である窒素ガスＮ2とは、検査終了後は配管３
の出口７から外部へ排出されるようになっている。
【００１１】次に、このように構成された気体の状態検
査装置１０により対象となる気体を検査するには、ま
ず、噴流ポンプ１１の配管１３のガス供給口１２を窒素
ガスＮ2の供給源（工場のライン又はガスボンベ等）へ
接続する。そして、上記配管１３上のバルブ１４を開
く。すると、高圧の窒素ガスＮ2が上記バルブ１４及び
配管１３を介して噴流ポンプ１１の中を高速で通過し、
これと交わる気体検知器４からの配管が接続された箇所
が真空状態となり、この真空圧により流量計５より上流
の配管３の入口６から検査対象の気体を吸引してサンプ
リングする。このサンプリングされた気体は、流量計５
及び配管３を介して気体検知器４に流入し、この気体検
知器４によってガス濃度等の気体の状態が検査される。
その後、検査後の気体は引き続き噴流ポンプ１１内へ吸
引され、そこで上記噴流ポンプ１１を動作させる窒素ガ
スＮ2と混合された状態となり、そのまま最後は配管３
の出口７から外部へ排出される。この場合、上記ガス供
給口１２から供給する窒素ガスＮ2の圧力を高くして流
速を大きくすると、噴流ポンプ１１で形成される負圧が
高くなり、検査対象の気体の吸引流量を多くすることが
できると共に、流れの変動に対する応答性も良くするが
できる。また、気体の吸引流量が多くなることから、多
点サンプリングも可能となる。
査装置１０により対象となる気体を検査するには、ま
ず、噴流ポンプ１１の配管１３のガス供給口１２を窒素
ガスＮ2の供給源（工場のライン又はガスボンベ等）へ
接続する。そして、上記配管１３上のバルブ１４を開
く。すると、高圧の窒素ガスＮ2が上記バルブ１４及び
配管１３を介して噴流ポンプ１１の中を高速で通過し、
これと交わる気体検知器４からの配管が接続された箇所
が真空状態となり、この真空圧により流量計５より上流
の配管３の入口６から検査対象の気体を吸引してサンプ
リングする。このサンプリングされた気体は、流量計５
及び配管３を介して気体検知器４に流入し、この気体検
知器４によってガス濃度等の気体の状態が検査される。
その後、検査後の気体は引き続き噴流ポンプ１１内へ吸
引され、そこで上記噴流ポンプ１１を動作させる窒素ガ
スＮ2と混合された状態となり、そのまま最後は配管３
の出口７から外部へ排出される。この場合、上記ガス供
給口１２から供給する窒素ガスＮ2の圧力を高くして流
速を大きくすると、噴流ポンプ１１で形成される負圧が
高くなり、検査対象の気体の吸引流量を多くすることが
できると共に、流れの変動に対する応答性も良くするが
できる。また、気体の吸引流量が多くなることから、多
点サンプリングも可能となる。
【００１２】図２は本発明の第二の実施例を示すシステ
ム図である。この実施例は、検査対象の気体が吸引され
る配管３の途中に流量変化を検出しうるスイッチ付流量
計５′を設けると共に、上記噴流ポンプ１１と並列に他
の吸引ポンプ２（例えばダイアフラムポンプ）を設け、
上記スイッチ付流量計５′による流量低下の検出信号に
より噴流ポンプ１１と他の吸引ポンプ２とを切り換えて
使用するようにしたものである。この場合、前記気体検
知器４と噴流ポンプ１１とを結ぶ配管上には第一の切換
バルブ１５が設けられ、他の吸引ポンプ２の下流側には
第二の切換バルブ１６が設けられている。そして、上記
スイッチ付流量計５′による流量低下の検出信号Ｓが信
号線を介して上記それぞれのバルブ１５，１６に入力す
るようになっており、第一及び第二の切換バルブ１５，
１６を互い違いに開閉するようになっている。
ム図である。この実施例は、検査対象の気体が吸引され
る配管３の途中に流量変化を検出しうるスイッチ付流量
計５′を設けると共に、上記噴流ポンプ１１と並列に他
の吸引ポンプ２（例えばダイアフラムポンプ）を設け、
上記スイッチ付流量計５′による流量低下の検出信号に
より噴流ポンプ１１と他の吸引ポンプ２とを切り換えて
使用するようにしたものである。この場合、前記気体検
知器４と噴流ポンプ１１とを結ぶ配管上には第一の切換
バルブ１５が設けられ、他の吸引ポンプ２の下流側には
第二の切換バルブ１６が設けられている。そして、上記
スイッチ付流量計５′による流量低下の検出信号Ｓが信
号線を介して上記それぞれのバルブ１５，１６に入力す
るようになっており、第一及び第二の切換バルブ１５，
１６を互い違いに開閉するようになっている。
【００１３】この第二の実施例により対象となる気体を
検査するには、噴流ポンプ１１をメインとして使用する
場合は、第一の切換バルブ１５を開とすると共に第二の
切換バルブ１６を閉としてセットしておき、この状態で
図１に示すと同様に、バルブ１４を開いて高圧の窒素ガ
スＮ2を上記噴流ポンプ１１に供給する。すると、前記
と全く同様にして噴流ポンプ１１が動作して気体を吸引
し、気体検知器４で検査する。このような状態で、何ら
かの原因で配管３内の流量が低下すると、これをスイッ
チ付流量計５′が検出し、検出信号Ｓを出力する。する
と、この検出信号Ｓが第一及び第二の切換バルブ１５，
１６に入力し、今度は第一の切換バルブ１５を閉とする
と共に第二の切換バルブ１６を開として、噴流ポンプ１
１と他の吸引ポンプ２とを切り換え、例えばダイアフラ
ムポンプから成る他の吸引ポンプ２を動作させる。これ
により、図３に示す従来例と同様に気体の状態検査が実
行される。この場合は、メインと予備用の二つの吸引ポ
ンプを使い分けて、何らかのトラブルが発生しても検査
を中断することなく実行することができる。なお、上記
スイッチ付流量計５′で配管３内の流量低下を検出して
二つの吸引ポンプ(２，１１）を切り換える際には、音
又は光によって警報を出させるようにしてもよい。
検査するには、噴流ポンプ１１をメインとして使用する
場合は、第一の切換バルブ１５を開とすると共に第二の
切換バルブ１６を閉としてセットしておき、この状態で
図１に示すと同様に、バルブ１４を開いて高圧の窒素ガ
スＮ2を上記噴流ポンプ１１に供給する。すると、前記
と全く同様にして噴流ポンプ１１が動作して気体を吸引
し、気体検知器４で検査する。このような状態で、何ら
かの原因で配管３内の流量が低下すると、これをスイッ
チ付流量計５′が検出し、検出信号Ｓを出力する。する
と、この検出信号Ｓが第一及び第二の切換バルブ１５，
１６に入力し、今度は第一の切換バルブ１５を閉とする
と共に第二の切換バルブ１６を開として、噴流ポンプ１
１と他の吸引ポンプ２とを切り換え、例えばダイアフラ
ムポンプから成る他の吸引ポンプ２を動作させる。これ
により、図３に示す従来例と同様に気体の状態検査が実
行される。この場合は、メインと予備用の二つの吸引ポ
ンプを使い分けて、何らかのトラブルが発生しても検査
を中断することなく実行することができる。なお、上記
スイッチ付流量計５′で配管３内の流量低下を検出して
二つの吸引ポンプ(２，１１）を切り換える際には、音
又は光によって警報を出させるようにしてもよい。
【００１４】なお、以上の説明では、図１及び図２に示
す噴流ポンプ１１を動作させるために供給する流体は窒
素ガスＮ2としたが、本発明はこれに限らず、他の不活
性ガス又は空気であってもよい。
す噴流ポンプ１１を動作させるために供給する流体は窒
素ガスＮ2としたが、本発明はこれに限らず、他の不活
性ガス又は空気であってもよい。
【００１５】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
検査対象の気体を吸引する吸引ポンプとして、高圧の流
体の流れによって他の流体を吸引する噴流ポンプを用い
ることにより、運動する機械部分がなく、部品点数が少
ないと共に構造が簡単であることから、吸引ポンプとし
ての寿命を長くすると共に、吸引流量を多くすることが
でき、さらに流れの変動に対する応答性も良くすること
ができる。従って、本発明によれば、気体の状態検査を
効率よく行うことができる。
検査対象の気体を吸引する吸引ポンプとして、高圧の流
体の流れによって他の流体を吸引する噴流ポンプを用い
ることにより、運動する機械部分がなく、部品点数が少
ないと共に構造が簡単であることから、吸引ポンプとし
ての寿命を長くすると共に、吸引流量を多くすることが
でき、さらに流れの変動に対する応答性も良くすること
ができる。従って、本発明によれば、気体の状態検査を
効率よく行うことができる。
【図１】本発明による気体の状態検査装置の実施例を示
すシステム図である。
すシステム図である。
【図２】本発明の第二の実施例を示すシステム図であ
る。
る。
【図３】従来の気体の状態検査装置を示すシステム図で
ある。
ある。
２…吸引ポンプ ３，１３…配管 ４…気体検知器 ５…流量計 ５′…スイッチ付流量計 １０…気体の状態検査装置 １１…噴流ポンプ １５，１６…切換バルブ
Claims (2)
- 【請求項１】 検査対象の気体を吸引する吸引ポンプ
と、この吸引ポンプで吸引される気体の配管の途中に設
けられ該気体の状態を検査する気体検知器とを有する気
体の状態検査装置において、上記吸引ポンプとして高圧
の流体の流れによって他の流体を吸引する噴流ポンプを
用い、上記気体検知器の下流側に設けたことを特徴とす
る気体の状態検査装置。 - 【請求項２】 上記吸引される気体の配管の途中に流量
変化を検出しうる流量計を設けると共に、上記噴流ポン
プと並列に他の吸引ポンプを設け、上記流量計による流
量低下の検出信号により噴流ポンプと他の吸引ポンプと
を切り換えて使用するようにしたことを特徴とする請求
項１記載の気体の状態検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19299393A JPH0727681A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 気体の状態検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19299393A JPH0727681A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 気体の状態検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727681A true JPH0727681A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=16300443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19299393A Pending JPH0727681A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 気体の状態検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727681A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008105755A2 (en) | 2005-12-20 | 2008-09-04 | Ems Technologies, Inc. | Ferrite waveguide circulator with thermally-conductive dielectric attachments |
-
1993
- 1993-07-09 JP JP19299393A patent/JPH0727681A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008105755A2 (en) | 2005-12-20 | 2008-09-04 | Ems Technologies, Inc. | Ferrite waveguide circulator with thermally-conductive dielectric attachments |
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