JPH0728064A - 液晶表示素子の配向膜ラビング方法及びその装置 - Google Patents
液晶表示素子の配向膜ラビング方法及びその装置Info
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- JPH0728064A JPH0728064A JP5335109A JP33510993A JPH0728064A JP H0728064 A JPH0728064 A JP H0728064A JP 5335109 A JP5335109 A JP 5335109A JP 33510993 A JP33510993 A JP 33510993A JP H0728064 A JPH0728064 A JP H0728064A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims abstract description 31
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 5
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
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- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶表示素子の配向膜ラビング方法に関し、
液晶表示素子の配向膜での静電気発生を抑制することが
でき、ラビング工程と洗浄工程を同時に遂行することに
より工程数を減らすことができ、液晶表示素子の品質を
改善することができる液晶表示素子ラビング方法を提供
する。 【構成】 浴槽内に配向膜が印刷されたガラス基板を位
置させ、前記ガラス基板上に脱イオン水を供給しながら
ラビングすると共に、脱イオン水及び超音波を用いて洗
浄した後、ガラス基板を乾燥させる。
液晶表示素子の配向膜での静電気発生を抑制することが
でき、ラビング工程と洗浄工程を同時に遂行することに
より工程数を減らすことができ、液晶表示素子の品質を
改善することができる液晶表示素子ラビング方法を提供
する。 【構成】 浴槽内に配向膜が印刷されたガラス基板を位
置させ、前記ガラス基板上に脱イオン水を供給しながら
ラビングすると共に、脱イオン水及び超音波を用いて洗
浄した後、ガラス基板を乾燥させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子の配向膜
ラビング方法及びその装置に関し、特に液晶表示素子の
配向膜を脱イオン水(D.I)を用いて洗浄しながらラ
ビングする液晶表示素子の配向膜ラビング方法及びラビ
ング装置に関する。
ラビング方法及びその装置に関し、特に液晶表示素子の
配向膜を脱イオン水(D.I)を用いて洗浄しながらラ
ビングする液晶表示素子の配向膜ラビング方法及びラビ
ング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の一般的な液晶表示素子の製造方法
によれば、図1に示したように上下ガラス基板(1) に透
明電極(2) 及び配向膜(3) を形成して配向膜(3) を一定
の方向にラビングした後、上下ガラス基板(1) と密封板
(4) で構成された空間に液晶(5) を注入して表示素子を
形成する。特に、配向膜ラビング方法に対して更に詳し
く説明すれば、図2に示したように望むラビング方向を
決定するための回転機構(10)と、ガラス基板(8) を真
空、吸着させてくれるテーブル(9) と、ラビングを実施
するためのラビング布が付着されているラビングローラ
ー(6) と除電装置(7) とで構成されたラビング装置を利
用してガラス基板(8) に配向膜を蒸着し、液晶を配向さ
せるために配向膜(3) 表面をラビング布で一定の方向に
ラビングする。 しかしながら、このような従来の配向
膜ラビング方法においては、ガラス基板が空気中に露出
されており、ラビングローラーによる回転及び摩擦によ
りラビングを実施しておるので、ガラス基板に静電気が
帯電されやすく、帯電されているガラス基板の静電気を
放電させる過程において下部膜及び液晶駆動素子(Thin
Film Transistor;TFT)の破壊を誘発するようになり、
ラビング後にはラビング布がガラス基板に落ちるように
なるので、これを除去するためには必ず洗浄工程が必要
となって、工程が複雑になる等の問題点がある。
によれば、図1に示したように上下ガラス基板(1) に透
明電極(2) 及び配向膜(3) を形成して配向膜(3) を一定
の方向にラビングした後、上下ガラス基板(1) と密封板
(4) で構成された空間に液晶(5) を注入して表示素子を
形成する。特に、配向膜ラビング方法に対して更に詳し
く説明すれば、図2に示したように望むラビング方向を
決定するための回転機構(10)と、ガラス基板(8) を真
空、吸着させてくれるテーブル(9) と、ラビングを実施
するためのラビング布が付着されているラビングローラ
ー(6) と除電装置(7) とで構成されたラビング装置を利
用してガラス基板(8) に配向膜を蒸着し、液晶を配向さ
せるために配向膜(3) 表面をラビング布で一定の方向に
ラビングする。 しかしながら、このような従来の配向
膜ラビング方法においては、ガラス基板が空気中に露出
されており、ラビングローラーによる回転及び摩擦によ
りラビングを実施しておるので、ガラス基板に静電気が
帯電されやすく、帯電されているガラス基板の静電気を
放電させる過程において下部膜及び液晶駆動素子(Thin
Film Transistor;TFT)の破壊を誘発するようになり、
ラビング後にはラビング布がガラス基板に落ちるように
なるので、これを除去するためには必ず洗浄工程が必要
となって、工程が複雑になる等の問題点がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、配向
膜の静電気の発生を防止し、製造工程数が減った液晶表
示素子の配向膜ラビング方法及びその装置を提供するこ
とにある。
膜の静電気の発生を防止し、製造工程数が減った液晶表
示素子の配向膜ラビング方法及びその装置を提供するこ
とにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに本発明は、浴槽内に配向膜が印刷されたガラス基板
を位置させる段階と;前記ガラス基板に脱イオン水を供
給しながらラビングするとともに脱イオン水及び超音波
を利用して洗浄する段階と;そして、浴槽内の脱イオン
水を排出させた後、ガラス基板を乾燥させる段階を含む
液晶表示素子の配向膜ラビング方法を提供する。
めに本発明は、浴槽内に配向膜が印刷されたガラス基板
を位置させる段階と;前記ガラス基板に脱イオン水を供
給しながらラビングするとともに脱イオン水及び超音波
を利用して洗浄する段階と;そして、浴槽内の脱イオン
水を排出させた後、ガラス基板を乾燥させる段階を含む
液晶表示素子の配向膜ラビング方法を提供する。
【0005】更に、本発明は脱イオン水を貯蔵及び排出
させる浴槽と;前記浴槽内でガラス基板を水平往復させ
る搬送機構と;前記浴槽内に付着されて超音波を発生さ
せる複数個の超音波振動子と;前記ガラス基板に形成さ
れた配向膜をラビングするブラシ及びラビングローラー
と;前記ブラシ及びラビングローラーを上下移動及び回
転させる回転及び移動機構と;前記回転及び移動機構の
一側に設けられて前記ガラス基板上に脱イオン水を供給
する脱イオン水供給機構と;そして前記脱イオン水供給
機構の他の側に設けられてラビング及び洗浄を終えたガ
ラス基板を乾燥させるエアナイフノーズルを含む液晶表
示素子の配向膜ラビング装置を提供する。
させる浴槽と;前記浴槽内でガラス基板を水平往復させ
る搬送機構と;前記浴槽内に付着されて超音波を発生さ
せる複数個の超音波振動子と;前記ガラス基板に形成さ
れた配向膜をラビングするブラシ及びラビングローラー
と;前記ブラシ及びラビングローラーを上下移動及び回
転させる回転及び移動機構と;前記回転及び移動機構の
一側に設けられて前記ガラス基板上に脱イオン水を供給
する脱イオン水供給機構と;そして前記脱イオン水供給
機構の他の側に設けられてラビング及び洗浄を終えたガ
ラス基板を乾燥させるエアナイフノーズルを含む液晶表
示素子の配向膜ラビング装置を提供する。
【0006】
【作用】搬送機構を利用して配向膜が印刷されたガラス
基板をブラシ及びラビングローラー下側に位置させて、
脱イオン水供給機構を通じて脱イオン水を供給しなが
ら、ブラシ及びラビングローラーを回転及び移動機構を
通じて移動させて回転させラビングを実施すると共に、
脱イオン水及び超音波振動子を利用して浴槽でガラス基
板を洗浄し、エアナイフノーズルを利用して乾燥させる
湿式ラビング方法でラビングすることにより、静電気の
問題を解決することができ、ラビング工程と洗浄工程を
同時に遂行することで、工程数を減らすことができて品
質及び製造を向上させ得る効果がある。
基板をブラシ及びラビングローラー下側に位置させて、
脱イオン水供給機構を通じて脱イオン水を供給しなが
ら、ブラシ及びラビングローラーを回転及び移動機構を
通じて移動させて回転させラビングを実施すると共に、
脱イオン水及び超音波振動子を利用して浴槽でガラス基
板を洗浄し、エアナイフノーズルを利用して乾燥させる
湿式ラビング方法でラビングすることにより、静電気の
問題を解決することができ、ラビング工程と洗浄工程を
同時に遂行することで、工程数を減らすことができて品
質及び製造を向上させ得る効果がある。
【0007】
【実施例】図3は本発明のラビング装置の構成図であ
る。本発明のラビング装置は、ガラス基板に形成された
配向膜を直接ラビングするブラシ及びラビングローラー
(11)と、ブラシ及びラビングローラー(11)を上下移動及
び回転させるための回転及び移動機構(18)と、ガラス基
板(13)を水平に搬送してやる搬送機構(12)と、ラビング
と同時に超音波洗浄を実施し得るように脱イオン水(19)
を盛ることができ、排出させることのできる浴槽(16)
と、浴槽(16)に付着されて超音波を発生する複数個の超
音波振動子(17)と、回転及び移動機構の一側に設けられ
てラビングの時、静電気発生の抑制及び洗浄のために脱
イオン水(19)をガラス基板(13)上に供給する脱イオン水
供給機構(15)と、脱イオン水供給機構(15)の他の側に設
けられてラビング及び洗浄をすませたガラス基板(13)を
乾燥させるためのエアナイフノーズル(Air Knife Nozz
le)(14) で構成される。
る。本発明のラビング装置は、ガラス基板に形成された
配向膜を直接ラビングするブラシ及びラビングローラー
(11)と、ブラシ及びラビングローラー(11)を上下移動及
び回転させるための回転及び移動機構(18)と、ガラス基
板(13)を水平に搬送してやる搬送機構(12)と、ラビング
と同時に超音波洗浄を実施し得るように脱イオン水(19)
を盛ることができ、排出させることのできる浴槽(16)
と、浴槽(16)に付着されて超音波を発生する複数個の超
音波振動子(17)と、回転及び移動機構の一側に設けられ
てラビングの時、静電気発生の抑制及び洗浄のために脱
イオン水(19)をガラス基板(13)上に供給する脱イオン水
供給機構(15)と、脱イオン水供給機構(15)の他の側に設
けられてラビング及び洗浄をすませたガラス基板(13)を
乾燥させるためのエアナイフノーズル(Air Knife Nozz
le)(14) で構成される。
【0008】以上のような構成を有するラビング装置を
通じたラビング方法は次の通りである。搬送機構(12)を
利用して配向膜が印刷されたガラス基板(13)をブラシ及
びラビングローラー(11)下側に位置させて、脱イオン水
供給機構(15)を通じて脱イオン水を供給しながらブラシ
及びラビングローラー(11)を回転及び移動機構(18)を通
じて移動させて回転させラビングを実施すると共に、脱
イオン水(19)及び超音波振動子(17)を利用して浴槽(16)
でガラス基板(13)を洗浄し、エアナイフノーズル(14)を
利用して乾燥させる。ここで、ブラシ及びラビングロー
ラー(11)を上下移動及び360°回転が可能になるよう
にすることにより望むラビング方向の決定を可能にし、
搬送機構(12)の回転rpmを調節可能にすることにより
ラビング密度の変化を可能にすることができる。
通じたラビング方法は次の通りである。搬送機構(12)を
利用して配向膜が印刷されたガラス基板(13)をブラシ及
びラビングローラー(11)下側に位置させて、脱イオン水
供給機構(15)を通じて脱イオン水を供給しながらブラシ
及びラビングローラー(11)を回転及び移動機構(18)を通
じて移動させて回転させラビングを実施すると共に、脱
イオン水(19)及び超音波振動子(17)を利用して浴槽(16)
でガラス基板(13)を洗浄し、エアナイフノーズル(14)を
利用して乾燥させる。ここで、ブラシ及びラビングロー
ラー(11)を上下移動及び360°回転が可能になるよう
にすることにより望むラビング方向の決定を可能にし、
搬送機構(12)の回転rpmを調節可能にすることにより
ラビング密度の変化を可能にすることができる。
【0009】
【発明の効果】以上で説明したように本発明の液晶表示
素子ラビング方法及びラビング装置によれば湿式ラビン
グ方法でラビンクすることにより静電気の問題を解決す
ることができ、ラビング工程と洗浄工程を同時に遂行す
ることで、工程数を減らすことができて品質及び製造を
向上させ得る効果がある。
素子ラビング方法及びラビング装置によれば湿式ラビン
グ方法でラビンクすることにより静電気の問題を解決す
ることができ、ラビング工程と洗浄工程を同時に遂行す
ることで、工程数を減らすことができて品質及び製造を
向上させ得る効果がある。
【図1】一般的な液晶表示素子の構造図である。
【図2】従来の配向膜ラビング装置の構成図である。
【図3】本発明の配向膜ラビング装置の構成図である。
1、13:ガラス基板 2:透明電極 3:配向膜 4:密封材 11:ブラシ及びラビングローラー 12:搬送機構 14:エアナイフノーズル 15:脱イオン水供給機構 16:浴槽
Claims (2)
- 【請求項1】 浴槽内に配向膜が印刷されたガラス基板
を位置させる段階と;前記ガラス基板上に脱イオン水を
供給しながらラビングするとともに脱イオン水及び超音
波を利用して洗浄する段階と;そして、 浴槽内の脱イオン水を排出させた後、ガラス基板を乾燥
させる段階を含むことを特徴とする液晶表示素子の配向
膜ラビング方法。 - 【請求項2】 脱イオン水を貯蔵及び排出させる浴槽
と;前記浴槽内でガラス基板を水平往復させる搬送機構
と;前記浴槽に付着させて超音波を発生させる複数個の
超音波振動子と;前記ガラス基板に形成された配向膜を
ラビングするブラシ及びラビングローラーと;前記ブラ
シ及びラビングローラーを上下移動及び回転させる回転
及び移動機構と;前記回転及び移動機構の一側に設けら
れて、前記ガラス基板上に脱イオン水を供給する脱イオ
ン水供給機構と;そして前記脱イオン水供給機構の反対
の側に設けられてラビング及び洗浄をすませたガラス基
板を乾燥させるエアナイフノーズルを含むことを特徴と
する液晶表示素子の配向膜ラビング装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR92-25828 | 1992-12-28 | ||
| KR1019920025828A KR950011956B1 (ko) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 액정표시소자의 러빙 방법 및 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0728064A true JPH0728064A (ja) | 1995-01-31 |
| JP3525261B2 JP3525261B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=19346944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33510993A Expired - Fee Related JP3525261B2 (ja) | 1992-12-28 | 1993-12-28 | 液晶表示素子の配向膜ラビング方法及びその装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5464478A (ja) |
| JP (1) | JP3525261B2 (ja) |
| KR (1) | KR950011956B1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100449644B1 (ko) * | 2002-04-19 | 2004-09-22 | 에프씨산업 주식회사 | 인쇄회로기판의 세정시스템 |
| US7906056B2 (en) | 2005-10-12 | 2011-03-15 | Kansai Tube Co., Ltd. | Method for forming head part of closed-type tube, method for manufacturing closed-type tubular container, and closed-type tubular container |
| CN108356033A (zh) * | 2018-02-26 | 2018-08-03 | 河海大学常州校区 | 一种基于静电场的光伏组件表面粘结性污物清洁装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100476625B1 (ko) * | 1997-12-31 | 2005-07-29 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치의제조장치 |
| JP2002196337A (ja) * | 2000-09-06 | 2002-07-12 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置の製造方法及び製造装置、並びに液晶パネルの製造方法及び製造装置 |
| TWI224687B (en) * | 2002-07-23 | 2004-12-01 | Nayasushi Co Ltd | Apparatus and method for manufacturing polarizing film, and liquid crystal cell and method for manufacturing the same |
| JP2005084200A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Nec Kagoshima Ltd | 液晶表示パネルのラビング配向処理装置およびラビング配向処理方法 |
| JP2007229614A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Fujitsu Ltd | 洗浄装置、洗浄方法および製品の製造方法 |
| CN103439834B (zh) * | 2013-08-09 | 2015-11-25 | 昆山龙腾光电有限公司 | 摩擦配向承载传送装置及摩擦配向系统 |
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| CN103776477A (zh) * | 2014-01-24 | 2014-05-07 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种摇摆式传感器组件 |
| CN104570496B (zh) * | 2015-02-04 | 2017-05-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种形成有取向膜的基板的清洗方法 |
| CN109277341B (zh) * | 2018-11-08 | 2021-05-14 | 诸暨市合纵科技有限公司 | 一种油墨滚筒轴颈刮垢装置 |
| CN111515155B (zh) * | 2020-06-08 | 2021-01-29 | 深圳市金业达电子有限公司 | Pcb印刷电路板的翻转式超声波清洗方法 |
| CN112275722B (zh) * | 2020-10-17 | 2021-08-13 | 东莞市越林塑料有限公司 | 一种通用工程塑料再生回料制备方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5464478A (en) | 1995-11-07 |
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|
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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|
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