JPH0728238A - 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びレジストパターンの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 テンティング膜強度と基板の凹凸追従性の向
上した感光性樹脂組成物を提供する。 【構成】 （ａ）アクリル酸及び／又はメタクリル酸
と、アルキルアクリレート又はアルキルメタクリレート
のポリマーの片末端に一つの重合性不飽和基を有するマ
クロモノマーとを必須成分として共重合した酸価２０〜
３００のグラフトポリマー、（ｂ）光重合性不飽和基を
分子内に２個以上有するモノマー並びに（ｃ）光開始剤
を含有してなる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性
エレメント、レジストパターンの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板等に用
いられる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメ
ント及びレジストパターンの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板を製造するに際しては、
まず基板上に通常、光硬化性の感光性樹脂組成物の膜を
形成し、ついで活性光線を画像状に照射し、未露光部を
現像除去し、レジストパターンを形成している。この工
程において、感光性樹脂組成物の膜の形成には、種々の
方法が採用されている。例えば、ディップコート、ロー
ルコート、カーテンコート等の方法で、感光性樹脂組成
物溶液（塗液）を直接基板に塗布し、溶剤を乾燥して得
る方法、支持体上に感光性樹脂組成物を積層した感光性
エレメント（感光性フィルム）を基板に積層する方法、
更には、感光性樹脂組成物を水に分散した浴の中に基板
を浸漬し、電着塗装という方法を用いて膜を形成する方
法などが知られている。

【０００３】これらの方法のうち、感光性フィルムを積
層する方法は、簡便に均一な厚みの感光性樹脂組成物の
膜が形成できることから、現在主流の方法として採用さ
れている。レジストパターンを形成した後、テンティン
グ法の場合には、エッチング、レジスト剥離工程を経て
プリント配線板とし、また、めっき法の場合には、はん
だめっき、レジスト剥離、エッチング工程を経てプリン
ト配線板を得ている。

【０００４】したがって、感光性樹脂組成物に要求され
る特性は、光感度などの感光特性が良好であることはも
ちろん、金属に対する密着性、基板表面の凹凸への追従
性、エッチング液やめっき液等の薬品に対する耐薬品
性、レジスト剥離性、更にはテンティング法の場合に
は、テンティング膜の強度などさまざまである。

【０００５】中でも、基板表面の凹凸への追従性とテン
ティング膜の強度は重要な特性である。しかるにこの二
つの特性は、従来の材料技術では両立が難しく、どちら
かの特性を上げるともう一方の特性は低下するという問
題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来技術の
問題点を解消し、基板表面の凹凸への追従性とテンティ
ング膜の強度の両立はもとより、感光特性も良好な感光
性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びレジ
ストパターンの製造法を提供するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、特殊なマクロ
モノマーを共重合したグラフトポリマーを用いることに
よって、上記の問題点を解決したものである。

【０００８】すなわち、本発明は、（ａ）アクリル酸及
び／又はメタクリル酸と、アルキルアクリレート又はア
ルキルメタクリレートの片末端に一つの重合性不飽和基
を有するマクロモノマーとを必須成分として共重合した
酸価２０〜３００のグラフトポリマー、（ｂ）光重合性
不飽和基を分子内に２個以上有するモノマー並びに
（ｃ）光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、これ
を用いた感光性エレメント及びレジストパターンの製造
法に関する。

【０００９】以下、本発明について詳述する。（ａ）成
分であるポリマーは、アクリル酸及び／又はメタクリル
酸と、ポリアルキルアクリレート又はポリアルキルメタ
クリレートの片末端に一つの重合性不飽和基を有するマ
クロモノマーとを必須成分として共重合した酸価２０〜
３００のグラフトポリマーである。アクリル酸及びメタ
クリル酸は単独で用いてもよく、併用してもよい。その
使用量は、ポリマーの酸価が２０〜３００の範囲となる
ように適宜使用される。ポリマーの酸価が２０未満で
は、感光性樹脂組成物のアルカリの水溶液による現像性
が低下し、また、酸価が３００を越えると、光硬化後の
レジストの耐現像液性が低下する。

【００１０】一方、アルキルアクリレート又はアルキル
メタクリレートのポリマーの片末端に一つの重合性不飽
和基を有するマクロモノマーとは、例えばメチルアクリ
レート、エチルアクリレート、ｎ−プロピルアクリレー
ト、イソプロピルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレー
ト、ｔ−ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアク
リレート、ｎ−オクチルアクリレート、ｎ−ドデシルア
クリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレ
ート、ｎ−プロピルメタクリレート、イソプロピルメタ
クリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルメ
タクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、ｎ
−オクチルメタクリレート、ｎ−ドデシルメタクリレー
ト等のアルキル基（好ましくは、炭素数１２以下）を有
するアルキルアクリレート又はアルキルメタクリレート
のポリマーの片末端に、アクリロイル基、メタクリロイ
ル基等の重合性不飽和基を一つ有するポリマーである。
特に、メチルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレー
ト、２−エチルヘキシルアクリレート等のポリマーの片
末端にメタクリル基を有するマクロモノマーが好適であ
る。マクロモノマーは単独で又は二種類以上を組み合わ
せて用いられる。

【００１１】本発明に用いるマクロモノマーの数平均分
子量は、１，５００〜２００，０００の範囲が好まし
く、３，０００〜５０，０００の範囲がより好ましい。
マクロモノマーの数平均分子量が１，５００未満では、
マクロモノマーを用いてグラフトポリマーとした効果が
不充分となる傾向があり、一方、分子量が２００，００
０を越えると共重合性が低下する傾向がある。また、マ
クロモノマーの使用量は、グラフトポリマーを構成する
共重合モノマーの総量１００重量部に対して、２〜５０
重量部とすることが好ましく、５〜２５重量部とするこ
とがより好ましい。マクロモノマーの使用量が２重量部
未満ではマクロモノマーを用いてグラフトポリマーとし
た効果が不充分となる傾向があり、一方、５０重量部を
越えると均一なグラフトポリマーが得られにくくなる傾
向がある。このようなマクロモノマーは、特開昭６１−
２００５４８号公報等の記載に準じて容易に製造するこ
とができる。また、東亞合成化学工業（株）等から、Ａ
Ａ−６、ＡＢ−６（以上商品名）等として商業的に入手
可能である。

【００１２】（ａ）成分のグラフトポリマーは、前記の
アクリル酸及び／又はメタクリル酸とマクロモノマーを
必須成分とし、必要に応じて、メタクリル酸メチル、メ
タクリル酸エチル、メタクリル酸−ｎ−プロピル、メタ
クリル酸−ｎ−ブチル、メタクリル酸−２−エチルヘキ
シル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル
酸−ｎ−プロピル、アクリル酸−ｎ−ブチル、アクリル
酸−２−エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシ
ル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−２−ヒドロ
キシエチル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸ベ
ンジル、アクリル酸−２−ヒドロキシエチル、アクリロ
ニトリル、スチレン等の重合性モノマーを一種類以上用
い、共重合することにより得られる。

【００１３】グラフトポリマーの合成は、前記のモノマ
ーを有機溶剤中でアゾビスイソブチロニトリル、アゾビ
スジメチルバレロニトリル、過酸化ベンゾイル等の重合
開始剤を用いて一般的な溶液重合により得ることができ
る。この場合、用いる有機溶剤は、トルエン、ｐ−キシ
レン、ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチ
レングリコールモノアセテート等が挙げられる。ただ
し、電着法で感光性樹脂組成物の膜を形成する場合に
は、有機溶剤には親水性有機溶剤を用いることが好まし
い。

【００１４】（ａ）成分のグラフトポリマーの重量平均
分子量（標準ポリスチレン換算）は、１０，０００〜４
００，０００とすることが好ましい。重量平均分子量が
１０，０００未満では、レジストの機械的強度が弱くな
る傾向があり、一方、４００，０００を越えると、感光
性樹脂組成物の現像性が低下する傾向がある。（ａ）成
分のグラフトポリマーの使用量は、（ａ）成分及び
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して、５０〜８５重
量部であることが好ましく、６０〜７５重量部であるこ
とがより好ましい。使用量が５０重量部未満では、レジ
ストの機械的強度が弱くなる傾向があり、一方、８５重
量部を越えると、（ｂ）成分である光重合性モノマーの
割合が減って、光に対する感度が低下する傾向がある。

【００１５】（ｂ）成分の光重合性不飽和基を分子内に
２個以上有するモノマーとしては、多価アルコールに
α、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、
例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、
トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テ
トラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テト
ラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペ
ンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等、グ
リシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付
加して得られる化合物、例えば、トリメチメールプロパ
ントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェ
ノールＡグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート
等、多価カルボン酸、例えば、無水フタル酸等と水酸基
及びエチレン性不飽和基を有する化合物、例えばβ−ヒ
ドロキシエチル（メタ）アクリレート等のエステル化合
物等が用いられ、更にはウレタン骨格をもったウレタン
ジアクリレート化合物等も用いることができ、いずれに
しても、光照射により硬化するものであればよい。

【００１６】（ｂ）成分のモノマーの使用量は、（ａ）
成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対して、１５
〜５０重量部であることが好ましく、２５〜４０重量部
であることがより好ましい。使用量が１５重量部未満で
は光に対する感度が低下する傾向があり、一方、５０重
量部を越えるとレジストの機械的強度が弱くなる傾向が
ある。

【００１７】（ｃ）成分の光開始剤としては、従来から
使用されている光開始剤が特に制限なく使用できる。具
体的には、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−
４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−
４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアン
トラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテ
ル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイ
ン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル
イミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量
体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニ
ルイミダゾール二量体などが挙げられる。これらは単独
で又は二種類以上を組み合わせて用いられる。

【００１８】（ｃ）成分の光開始剤の使用量は、（ａ）
成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対し、０．１
〜２０重量部であることが好ましく、０．２〜１０重量
部であることがより好ましい。使用量が０．１重量部未
満では感光性樹脂組成物の光感度が低くなる傾向があ
り、一方、２０重量部を越えると露光の際感光性樹脂組
成物の表面での光吸収が増加して、内部の光硬化が不充
分となる傾向がある。

【００１９】本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応
じて、（ａ）成分のグラフトポリマー以外の通常のアク
リル樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル樹脂、エポキ
シ樹脂、メラミン樹脂等の熱可塑性又は熱硬化性の樹脂
を使用することができる。その使用量は、（ａ）成分及
び（ｂ）成分の総量１００重量部に対し、４０重量部以
下とすることが好ましい。使用量が４０重量部を越える
と（ａ）成分との相溶性や感光性樹脂組成物の光に対す
る感度が低下する傾向がある。

【００２０】本発明の感光性樹脂組成物には、他の成
分、例えば、染料、顔料、フィラー、可塑剤、熱硬化
剤、難燃剤、重合禁止剤、密着性向上剤などを必要に応
じて適宜使用することができる。

【００２１】次に、本発明の感光性樹脂組成物を含む膜
の形成法について述べる。基板の上に膜を形成する方法
としては特に制限はなく、例えば、既述した本発明の感
光性樹脂組成物をアセトン、メチルエチルケトン、トル
エン、塩化メチレン、エチレングリコールジメチルエー
テル、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピ
レングリコールモノメチルエーテル等の有機溶剤に溶解
し、この溶液をディップコート、ロールコート、カーテ
ンコート、スプレーコート、スピンコート等の方法で基
板に直接塗布し、その後、有機溶剤を乾燥して感光性樹
脂組成物の膜を形成できる。

【００２２】また、本発明の感光性樹脂組成物に含まれ
る（ａ）成分のグラフトポリマー中のカルボキシル基を
トリエチルアミン、ジエチルアミン、トリエタノールア
ミン等の塩基で中和した後、感光性樹脂組成物を水に溶
解もしくは分散させ電着浴とし、この電着浴中に、導電
性の基板を陽極として浸漬し、対極との間に直流電圧を
印加して電着塗装する方法によっても感光性樹脂組成物
の膜を形成できる。

【００２３】膜を形成する好ましい方法としては、いっ
たん、支持体フィルム上に前記感光性樹脂組成物の層を
形成した感光性エレメントとし、これを基板上にラミネ
ートすることにより基板上に膜を得る方法である。支持
フィルム上に感光性樹脂組成物の層を形成する方法とし
ては、例えば、感光性樹脂組成物を上述した有機溶剤に
溶解し、この溶液を支持体フィルム上にナイフコート、
ロールコート、スプレーコート、スピンコート等の方法
で塗布し、乾燥することにより行われる。感光性樹脂組
成物を含む層中の残存溶剤量は、特性保持等の観点から
２重量％以下に抑えることが好ましい。

【００２４】本発明に用いられる支持体フィルムは、感
光性エレメントの製造時に必要な耐熱性、耐溶剤性を有
していることが好ましいが、テフロンフィルム、離型紙
等の離型性フィルムを一時的な支持体フィルムとし、こ
の上に感光性樹脂組成物の層を形成した後、この層の上
に耐熱性あるいは耐溶剤性の低いフィルムをラミネート
し、前記した一時的な支持体フィルムを剥離して耐熱性
あるいは耐溶剤性の低い支持体フィルムを有する感光性
エレメントを製造することもできる。また、支持体フィ
ルムは、活性光に対して透明であっても不透明であって
もよい。使用しうる支持体フィルムの例として、ポリエ
ステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミ
ドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフ
ィルム等、公知のフィルムを挙げることができる。

【００２５】長尺の感光性エレメントを製造する場合に
は、製造の最終段階で感光性エレメントをロール状に巻
き取る。この場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を
用い、背面処理した支持体フィルムを用いることによ
り、ロール状に巻き取ったときの感光性樹脂組成物の層
の支持体フィルム背面への転着を防ぐことができる。同
じ目的、さらに塵の付着を防ぐ目的で、該エレメントの
感光性樹脂組成物の層の上に剥離可能なカバーフィルム
を積層することが好ましい。

【００２６】剥離可能なカバーフィルムとしては、例え
ば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、
テフロンフィルム、表面処理した紙等があり、カバーフ
ィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層と支持体
フィルムとの接着力よりも感光性樹脂組成物の層とカバ
ーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。

【００２７】以上に示した方法等で基板上に形成した感
光性樹脂組成物の膜の厚みは、通常５〜１００μｍとさ
れる。

【００２８】次に本発明のレジストパターンの製造法に
ついて説明する。上述した方法等で基板上に形成した感
光性樹脂組成物の膜に、活性光線を画像状に照射し、露
光部の感光性樹脂組成物を光硬化させる。この際、感光
性エレメントの支持体フィルムが活性光に不透明である
場合には、支持体フィルムを剥離した後、露光する必要
がある。支持体フィルムが活性光に対して透明であれ
ば、露光時に支持体フィルムを剥離する必要はない。

【００２９】なお、活性光線の光源としては、波長３０
０〜４５０nmの光線を発するもの、例えば、水銀蒸気ア
ーク、カーボンアーク、キセノンアーク等が好ましく用
いられる。また、露光前後の５０〜１００℃での加熱処
理は、基板と感光性樹脂膜との密着性を向上するために
好ましい。

【００３０】続いて現像工程、すなわち、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム等のアルカリの
水溶液を吹きつけるか、アルカリの水溶液に浸漬するな
どして未露光部を除去し、前記画像に対応した硬化膜を
基板表面に有するレジストパターンを作製する。この
際、支持体フィルムを付けたまま露光した場合には、支
持体フィルムを剥離した後、現像を行う。レジストパタ
ーンの形成後、前記の活性光線を再度照射すると、特
に、めっきレジストとして用いる場合には、耐薬品性が
向上して好ましい。

【００３１】

【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説
明する。

【００３２】グラフトポリマーの合成例１ 撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス
導入管を備えたフラスコに、メチルセロソルブ／トルエ
ン＝３：２（重量比）の混合溶剤５００ｇを加え、撹拌
し、窒素ガスを吹き込みながら８５℃に加温した。温度
が８５℃になったところで、メタクリル酸５０．７ｇ、
メタクリル酸メチル１５０ｇ、アクリル酸エチル６９．
３ｇ、メチルメタクリレートのポリマーの片末端がメタ
クリロイル基であるマクロモノマー（東亞合成化学工業
（株）製、商品名ＡＡ−６）３０ｇ及びアゾビスイソブ
チロニトリル２．７ｇを混合した液を２．５時間かけて
フラスコ内に滴下し、その後８５℃で撹拌しながら３時
間保温した。３時間後にアゾビスイソブチロニトリル
１．２ｇをメチルセロソルブ３０ｇに溶解した液を１０
分かけてフラスコ内に滴下し、その後再び８５℃で撹拌
しながら４時間保温した。

【００３３】このようにして得られたグラフトポリマー
（ａ−１）の重量平均分子量は８７，０００、酸価は１
０８であった。また、グラフトポリマー溶液の固形分は
３６．２重量％であった。

【００３４】グラフトポリマーの合成例２ グラフトポリマーの合成例１と同様なフラスコに、メチ
ルセロソルブ／トルエン＝３：２（重量比）の混合溶剤
５００ｇを加え、撹拌し、窒素ガスを吹きこみながら８
５℃に加温した。温度が８５℃になったところで、メタ
クリル酸５５．１ｇ、メタクリル酸メチル１０２ｇ、メ
タクリル酸−ｎ−ブチル３２．９ｇ、アクリル酸−ｎ−
ブチル５０ｇ、ｎ−ブチルアクリレートのポリマーの片
末端がメタクリロイル基であるマクロモノマー（東亞合
成化学工業（株）製、商品名ＡＢ−６）６０ｇ及びアゾ
ビスイソブチロニトリル１．８ｇを混合した液を、２．
５時間かけてフラスコ内に滴下し、その後８５℃で撹拌
しながら３時間保温した。３時間後にアゾビスイソブチ
ロニトリル０．８ｇをメチルセロソルブ３０ｇに溶解し
た液を１０分かけてフラスコ内に滴下し、その後再び８
５℃で撹拌しながら４時間保温した。

【００３５】このようにして得られたグラフトポリマー
（ａ−２）の重量平均分子量は１１２，０００、酸価は
１１７であった。また、グラフトポリマー溶液の固形分
は３５．９重量％であった。

【００３６】グラフトポリマーの合成例３ グラフトポリマーの合成例１と同様なフラスコに、メチ
ルセロソルブ／トルエン＝３：２（重量比）の混合溶剤
５００ｇ及び２−エチルヘキシルアクリレートのポリマ
ーの片末端がメタクリロイル基であるマクロモノマー溶
液（東亞合成化学工業（株）製、商品名ＡＨ−６ＳＸ）
５０ｇ（固形分３０ｇ）を加え、撹拌し、窒素ガスを吹
きこみながら９０℃に加温した。温度が９０℃になった
ところで、メタクリル酸５８．２ｇ、メタクリル酸メチ
ル１１４ｇ、アクリル酸エチル５０．８ｇ、アクリル酸
−２−エチルヘキシル４７ｇ及びアゾビスイソブチロニ
トリル２．１ｇを混合した液を、２．５時間かけてフラ
スコ内に滴下し、その後９０℃で撹拌しながら３時間保
温した。３時間後にアゾビスイソブチロニトリル１．０
ｇをメチルセロソルブ３０ｇに溶解した液を１０分かけ
てフラスコ内に滴下し、その後再び９０℃で撹拌しなが
ら４時間保温した。

【００３７】このようにして得られたグラフトポリマー
（ａ−３）の重量平均分子量は９５，０００、酸価は１
２４であった。また、グラフトポリマー溶液の固形分は
３６．１重量％であった。

【００３８】ランダムポリマーの合成１ グラフトポリマーの合成例１と同様なフラスコを用い
て、メチルメタクリレートのポリマーの片末端がメタク
リロイル基であるマクロモノマー３０ｇを用いる替り
に、メタクリル酸メチルの使用量を１５０ｇから１８０
ｇに増量した以外はグラフトポリマーの合成例１と同様
な条件及び方法でランダムポリマー（ｘ−１）を合成し
た。得られたランダムポリマー（ｘ−１）の重量平均分
子量は９２，０００、酸価は１０８であった。また、ラ
ンダムポリマー溶液の固形分は３６．１重量％であっ
た。

【００３９】ランダムポリマーの合成２ グラフトポリマーの合成例１と同様なフラスコを用い
て、ｎ−ブチルアクリレートのポリマーの片末端がメタ
クリロイル基であるマクロモノマー６０ｇを用いる替り
に、アクリル酸−ｎ−ブチルの使用量を５０ｇから１１
０ｇに増量した以外はグラフトポリマーの合成例２と同
様な条件及び方法でランダムポリマー（ｘ−２）を合成
した。得られたランダムポリマー（ｘ−２）の重量平均
分子量は１１９，０００、酸価は１１６であった。ま
た、ランダムポリマー溶液の固形分は３５．８重量％で
あった。

【００４０】ランダムポリマーの合成３ グラフトポリマーの合成例１と同様なフラスコ内に、溶
剤と共に２−エチルヘキシルアクリレートのポリマーの
片末端がメタクリロイル基であるマクロモノマー３０ｇ
を用いる替りに、アクリル酸−２−エチルヘキシルを３
０ｇ加える以外は、グラフトポリマーの合成例３と同様
な条件及び方法でランダムポリマー（ｘ−３）を合成し
た。得られたランダムポリマー（ｘ−３）の重量平均分
子量は９６，０００、酸価は１２３であった。また、ラ
ンダムポリマー溶液の固形分は３６．０重量％であっ
た。

【００４１】実施例１〜６及び比較例１〜３ 表１に示す配合（単位は重量部）で感光性樹脂組成物溶
液を調製し、各々の溶液を２３μｍのポリエチレンテレ
フタレートフィルム（東レ（株）製、ルミラー）に乾燥
後の膜厚が３５μｍとなるように塗工し、乾燥後、厚さ
３５μｍのポリエチレンフィルムで被覆して感光性エレ
メントを得た。得られた各感光性エレメントを、試験基
板の上にラミネートした。ラミネート条件は、基板温度
２５℃、ラミネート温度１１０℃、ラミネート圧力（ラ
ミネーターのエアシリンダー圧力）３．５kgf／cm²、ラ
ミネート速度１．５ｍ／minの条件で行った。

【００４２】

【表１】

【００４３】（１）感光特性 試験基板にガラスエポキシ銅張積層板（日立化成工業
（株）製、ＭＣＬ−Ｅ−６１）を用い、この基板に実施
例１〜６及び比較例１〜３の感光性樹脂組成物の膜を上
記の方法で形成した。この膜に、ネガマスクを介して３
ｋＷの超高圧水銀灯により、６０mJ／cm²の光量で画像
状に露光した後、ポリエチレンテレフタレートフィルム
を剥離し、１重量％の炭酸ナトリウム水溶液で現像を行
い、４０μｍのレジストパターンを得た。各感光性樹脂
組成物の光感度とレジスト形状の評価結果を表２に示し
た。

【００４４】（２）テンティング膜の強度 試験基板として、直径６mmの銅めっきされたスルーホー
ルを１０００穴有する基板を用い、この基板に実施例１
〜６及び比較例１〜３の感光性樹脂組成物の膜を上記の
方法で形成した。この膜全面に、３ｋＷの超高圧水銀灯
で、各樹脂組成物のＳＴ（ステップタブレット）段数が
それぞれ８段となるように、露光量を調節して露光を行
った。その後、ポリエチレンテレフタレートフィルムを
剥離し、１重量％の炭酸ナトリウム水溶液で現像を行っ
た。スルーホール上のテンティング膜の破壊状態を目視
で観察し、破壊した膜の比率を調べ、結果を表２に示し
た。

【００４５】（３）基板の凹凸追従性 試験基板として、ガラスエポキシ銅張積層板の表面に、
幅１００μｍ、深さ８μｍの溝を１００μｍ間隔で１０
本形成した基板を用い、この基板に実施例１〜６及び比
較例１〜３の感光性エレメントを、溝と垂直の方向にラ
ミネートして、感光性樹脂組成物の膜を形成した。溝の
断面を走査型電子顕微鏡で観察することにより、基板表
面の溝に対する感光性樹脂組成物の埋まり具合を評価
し、結果を表２に示した。

【００４６】

【表２】

【００４７】グラフトポリマー（ａ−１）とランダムポ
リマー（ｘ−１）とは、ポリマーを構成するモノマーの
組成比率は同等であるが、メタクリル酸メチルの一部が
グラフト化されているという点に、グラフトポリマー
（ａ−１）の特徴がある。グラフトポリマー（ａ−２）
とランダムポリマー（ｘ−２）との関係も、また、グラ
フトポリマー（ａ−３）とランダムポリマー（ｘ−３）
との関係も同様で、それぞれ、アクリル酸−ｎ−ブチ
ル、アクリル酸−２−エチルヘキシルの一部がグラフト
化されている点に特徴がある。このグラフトポリマーと
ランダムポリマーとの差異が、表２に示す各特性の違い
となって表われている。

【００４８】光感度及びレジスト形状に代表される感光
特性は、すべて実施例１〜６の感光性樹脂組成物の方
が、比較例１〜３の感光性樹脂組成物を上回っている。

【００４９】また、比較例１の感光性樹脂組成物は、比
較例２及び３の感光性樹脂組成物と比べて、ランダムポ
リマー中のメタクリル酸メチルの共重合量が多いため、
テンティング膜の強度が強く、現像後の膜の破壊率は少
ないが、流動性に欠けるため基板の溝への追従性が悪い
という問題を有している。その反対に、比較例２及び３
の感光性樹脂組成物は、それぞれアクリル酸−ｎ−ブチ
ル、アクリル酸−２−エチルヘキシルといったポリマー
のガラス転移温度を下げるモノマーを比較的多く共重合
しているため、基板の溝への追従性は良好であるが、テ
ンティング膜の強度が低く、現像後の膜の破壊率は９０
％以上と、大半が破壊されていることを示している。

【００５０】これに対して、本発明になるグラフトポリ
マーを用いた実施例１〜６の感光性樹脂組成物は、テン
ティング膜の強度が強く、現像後でも膜は全く破壊され
ず、それでいて加熱下でのラミネート時には流動性があ
り、基板上の溝を十分に埋めこむことを示している。こ
のように本発明になる感光性樹樹脂組成物は、通常では
相反する特性を両立させるという特徴を有している。

【００５１】

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及びこれを用
いた感光性エレメントは感光特性が良好で、テンティン
グ膜の強度が高く、また、基板の凹凸に対する追従性が
良好である。これにより、良好なレジストパターンを製
造することができ、高密度、高精度なプリント配線板の
製造が可能となる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/30 7124−2Ｈ Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｆ 6921−4Ｅ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）アクリル酸及び／又はメタクリル
   酸と、アルキルアクリレート又はアルキルメタクリレー
   トのポリマーの片末端に一つの重合性不飽和基を有する
   マクロモノマーとを必須成分として共重合した酸価２０
   〜３００のグラフトポリマー、（ｂ）光重合性不飽和基
   を分子内に２個以上有するモノマー並びに（ｃ）光開始
   剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
2. 【請求項２】 （ａ）成分のグラフトポリマーに用いる
   マクロモノマーが、メチルメタクリレート、ｎ−ブチル
   アクリレート又は２−エチルヘキシルアクリレートのポ
   リマーの片末端に重合性不飽和基を一つ有するマクロモ
   ノマーから選ばれた一つである請求項１記載の感光性樹
   脂組成物。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物
   の層及び支持体フィルムを有する感光性エレメント。
4. 【請求項４】 さらに、はく離可能なカバーフィルムを
   感光性樹脂組成物の層上に積層してなる請求項３記載の
   感光性エレメント。
5. 【請求項５】 請求項１又は２記載の感光性樹脂組成物
   を基板上に膜として形成し、活性光線を画像状に照射
   し、露光部を光硬化させ、未露光部を現像により除去す
   ることを特徴とするレジストパターンの製造法。