JPH07283466A - 固体レ−ザ装置 - Google Patents
固体レ−ザ装置Info
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- JPH07283466A JPH07283466A JP6073697A JP7369794A JPH07283466A JP H07283466 A JPH07283466 A JP H07283466A JP 6073697 A JP6073697 A JP 6073697A JP 7369794 A JP7369794 A JP 7369794A JP H07283466 A JPH07283466 A JP H07283466A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は１つの循環路によって脱イオン化
する冷却水と、レ−ザロッドを所定の温度に維持するた
めの冷却水とを循環させることができるようにした固体
レ−ザ装置を提供することにある。 【構成】 レ−ザヘッド１に設けられた固体レ−ザ媒質
５およびこの固体レ−ザ媒質を光励起する励起ランプ６
を冷却する固体レ−ザ装置において、上記レ−ザヘッド
に冷却水を循環させて上記固体レ−ザ媒質と励起ランプ
とを冷却する循環路１４と、この循環路に設けられ上記
冷却水を脱イオン化するイオン交換樹脂ユニット２４
と、このイオン交換樹脂ユニットに流入する冷却水を所
定温度以下に冷却する第１の熱交換器２２と、上記イオ
ン交換ユニットの下流側に設けられ上記レ−ザヘッドに
流入する冷却水を所定温度以上に加熱する加熱ヒ−タ２
６とを具備したことを特徴とする。
する冷却水と、レ−ザロッドを所定の温度に維持するた
めの冷却水とを循環させることができるようにした固体
レ−ザ装置を提供することにある。 【構成】 レ−ザヘッド１に設けられた固体レ−ザ媒質
５およびこの固体レ−ザ媒質を光励起する励起ランプ６
を冷却する固体レ−ザ装置において、上記レ−ザヘッド
に冷却水を循環させて上記固体レ−ザ媒質と励起ランプ
とを冷却する循環路１４と、この循環路に設けられ上記
冷却水を脱イオン化するイオン交換樹脂ユニット２４
と、このイオン交換樹脂ユニットに流入する冷却水を所
定温度以下に冷却する第１の熱交換器２２と、上記イオ
ン交換ユニットの下流側に設けられ上記レ−ザヘッドに
流入する冷却水を所定温度以上に加熱する加熱ヒ−タ２
６とを具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はレ−ザヘッドに設けら
れた固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−ザ媒質を光励起
する励起ランプとが冷却水によって冷却される固体レ−
ザ装置に関する。
れた固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−ザ媒質を光励起
する励起ランプとが冷却水によって冷却される固体レ−
ザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、固体レ−ザ装置は、そのレ−ザ
ヘッドに設けられた固体レ−ザ媒質を励起ランプで光励
起することでレ−ザ光を発生させるようになっており、
光励起される固体レ−ザ媒質と高電流が入力される励起
ランプとは温度上昇が著しい。そこで、上記固体レ−ザ
媒質と励起ランプとを冷却し、これらが早期に熱損する
のを防止している。
ヘッドに設けられた固体レ−ザ媒質を励起ランプで光励
起することでレ−ザ光を発生させるようになっており、
光励起される固体レ−ザ媒質と高電流が入力される励起
ランプとは温度上昇が著しい。そこで、上記固体レ−ザ
媒質と励起ランプとを冷却し、これらが早期に熱損する
のを防止している。
【０００３】固体レ−ザ装置として、たとえばアレキサ
ンドライトレ−ザの場合、冷却される固体レ−ザ媒質を
９０℃に温度制御することがその装置を効率よく運転す
る上で要求されることになる。
ンドライトレ−ザの場合、冷却される固体レ−ザ媒質を
９０℃に温度制御することがその装置を効率よく運転す
る上で要求されることになる。
【０００４】一方、固体レ−ザ媒質を光励起する励起ラ
ンプは、固体レ−ザ装置の構造上、冷却水中に水没した
状態で冷却されるから、その冷却水としては電気伝導度
が、たとえば３００Ｋオ−ム／cm程度の、十分に低い値
に脱イオン化された冷却水が用いられる。冷却水は、イ
オン交換樹脂が設けられたイオン交換樹脂ユニットに通
して脱イオン化が計られる。
ンプは、固体レ−ザ装置の構造上、冷却水中に水没した
状態で冷却されるから、その冷却水としては電気伝導度
が、たとえば３００Ｋオ−ム／cm程度の、十分に低い値
に脱イオン化された冷却水が用いられる。冷却水は、イ
オン交換樹脂が設けられたイオン交換樹脂ユニットに通
して脱イオン化が計られる。
【０００５】ところで、イオン交換樹脂は、その温度特
性から冷却水の温度が５０℃以下でなければ脱イオン化
を効率よく確実に行うことが難しい。つまり、励起ラン
プを冷却するためにイオン交換樹脂ユニットに流れる冷
却水と、固体レ−ザ媒質を冷却する冷却水との温度が異
なるということがあった。
性から冷却水の温度が５０℃以下でなければ脱イオン化
を効率よく確実に行うことが難しい。つまり、励起ラン
プを冷却するためにイオン交換樹脂ユニットに流れる冷
却水と、固体レ−ザ媒質を冷却する冷却水との温度が異
なるということがあった。
【０００６】そこで、従来は、たとえば特開昭６０−２
３９０７５号公報に示されるように、励起ランプを冷却
する冷却水と、固体レ−ザ媒質を冷却する冷却水とを、
それぞれ独立した別々の循環路で循環させ、それぞれの
循環路において冷却水の温度を別々に制御するようにし
ていた。
３９０７５号公報に示されるように、励起ランプを冷却
する冷却水と、固体レ−ザ媒質を冷却する冷却水とを、
それぞれ独立した別々の循環路で循環させ、それぞれの
循環路において冷却水の温度を別々に制御するようにし
ていた。
【０００７】しかしながら、このような従来構造による
と、それぞれの冷却水を独立して温度制御するために２
つの独立した循環路を必要とするから、装置の大型化を
招くということがあるばかりか、構成の複雑化によるコ
ストアップを招くということもある。しかも、レ−ザヘ
ッド内において２つの冷却水の循環路を液密に隔別され
た構成としなければならないから、このレ−ザヘッドの
構造が複雑化するということもある。
と、それぞれの冷却水を独立して温度制御するために２
つの独立した循環路を必要とするから、装置の大型化を
招くということがあるばかりか、構成の複雑化によるコ
ストアップを招くということもある。しかも、レ−ザヘ
ッド内において２つの冷却水の循環路を液密に隔別され
た構成としなければならないから、このレ−ザヘッドの
構造が複雑化するということもある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように、励起ラン
プを冷却するために脱イオン化される冷却水に要求され
る温度と、レ−ザ媒質を冷却する冷却水に要求される温
度とが異なる場合、レ−ザヘッドに２つの独立した循環
路を設けなければならなかったので、装置の複雑化や大
型化を招くということがあった。
プを冷却するために脱イオン化される冷却水に要求され
る温度と、レ−ザ媒質を冷却する冷却水に要求される温
度とが異なる場合、レ−ザヘッドに２つの独立した循環
路を設けなければならなかったので、装置の複雑化や大
型化を招くということがあった。
【０００９】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、１つの循環路で脱イオン
化されるに適した温度の冷却水と、固体レ−ザ媒質を冷
却するに適した温度の冷却水とが得られる固体レ−ザ装
置を提供することにある。
で、その目的とするところは、１つの循環路で脱イオン
化されるに適した温度の冷却水と、固体レ−ザ媒質を冷
却するに適した温度の冷却水とが得られる固体レ−ザ装
置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載されたこ
の発明は、レ−ザヘッドに設けられた固体レ−ザ媒質お
よびこの固体レ−ザ媒質を光励起する励起ランプを冷却
する固体レ−ザ装置において、上記レ−ザヘッドに冷却
水を循環させて上記固体レ−ザ媒質と励起ランプとを冷
却する循環路と、この循環路に設けられ上記冷却水を脱
イオン化するイオン交換樹脂ユニットと、このイオン交
換樹脂ユニットに流入する冷却水を所定温度以下に冷却
する第１の熱交換器と、上記イオン交換樹脂ユニットの
下流側に設けられ上記レ−ザヘッドに流入する冷却水を
所定温度以上に加熱する加熱手段とを具備したことを特
徴とする固体レ−ザ装置。
の発明は、レ−ザヘッドに設けられた固体レ−ザ媒質お
よびこの固体レ−ザ媒質を光励起する励起ランプを冷却
する固体レ−ザ装置において、上記レ−ザヘッドに冷却
水を循環させて上記固体レ−ザ媒質と励起ランプとを冷
却する循環路と、この循環路に設けられ上記冷却水を脱
イオン化するイオン交換樹脂ユニットと、このイオン交
換樹脂ユニットに流入する冷却水を所定温度以下に冷却
する第１の熱交換器と、上記イオン交換樹脂ユニットの
下流側に設けられ上記レ−ザヘッドに流入する冷却水を
所定温度以上に加熱する加熱手段とを具備したことを特
徴とする固体レ−ザ装置。
【００１１】請求項２に記載されたこの発明は、レ−ザ
ヘッドに設けられた固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−
ザ媒質を光励起する励起ランプを冷却する固体レ−ザ装
置において、上記レ−ザヘッドに冷却水を循環させて上
記固体レ−ザ媒質と励起ランプとを冷却する循環路と、
この循環路に設けられ上記冷却水を脱イオン化するイオ
ン交換樹脂ユニットと、このイオン交換樹脂ユニットに
流入する冷却水を所定温度以下に冷却する第１の熱交換
器と、上記イオン交換樹脂ユニットの下流側に設けられ
上記レ−ザヘッドに流入する冷却水を所定温度以上に加
熱する加熱手段と、上記レ−ザヘッドからの冷却水の一
部を上記イオン交換樹脂ユニットを通さずに上記加熱手
段へ流入させるバイパス路とを具備したことを特徴とす
る。
ヘッドに設けられた固体レ−ザ媒質およびこの固体レ−
ザ媒質を光励起する励起ランプを冷却する固体レ−ザ装
置において、上記レ−ザヘッドに冷却水を循環させて上
記固体レ−ザ媒質と励起ランプとを冷却する循環路と、
この循環路に設けられ上記冷却水を脱イオン化するイオ
ン交換樹脂ユニットと、このイオン交換樹脂ユニットに
流入する冷却水を所定温度以下に冷却する第１の熱交換
器と、上記イオン交換樹脂ユニットの下流側に設けられ
上記レ−ザヘッドに流入する冷却水を所定温度以上に加
熱する加熱手段と、上記レ−ザヘッドからの冷却水の一
部を上記イオン交換樹脂ユニットを通さずに上記加熱手
段へ流入させるバイパス路とを具備したことを特徴とす
る。
【００１２】
【作用】請求項１に記載された発明によれば、イオン交
換樹脂ユニットに流入する冷却水は第１の熱交換器によ
ってイオン交換するに適した温度に冷却され、上記イオ
ン交換樹脂ユニットでイオン交換されてレ−ザヘッドに
流入する冷却水は加熱手段によって固体レ−ザ媒質を冷
却するに適した温度に昇温される。
換樹脂ユニットに流入する冷却水は第１の熱交換器によ
ってイオン交換するに適した温度に冷却され、上記イオ
ン交換樹脂ユニットでイオン交換されてレ−ザヘッドに
流入する冷却水は加熱手段によって固体レ−ザ媒質を冷
却するに適した温度に昇温される。
【００１３】請求項２に記載された発明によれば、第１
の熱交換器に流入する冷却水の一部を第２の熱交換器に
バイパスさせることで、第１の熱交換器に流入する高温
度の冷却水の流量を低減させてイオン交換樹脂ユニット
に流入する冷却水の温度を確実に所定温度以下にするこ
とができ、またレ−ザヘッドに供給される冷却水の温度
の制御も確実に行える。
の熱交換器に流入する冷却水の一部を第２の熱交換器に
バイパスさせることで、第１の熱交換器に流入する高温
度の冷却水の流量を低減させてイオン交換樹脂ユニット
に流入する冷却水の温度を確実に所定温度以下にするこ
とができ、またレ−ザヘッドに供給される冷却水の温度
の制御も確実に行える。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１と図２に示すこの発明の第１の実施例は固
体レ−ザ装置のレ−ザヘッド１を備えている。このレ−
ザヘッド１は図２に示すように本体２を有し、この本体
２には冷却空間部３が形成されている。この冷却空間部
３には、楕円筒状の集光ミラ−４が設けられている。
明する。図１と図２に示すこの発明の第１の実施例は固
体レ−ザ装置のレ−ザヘッド１を備えている。このレ−
ザヘッド１は図２に示すように本体２を有し、この本体
２には冷却空間部３が形成されている。この冷却空間部
３には、楕円筒状の集光ミラ−４が設けられている。
【００１５】上記集光ミラ−４の一方の焦点位置にはア
レキサンドライトレ−ザ用の固体レ−ザ媒質５が配置さ
れ、他方の焦点位置には上記固体レ−ザ媒質５を光励起
するための励起ランプ６が配置されている。
レキサンドライトレ−ザ用の固体レ−ザ媒質５が配置さ
れ、他方の焦点位置には上記固体レ−ザ媒質５を光励起
するための励起ランプ６が配置されている。
【００１６】上記固体レ−ザ媒質５は両端部がそれぞれ
支持管７の一端部に液密に支持されている。各支持管７
は、一端を上記冷却空間部３に連通させ、他端を外部に
開口させて上記本体２に形成された一対の支持孔８にそ
れぞれ液密に挿通支持されている。一方の支持管７の他
端には高反射ミラ−９が対向して配設され、他方の支持
管７の他端には上記高反射ミラ−９とで光共振器を形成
する出力ミラ−１１が対向して配置されている。
支持管７の一端部に液密に支持されている。各支持管７
は、一端を上記冷却空間部３に連通させ、他端を外部に
開口させて上記本体２に形成された一対の支持孔８にそ
れぞれ液密に挿通支持されている。一方の支持管７の他
端には高反射ミラ−９が対向して配設され、他方の支持
管７の他端には上記高反射ミラ−９とで光共振器を形成
する出力ミラ−１１が対向して配置されている。
【００１７】上記励起ランプ６に高電圧が印加されて放
電が発生すると、その放電で上記固体レ−ザ媒質５が光
励起されてレ−ザ光Ｌが発生する。このレ−ザ光Ｌは高
反射ミラ−９と出力ミラ−１１とで反射を繰り返して増
幅され、その強度が所定以上に達すると、上記出力ミラ
−１１から発振出力されるようになっている。
電が発生すると、その放電で上記固体レ−ザ媒質５が光
励起されてレ−ザ光Ｌが発生する。このレ−ザ光Ｌは高
反射ミラ−９と出力ミラ−１１とで反射を繰り返して増
幅され、その強度が所定以上に達すると、上記出力ミラ
−１１から発振出力されるようになっている。
【００１８】上記本体２には、上記冷却空間部３に連通
する冷却水の導入口１２と流出口１３とが形成されてい
る。上記導入口１２と流出口１３とは冷却水が循環する
循環路１４の中途部に接続されている。循環路１４を循
環する冷却水としては純水が用いられている。
する冷却水の導入口１２と流出口１３とが形成されてい
る。上記導入口１２と流出口１３とは冷却水が循環する
循環路１４の中途部に接続されている。循環路１４を循
環する冷却水としては純水が用いられている。
【００１９】上記循環路１４には、第１の熱交換器２２
が設けられている。この第１の熱交換器２２は、上記レ
−ザヘッド２の流出口１３から流出した冷却水が流入す
る第１のコイル２１を有する。この第１の熱交換器２２
には第１のコイル２１を流れる冷却水と熱交換（冷却）
する、たとえば市水などの冷却媒体を流す第２のコイル
２３が設けられている。
が設けられている。この第１の熱交換器２２は、上記レ
−ザヘッド２の流出口１３から流出した冷却水が流入す
る第１のコイル２１を有する。この第１の熱交換器２２
には第１のコイル２１を流れる冷却水と熱交換（冷却）
する、たとえば市水などの冷却媒体を流す第２のコイル
２３が設けられている。
【００２０】上記第１の熱交換器２２で熱交換されて第
１のコイル２１から流出する冷却水はイオン交換樹脂ユ
ニット２４に流入する。このイオン交換樹脂ユニット２
４はイオン交換樹脂を有し、ここに流入する冷却水を脱
イオン化して十分に低い電気伝導度とする。その際、上
記イオン交換樹脂ユニット２４の有効な動作範囲は５０
℃以下であるから、上記第１の熱交換器２２ではレ−ザ
ヘッド１からの冷却水を後述するごとく５０℃以下に冷
却する。
１のコイル２１から流出する冷却水はイオン交換樹脂ユ
ニット２４に流入する。このイオン交換樹脂ユニット２
４はイオン交換樹脂を有し、ここに流入する冷却水を脱
イオン化して十分に低い電気伝導度とする。その際、上
記イオン交換樹脂ユニット２４の有効な動作範囲は５０
℃以下であるから、上記第１の熱交換器２２ではレ−ザ
ヘッド１からの冷却水を後述するごとく５０℃以下に冷
却する。
【００２１】上記イオン交換樹脂ユニット２４で脱イオ
ン化された冷却水は加熱手段を構成する加熱タンク２５
に流入する。この加熱タンク２５内には加熱ヒ−タ２６
が設けられている。この加熱ヒ−タ２６は制御装置２７
からの駆動信号によって通電され、加熱タンク２５内に
流入した冷却水を加熱する。
ン化された冷却水は加熱手段を構成する加熱タンク２５
に流入する。この加熱タンク２５内には加熱ヒ−タ２６
が設けられている。この加熱ヒ−タ２６は制御装置２７
からの駆動信号によって通電され、加熱タンク２５内に
流入した冷却水を加熱する。
【００２２】上記加熱タンク２５内の冷却水の温度は第
１のセンサ２８によって検出される。この第１のセンサ
２８の検出信号は上記制御装置２７に入力される。この
制御装置２７は、上記第１のセンサ２８が検出する温度
と、上記制御装置２７に設定された温度とを比較し、そ
の比較に基づいて上記加熱ヒ−タ２６への通電を制御す
るようになっている。
１のセンサ２８によって検出される。この第１のセンサ
２８の検出信号は上記制御装置２７に入力される。この
制御装置２７は、上記第１のセンサ２８が検出する温度
と、上記制御装置２７に設定された温度とを比較し、そ
の比較に基づいて上記加熱ヒ−タ２６への通電を制御す
るようになっている。
【００２３】上記制御装置２７に設定される設定温度
は、アレキサンドライトレ−ザの固体レ−ザ媒質５を効
率よく動作させるに適した温度である６０〜９９℃、こ
の実施例においては９０℃になっている。したがって、
加熱タンク２５に設けられた加熱ヒ−タ２６は、ここに
流入した冷却水を９０℃に加熱する。
は、アレキサンドライトレ−ザの固体レ−ザ媒質５を効
率よく動作させるに適した温度である６０〜９９℃、こ
の実施例においては９０℃になっている。したがって、
加熱タンク２５に設けられた加熱ヒ−タ２６は、ここに
流入した冷却水を９０℃に加熱する。
【００２４】上記加熱タンク２５の流出側には循環ポン
プ３１が接続されていて、この循環ポンプ３１によって
冷却水が循環路１４を循環させられるようになってい
る。上記循環ポンプ３１と上記レ−ザヘッド１の導入口
１２との間には１５ミクロンメッシュのコットンフィル
タ３３が設けられている。このコットンフィルタ３３に
よって冷却水に含まれる塵埃が除去され、レ−ザヘッド
１に純度の高い冷却水が供給される。
プ３１が接続されていて、この循環ポンプ３１によって
冷却水が循環路１４を循環させられるようになってい
る。上記循環ポンプ３１と上記レ−ザヘッド１の導入口
１２との間には１５ミクロンメッシュのコットンフィル
タ３３が設けられている。このコットンフィルタ３３に
よって冷却水に含まれる塵埃が除去され、レ−ザヘッド
１に純度の高い冷却水が供給される。
【００２５】上記循環路１４には、上記第１の熱交換器
２２の第１のコイル２１の流入側からバイパス管３５が
分岐されている。このバイパス管３５は第１の制御弁３
６を介して第２の熱交換器３７の第１のコイル３８に接
続されている。上記第１の制御弁３６は、上記第１の熱
交換器２２と上記第２の熱交換器３７へ流す冷却水の割
合を制御する。
２２の第１のコイル２１の流入側からバイパス管３５が
分岐されている。このバイパス管３５は第１の制御弁３
６を介して第２の熱交換器３７の第１のコイル３８に接
続されている。上記第１の制御弁３６は、上記第１の熱
交換器２２と上記第２の熱交換器３７へ流す冷却水の割
合を制御する。
【００２６】上記第２の熱交換器３７の第１のコイル３
８に流入した冷却水は、第２のコイル３９を流れる冷却
媒体と熱交換して上記加熱タンク２５に流入する。上記
第２のコイル３９の流入側には冷却媒体の流入量を制御
する第２の制御弁４１が設けられている。
８に流入した冷却水は、第２のコイル３９を流れる冷却
媒体と熱交換して上記加熱タンク２５に流入する。上記
第２のコイル３９の流入側には冷却媒体の流入量を制御
する第２の制御弁４１が設けられている。
【００２７】上記第１の制御弁３６と第２の制御弁４１
とは、上記第１のセンサ２８が検出する加熱タンク２５
内の冷却水の温度に基づいて上記制御装置２７からの制
御信号によって開度が設定されるようになっている。
とは、上記第１のセンサ２８が検出する加熱タンク２５
内の冷却水の温度に基づいて上記制御装置２７からの制
御信号によって開度が設定されるようになっている。
【００２８】なお、制御装置２７には、上記レ−ザヘッ
ド１の導入口１２の近傍における冷却水の温度を検出す
る第２のセンサ４２と、導出口１３の近傍における冷却
水の温度を検出する第３のセンサ４３とからの検出信号
が入力される。これらセンサ４２、４３からの検出信号
は、上記第１のセンサ２８からの検出信号に基づく、上
記加熱ヒ−タ６、第１の制御弁３６および第２の制御弁
４１の制御のフィ−ドバック制御に利用される。
ド１の導入口１２の近傍における冷却水の温度を検出す
る第２のセンサ４２と、導出口１３の近傍における冷却
水の温度を検出する第３のセンサ４３とからの検出信号
が入力される。これらセンサ４２、４３からの検出信号
は、上記第１のセンサ２８からの検出信号に基づく、上
記加熱ヒ−タ６、第１の制御弁３６および第２の制御弁
４１の制御のフィ−ドバック制御に利用される。
【００２９】つぎに、上記構成の固体レ−ザ装置の動作
について説明する。循環ポンプ３２を作動させると、冷
却水は循環路１４を循環する。循環路１４を循環する冷
却水は、第１の熱交換器２２で５０℃に冷却されてイオ
ン交換樹脂ユニット２４に流入して脱イオン化され、つ
いで加熱タンク２５内の加熱ヒ−タ２６でレ−ザヘッド
１内のレ−ザロッド５を９０℃に維持できる温度に加熱
されてレ−ザヘッド１に流入する。
について説明する。循環ポンプ３２を作動させると、冷
却水は循環路１４を循環する。循環路１４を循環する冷
却水は、第１の熱交換器２２で５０℃に冷却されてイオ
ン交換樹脂ユニット２４に流入して脱イオン化され、つ
いで加熱タンク２５内の加熱ヒ−タ２６でレ−ザヘッド
１内のレ−ザロッド５を９０℃に維持できる温度に加熱
されてレ−ザヘッド１に流入する。
【００３０】上記加熱ヒ−タ２６による冷却水の加熱温
度は、加熱タンク２５に設けられた第１のセンサ２８が
検出する冷却水の温度に基づいて制御装置２７が上記加
熱ヒ−タ２６への通電を制御して行われる。つまり、冷
却水は加熱ヒ−タ２６によってレ−ザロッド５を冷却す
るに適した温度である、９０℃に温度制御される。
度は、加熱タンク２５に設けられた第１のセンサ２８が
検出する冷却水の温度に基づいて制御装置２７が上記加
熱ヒ−タ２６への通電を制御して行われる。つまり、冷
却水は加熱ヒ−タ２６によってレ−ザロッド５を冷却す
るに適した温度である、９０℃に温度制御される。
【００３１】一方、レ−ザロッド５が励起ランプ６によ
って加熱され過ぎ、上記レ−ザヘッド１から流出する冷
却水の温度が高くなり過ぎた場合、その冷却水を上記第
１の熱交換器２２では、その能力によってイオン交換樹
脂ユニット２４に供給する５０℃以下に冷却できないこ
とがある。
って加熱され過ぎ、上記レ−ザヘッド１から流出する冷
却水の温度が高くなり過ぎた場合、その冷却水を上記第
１の熱交換器２２では、その能力によってイオン交換樹
脂ユニット２４に供給する５０℃以下に冷却できないこ
とがある。
【００３２】そのような場合、レ−ザヘッド１から流出
する冷却水の温度を検出する第３のセンサ４３からの検
出信号が制御装置２７に入力されると、この制御装置２
７は第１の制御弁３６と第２の制御弁４１との開度を制
御する。
する冷却水の温度を検出する第３のセンサ４３からの検
出信号が制御装置２７に入力されると、この制御装置２
７は第１の制御弁３６と第２の制御弁４１との開度を制
御する。
【００３３】すなわち、第１の制御弁３６は第３のセン
サ４３が検出した冷却水の温度に応じて所定の開度で開
放され、レ−ザヘッド１で加熱され過ぎた冷却水の一部
をバイパス管３５を通して第２の熱交換器３７へ流す。
それによって、第１の熱交換器２２へ流れる冷却水の流
量が低下するから、この第１の熱交換器２２によって冷
却水を５０℃以下に冷却してイオン交換樹脂ユニット２
４へ供給することができる。
サ４３が検出した冷却水の温度に応じて所定の開度で開
放され、レ−ザヘッド１で加熱され過ぎた冷却水の一部
をバイパス管３５を通して第２の熱交換器３７へ流す。
それによって、第１の熱交換器２２へ流れる冷却水の流
量が低下するから、この第１の熱交換器２２によって冷
却水を５０℃以下に冷却してイオン交換樹脂ユニット２
４へ供給することができる。
【００３４】一方、第２の熱交換器３７に流れた高温度
の冷却水は、ここで熱交換されて加熱タンク２５へ流入
する。第２の熱交換器３７において、冷却水はレ−ザヘ
ッド１の固体レ−ザロッド５を９０℃に維持するに適し
た温度、たとえば９０℃に冷却されて加熱タンク２５へ
流入する。その場合、制御装置２７によって第２の制御
弁４１の開度が制御され、第２の熱交換器３７の第２の
コイル３９に流れる冷却媒体の流量が制御されること
で、上記第２の熱交換器３７の第１のコイル３８を通っ
て加熱タンク２５へ流入する冷却水の温度が制御され
る。
の冷却水は、ここで熱交換されて加熱タンク２５へ流入
する。第２の熱交換器３７において、冷却水はレ−ザヘ
ッド１の固体レ−ザロッド５を９０℃に維持するに適し
た温度、たとえば９０℃に冷却されて加熱タンク２５へ
流入する。その場合、制御装置２７によって第２の制御
弁４１の開度が制御され、第２の熱交換器３７の第２の
コイル３９に流れる冷却媒体の流量が制御されること
で、上記第２の熱交換器３７の第１のコイル３８を通っ
て加熱タンク２５へ流入する冷却水の温度が制御され
る。
【００３５】すなわち、バイパス管３５に第２の熱交換
器３７を設けたことで、レ−ザヘッド１から第１の熱交
換器２２へ戻る冷却水の温度が高過ぎ、この第１の熱交
換器２２の熱交換能力を越えてしまうような場合であっ
ても、その一部を第２の熱交換器３７にバイパスさせる
ことで、イオン交換樹脂ユニット２４へはその動作範囲
である、５０℃以下のの冷却水を供給することができ
る。
器３７を設けたことで、レ−ザヘッド１から第１の熱交
換器２２へ戻る冷却水の温度が高過ぎ、この第１の熱交
換器２２の熱交換能力を越えてしまうような場合であっ
ても、その一部を第２の熱交換器３７にバイパスさせる
ことで、イオン交換樹脂ユニット２４へはその動作範囲
である、５０℃以下のの冷却水を供給することができ
る。
【００３６】上記レ−ザヘッド１の流入側では第２のセ
ンサ４２によって冷却水の温度が検出される。この第２
のセンサ４２が検出する冷却水の温度が固体レ−ザ媒質
５を９０℃に維持する温度からずれている場合、上記制
御装置２７からは、上記加熱ヒ−タ２６、上記第１の制
御弁３６および第２の制御弁４１へフィ−ドバック信号
が出力され、これらが制御される。したがって、上記レ
−ザヘッド１に流入する冷却水は所定の温度、つまりレ
−ザロッド５を９０℃に維持するに適した温度に確実に
制御されることになる。
ンサ４２によって冷却水の温度が検出される。この第２
のセンサ４２が検出する冷却水の温度が固体レ−ザ媒質
５を９０℃に維持する温度からずれている場合、上記制
御装置２７からは、上記加熱ヒ−タ２６、上記第１の制
御弁３６および第２の制御弁４１へフィ−ドバック信号
が出力され、これらが制御される。したがって、上記レ
−ザヘッド１に流入する冷却水は所定の温度、つまりレ
−ザロッド５を９０℃に維持するに適した温度に確実に
制御されることになる。
【００３７】冷却水の一部をバイパス管３５へ流し、イ
オン交換樹脂ユニット２４を通さずにレ−ザヘッド１へ
供給することで、その冷却水は脱イオン化されていない
ことになるが、加熱タンク２５において、第１の熱交換
器２２からイオン交換樹脂ユニット２４を通って脱イオ
ン化された冷却水と混合されてレ−ザヘッド１に供給さ
れることで、その冷却水は励起ランプ６の絶縁状態を維
持することができる。
オン交換樹脂ユニット２４を通さずにレ−ザヘッド１へ
供給することで、その冷却水は脱イオン化されていない
ことになるが、加熱タンク２５において、第１の熱交換
器２２からイオン交換樹脂ユニット２４を通って脱イオ
ン化された冷却水と混合されてレ−ザヘッド１に供給さ
れることで、その冷却水は励起ランプ６の絶縁状態を維
持することができる。
【００３８】図３はこの発明の第２の実施例を示す。こ
の実施例において、上記第１の実施例と同一部分には同
一記号を付して説明を省略する。つまり、この第２の実
施例は、バイパス管３５に第２の熱交換器３７を設け
ず、このバイパス管３５の第１の制御弁３６の流出側を
加熱タンク２５に直接、接続するようにした。
の実施例において、上記第１の実施例と同一部分には同
一記号を付して説明を省略する。つまり、この第２の実
施例は、バイパス管３５に第２の熱交換器３７を設け
ず、このバイパス管３５の第１の制御弁３６の流出側を
加熱タンク２５に直接、接続するようにした。
【００３９】また、制御装置２７に第３のセンサ４３の
検出信号が入力されると、それによって第１の制御弁３
６の開度だけがフィ−ドバック制御されるようになって
いる。
検出信号が入力されると、それによって第１の制御弁３
６の開度だけがフィ−ドバック制御されるようになって
いる。
【００４０】このような構成によれば、バイパス管３５
にバイパスされた冷却水は高温度の状態で加熱タンク２
５に流入し、ここで第１の熱交換器２２によって５０℃
以下に冷却された冷却水と混合して温度が低下する。
にバイパスされた冷却水は高温度の状態で加熱タンク２
５に流入し、ここで第１の熱交換器２２によって５０℃
以下に冷却された冷却水と混合して温度が低下する。
【００４１】したがって、加熱タンク２５における冷却
水の温度は、加熱ヒ−タ２６によって固体レ−ザ媒質５
を冷却するに適した温度に加熱制御されるから、レ−ザ
ヘッド１には第１の実施例と同様、レ−ザロッド５を最
適な温度に冷却できる冷却水を供給できる。
水の温度は、加熱ヒ−タ２６によって固体レ−ザ媒質５
を冷却するに適した温度に加熱制御されるから、レ−ザ
ヘッド１には第１の実施例と同様、レ−ザロッド５を最
適な温度に冷却できる冷却水を供給できる。
【００４２】すなわち、バイパス管３５に、第１の実施
例に示された第２の熱交換器３７が設けられていない場
合であっても、イオン交換樹脂ユニット２４に流入する
冷却水の温度と、レ−ザヘッド１に流入する冷却水の温
度とを所定の温度に制御することが可能である。
例に示された第２の熱交換器３７が設けられていない場
合であっても、イオン交換樹脂ユニット２４に流入する
冷却水の温度と、レ−ザヘッド１に流入する冷却水の温
度とを所定の温度に制御することが可能である。
【００４３】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、冷
却水を１つの循環路で循環させる構成であっても、冷却
水がイオン交換樹脂ユニットに流入する温度を、そのイ
オン交換樹脂ユニットの動作範囲内の温度に冷却して確
実に脱イオン化することができ、また固体レ−ザ媒質
を、イオン交換樹脂ユニットの動作範囲よりも高い温度
に冷却維持することができる。
却水を１つの循環路で循環させる構成であっても、冷却
水がイオン交換樹脂ユニットに流入する温度を、そのイ
オン交換樹脂ユニットの動作範囲内の温度に冷却して確
実に脱イオン化することができ、また固体レ−ザ媒質
を、イオン交換樹脂ユニットの動作範囲よりも高い温度
に冷却維持することができる。
【００４４】したがって、脱イオン化された冷却水を循
環させる循環路と、固体レ−ザ媒質を所定温度に冷却維
持する冷却水の循環路とを別々にせずにすむから、装置
の構成を簡略かつ小型にすることができる。
環させる循環路と、固体レ−ザ媒質を所定温度に冷却維
持する冷却水の循環路とを別々にせずにすむから、装置
の構成を簡略かつ小型にすることができる。
【図１】この発明の第１の実施例を示す固体レ−ザ装置
の全体構成の概略図。
の全体構成の概略図。
【図２】同じくレ−ザヘッドの断面図。
【図３】この発明の第２の実施例を示す固体レ−ザ装置
の全体構成の概略図。
の全体構成の概略図。
１…レ−ザヘッド、５…固体レ−ザ媒質、６…励起ラン
プ、１４…循環路、２２…第１の熱交換器、２４…イオ
ン交換樹脂ユニット、２５…加熱タンク、２６…加熱ヒ
−タ、２７…制御装置、２８…第１のセンサ、３５…バ
イパス管、４２…第２のセンサ、４３…第３のセンサ。
プ、１４…循環路、２２…第１の熱交換器、２４…イオ
ン交換樹脂ユニット、２５…加熱タンク、２６…加熱ヒ
−タ、２７…制御装置、２８…第１のセンサ、３５…バ
イパス管、４２…第２のセンサ、４３…第３のセンサ。
Claims (8)
- 【請求項１】 レ−ザヘッドに設けられた固体レ−ザ媒
質およびこの固体レ−ザ媒質を光励起する励起ランプを
冷却する固体レ−ザ装置において、 上記レ−ザヘッドに冷却水を循環させて上記固体レ−ザ
媒質と励起ランプとを冷却する循環路と、この循環路に
設けられ上記冷却水を脱イオン化するイオン交換樹脂ユ
ニットと、このイオン交換樹脂ユニットに流入する冷却
水を所定温度以下に冷却する第１の熱交換器と、上記イ
オン交換樹脂ユニットの下流側に設けられ上記レ−ザヘ
ッドに流入する冷却水を所定温度以上に加熱する加熱手
段とを具備したことを特徴とする固体レ−ザ装置。 - 【請求項２】 レ−ザヘッドに設けられた固体レ−ザ媒
質およびこの固体レ−ザ媒質を光励起する励起ランプを
冷却する固体レ−ザ装置において、 上記レ−ザヘッドに冷却水を循環させて上記固体レ−ザ
媒質と励起ランプとを冷却する循環路と、この循環路に
設けられ上記冷却水を脱イオン化するイオン交換樹脂ユ
ニットと、このイオン交換樹脂ユニットに流入する冷却
水を所定温度以下に冷却する第１の熱交換器と、上記イ
オン交換樹脂ユニットの下流側に設けられ上記レ−ザヘ
ッドに流入する冷却水を所定温度以上に加熱する加熱手
段と、上記レ−ザヘッドからの冷却水の一部を上記イオ
ン交換樹脂ユニットを通さずに上記加熱手段へ流入させ
るバイパス路とを具備したことを特徴とする固体レ−ザ
装置。 - 【請求項３】 上記加熱手段は、加熱タンクと、この加
熱タンク内に設けられた加熱ヒ−タとを有し、この加熱
ヒ−タは上記加熱タンク内の冷却水の温度を検出するセ
ンサからの検出信号が入力される制御手段によって制御
されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の
固体レ−ザ装置。 - 【請求項４】 上記バイパス路には、上記加熱手段へ流
入する冷却水の温度を調節する第２の熱交換器が設けら
れていることを特徴とする請求項２記載の固体レ−ザ装
置。 - 【請求項５】 上記レ−ザヘッドの流入側と流出側との
冷却水の温度はそれぞれセンサによって検出され、この
検出信号は上記制御手段にフィ−ドバックされることを
特徴とする請求項３記載の固体レ−ザ装置。 - 【請求項６】 冷却水の流路には、上記第１の熱交換器
と第２の熱交換器とに流れる冷却水の流量を調節する第
１の制御弁が設けられていることを特徴とする請求項４
記載の固体レ−ザ装置。 - 【請求項７】 上記第２の熱交換器に流入する冷却水と
熱交換する冷却媒体の管路には、その冷却媒体の流量を
制御する第２の制御弁が設けられ、この第２の制御弁は
上記制御手段によって上記加熱ヒ−タとともに制御され
ることを特徴とする請求項３記載の固体レ−ザ装置。 - 【請求項８】 上記レ−ザヘッドの流入側と流出側との
冷却水の温度はそれぞれセンサによって検出され、この
検出信号は上記制御手段にフィ−ドバックされることを
特徴とする請求項３記載の固体レ−ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6073697A JPH07283466A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 固体レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6073697A JPH07283466A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 固体レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07283466A true JPH07283466A (ja) | 1995-10-27 |
Family
ID=13525672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6073697A Pending JPH07283466A (ja) | 1994-04-13 | 1994-04-13 | 固体レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07283466A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003531499A (ja) * | 2000-04-13 | 2003-10-21 | トルンプ ラーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト | 冷却および動作監視を伴うダイオードレーザ装置 |
| JP2004048020A (ja) * | 1996-04-25 | 2004-02-12 | Imra America Inc | ストレッチされた超短パルスの増幅装置、光学増幅装置およびその運転方法 |
| WO2005022707A1 (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-10 | Hamamatsu Photonics K. K. | 固体レーザ装置 |
| JP2015012012A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-19 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得およびレーザ装置 |
| CN105183042A (zh) * | 2015-07-27 | 2015-12-23 | 佛山市南海舒博光电科技有限公司 | 一种激光灯智能温控系统 |
| CN109659801A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-04-19 | 武汉博富通试验设备有限公司 | 一种激光器的冷却装置 |
-
1994
- 1994-04-13 JP JP6073697A patent/JPH07283466A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004048020A (ja) * | 1996-04-25 | 2004-02-12 | Imra America Inc | ストレッチされた超短パルスの増幅装置、光学増幅装置およびその運転方法 |
| JP2003531499A (ja) * | 2000-04-13 | 2003-10-21 | トルンプ ラーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディトゲゼルシャフト | 冷却および動作監視を伴うダイオードレーザ装置 |
| WO2005022707A1 (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-10 | Hamamatsu Photonics K. K. | 固体レーザ装置 |
| US7502396B2 (en) | 2003-08-28 | 2009-03-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid-state laser apparatus |
| JP2015012012A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-19 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得およびレーザ装置 |
| CN105183042A (zh) * | 2015-07-27 | 2015-12-23 | 佛山市南海舒博光电科技有限公司 | 一种激光灯智能温控系统 |
| CN109659801A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-04-19 | 武汉博富通试验设备有限公司 | 一种激光器的冷却装置 |
| CN109659801B (zh) * | 2019-01-24 | 2024-05-10 | 江西山水光电科技股份有限公司 | 一种激光器的冷却装置 |
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