JPH1084148A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH1084148A JPH1084148A JP8236335A JP23633596A JPH1084148A JP H1084148 A JPH1084148 A JP H1084148A JP 8236335 A JP8236335 A JP 8236335A JP 23633596 A JP23633596 A JP 23633596A JP H1084148 A JPH1084148 A JP H1084148A
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- JP
- Japan
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- oil
- flanges
- pair
- optical component
- double tube
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は光学部品である部分透過型反射鏡と
全反射鏡の平行度のずれによるレーザ出力の低下を防止
し、レーザ出力が安定するまでの時間を短縮することを
目的とする。 【解決手段】 光学部品を保持する保持体として、二重
管の外管１３Ａと内管１４Ａの間に循環するオイルを流
すように少なくとも４個のオイル注入口１６Ａと４個の
オイル排出口１７Ａをそれぞれ対向して一対のフランジ
１５Ａ，１５Ａに設けたガスレーザ発振装置。
全反射鏡の平行度のずれによるレーザ出力の低下を防止
し、レーザ出力が安定するまでの時間を短縮することを
目的とする。 【解決手段】 光学部品を保持する保持体として、二重
管の外管１３Ａと内管１４Ａの間に循環するオイルを流
すように少なくとも４個のオイル注入口１６Ａと４個の
オイル排出口１７Ａをそれぞれ対向して一対のフランジ
１５Ａ，１５Ａに設けたガスレーザ発振装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光学部品の保持体の
平行度を保ったガスレーザ発振装置に関するものであ
る。
平行度を保ったガスレーザ発振装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザ発振装置を図３および
図４に沿って説明する。
図４に沿って説明する。
【０００３】図４において、１は気体レーザ媒質、２は
直流高電圧電源、３ａ，３ｂは前記直流高電圧電源２に
接続された放電電極、４は光増幅したレーザビームを取
出す部分透過型反射鏡、５は光増幅するための全反射
鏡、６はレーザ管、７は前記部分透過型反射鏡４および
全反射鏡５などの光学部品を保持する保持体、８は前記
保持体７へオイルを供給するためのオイルポンプ、９は
オイル温度を検出するためのサーミスタ、１０はオイル
を冷却するためのオイルクーラ、１１はオイルタンク、
１２は前記サーミスタ９で検出した温度が設定値（２８
゜Ｃ）となるように前記オイルクーラ１０を制御する制
御装置である。
直流高電圧電源、３ａ，３ｂは前記直流高電圧電源２に
接続された放電電極、４は光増幅したレーザビームを取
出す部分透過型反射鏡、５は光増幅するための全反射
鏡、６はレーザ管、７は前記部分透過型反射鏡４および
全反射鏡５などの光学部品を保持する保持体、８は前記
保持体７へオイルを供給するためのオイルポンプ、９は
オイル温度を検出するためのサーミスタ、１０はオイル
を冷却するためのオイルクーラ、１１はオイルタンク、
１２は前記サーミスタ９で検出した温度が設定値（２８
゜Ｃ）となるように前記オイルクーラ１０を制御する制
御装置である。
【０００４】次に従来のガスレーザ発振装置の動作につ
いて説明する。まず直流高電圧電源２に接続された放電
電極３ａ，３ｂから放電させる。これにより気体レーザ
媒質１は放電エネルギを得て励起され、その励起された
気体レーザ媒質は、部分透過型反射鏡４と全反射鏡５に
より形成された光共振器で共振状態となり、部分透過型
反射鏡４よりレーザビームが出力される。このレーザビ
ームが切断や溶接などの加工に用いられる。また放電な
どの熱エネルギーが光学部品保持体７に加わることによ
り、部分透過型反射鏡４と全反射鏡５の平行度が保たれ
るように光学部品保持体７にオイルポンプ８によりオイ
ルを光学部品保持体７に流しそのオイル温度をサーミス
タ９で検出し、オイル温度の設定値（２８゜Ｃ）になる
ように制御装置１２によりオイルクーラ１０の制御を行
っている。また、光学部品の保持体７は、図３に示すよ
うに二重管構造となっており、１３は外管、１４は内
管、１５は光学部品を保持するフランジ、１６は一方の
フランジ１５に設けたオイル注入口、１７は他方のフラ
ンジ１５に設けたオイル排出口である。この光学部品の
保持体７に循環するオイルはオイル注入口１６から入
り、外管１３と内管１４の間をと通りオイル排出口１７
より排出されるものである。
いて説明する。まず直流高電圧電源２に接続された放電
電極３ａ，３ｂから放電させる。これにより気体レーザ
媒質１は放電エネルギを得て励起され、その励起された
気体レーザ媒質は、部分透過型反射鏡４と全反射鏡５に
より形成された光共振器で共振状態となり、部分透過型
反射鏡４よりレーザビームが出力される。このレーザビ
ームが切断や溶接などの加工に用いられる。また放電な
どの熱エネルギーが光学部品保持体７に加わることによ
り、部分透過型反射鏡４と全反射鏡５の平行度が保たれ
るように光学部品保持体７にオイルポンプ８によりオイ
ルを光学部品保持体７に流しそのオイル温度をサーミス
タ９で検出し、オイル温度の設定値（２８゜Ｃ）になる
ように制御装置１２によりオイルクーラ１０の制御を行
っている。また、光学部品の保持体７は、図３に示すよ
うに二重管構造となっており、１３は外管、１４は内
管、１５は光学部品を保持するフランジ、１６は一方の
フランジ１５に設けたオイル注入口、１７は他方のフラ
ンジ１５に設けたオイル排出口である。この光学部品の
保持体７に循環するオイルはオイル注入口１６から入
り、外管１３と内管１４の間をと通りオイル排出口１７
より排出されるものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のガスレーザ
発振装置において、図３に示すように、空気だまりをつ
くらないようにオイルは、下方のオイル注入口１６より
注入し上方のオイル排出口１７より排出する構造となっ
ていた。しかしながらこの構造では、図３に示すように
オイルは片流れとなり 二重管の円周上の温度が不均一
となり、二重管は平行に伸縮しないため、、図４の光学
部品である部分透過型反射鏡４と全反射鏡５の平行度に
ずれを生じ、これによりレーザ出力の低下が発生し、レ
ーザ出力が安定するまで時間が長くなるという問題点を
有していた。
発振装置において、図３に示すように、空気だまりをつ
くらないようにオイルは、下方のオイル注入口１６より
注入し上方のオイル排出口１７より排出する構造となっ
ていた。しかしながらこの構造では、図３に示すように
オイルは片流れとなり 二重管の円周上の温度が不均一
となり、二重管は平行に伸縮しないため、、図４の光学
部品である部分透過型反射鏡４と全反射鏡５の平行度に
ずれを生じ、これによりレーザ出力の低下が発生し、レ
ーザ出力が安定するまで時間が長くなるという問題点を
有していた。
【０００６】本発明は前記従来の問題点を解消すること
を目的とする。
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は光学部品を保持する保持体として、一対の
フランジ間に金属の二重管を配設し、前記二重管の外管
と内管の間にオイルを流すようにそれぞれオイル注入口
およびオイル排出口を少なくとも４個対向して設けたも
のである。
に、本発明は光学部品を保持する保持体として、一対の
フランジ間に金属の二重管を配設し、前記二重管の外管
と内管の間にオイルを流すようにそれぞれオイル注入口
およびオイル排出口を少なくとも４個対向して設けたも
のである。
【０００８】
【発明の実施の形態】上記構成により、本発明のガスレ
ーザ発振装置は、光学部品の保持体の一対のフランジに
流れるオイルは、フランジ間の二重管の外管と内管の間
を均一に流れ、二重管の円周上の温度は、均一化され、
部分透過型反射鏡と全反射鏡の平行度は保たれ、環境温
度の変化に対しても、レーザ出力が短時間に安定する作
用を有する。
ーザ発振装置は、光学部品の保持体の一対のフランジに
流れるオイルは、フランジ間の二重管の外管と内管の間
を均一に流れ、二重管の円周上の温度は、均一化され、
部分透過型反射鏡と全反射鏡の平行度は保たれ、環境温
度の変化に対しても、レーザ出力が短時間に安定する作
用を有する。
【０００９】以下、本発明の実施の形態につき、図１お
よび図２に沿って説明する。本実施の形態において、光
学部品を保持する保持体７Ａ以外の構造は図４に示す従
来例と同じであるので、保持体７Ａ以外の説明は省略す
る。
よび図２に沿って説明する。本実施の形態において、光
学部品を保持する保持体７Ａ以外の構造は図４に示す従
来例と同じであるので、保持体７Ａ以外の説明は省略す
る。
【００１０】本実施の形態は、光学部品の保持体７Ａが
光学部品を保持する一対のフランジ１５Ａの間に金属製
の外管１３Ａと内管１４Ａの二重管構造となっており、
一対のフランジ１５Ａ，１５Ａには外管１３Ａと内管１
４Ａの間に連通する少なくとも４個のオイル注入口１６
Ａおよびオイル排出口１７Ａを対向して配設し、二重管
の円周上の温度が均一となるようにオイルを循環させる
ものである。
光学部品を保持する一対のフランジ１５Ａの間に金属製
の外管１３Ａと内管１４Ａの二重管構造となっており、
一対のフランジ１５Ａ，１５Ａには外管１３Ａと内管１
４Ａの間に連通する少なくとも４個のオイル注入口１６
Ａおよびオイル排出口１７Ａを対向して配設し、二重管
の円周上の温度が均一となるようにオイルを循環させる
ものである。
【００１１】したがって、光学部品の保持体７Ａの二重
管の円周上の温度は循環オイルの均一な流れにより均一
化され、図４の部分透過型反射鏡４と全反射鏡５の平行
度が保たれるので、図２に示とおり、従来例に比較して
大幅にレーザ出力が短時間に安定するとういう効果を有
する。
管の円周上の温度は循環オイルの均一な流れにより均一
化され、図４の部分透過型反射鏡４と全反射鏡５の平行
度が保たれるので、図２に示とおり、従来例に比較して
大幅にレーザ出力が短時間に安定するとういう効果を有
する。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、部分透過型反射鏡や全
反射鏡などの光学部品の保持体の二重管の外管と内管の
間を流れる循環オイルが均一な流れとなることにより、
光学部品の保持体の平行度が保たれ、安定したレーザ出
力を得ることができる優れた効果を奏するものである。
反射鏡などの光学部品の保持体の二重管の外管と内管の
間を流れる循環オイルが均一な流れとなることにより、
光学部品の保持体の平行度が保たれ、安定したレーザ出
力を得ることができる優れた効果を奏するものである。
【図１】本発明の実施の形態におけるガスレーザ発振装
置の要部構成図
置の要部構成図
【図２】本発明と従来例のレーザ出力の比較特性図
【図３】従来のガスレーザ発振装置の要部構成図
【図４】ガスレーザ発振装置のオイル循環経路図
７Ａ 光学部品の保持体 １３Ａ 外管 １４Ａ 内管 １５Ａ フランジ １６Ａ オイル注入口 １７Ａ オイル排出口
Claims (1)
- 【請求項１】部分透過型反射鏡や前反射鏡などの光学部
品を保持する保持体に循環オイルを流し、循環オイルの
温度を所定温度に制御するガスレーザ発振装置であっ
て、光学部品の保持体として一対のフランジ間に金属の
２重管を配設し、前記二重管の外管と内管の間に循環オ
イルを流すように、少なくとも４個のオイル注入口およ
び４個のオイル排出口をそれぞれ対向して、一対のフラ
ンジに設けたガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8236335A JPH1084148A (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8236335A JPH1084148A (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1084148A true JPH1084148A (ja) | 1998-03-31 |
Family
ID=16999289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8236335A Pending JPH1084148A (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1084148A (ja) |
-
1996
- 1996-09-06 JP JP8236335A patent/JPH1084148A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040323 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050329 |