JPH0525241U - 可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造 - Google Patents
可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造Info
- Publication number
- JPH0525241U JPH0525241U JP2433391U JP2433391U JPH0525241U JP H0525241 U JPH0525241 U JP H0525241U JP 2433391 U JP2433391 U JP 2433391U JP 2433391 U JP2433391 U JP 2433391U JP H0525241 U JPH0525241 U JP H0525241U
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- JP
- Japan
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- booth
- clean
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 可搬式クリーンブース内に上方から送気され
た清浄空気により該クリーンブース内の空気が巻き上げ
られたり攪拌されたりすることなく、押し出し状に下方
から排気できるようにして上方に向かう塵埃の拡散を防
止できるようにしたものである。 【構成】 清浄空気がブース空間内に吐出される吐出口
に対応する天井パネルに曲面多孔板吹出が取り付けら
れ、該曲面多孔板吹出の内部に案内羽根が該吐出口に対
して等間隔平行に取り付けられると共に、該各案内羽根
により形成される空気の流出方向が曲面に対して略直角
になるように配置されて構成される。 【効果】 濾過処理されてブース空間内に導入された清
浄空気は乱流を生ぜず、従って、塵埃や粉塵等を巻き上
げることがないので高度の清浄度が確保できる。
た清浄空気により該クリーンブース内の空気が巻き上げ
られたり攪拌されたりすることなく、押し出し状に下方
から排気できるようにして上方に向かう塵埃の拡散を防
止できるようにしたものである。 【構成】 清浄空気がブース空間内に吐出される吐出口
に対応する天井パネルに曲面多孔板吹出が取り付けら
れ、該曲面多孔板吹出の内部に案内羽根が該吐出口に対
して等間隔平行に取り付けられると共に、該各案内羽根
により形成される空気の流出方向が曲面に対して略直角
になるように配置されて構成される。 【効果】 濾過処理されてブース空間内に導入された清
浄空気は乱流を生ぜず、従って、塵埃や粉塵等を巻き上
げることがないので高度の清浄度が確保できる。
Description
【0001】
本考案は可搬式クリーンブース内に濾過処理した清浄空気を一方から巻き上げ ることなく送気できて他方から押出状に排気できるようにした可搬式クリーンブ ースにおける曲面多孔板吹出構造に関するものである。
【0002】
可搬式クリーンブースは食品工業をはじめとするバイオクリーンルームや半導 体工業をはじめとするインダストリアルクリーンルームに広く用いられ、工場内 の必要なエリアだけを選択的に清浄空間とすることができ、工場全体をクリーン にしないで済むので、経済性、省エネルギー性、省力性から優れた利点がある。
【0003】 従来、可搬式クリーンブースの清浄空気の吹出口は平板形の多孔板がブース天 井面に取り付けられて使用されているが、その吹出口からクリーンブース内に吹 出された清浄空気によりクリーンブース内の塵埃を多量に含む空気は対流や渦流 等を生起して巻き上げられたり攪拌されたりして塵埃を拡散して清浄な空間を確 保することが極めて困難であった。通常の場合、送風量150回/時、ブース内 発塵ゼロ(無負荷)の条件下で、0.5μ径の粉塵が約10,000個(クラス 10000)程度の性能であり、清浄度に劣る欠点があった。
【0004】
本考案は可搬式クリーンブース内に上方から送気された清浄空気により該クリ ーンブース内の多量の塵埃を含む空気が巻き上げられたり攪拌されたりすること なく、押出状に下方から排気できるようにして上方に向かう塵埃の拡散を防止し てブース内の清浄度を確保できる可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出 構造を得ようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】 本考案は上記の如き観点に鑑みてなされたもので、可搬式クリーンブースの天 井パネルの下面に曲面多孔板吹出を取り付け、清浄空気を該ブースの空間内に吐 出し、該曲面多孔板吹出の内部に案内羽根が取り付けられ、該案内羽根の流入側 の羽根は等間隔平行に取り付けられると共に、該各案内羽根により形成される空 気の流出方向が曲面に対して略直角になるように配置されている可搬式クリーン ブースにおける曲面多孔板吹出構造を提供しようとするものである。
【0006】
以下、本考案一実施例の構成を図面を参照しながら作用と共に説明する。 クリーンブース1を構成する4本の脚フレーム2には帯電防止ビニールカーテ ン3が取り付けられ、その下端部に鎖の重り4が付着されて該ブース1内の風圧 に適当に対抗して壁面を構成するようになされている。該ブース1の上部に天井 パネル5が張設され、それと前記カーテン3とによりブース空間6が形成されて いる。 該天井パネル5の上には吐出チャンバー7とそれに隣接させたファンケーシン グ8が取り付けられ、該ファンケーシング8にはその側面に開穿された吸込口9 と該吸込口9部に張設されたプレフィルター10、内部に配置されたファン11 とそのファンモーター12が配設され、前記吐出チャンバー7の下面に穿設され た吐出口13にはメインフィルター(高性能フィルター)14が敷設され、前記 ファンモーター12の作動によりファン11が回転駆動するとファンケーシング 8の吸込口9から外部空気が吸い込まれてプレフィルター10を通る過程で粗濾 過されて吐出チャンバー7内に入気し、該吐出チャンバー7を経由してメインフ ィルター14を通過する過程で精濾過されて吐出口13からブース空間6内に清 浄空気が吐出される。 該吐出口13の下側に位置する天井パネル5には曲面多孔板吹出15が取り付 けられ、前記曲面多孔板吹出15の内部には案内羽根16が吐出チャンバー7の 吐出口13に対して等間隔平行に取り付けられると共に、該各案内羽根16によ り形成される空気の流出方向が曲面17に対して略直角になるように配置されて いる。それにより上記吐出口13から吐出された清浄空気は曲面多孔板吹出15 の案内羽根16間に等量の清浄空気が導入され、且つその流出方向が曲面17に 対して略直角になるようになされているから、該清浄空気は曲面多孔板吹出15 の曲面17を一端部としてブース空間6に放射状に等速に流出する。 従って、曲面多孔板吹出15から流出した清浄空気はブース空間6に向かって 整流となって平行移動的即ちトコロテン式に押し出されて排気される。 そして、前記天井パネル5の下面にはブース空間6を照明する蛍光灯18が取 り付けられ、脚フレーム2の所要箇所には上記ファンモーター12用のファンス イッチ19、上記蛍光灯用の照明スイッチ20、その他、コンセント21が付設 され、また、その下部にプラグ付電源コード22が取り付けられている。前記脚 フレーム2の下端にはストッパー付キャスター23が設けられて、ブース1が可 搬式に構成されている。
【0007】
本考案は以上の説明により明らかなように、曲面多孔板吹出から流出した清浄 空気はブース空間に向かって整流となって放射状に流動して押し出されて排気さ れるものであるから、濾過処理されてブース空間内に導入された清浄空気は乱流 を生ぜず、従って、塵埃や粉塵等を巻き上げることがないので、高度の清浄度が 確保できるものである。
【0008】 上記実施例で、送風量150回/時、ブース内発塵ゼロ(無負荷)の条件で、 0.5μ径の粉塵が約10個(クラス10)程度の性能が確認された。
【図1】本考案一実施例の構成を示す正面図である。
【図2】本考案一実施例の構成を示す側面図である。
【図3】本考案一実施例の構成を示す平面図である。
【図4】本考案一実施例の構成の要部を示す断面図であ
る。
る。
1 クリーンブース 5 天井パネル 6 ブース空間 13 吐出口 15 曲面多孔板吹出 16 案内羽根 17 曲面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 寺井 弘孝 東京都中央区日本橋本石町4丁目4番20号 三井第二別館 (72)考案者 立田 敏明 東京都中央区日本橋本石町4丁目4番20号 三井第二別館 (72)考案者 久保 一朗 東京都中央区日本橋本石町4丁目4番20号 三井第二別館
Claims (1)
- 【請求項1】 可搬式クリーンブース1の天井パネル5
の下面に曲面多孔板吹出15を取り付け、清浄空気を該
ブース1の空間6内に吐出し、該曲面多孔板吹出15の
内部に案内羽根16が取り付けられ、該案内羽根16の
流入側の羽根は等間隔平行に取り付けられると共に、該
各案内羽根16により形成される空気の流出方向が曲面
17に対して略直角になるように配置されていることを
特徴とする可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹
出構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2433391U JPH0728511Y2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2433391U JPH0728511Y2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0525241U true JPH0525241U (ja) | 1993-04-02 |
| JPH0728511Y2 JPH0728511Y2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=12135258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2433391U Expired - Lifetime JPH0728511Y2 (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 可搬式クリーンブースにおける曲面多孔板吹出構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0728511Y2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002195636A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | クリーン作業モジュール及びクリーントンネル |
| JP2017087160A (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-25 | トリニティ工業株式会社 | 塗装ブース |
| JP2021143083A (ja) * | 2020-03-10 | 2021-09-24 | 信越化学工業株式会社 | ベースプレートの汚染防止方法 |
| JP2021167722A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
| JP2022038089A (ja) * | 2020-08-26 | 2022-03-10 | 日本無機株式会社 | ブース組立ユニット |
| TWI896842B (zh) * | 2021-07-15 | 2025-09-11 | 日商西部技研股份有限公司 | 潔淨棚 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8053159B2 (en) | 2003-11-18 | 2011-11-08 | Honeywell International Inc. | Antireflective coatings for via fill and photolithography applications and methods of preparation thereof |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP2433391U patent/JPH0728511Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002195636A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | クリーン作業モジュール及びクリーントンネル |
| JP2017087160A (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-25 | トリニティ工業株式会社 | 塗装ブース |
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| US11505862B2 (en) | 2020-03-10 | 2022-11-22 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for preventing contamination of base plate |
| JP2022038089A (ja) * | 2020-08-26 | 2022-03-10 | 日本無機株式会社 | ブース組立ユニット |
| JP2021167722A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
| TWI896842B (zh) * | 2021-07-15 | 2025-09-11 | 日商西部技研股份有限公司 | 潔淨棚 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0728511Y2 (ja) | 1995-06-28 |
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