JPH0728716Y2 - 荷電粒子加速装置 - Google Patents
荷電粒子加速装置Info
- Publication number
- JPH0728716Y2 JPH0728716Y2 JP5801288U JP5801288U JPH0728716Y2 JP H0728716 Y2 JPH0728716 Y2 JP H0728716Y2 JP 5801288 U JP5801288 U JP 5801288U JP 5801288 U JP5801288 U JP 5801288U JP H0728716 Y2 JPH0728716 Y2 JP H0728716Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- accelerating
- charged particle
- particle accelerator
- metal pipe
- ground
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、例えばイオン注入装置、電子線照射装置等
に用いられるものであって、イオンや電子等の荷電粒子
を加速する荷電粒子加速装置に関する。
に用いられるものであって、イオンや電子等の荷電粒子
を加速する荷電粒子加速装置に関する。
この種の荷電粒子加速装置の従来例を第２図に示す。
この装置は、絶縁筒６、加速電極８、電位固定電極10お
よび分圧抵抗12等によって構成された加速管４と、その
両端部間に、配線20a、20b等を介して、例えば数十〜数
百KV程度の直流高電圧を印加する加速電源14とを備えて
おり、例えば高電位部16aで発生されたイオン等の荷電
粒子２をこの加速管４内を通して加速して大地電位部16
bへ導くようにしている。
よび分圧抵抗12等によって構成された加速管４と、その
両端部間に、配線20a、20b等を介して、例えば数十〜数
百KV程度の直流高電圧を印加する加速電源14とを備えて
おり、例えば高電位部16aで発生されたイオン等の荷電
粒子２をこの加速管４内を通して加速して大地電位部16
bへ導くようにしている。
尚、荷電粒子２の経路は真空に保つ必要があるため、加
速管４と高電位部16aおよび大地電位部16bとの間は、通
常はこの例のように配管（一般に金属製）18a、18bによ
ってそれぞれ接続されている。
速管４と高電位部16aおよび大地電位部16bとの間は、通
常はこの例のように配管（一般に金属製）18a、18bによ
ってそれぞれ接続されている。
上記のような加速管４においては、荷電粒子２がその構
造物に当たる等の理由によって、放電が発生する場合が
ある。
造物に当たる等の理由によって、放電が発生する場合が
ある。
例えば、加速電極８と配管18b間で放電32が発生する場
合があり、そのときはそれによるサージ電流ｉが加速電
源14のアース側14eに向かって流れるが、その経路は従
来は配線20bを通るもの以外にもあった。
合があり、そのときはそれによるサージ電流ｉが加速電
源14のアース側14eに向かって流れるが、その経路は従
来は配線20bを通るもの以外にもあった。
即ち、大地電位部16bには通常は制御ユニット24のよう
な制御系が搭載されているが、配管18bは、図中に符号2
2で示すように、大地電位部16bにおける架台等の構造物
を通してこの制御ユニット24のシャーシやアース等に電
気的に接続されており、しかもこの制御ユニット24のア
ース端子26は、アース線28bによってアース側の基準電
位点、即ちこの例では加速電源14のアース側14eに接続
されている。
な制御系が搭載されているが、配管18bは、図中に符号2
2で示すように、大地電位部16bにおける架台等の構造物
を通してこの制御ユニット24のシャーシやアース等に電
気的に接続されており、しかもこの制御ユニット24のア
ース端子26は、アース線28bによってアース側の基準電
位点、即ちこの例では加速電源14のアース側14eに接続
されている。
従って、上記サージ電流ｉの経路は、配線20bを通るも
の以外に、構造物による電気的接続22およびアース線28
bを通るものがあり、サージ電流ｉがこのような制御系
のアースラインを流れると、その各部間で電位差が発生
し、それによって制御ユニット24を含む制御系に悪影響
を与える、例えば誤動作や故障を起こさせるという問題
があった。
の以外に、構造物による電気的接続22およびアース線28
bを通るものがあり、サージ電流ｉがこのような制御系
のアースラインを流れると、その各部間で電位差が発生
し、それによって制御ユニット24を含む制御系に悪影響
を与える、例えば誤動作や故障を起こさせるという問題
があった。
このような問題は、高電位部16aに制御系を搭載し、そ
れをアース線28a（但しこの線は大地に接地されている
わけではない。以下同じ）でプラス側の基準電位点、即
ちこの例では加速電源14のプラス側14pに接続している
場合も同様に起こり得る。
れをアース線28a（但しこの線は大地に接地されている
わけではない。以下同じ）でプラス側の基準電位点、即
ちこの例では加速電源14のプラス側14pに接続している
場合も同様に起こり得る。
そこでこの考案は、加速管において放電が発生しても、
そのサージ電流が制御系のアースライン等の他の回路に
流れないようにした荷電粒子加速装置を提供することを
目的とする。
そのサージ電流が制御系のアースライン等の他の回路に
流れないようにした荷電粒子加速装置を提供することを
目的とする。
この考案の荷電粒子加速装置は、前述したような加速管
の少なくとも一方端部と、それと同電位にある構造物と
の間に、当該構造物から電気的に絶縁された金属配管を
挿入し、かつこの金属配管を、前述したような加速電源
のそれを挿入した極性側に専用の配線で接続したことを
特徴とする。
の少なくとも一方端部と、それと同電位にある構造物と
の間に、当該構造物から電気的に絶縁された金属配管を
挿入し、かつこの金属配管を、前述したような加速電源
のそれを挿入した極性側に専用の配線で接続したことを
特徴とする。
上記構造によれば、加速管において放電が発生すると、
そのサージ電流はもっぱら上記金属配管および専用の配
線を通して加速電源に流れ、制御系のアースライン等の
他の回路には流れない。従って、上記サージ電流が制御
系等の他の回路へ悪影響を及ぼすことが無くなる。
そのサージ電流はもっぱら上記金属配管および専用の配
線を通して加速電源に流れ、制御系のアースライン等の
他の回路には流れない。従って、上記サージ電流が制御
系等の他の回路へ悪影響を及ぼすことが無くなる。
第１図は、この考案の一実施例に係る荷電粒子加速装置
を示す概略図である。第２図の例と同一または相当する
部分には同一符号を付し、以下においては従来例との相
違点を主に説明する。
を示す概略図である。第２図の例と同一または相当する
部分には同一符号を付し、以下においては従来例との相
違点を主に説明する。
この実施例においては、前述したような加速管４の両端
部と、それらのそれぞれ同電位にある構造物の一つであ
る前述したような配管18aおよび18bとの間に、それらか
ら絶縁リング34aおよび34bによってそれぞれ電気的に絶
縁して金属配管36aおよび36bをそれぞれ挿入している。
部と、それらのそれぞれ同電位にある構造物の一つであ
る前述したような配管18aおよび18bとの間に、それらか
ら絶縁リング34aおよび34bによってそれぞれ電気的に絶
縁して金属配管36aおよび36bをそれぞれ挿入している。
そして、両金属配管36aおよび36bを、専用の配線38aお
よび38bによって、プラス側の基準電位点およびアース
側の基準電位点、即ち加速電源14のプラス側14pおよび
アース側14eにそれぞれ接続している。
よび38bによって、プラス側の基準電位点およびアース
側の基準電位点、即ち加速電源14のプラス側14pおよび
アース側14eにそれぞれ接続している。
上記構成によれば、加速管４において放電32が発生する
と、そのサージ電流ｉは、例えばアース側に注目する
と、金属配管36bと配管18b間が絶縁リング34bによって
絶縁されていることもあって、もっぱら金属配管36bお
よび専用の配線38bを通して加速電源14のアース側14eに
流れ、従来のように制御系の構造物による電気的接続22
およびアース線28b側の経路には流れない。
と、そのサージ電流ｉは、例えばアース側に注目する
と、金属配管36bと配管18b間が絶縁リング34bによって
絶縁されていることもあって、もっぱら金属配管36bお
よび専用の配線38bを通して加速電源14のアース側14eに
流れ、従来のように制御系の構造物による電気的接続22
およびアース線28b側の経路には流れない。
その結果、制御ユニット24を含む制御系は、上記放電に
よって全体の電位が上下することはあっても、そのアー
スラインにサージ電流ｉが流れないため、アースライン
上で電位差が生じることは無く、従ってサージ電流ｉに
よって制御系が悪影響を受けて誤動作や故障等を起こす
というようなことが無くなる。
よって全体の電位が上下することはあっても、そのアー
スラインにサージ電流ｉが流れないため、アースライン
上で電位差が生じることは無く、従ってサージ電流ｉに
よって制御系が悪影響を受けて誤動作や故障等を起こす
というようなことが無くなる。
上記のようなことは、プラス側についても同様であり、
サージ電流ｉがもっぱら専用の配線38aを流れ、アース
線28a側には流れないので、高電位部16aに搭載された制
御系が悪影響を受けることも無くなる。
サージ電流ｉがもっぱら専用の配線38aを流れ、アース
線28a側には流れないので、高電位部16aに搭載された制
御系が悪影響を受けることも無くなる。
また、上記のようにすると、配線38aおよび38bの一方ま
たは両方に直列にインダクタンスや抵抗を挿入してイン
ピーダンスを高めることによって、サージ電流ｉを制限
することもできる。ちなみに従来例では、配線20a、20b
の経路のインピーダンスを増すと、サージ電流ｉが制御
系のアースラインに多く流れてしまい、制御系に与える
悪影響がより大きくなってしまう。
たは両方に直列にインダクタンスや抵抗を挿入してイン
ピーダンスを高めることによって、サージ電流ｉを制限
することもできる。ちなみに従来例では、配線20a、20b
の経路のインピーダンスを増すと、サージ電流ｉが制御
系のアースラインに多く流れてしまい、制御系に与える
悪影響がより大きくなってしまう。
尚、配管18a、18bを用いない場合は、金属配管36a、36b
を、絶縁リング34a、34bを介して、高電位部16aおよび
大地電位部16bの所要の構造物に接続すれば良い。
を、絶縁リング34a、34bを介して、高電位部16aおよび
大地電位部16bの所要の構造物に接続すれば良い。
また、高電位部16a側あるいは大地電位部16b側に上記の
ようなサージ電流ｉによって特にダメージを受けるよう
な制御系等がなければ、加速管４のそちら側は必ずしも
この実施例のようにせずに従来例のような構造としても
良い。
ようなサージ電流ｉによって特にダメージを受けるよう
な制御系等がなければ、加速管４のそちら側は必ずしも
この実施例のようにせずに従来例のような構造としても
良い。
また、上記例はいずれも加速電極８が１段の加速管４を
用いた場合を例示したが、加速電極８が多段の加速管を
用いる場合も同様である。
用いた場合を例示したが、加速電極８が多段の加速管を
用いる場合も同様である。
以上のようにこの考案によれば、加速管において放電が
発生しても、そのサージ電流はもっぱら前述した金属配
管および専用の配線を流れ、制御系のアースライン等の
他の回路には流れなくなる。従って、サージ電流が制御
系等の他の回路へ悪影響を及ぼすことが無くなる。
発生しても、そのサージ電流はもっぱら前述した金属配
管および専用の配線を流れ、制御系のアースライン等の
他の回路には流れなくなる。従って、サージ電流が制御
系等の他の回路へ悪影響を及ぼすことが無くなる。
第１図は、この考案の一実施例に係る荷電粒子加速装置
を示す概略図である。第２図は、従来の荷電粒子加速装
置の一例を示す概略図である。 ２…荷電粒子、４…加速管、14…加速電源、18a,18b…
配管、34a,34b…絶縁リング、36a,36b…金属配管、38a,
38b…専用の配線。
を示す概略図である。第２図は、従来の荷電粒子加速装
置の一例を示す概略図である。 ２…荷電粒子、４…加速管、14…加速電源、18a,18b…
配管、34a,34b…絶縁リング、36a,36b…金属配管、38a,
38b…専用の配線。
Claims (1)
- 【請求項１】荷電粒子を加速する加速管と、この加速管
に直流電圧を印加する加速電源とを備える荷電粒子加速
装置において、前記加速管の少なくとも一方端部と、そ
れと同電位にある構造物との間に、当該構造物から電気
的に絶縁された金属配管を挿入し、かつこの金属配管
を、前記加速電源のそれを挿入した極性側に専用の配線
で接続したことを特徴とする荷電粒子加速装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5801288U JPH0728716Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 荷電粒子加速装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5801288U JPH0728716Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 荷電粒子加速装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01160699U JPH01160699U (ja) | 1989-11-08 |
| JPH0728716Y2 true JPH0728716Y2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=31283847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5801288U Expired - Lifetime JPH0728716Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 荷電粒子加速装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0728716Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP5801288U patent/JPH0728716Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01160699U (ja) | 1989-11-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4391614A (en) | Method and apparatus for preventing lubricant flow from a vacuum source to a vacuum chamber | |
| JPH10144499A (ja) | 粒子加速器 | |
| ES455359A1 (es) | Un sistema mejorado para ionizar aire que pasa a traves de un conducto metalico. | |
| JPH0728716Y2 (ja) | 荷電粒子加速装置 | |
| JPH01149960A (ja) | イオン注入装置 | |
| US3808498A (en) | Electron beam generating source | |
| JP2988764B2 (ja) | 直流電圧型加速器の加速管 | |
| JPH076608Y2 (ja) | 真空排気装置 | |
| JP3357553B2 (ja) | 高電圧発生ｆｅｇタンク | |
| JP2757963B2 (ja) | イオン源加速電極 | |
| JP3109245B2 (ja) | タンデム型イオン加速器 | |
| US6049076A (en) | Ion mobility spectrometer | |
| JPS6340017B2 (ja) | ||
| JP3349288B2 (ja) | 高電圧大容量電源のサージ抑制装置 | |
| US1272621A (en) | Shielding system for vapor-converters. | |
| JPS6328517Y2 (ja) | ||
| US3912930A (en) | Electron beam focusing system | |
| JPH03133040A (ja) | 高電圧電子銃装置 | |
| JP3096167B2 (ja) | イオン注入装置 | |
| JPH0228227B2 (ja) | ||
| JPH01239746A (ja) | イオン注入装置における走査用電源 | |
| JPH0567445A (ja) | 広範囲加速電圧イオン源用加速装置 | |
| US2913617A (en) | Electron beam discharge device | |
| JP3376899B2 (ja) | 真空装置における電気絶縁構造 | |
| JPH0524159Y2 (ja) |