JPH07288070A - 真空バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空バルブにおける絶縁容器と端板とを封着
する封着部の封着材を容易にかつ安価に製作できるとと
もに、機械的強度の高い小型の真空バルブを得ること。 【構成】 封着部の封着材を線材または帯板材を環状に
形成して、その両端を溶接またはろう付け加工し、この
封着材を用いて筒状の絶縁容器の両端部に端板をろう付
けにより固着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は接離可能な接点を有する
真空バルブの構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１０は、例えば実公平２−４５９５１
号公報に開示された従来の真空バルブを示す断面図であ
る。図１０において、絶縁容器２１は円筒形のセラミッ
ク等により構成されており、この絶縁容器２１の両端に
は端板２４、２５が封着部２２、２３を介してそれぞれ
取付けられている。絶縁容器２１の内部には固定電極棒
２８に接続された固定電極２６と可動電極棒２９に接続
された可動電極２７が対向して配設されている。固定電
極棒２８は一方の端板２４に固定されており、他方の端
板２５は可動電極棒２９を摺動可能に保持している。端
板２５と可動電極棒２９との間にはベローズ３０が配設
されており、可動電極棒２９は真空バルブ内部の気密を
保ちながら、接離動作できるように構成されている。ま
た、この真空バルブの内部にはシールド３１および３２
が設けられており、絶縁容器２１の内壁面およびベロー
ズ３０がアークにより発生する蒸気で汚染されるのを防
止されている。

【０００３】図１１は、図１０に示した従来の真空バル
ブにおける封着部２２の近傍を示した断面図である。絶
縁容器２１の端部にはＭｏ−Ｍｎからなる約２０μｍ厚
のメタライズ層２１ａが形成されており、絶縁容器２１
と封着部２２が銀ろう材により気密に接合されるように
構成されている。また、封着部２２と端板２４とはろう
付けまたは溶接により接合され封着されている。一方、
可動電極棒２９近傍のの封着部２３も、前記封着部２２
と同様に、絶縁容器２１および端板２５に気密に接合さ
れている。

【０００４】一般的に真空バルブは、短絡電流が大きい
程、その際に発生する電磁力が大きくなる。また、電圧
が高い程開閉速度を速くする必要があり、端板や封着部
には高強度のものが必要とされる。封着部の材料には、
低価格である銅を用いると、ろう付け時の熱により熱変
化して、強度が弱くなるという欠点を有している。この
ために、従来の真空バルブにおいて端板の材料として
は、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｃｕ−Ｎ
ｉ合金等の高強度で高価格の材料が用いられていた。

【０００５】従来の真空バルブにおいて、円筒状の絶縁
容器２１と円板状の端板２４、２５とを同心状に正確に
所定の位置に取り付けるためには、何らかの位置決め手
段が必要であった。このために、従来の真空バルブは、
組立時において絶縁容器２１の外側に別体の治具等の特
別の位置決め手段を設けたり、真空バルブの構成部品と
して位置決め手段を特別に設けたものがあった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空バルブは以
上のように構成されており、封着部の封着材は板材料か
ら所望の形状に切断して、プレス加工により製作されて
いるので、高価格の材料にもかかわらず、不使用の部分
が発生し、材料に無駄があった。このために、従来の真
空バルブは高価になるという問題があった。

【０００７】また、絶縁容器の端部においてメタライズ
層が形成されているために、メタライズ層の両端近傍に
おいて電界の集中がおこり、耐電圧性能が低下するとい
う問題があった。

【０００８】さらに、絶縁容器の外側に位置決め手段を
用いて端板等を絶縁容器に封着する場合には、別に組み
立てるための特別の装置が必要となるとともに、組立が
複雑になるという問題があった。さらに、端板と絶縁容
器とをろう付けする場合、それぞれの熱膨張係数の違い
から、ろう付け時に高温に晒されたとき、端板と絶縁容
器が直径方向にずれが生じ、端板と絶縁容器とを正確に
配設することができなかった。一方、真空バルブの構成
部品による内側からの位置決め手段を端板に設けた場
合、端板と絶縁容器との熱膨張係数の違いから、ろう付
け時に絶縁容器が破壊されるという問題があった。例え
ば、端板がステンレス鋼製である場合には、その熱膨張
係数は約２０×１０^-6／℃であり、絶縁容器がセラミッ
クである場合には、その熱膨張係数は約８×１０^-6／℃
である。このために、高温（８００℃）のろう付け加工
では高強度のステンレス鋼鋼からなる端板とセラミック
の絶縁容器との間で、それぞれの熱膨張係数の違いから
絶縁容器の内径側を圧迫するために、セラミックの絶縁
容器を破壊するという問題があった。

【０００９】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、高価な封着部の封着材の使用量
を削減して、製造費を低く抑えることができるととも
に、高い機械的強度を有する信頼性の高い真空バルブを
得ることを目的とする。

【００１０】また、本発明は、絶縁容器の端部に形成さ
れたメタライズ層近傍において、電界の集中を緩和し、
耐電圧性能の高い真空バルブを得ることを目的とする。

【００１１】さらに、本発明は、端板を絶縁容器の所定
の位置に正確に取り付けることができるとともに、ろう
付け時に高温に晒されたときにも、絶縁容器を破壊する
ことのない、信頼性の高い真空バルブを得ることを目的
とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に係る真空バルブ
は、一対の接離可能な電極と、前記電極を収納する実質
的に筒状の絶縁容器と、前記絶縁容器の両端を閉塞する
ように配設された端板と、前記端板と前記絶縁容器を封
着し、線材または帯板材を環状に形成した封着材を有す
る封着部とを具備する。

【００１３】本発明に係る真空バルブは、一対の接離可
能な電極と、前記電極を収納する実質的に筒状の絶縁容
器と、前記絶縁容器の両端縁部に形成されたメタライズ
層、前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設され、前
記メタライズ層に対向する部位に環状の溝を形成した端
板と、線材または帯板材を環状に形成した封着材を有
し、前記端板と前記絶縁容器とを封着したとき前記端板
に形成された溝内部に少なくとも一部が配置される封着
部とを具備する。

【００１４】本発明に係る真空バルブは、一対の接離可
能な電極と、前記電極を収納する実質的に筒状の絶縁容
器と、前記絶縁容器の両端縁部に形成されたメタライズ
層と、前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設され、
前記メタライズ層に対向する部位に環状の溝を形成し、
前記絶縁容器に封着したとき当該溝内部に前記絶縁容器
の縁部に形成された前記メタライズ層を配置する端板
と、前記端板と前記絶縁容器を封着し、線材または帯板
材を環状に形成した封着材を有する封着部とを具備す
る。

【００１５】本発明に係る真空バルブは、一対の接離可
能な電極と、前記電極を収納する実質的に筒状の絶縁容
器と、前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設され、
前記絶縁容器の両端の内壁面と接する位置に屈曲可能な
突出部を有する端板と、前記端板と前記絶縁容器とを封
着し、線材または帯板材を環状に形成した封着材を有す
る封着部とを具備する。

【００１６】本発明に係る真空バルブは、一対の接離可
能な電極と、前記電極を収納する実質的に円筒状の絶縁
容器と、前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設さ
れ、前記絶縁容器の両端の内壁面と接する同一円周上の
位置に屈曲可能な少なくとも３箇所の突出部を有する端
板、前記端板と前記絶縁容器とを封着し、線材または帯
板材を環状に形成した封着材を有する封着部とを具備す
る。

【００１７】本発明に係る真空バルブは、また前記封着
材の線材または帯板材の断面形状が円形、楕円形または
矩形である封着部を有する。

【００１８】本発明に係る真空バルブは、さらに前記封
着材の材質がＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金ま
たはＣｕ−Ｎｉ合金である封着部を有する。

【００１９】

【作用】本発明に係る真空バルブにおいて、封着部の封
着材は、線材または帯板材を環状に形成して、その両端
をろう付けまたは溶接したものであり、この封着材は実
質的筒状の絶縁容器の端部と端板との間に配設されてろ
う付けにより、それぞれに固着されて、絶縁容器内部を
密封する。

【００２０】また、本発明に係る真空バルブにおいて
は、端板に形成された環状の溝の内部に封着部の少なく
ともその一部が配設されて、絶縁容器端部に形成された
メタライズ層近傍に同電位の端板が配設され、メタライ
ズ層近傍における電界集中は緩和されている。

【００２１】さらに、本発明に係る真空バルブにおいて
は、端板に形成された環状の溝の内部に絶縁容器の縁部
が配置され、絶縁容器縁部に形成されたメタライズ層を
端板により取り囲み、メタライズ層近傍における電界集
中は緩和されている。

【００２２】また、本発明に係る真空バルブにおいて
は、絶縁容器の縁部を被うように形成された端板の溝の
内部に、位置決め用の薄い突出部が絶縁容器の縁部内壁
と接する位置に形成されており、端板を絶縁容器の所定
の位置に固着するとき、当該突出部を絶縁容器の縁部に
当接させて封着部をろう付け加工する。

【００２３】さらに、本発明に係る真空バルブにおいて
は、絶縁容器の縁部を被うように形成された端板の溝の
内部に、少なくとも３つの変形可能な位置決め用の突出
部が絶縁容器の縁部内壁と接する位置に形成されてお
り、端板を絶縁容器の所定の位置に固着するとき、当該
突出部を絶縁容器の縁部内壁に当接させて封着部をろう
付け加工する。

【００２４】また、本発明に係る真空バルブにおいて
は、断面形状が円形、楕円形または矩形である線材また
は帯板材を環状に形成して、その両端縁部が固着され、
絶縁容器と端板とを封着する。

【００２５】さらに、本発明に係る真空バルブにおいて
は、封着材の材質をＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ
合金またはＣｕ−Ｎｉ合金を用いて、セラミック製の絶
縁容器と金属製の端板とを封着する。

【００２６】

【実施例】

実施例１ 以下、本発明の真空バルブの実施例１を図を参照して説
明する。図１は実施例１の真空バルブを示す断面図であ
る。図１において、絶縁容器１は、例えば円筒形のアル
ミナセラミック等のセラミックにより構成されており、
この円筒形の絶縁容器１の両端にはステンレス鋼等の金
属により形成された端板４、５が封着部２、３を介して
それぞれ取り付けられている。このために、絶縁容器１
内部の空間は密封状態となっている。絶縁容器１内には
金属の固定電極棒８に接続された固定電極６と金属の可
動電極棒９に接続された可動電極７が対向して配設され
ている。固定電極棒８は一方の端板４に固定されてお
り、他方の端板５は可動電極棒９を摺動可能に保持して
いる。端板５と可動電極棒９との間にはベローズ１０が
配設されており、可動電極棒９は真空バルブ内部の気密
を保ちながら、接離動作できるように構成されている。
また、この真空バルブの内部にはシールド１１および１
２が設けられており、絶縁容器１の内壁面およびベロー
ズ１０がアークにより発生する蒸気で汚染されるのを防
止している。

【００２７】前記端板４、５と絶縁容器１とを封着する
封着部２の封着材は、アルミナセラミックの熱膨張係数
に近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＣ
ｕ−Ｎｉ合金の線材が用いられている。このような合金
を封着材として使用することにより、アルミナセラミッ
クで形成された絶縁容器１と封着部２との接合部は、ろ
う付け組立時の熱応力による破壊が防止されている。実
施例１の封着材としては、例えば、２ｍｍの直径のコバ
ール（Ｆｅ：５３％，Ｎｉ：２９％，Ｃｏ：１８％の合
金）の線材を所定長さに切断して環状に形成し、その切
断端部を自動溶接機等により、溶接または銀ろう等によ
るろう付けにより接合したものを用いている。図２は、
図１に示した真空バルブにおける封着部２近傍を示した
断面図である。図２に示すように、アルミナセラミック
の絶縁容器１とステンレス鋼等の金属の封着部２とを銀
ろう等によるろう付けにより気密に接合するために、絶
縁容器１の端部にはメタライズ層であるＭｏ−Ｍｎ等か
らなる約２０μｍ厚のメタライズ層２ａが形成されてい
る。また、端板４、５には封着部２を溶接またはろう付
けする位置に段部が形成されており、封着部２の位置決
めを容易なものとしている。

【００２８】前述のように、封着部２の封着材は、直線
状の線材を円環状に形成して、その両端部を溶接または
ろう付け加工して、接合したものである。このように加
工された環状の線材は絶縁容器１の両端縁部に形成され
たメタライズ層２ａと端板４、５との間に配設され、銀
ろう材により固着されて、絶縁容器１と端板４、５を封
着している。この銀ろう等によるろう付け加工により、
環状の線材の接合部分は銀ろう材により覆われるので、
この接合部分の気密性は十分に確保されている。このよ
うに、封着部２の封着材として細い線材を使用している
ので、真空バルブの軸方向（図１における上下方向）の
寸法を小さくすることができる。端板４、５はステンレ
ス鋼等の金属材料の厚い板材（例えば、５ｍｍ厚の板
材）を用いて製作されているために、本実施例の真空バ
ルブは機械的開閉時の衝撃力や短絡遮断時の電磁力に対
して、十分な強度を有するように構成することができ
る。

【００２９】なお、上記実施例１では、封着部２の材料
として線材を用いたが、図３に示すように、上記実施例
１における封着材と同じ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ
−Ｎｉ合金またはＣｕ−Ｎｉ合金の帯板材を環状に形成
して用いて封着部３２を構成しても、上記実施例１と同
様の効果を奏する。図３の（ａ）は帯板材を環状に形成
したところを示す斜視図であり、図３の（ｂ）は封着部
３２の近傍を示す断面図である。図３の（ａ）に示すよ
うに、封着材３２０は、直線状の帯板材を所定長さに切
断して環状に形成し、その切断端部３２０ａを自動溶接
機等により、溶接または銀ろう等によるろう付けにより
接合して形成されている。第３図の（ｂ）に示すよう
に、前記封着材３２０を用いた封着部３２は、端板４と
絶縁容器１の縁部に形成されたメタライズ層２ａとの間
に配設され、銀ろう等によるろう付け加工されている。

【００３０】図４および図５は封着部４２および５２の
封着材として、その断面形状が楕円形状および正方形状
の線材や帯板材等を用いたものを示した他の実施例であ
り、それぞれの封着部４２、５２近傍を示す断面図であ
る。これらの実施例の場合においても、上記実施例１と
同様の効果を有しており、封着部４２、５２の加工に材
料の無駄がなく、かつ容易に封着部４２、５２が形成さ
れる。

【００３１】実施例２ 図６は本発明の真空バルブの実施例２を示す断面図であ
る。図６において、前述の実施例１に対応する構造の部
分は、図１の真空バルブと同じ材料によって構成され、
同様の機能および効果を有するので同じ符号を付してそ
の説明を省略し、実施例１における説明を準用する。図
６において、ステンレス鋼等の金属により形成された端
板３４および３５には環状の溝３４ａおよび３５ａがそ
れぞれ形成されており、封着部２の一部が収納されるよ
うに構成されている。このように端板３４、３５を構成
することにより、各々同電位の端板３４、３５の内側面
が絶縁容器１の端部に形成されたメタライズ層２ａに近
接して配設されるため、前述の実施例１の真空バルブに
比べて、メタライズ層２ａの近傍における電界はさらに
緩和される。このために、絶縁容器１の内側と外側にお
ける端板間の耐電圧性能が向上し、高い耐電圧構造を有
する真空バルブとなる。

【００３２】実施例２において、封着部２としては前述
の実施例１において示した線材等を用いて、封着部２の
軸方向（図６における上下方向）の高さ低く構成してい
るので、この封着部２を収納するために端板３４、３５
の厚みを特別に厚くする必要がなく、真空バルブの軸方
向の寸法を前述の実施例１に比べてさらに小さくするこ
とが可能となる。なお、実施例２の真空バルブにおい
て、前述の実施例１において述べたように、封着材の線
材または帯板材はＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合
金またはＣｕ−Ｎｉ合金を用いており、その断面形状は
図２、図３、図４および図５に示したように円形、長方
形、楕円形および正方形の封着材が用いられている。以
上のように、実施例２によれば、特殊な部品を用いるこ
となく、端板３４、３５のみに溝３４ａ、３５ａを加工
することにより、メタライズ層２ａ近傍の電界傾度の緩
和を図ることが可能となるために、組立が容易で信頼性
の高い真空バルブが得られる。

【００３３】実施例３ 図７は本発明の真空バルブの実施例３を示す断面図であ
る。図７において、前述の実施例１に対応する構造の部
分は、図１の真空バルブと同じ材料によって構成され、
同様の機能および効果を有するので同じ符号を付してそ
の説明を省略し、実施例１における説明を準用する。図
７に示すように、ステンレス鋼等の金属により形成され
た端板４４には、２段の溝４４ａおよび４４ｂが形成さ
れている。第１の溝４４ａは、封着部２の一部が収納さ
れるように形成されており、第２の溝４４ｂは絶縁容器
１の縁部がその内部に収納されるように形成されてい
る。したがって、第１の溝４４ａと第２の溝４４ｂは同
心の円環状に形成されている。このように第１の溝４４
ａおよび第２の溝４４ｂが構成されているために、絶縁
容器１の縁部に形成されているメタライズ層２ａは、第
２の溝４４ｂの内側に配置され、端板４４に取り囲まれ
ている。このように、メタライズ層２ａの内側および外
側が各々同電位の端板により覆われているために、メタ
ライズ層２ａの内側と外側の近傍における電界は緩和さ
れている。さらに、実施例３の真空バルブは、耐電圧上
必要な絶縁容器１の軸方向の長さを確保しつつ、両側の
端板４４、４４をお互に近づけて配設することが可能と
なるために、真空バルブの小型化を達成することができ
る。なお、実施例３の真空バルブにおいて、前述の実施
例１において述べたように、封着材の線材または帯板材
はＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＣｕ−
Ｎｉ合金を用いており、その断面形状は図２、図３、図
４および図５に示したように円形、長方形、楕円形およ
び正方形の封着材が用いられている。

【００３４】実施例４ 図８は本発明の真空バルブの実施例４を示す断面図であ
る。図８において、前述の実施例１に対応する構造の部
分は、図１の真空バルブと同じ材料によって構成され、
同様の機能および効果を有するので同じ符号を付してそ
の説明を省略し、実施例１における説明を準用する。図
８において、ステンレス鋼等の金属により形成された端
板５４には環状の２段の溝５４ａおよび５４ｂが形成さ
れている。第１の溝５４ａは、封着部２の一部が収納さ
れるように形成されており、第２の溝５４ｂは絶縁容器
１の縁部がその内部に収納されるように形成されてい
る。したがって、第１の溝５４ａと第２の溝５４ｂは同
心の円環状に形成されている。このように第１の溝５４
ａおよび第２の溝５４ｂが構成されているために、絶縁
容器１の縁部に形成されているメタライズ層２ａは、第
２の溝５４ｂの内側に配置され、端板５４に取り囲まれ
ている。このように、メタライズ層２ａの内側および外
側が端板５４により覆われているために、メタライズ層
２ａの内側と外側の近傍における電界は緩和されてい
る。

【００３５】図８に示すように、第２の溝５４ｂの内部
に突出部５４ｃが絶縁容器１の縁部の内壁面に接する位
置に形成されている。この突出部５４ｃは、例えば０．
５ｍｍ以下の薄い円環状の突起であり、第１の溝５４
ａ、第２の溝５４ｂとは同心状に形成されている。絶縁
容器と端板とを同心状に正確に組み立てるためには、何
らかの位置決め手段が必要であるが、従来の装置におい
ては、絶縁容器の外側に別体の位置決め手段を設けた
り、真空バルブの構成部品として特別の位置決め手段を
設けていた。上記実施例４の真空バルブは、位置決め手
段として単に端板５４に突出部５４ｃを形成したもので
ある。

【００３６】実施例４の真空バルブにおいて、端板５４
に薄い突出部５４ｃが形成されており、組立時におい
て、この突出部５４ｃを絶縁容器１の内壁面に近接する
ように配置して、銀ろう等によるろう付け加工する。こ
の銀ろう等によるろう付け加工時において、端板５４の
突起５４ｃがアルミナセラミックの絶縁容器１の内壁面
を押圧した場合には、端板５４の突出部５４ｃが非常に
薄く形成されているために、この突出部５４ｃが屈曲変
形して、絶縁容器１の割れは防止されている。例えば、
端板５４がステンレス鋼製である場合には、その熱膨張
係数は約２０×１０^-6／℃であり、絶縁容器１がアルミ
ナセラミックである場合には、その熱膨張係数は約８×
１０^-6／℃であるので、高温（８００℃）の銀ろう等に
よるろう付け加工ではステンレス鋼製の端板５４の突出
部５４ｃが絶縁容器１の内壁面を押圧するが、突出部５
４ｃが０．５ｍｍ以下の薄い突起であるために、この突
出部５４ｃ自体が屈曲して、絶縁容器１の破壊は防止さ
れている。このために、実施例４の真空バルブは、組立
が容易であるとともに、不良品が発生しない信頼性の高
い装置となっている。なお、実施例４の真空バルブにお
いて、前述の実施例１において述べたように、封着材の
線材または帯板材はＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ
合金またはＣｕ−Ｎｉ合金を用いており、その断面形状
は図２、図３、図４および図５に示したように円形、長
方形、楕円形および正方形の封着材が用いられている。

【００３７】実施例５ 図９は、本発明の真空バルブの実施例５に用いられるス
テンレス鋼等の金属製の端板６４を示す図であり、図９
の（ａ）はこの端板６４の断面図であり、図９の（ｂ）
は図９の（ａ）に示した端板６４を下方より見た裏面図
である。実施例５の真空バルブの端板６４以外の前述の
実施例１に対応する構造の部分は、図１の真空バルブと
同じ材料によって構成され、同様の機能および効果を有
するので同じ符号を付してその説明を省略し、実施例１
における説明を準用する。前述の実施例４における端板
５４には突出部５４ｃが環状に形成されていたが、図９
に示す実施例５の端板６４は、位置決め用の突出部であ
る突起６４ｃが、絶縁容器の内壁面と接する対角線上の
位置に４個形成されている。これらの突起６４ｃは薄
く、例えば、０．５ｍｍ以下に、形成されているため
に、突起６４ｃの機械的強度は弱く、この端板６４を絶
縁容器に銀ろう等によるろう付けする時の押圧力は、突
起６４ｃの屈曲変形により吸収され、絶縁容器の破壊は
防止されている。このために、実施例５の真空バルブは
信頼性が高く、容易に組立ることのできる装置である。
なお、実施例５の真空バルブにおいて、前述の実施例１
において述べたように、封着材の線材または帯板材はＦ
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＣｕ−Ｎｉ
合金を用いており、その断面形状は図２、図３、図４お
よび図５に示したように円形、長方形、楕円形および正
方形の封着材が用いられている。

【００３８】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、封着部
における封着材を線材または帯板状の板を環状に形成し
て溶接または銀ろう等によるろう付けにより加工して用
いたので、使用材料の無駄がなく、製造費を低く抑える
ことができるとともに、高い機械的強度を有する真空バ
ルブを得る効果がある。

【００３９】また、本発明によれば、絶縁容器の端部に
形成されたメタライズ層に近接して端板が配設されるた
めに、メタライズ層近傍の電界の集中は緩和され、耐電
圧性能の高い真空バルブを得る効果がある。

【００４０】さらに、本発明によれば、絶縁容器の端部
に形成されたメタライズ層が端板に形成された溝内部に
収納されるために、メタライズ層近傍の電界の集中は緩
和されるとともに、かつ小型の真空バルブを得る効果が
ある。

【００４１】また、本発明によれば、端板の絶縁容器の
端部の内壁面と近接する位置に屈曲可能な突出部を形成
しているために、端板を絶縁容器の所定の位置に正確に
取り付けることができるとともに、銀ろう等によるろう
付け時に高温に晒されたときにも、その突出部の屈曲変
形により絶縁容器が破壊されることのない、信頼性の高
い真空バルブを得る効果がある。

【００４２】さらに、本発明によれば、端板の絶縁容器
の端部の内壁面と接する位置に屈曲可能な薄い突出部を
少なくとも３個形成しているために、端板を絶縁容器の
所定の位置に容易にかつ正確に取り付けることができる
とともに、銀ろう等によるろう付け時に高温に晒された
ときには、その突出部の屈曲変形により絶縁容器が破壊
されることのない、信頼性の高い真空バルブを得る効果
がある。

【００４３】また、本発明によれば、断面形状が円形、
楕円形または矩形である線材または帯板材を環状に形成
し、その両端縁部を固着し、絶縁容器と端板とを封着す
るように構成したので、組立が容易であるとともに、材
料の無駄のない安価な真空バルブを得る効果がある。

【００４４】さらに、本発明によれば、封着材の材質を
セラミックの熱膨張係数に近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、
Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＣｕ−Ｎｉ合金を用いて、セラミ
ック製の絶縁容器と金属製の端板とを封着するように構
成したので、ろう付け加工の高温時に絶縁容器が破壊さ
れることのない、信頼性の高い真空バルブを得る効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の真空バルブの実施例１を示す断面図
である。

【図２】 図１の真空バルブの封着部近傍を示す断面図
である。

【図３】 本発明の真空バルブの封着部の他の実施例を
示す封着部近傍を示す斜視図および断面図である。

【図４】 本発明の真空バルブの封着部の他の実施例を
示す封着部近傍を示す断面図である。

【図５】 本発明の真空バルブの封着部の他の実施例を
示す封着部近傍を示す断面図である。

【図６】 本発明の真空バルブの実施例２を示す断面部
である。

【図７】 本発明の真空バルブの実施例３を示す断面図
である。

【図８】 本発明の真空バルブの実施例４を示す断面図
である。

【図９】 本発明の真空バルブの実施例５の端板を示す
断面図と裏面図である。

【図１０】 従来の真空バルブを示す断面図である。

【図１１】 従来の真空バルブの封着部近傍を示す断面
図である。

【符号の説明】

１ 絶縁容器、２ 封着部、３ 封着部、４ 端板、５
端板、６ 固定電極、７ 可動電極。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の接離可能な電極、 前記電極を収納する実質的に筒状の絶縁容器、 前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設された端板、 前記端板と前記絶縁容器を封着し、線材または帯板材を
   環状に形成した封着材を有する封着部、 を具備することを特徴とする真空バルブ。
2. 【請求項２】 一対の接離可能な電極、 前記電極を収納する実質的に筒状の絶縁容器、 前記絶縁容器の両端縁部に形成されたメタライズ層、 前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設され、前記メ
   タライズ層に対向する部位に環状の溝を形成した端板、 線材または帯板材を環状に形成した封着材を有し、前記
   端板と前記絶縁容器とを封着したとき前記端板に形成さ
   れた溝内部に少なくとも一部が配置される封着部、 を具備することを特徴とする真空バルブ。
3. 【請求項３】 一対の接離可能な電極、 前記電極を収納する実質的に筒状の絶縁容器、 前記絶縁容器の両端縁部に形成されたメタライズ層、 前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設され、前記メ
   タライズ層に対向する部位に環状の溝を形成し、前記絶
   縁容器に封着したとき当該溝内部に前記絶縁容器の縁部
   に形成された前記メタライズ層を配置する端板、 前記端板と前記絶縁容器を封着し、線材または帯板材を
   環状に形成した封着材を有する封着部、 を具備することを特徴とする真空バルブ。
4. 【請求項４】 一対の接離可能な電極、 前記電極を収納する実質的に筒状の絶縁容器、 前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設され、前記絶
   縁容器の両端の内壁面と接する位置に屈曲可能な突出部
   を有する端板、 前記端板と前記絶縁容器とを封着し、線材または帯板材
   を環状に形成した封着材を有する封着部、 を具備することを特徴とする真空バルブ。
5. 【請求項５】 一対の接離可能な電極、 前記電極を収納する実質的に円筒状の絶縁容器、 前記絶縁容器の両端を閉塞するように配設され、前記絶
   縁容器の両端の内壁面と接する同一円周上の位置に屈曲
   可能な少なくとも３箇所の突出部を有する端板、 前記端板と前記絶縁容器とを封着し、線材または帯板材
   を環状に形成した封着材を有する封着部、 を具備することを特徴とする真空バルブ。
6. 【請求項６】 前記封着材の線材または帯板材の断面形
   状が円形、楕円形または矩形である封着部を有する請求
   項１、２、３、４または５記載の真空バルブ。
7. 【請求項７】 前記封着材の材質がＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合
   金、Ｆｅ−Ｎｉ合金またはＣｕ−Ｎｉ合金である封着部
   を有する請求項１、２、３、４または５記載の真空バル
   ブ。