JPH07288218A - 真空コンデンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空コンデンサ本体の同一構成のものを、調
整範囲の広狭の用途に応じた適用を可能とする。 【構成】 可動リード１８′に取り付け、取り外し自在
のねじ部材１を設け、このねじ部材１に静電容量調整ね
じ２を螺合し、該調整ねじ２の回転駆動により可動リー
ド１８′を上下移動させ、静電容量を調整する。このね
じ部材１は粗、密調整等の用途に応じたねじピッチのも
のを用意し、その中から用途に応じたものを選択使用す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、大電力送信機の発振回
路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導加熱
装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図２は従来の一般的な可変形真空コンデ
ンサの断面構造図で、例えば、セラミック等の絶縁円筒
１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接合して
円筒部を形成し、この円筒部を固定側端板１３と可動側
板１４とで閉塞して、コンデンサ部を収容する真空容器
１０を形成している。

【０００３】固定側端板１３は電極取付導体を兼ね、そ
の内側には、径（半径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ
₁，Ｆ₂…Ｆ_nを同心円状に一定間隔をもって取り付けて
固定電極１５を形成しており、また、この固定電極１５
の各電極板間の間隙内に、非接触状態で挿出入できるよ
うに、内径の異なる複数の円筒状電極板Ｍ₁，Ｍ₂…Ｍｎ
を電極取付導体たる可動導体１８に設けて可動電極１６
を形成している。

【０００４】可動導体１８には、可動リード１８′が設
けられ、この可動リード１８′は、可動側端板１４を貫
通して設けた軸受１７に回動不能で、上下動自在に支承
され、可動電極１６を真空容器の外部から、静電容量調
整手段により軸心方向に移動される。１９はベローズ
で、一端が可動側端板１４および軸受１７とロー付けさ
れ、他端側は可動リード１８′又は可動導体１８にロー
付けられ、軸受１７と可動リード１８′の摺動部ならび
に軸受１７の可動側端板１４の貫通部を覆い、真空漏れ
を防止しながら、可動リードの上下動ができるようにし
ている。

【０００５】なお、真空容器１０の円筒部は、全体をセ
ラミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固
定電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。

【０００６】真空コンデンサ本体は、以上のように構成
されているが、この種の真空コンデンサには、静電容量
を調整する静電容量調整手段が設けられている。２０は
この静電容量調整手段で、該静電容量調整手段２０は、
一端側が軸受１７に取り付けられた静電容量調整ねじ受
部２１と、このねじ受部２１の他端側にスラストベアリ
ング２２を介して回転自在に取り付けられた静電容量調
整ねじ２３とにより構成されている。静電容量調整ねじ
２３のねじ部２３ａは可動リード１８′の内径に設けら
れたねじ部１８ａに螺合し、操作部２３ｂを手動又はモ
ータ等で回転することにより可動リード１８′を介して
可動電極１６を上下に移動させる。

【０００７】このように構成した真空コンデンサで、そ
の静電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に
課電し、静電容量調整ねじ２３の操作部２３ｂを回転さ
せ、可動リード１８′を上下動させて固定電極１５と可
動電極１６との対向面積を変え、両電極１５，１６間に
生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記のように真空コン
デンサの静電容量の調整は、可動リードの上下移動によ
って行われ、その変位は静電容量調整ねじ２３と、これ
に螺合する可動リード１８′のねじ部１８ａのピッチに
依存して決まる。

【０００９】一方、此の種のコンデンサは、半導体製造
装置用の高周波電源のインピーダンス調整に使用される
が、インピーダンスの調整範囲が狭い場合は、静電容量
調整ねじ２３および可動リード１８′のねじ部のピッチ
を小さくとり、静電容量の分解能を上げる必要がある。

【００１０】反対にインピーダンスの調整範囲が広く、
しかも高速で可変する必要がある場合は、調整ねじのピ
ッチを大きくする必要がある。

【００１１】この調整ねじのピッチを大きくすること
は、可動リードの直径が小さく、ねじピッチを大きくす
ることには限界があったが、本願の出願人は、静電容量
調整ねじを多条ねじ又は台形ねじとすることで少ない回
転数で静電容量が大きく変化できるものを提案した。
（特願平４−２３６５９６号） しかし、可動リードには静電容量調整ねじのピッチに合
わせたピッチのねじ孔を設ける必要があり、各真空コン
デンサ本体の可動リードには前記の用途別にピッチの異
なるねじ孔を螺設していた。従って、真空コンデンサ本
体は同じ構造でも、別の機種となり、用途別の多くの機
種を用意する必要があった。

【００１２】以上の点に鑑み本発明は用途別に真空コン
デンサ本体の機種を用意することなく、静電容量を調整
する可動電極の移動手段の変更のみで、すべての用途に
適合できる真空コンデンサを提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明において上記の課
題を解決するための手段は、真空容器内に、同心円状の
径の異なる複数の円筒状電極板を電極取付導体に同心状
に取り付けて形成した固定電極と、この固定電極の各円
筒状電極板間に非接触状態で挿出入できるように径の異
なる複数の円筒状電極板を電極取付導体に同心状に取り
付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記真空容器
の外部から円筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リ
ードとを備え、この可動電極の移動手段は、可動リード
の内周に設けたねじ部と、このねじ部に螺合して回転駆
動される静電容量調整ねじにより形成した真空コンデン
サにおいて、前記移動手段のねじ部を可動リードと分離
して取り付け、取り外し可能としたねじ部材で構成し、
この移動手段を構成するねじおよびねじ部材を用途に合
わせたねじピッチ又はねじ形状のものを用意し、選択的
に使用する。

【００１４】また、前記可動電極の移動手段のねじ部材
は、可動リードに設けた嵌合孔に嵌合固定し、静電容量
調整ねじは、調整ねじ受部に回転自在に取り付けたこと
を好適とするものである。

【００１５】

【作用】本発明は以上のように、可動電極の移動手段を
構成するねじ部材および該ねじ部材に螺合する静電容量
調整ねじの対を、ねじピッチの密のもの、又は粗のも
の、その他、多条ねじ又は台形ねじ等のものを用意して
おき、用途に合うものを選択して、そのねじ部材を可動
リードに取り付けて固定する。従って、真空コンデンサ
本体は同一のものでも、用途に合った静電容量調整の可
能な真空コンデンサを得ることができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に示す一実施例
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例の静電容
量調整手段を説明するための断面図である。図２と異な
る点は、可動リード１８′にはねじ部を設けずに、ねじ
部は、可動リード１８′とは分離したねじ部材１に設
け、このねじ部材１を可動リード１８′に取り付け、取
り外し自在に設けた点である。このねじ部材１のねじ孔
には静電容量調整ねじ２のねじ部２ａが螺合され、該静
電容量調整ねじ２の回転駆動により、可動リード１８′
は上下に移動される。３は調整ねじ受部で、円筒状又は
枠板から成り、その一端側は、軸受１７にねじ等の取付
手段によって取り付けられ、他端側中央にスラストベア
リング４を介して静電容量調整ねじ２の操作部２ｂが回
転自在に取り付けられている。

【００１７】可動電極の移動手段は、ねじ部材１と、こ
れに螺合する調整ねじ２により形成され、このねじ部材
１と調整ねじ２の一対のねじピッチ又はねじ形状は用途
別に数種類のものを用意する。即ち、ねじピッチの粗、
密、多条ねじ又は台形ねじ等のものを用意し、その中か
ら用途に合わせて選択し、そのねじ部材を可動リードに
取り付け固定して使用する。

【００１８】このようにねじ部材とこれに螺合する静電
容量調整ねじを選択することで、同一構成の真空コンデ
ンサ本体を用途に適した使用が可能となる。

【００１９】なお、ねじ部材１の可動リード１８′への
取り付けは、可動リードの端に嵌合孔を穿設し、この嵌
合孔にねじ部材１を嵌合して外周からねじ等の固定手段
で固定するか、又は可動リードとねじ部材とをねじで螺
合し、固定手段で固定する。

【００２０】また、静電容量調整ねじは、調整ねじ受部
３から取り付け、取り外し可能に設けてもよいし、ま
た、調整ねじ受部と一体に形成したものを用意してもよ
い。

【００２１】

【発明の効果】本発明は以上のように、可動電極を移動
する移動手段を真空コンデンサ本体とは分離して構成
し、ねじ部材と該ねじ部材に螺合する静電容量調整ねじ
のねじピッチ又は形状の異なるものを使用目的（用途）
別にあらかじめ用意しておき用途に応じてこれを選択し
て使用するようにしたので、真空コンデンサ本体を同一
にでき従来の機種の増加によるコストアップが低減され
る。また、ねじ部材の取り付けだけで種々の用途への対
応が可能となる等と相俟って真空コンデンサの低コスト
化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部断面図。

【図２】従来の真空コンデンサの基本構成図。

【符号の説明】

１…ねじ部材 ２…静電容量調整ねじ ３…調整ねじ受部 ４…スラストベアリング １５…固定電極 １６…可動電極 １８′…可動リード

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内に、同心円状で径の異なる複
   数の円筒状電極板を電極取付導体に同心状に取り付けて
   形成した固定電極と、この固定電極の各円筒状電極板間
   に非接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円
   筒状電極板を電極取付導体に同心状に取り付けて形成し
   た可動電極と、該可動電極を前記真空容器の外部から円
   筒状電極板の軸線方向に移動させる可動リードとを備
   え、この可動電極の移動手段は、可動リードの内周に設
   けたねじ部と、このねじ部に螺合して回転駆動される静
   電容量調整ねじにより形成した真空コンデンサにおい
   て、前記移動手段のねじ部を可動リードと分離して取り
   付け、取り外し可能としたねじ部材で構成したことを特
   徴とする真空コンデンサ。
2. 【請求項２】 前記可動電極の移動手段のねじ部材は、
   可動リードに設けた嵌合孔に嵌合固定し、静電容量調整
   ねじは、調整ねじ受に回転自在に取り付けたことを特徴
   とする請求項１記載の真空コンデンサ。