JPH07290010A - 蒸気洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 被洗浄物７が収容されると共に、底部に溶剤
２を貯留した蒸気槽１を有している。蒸気槽１の下部に
は溶剤２を温める加熱ヒータ３が設けられると共に、連
通管１０を介してポンプ５が接続されている。このポン
プ５には、引いた気体を溜めておく貯留タンク８を備え
られ、貯留タンク８内に溜まった溶剤２は、連通管６を
通って再び蒸気槽１内へ戻されるようになっている。 【効果】 蒸気槽１内部の圧力が下げられるようになっ
ているので、溶剤２の蒸気を通常よりも低い温度で発生
させることができる。したがって、加熱ヒータ３のヒー
タ温度を下げることができ、火災等の危険性が小さくな
る。また、加熱ヒータ３の消費電力も低くなり、コスト
削減が図れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、溶剤の蒸気を用いて被
洗浄物であるガラス基板等を蒸気洗浄する蒸気洗浄装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、素材を損なうことなく良好な
洗浄性が得られるという利点から、ガラス基板等の洗浄
には、例えばＩＰＡ（isopropyl alcohol)等の溶剤の蒸
気を用いて蒸気洗浄を行う蒸気洗浄装置が多用されてい
る。

【０００３】このような蒸気洗浄装置は、図６に示すよ
うに、上部が開放され、溶剤５２を貯留した洗浄槽５１
を備えている。この洗浄槽５１の下部には、貯留された
溶剤５２を加熱する加熱ヒータ５３が設けられ、上部に
は、内部を冷却水が流れる冷却管５４が周設されてい
る。そして、洗浄槽５１内部の中央部分には、載置台５
５が設けられており、この載置台５５上に、被洗浄物５
６がセットされるようになっている。

【０００４】上記の蒸気洗浄装置を用いた被洗浄物５６
の洗浄にあたり、開放された洗浄槽５１上部から被洗浄
物５６が洗浄槽５１内部に入れられる。この被洗浄物５
６は、予め洗浄槽５１内部の蒸気相温度より低い温度に
保持されている。被洗浄物５６が載置台５５上にセット
されると、溶剤５２は加熱ヒータ５３にて温められて蒸
気となり、洗浄槽５１内部に充満する。

【０００５】蒸気となった溶剤５２は、被洗浄物５６の
表面に、蒸気相と被洗浄物５６との温度差によって凝縮
して付着する。この付着した溶剤５２が、被洗浄物５６
の表面に付着している汚れを溶解または分散して洗浄す
る。汚れた溶剤５２は、そのまま溶剤５２の液溜まりへ
と落下し、再び蒸気となり、被洗浄物５６は連続的に清
浄な溶剤５２で洗浄される。

【０００６】一方、蒸気発生中に開放された洗浄槽５１
上部から大気中へ散逸しようとする溶剤５２の蒸気は、
冷却管５４にて再び液化され、洗浄槽５１内部へと戻さ
れる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の蒸気
洗浄装置では、溶剤５２を蒸気にし、その状態を保たせ
るため、加熱ヒータ５３の温度をかなり上げなければな
らず、通常、溶剤５２の蒸気温度の１.5倍以上に上げら
れている。例えば溶剤５２としてＩＰＡを用いた場合、
大気圧（７６０ｍｍＨｇ）におけるＩＰＡの沸点は８2.
３℃であるので、ＩＰＡ蒸気を飽和させるためには加熱
ヒータ５３の温度を１２０℃以上に上げる必要がある。
したがって、加熱ヒータ５３の温度が高くなり、火災等
の危険性が高くなると共に、加熱ヒータによる消費電力
も大きく、コストの高騰にもつながる。

【０００８】本願発明の蒸気洗浄装置は、上記課題に鑑
みて成されたもので、溶剤の沸点を降下させてより低い
温度で蒸気を発生させることで、火災等の危険性を小さ
くすると共に、消費電力を削減し、さらには、溶剤の消
費量を少なくしてランニングコストを削減することを目
的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
蒸気洗浄装置は、上記課題を解決するために、被洗浄物
を収容すると共に底部に溶剤を貯留した密閉可能な蒸気
洗浄室と、蒸気洗浄室内の貯留された溶剤を加熱して蒸
気を発生させる加熱手段と、蒸気洗浄室内を減圧する減
圧手段とを備え、溶剤の蒸気を用いて被洗浄物を蒸気洗
浄することを特徴としている。

【００１０】本発明の請求項２記載の蒸気洗浄装置は、
上記課題を解決するために、上記請求項１記載の蒸気洗
浄装置において、蒸気洗浄室内を減圧すべく蒸気洗浄室
から減圧手段にて引かれた気体に含まれる溶剤を回収す
る溶剤回収手段を備えていることを特徴としている。

【００１１】本発明の請求項３記載の蒸気洗浄装置は、
上記課題を解決するために、上記請求項１記載の蒸気洗
浄装置において、個々に独立して圧力調整可能であり、
かつ、各々上記蒸気洗浄室と各開閉手段を介して連通さ
れた、蒸気洗浄室内に搬入される前の被洗浄物を収容す
る前室と、蒸気洗浄室から搬出された被洗浄物を収容す
る後室とを備えていることを特徴としている。

【００１２】

【作用】上記請求項１記載の構成では、被洗浄物を蒸気
洗浄室に入れて室内を密閉し、減圧手段にて室内を減圧
しながら、蒸気洗浄室底部に貯留された溶剤を加熱手段
にて加熱して蒸気を発生させ、その蒸気にて被洗浄物を
蒸気洗浄する。つまり、この場合、溶剤の加熱は減圧下
で行われるので、溶剤の沸点が降下し、大気圧下におけ
る沸点よりも低い温度で沸騰して蒸気を発生する。した
がって、加熱手段として例えば加熱ヒータを用いて加熱
する場合、そのヒータ温度を、従来の大気圧下で蒸気を
発生させる構成のものよりも低くすることが可能とな
り、火災等の危険性を低くして安全性を向上できる。ま
た、溶剤加熱時のヒータ温度を低くできることから、消
費電力も削減され、コスト削減も図れる。

【００１３】上記請求項２の構成によれば、さらに、溶
剤回収手段が備えられているので、この溶剤回収手段に
より、蒸気洗浄室内を減圧する際に減圧手段にて引かれ
た気体中に含まれる溶剤を回収することができ、溶剤の
消費量を少なくしてランニングコストを削減することが
可能となる。つまり、蒸気洗浄室への被洗浄物の出し入
れ時、室内の圧力は大気圧と同じ圧力に復帰するので、
多くの被洗浄物を洗浄するには何回も繰り返して蒸気洗
浄室内の気体を引く必要があり、そうすると、このよう
な溶剤回収手段が備えられていないと、多量の溶剤が引
かれた気体と共に大気中に放たれることとなり、甚だ無
駄に溶剤を使用することとなる。尚、上記溶剤回収手段
としては、減圧手段が引いた気体を溜めておくタンク
と、このタンクの底部と蒸気洗浄室とを連結する連結管
にて構成でき、引かれた気体を圧力の高いタンク内で液
体に戻し、タンク底部に溜まった溶剤を、連通管を通し
て蒸気洗浄室へと戻すようにすればよい。

【００１４】また、前述の図６に示した従来の蒸気洗浄
装置の場合、洗浄槽５１の上部に冷却管５４を配して、
冷却水にて冷却しているが、洗浄槽５１の上部は開放さ
れているので、冷却管５４が配設されていない中央部分
を通る溶剤５２の蒸気や気体はそのまま大気中に散逸さ
れてしまい、ランニングコストが高騰するという問題も
あるが、本発明の構成を採用することで、ランニングコ
ストの大幅な削減が可能となる。

【００１５】上記請求項３記載の構成によれば、蒸気洗
浄室内に搬入される前の被洗浄物を収容する前室と、蒸
気洗浄室から搬出された被洗浄物を収容する後室とが設
けられており、これら前室と後室は、各々蒸気洗浄室と
連通され、個々に独立して圧力調整可能であるので、洗
浄時、被洗浄物を一旦前室に入れ、室内の圧力を蒸気洗
浄室と同じ程度にまで下げた後、前室と蒸気洗浄室との
間にある開閉手段を開いて蒸気洗浄室へと搬入し、前室
と蒸気洗浄室との間にある開閉手段を閉じて洗浄し、洗
浄後は、蒸気洗浄室と後室との間にある開閉手段を開け
て、被洗浄物を予め蒸気洗浄室と同じ程度にまで室内の
圧力が下げられた後室へと搬入し、その後、後室内の圧
力を大気圧に復帰し、被洗浄物を取り出すようにするこ
とで、蒸気洗浄室内の圧力を、ほぼ一定に保つことがで
き、被洗浄物毎に毎回減圧手段を動作させる必要がなく
なる。したがって、これによっても、蒸気洗浄室の減圧
毎に溶剤が、引かれた気体と共に大気中に放たれるよう
なことはなく、溶剤の消費量を少なくしてランニングコ
ストを削減することが可能となる。

【００１６】

【実施例】

〔実施例１〕本発明の一実施例について図１及び図２に
基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００１７】本実施例の蒸気洗浄装置は、図１に示すよ
うに、ＩＰＡ等の溶剤２を底部に適量貯留した蒸気槽
（蒸気洗浄室）１を備えている。この蒸気槽１の上面に
は、蒸気槽１内部へ被洗浄物７を入れるための蓋部１ａ
が設けられており、蓋部１ａの閉時、蒸気槽１内部は密
閉状態となる。

【００１８】この蒸気槽１の内部には、被洗浄物７を載
置するための載置台４が設けられている。この載置台４
は、セットされた被洗浄物７が貯留された溶剤２に浸漬
しないように、溶剤２の液溜まりの液面より上方に設け
られている。また、この蒸気槽１の下部には、貯留され
た溶剤２を加熱して蒸気を発生させるための加熱ヒータ
（加熱手段）３が設けられている。

【００１９】そして、この蒸気槽１における上部には、
連通管１０を介して蒸気槽１内部の圧力を下げることが
できるポンプ（減圧手段）５が接続されている。このポ
ンプ５には、蒸気槽１内部から引いた気体を収容してお
く貯留タンク８が設けられており、この貯留タンク８の
底部は、開閉バルブ９を有した連通管６を介して、蒸気
槽１の下部に接続されている。この貯留タンク８と連通
管６とで、本発明の溶剤回収手段が構成されている。さ
らに、蒸気槽１の上部には、開閉バルブ１２を有した、
蒸気槽１内部の圧力を大気圧に戻すためのリーク管１１
が設けられている。

【００２０】このような構成の蒸気洗浄装置を用いて洗
浄処理を実施する際、まず、蒸気槽１の蓋部１ａを開い
て、被洗浄物７を蒸気槽１内部の載置台４上にセット
し、蓋部１ａを閉じる。ここで、上記連通管６の開閉バ
ルブ９、及びリーク管１１の開閉バルブ１２は閉じられ
ており、また、上記被洗浄物７は、予め蒸気槽１内部の
蒸気相温度より低い温度に保持されている。

【００２１】次に、ポンプ５を作動させ、蒸気槽１内部
の気体を貯留タンク８へと引き、蒸気槽１内部の圧力を
下げる。貯留タンク８に送り込まれた気体は、貯留タン
ク８内部に閉じ込められた状態となるので、タンク内の
圧力が高くなり、気体に含まれた溶剤２の蒸気は液化さ
れて貯留タンク８の底部に溜まる。

【００２２】このとき、加熱ヒータ３にも通電し、溶剤
２を温めて蒸気を発生させる。この場合、蒸気槽１内部
は減圧されているので、溶剤２の沸点が降下し、通常の
沸点より低い温度で蒸気が発生する。したがって、上記
加熱ヒータ３の設定温度は、従来の蒸気洗浄装置に備え
られた加熱ヒータのものよりも低く設定されている。

【００２３】溶剤２の蒸気は、被洗浄物７の表面に蒸気
相と被洗浄物７との温度差にて凝縮して付着し、被洗浄
物７表面に付着した汚れを、溶解または分散して下方の
溶剤２の液溜まりへと落下する。これと同じことが繰り
返され、被洗浄物７が次第に洗浄されていく。

【００２４】その後、被洗浄物７の洗浄が終了すると、
リーク管１１の開閉バルブ１２を開いて蒸気槽１内部に
空気を送り込み、蒸気槽１内部の圧力を大気圧に復帰さ
せる。そして、蓋部１ａを開いて被洗浄物７を取り出
す。このとき、開閉バルブ９も開き、貯留タンク８に溜
まっていた溶剤２を、連通路６を通して蒸気槽１へと戻
す。以下、上記と同様の手順にて洗浄処理を行う。

【００２５】このように、本実施例の蒸気洗浄装置にお
いては、蒸気槽１に、蒸気槽１内部の気体を引くポンプ
５が付設されており、このポンプ５の動作により、蒸気
槽１内部の圧力を下げるようになっているので、蒸気槽
１内部に貯留された溶剤２の沸点が減圧により降下し
て、通常の沸点よりも低い温度で蒸気を発生させること
ができる。したがって、加熱ヒータ３のヒータ温度を下
げることができ、火災等の危険性が小さくなると共に、
加熱ヒータ３の消費電力も低くなり、コスト削減が図れ
る。図２に、本実施例に溶剤２として用いたＩＰＡの圧
力と沸点との関係を示す。

【００２６】また、上記の蒸気洗浄装置においては、蒸
気槽１に被洗浄物７を出し入れするための開放口を閉じ
る蓋部１ａが設けられ、この蓋部１ａを閉じることで密
閉状態を取れるようになっているので、従来の洗浄槽５
１の上部が開放された構成の装置のように（図６参
照）、溶剤２の蒸気が開放口を通って大気中に散逸する
ようなことはない。

【００２７】さらに、上記実施例においては、ポンプ５
で引いた蒸気槽１内部の気体を貯留タンク８にて溜めて
おき、圧力上昇により再び液化して底部に溜まった溶剤
２を、連通管６を介して蒸気槽１内部へと戻すようにな
っているので、蒸気槽１内部を減圧する際に引かれた気
体中に含まれる溶剤２を回収することができ、溶剤２の
消費量を少なくしてランニングコストを削減することが
可能となる。つまり、蒸気槽１への被洗浄物７の出し入
れ時、蒸気槽１内部の圧力は大気圧に復帰するので、多
くの被洗浄物７を洗浄するには何回も繰り返して蒸気槽
１内部の気体を引く必要があり、そうすると、このよう
な溶剤２を回収できるようになっていないと、多量の溶
剤２が引かれた気体と共に大気中に放たれることとな
り、甚だ無駄に溶剤２を使用することとなり、ランニン
グコストが高騰することとなる。

【００２８】尚、上記実施例においては、被洗浄物７は
予め蒸気槽１内部の蒸気相温度より低い温度に保持され
ているとしたが、その他、前段に純水槽を用意してお
き、純水槽に被洗浄物７を浸漬して被洗浄物７の表面に
純水を付着させた状態で蒸気槽１内部へと搬入し、この
付着した純水と溶剤２とを置換させるようにしてもよ
い。

【００２９】〔実施例２〕本発明の他の実施例を図３な
いし図５に基づいて説明すれば、以下の通りである。
尚、説明の便宜上、前記実施例にて示した部材と同一の
機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明
を省略する。

【００３０】本実施例の蒸気洗浄装置では、図３に示す
ように、蒸気槽１’を挟んで、前室１３と後室１４とが
隣設されている。これら前室１３と蒸気槽１’、及び蒸
気槽１’と後室１４とは、開閉トビラ１５・１６を介し
て互いに連通されており、図示しない搬送手段にて、前
室１３から蒸気槽１’を経て後室１４まで、被洗浄物７
の搬送が可能となっている。

【００３１】上記前室１３は、蒸気槽１’へと送られる
洗浄前の被洗浄物７が収容される部屋であり、被洗浄物
７を入れるための蓋部１３ａが上面に設けられている。
また、後室１４は、蒸気槽１’から送られてきた洗浄済
の被洗浄物７が収容される部屋であり、被洗浄物７を出
すための蓋部１４ａが上面に設けられている。

【００３２】このように、本実施例の蒸気槽１’におい
ては、前室１３及び後室１４にて被洗浄物７の出し入れ
が行われるので、前記実施例の蒸気槽１における蓋部１
ａは設けられておらず、上面には、連通管１０が接続さ
れている。尚、その他の部分は、ほぼ前記蒸気槽１と等
しい構造を有している。

【００３３】上記前室１３及び後室１４の内部には、上
記載置台４がそれぞれ設けられており、また、その下部
には、液化した溶剤２を貯留しておく貯留スペース１３
ｂ・１４ｂがそれぞれ設けられている。これら貯留スペ
ース１３ｂ・１４ｂと、蒸気槽１’の下部とは、図示し
ない連通管を介して接続されており、連通管には、貯留
スペース１３ｂ・１４ｂに溜まった溶剤２を蒸気槽１’
へと戻すための図示しないポンプが備えられている。ま
た、これら前室１３及び後室１４の各上面には、連通管
１７・１８を介してそれぞれポンプ５が接続されてお
り、このポンプ５の動作により減圧可能となっている。
ここで、上記ポンプ５は、蒸気槽１’、前室１３、及び
後室１４の室内圧力を個別に調整できるようになってい
る。そして、上記連通管１７・１８は、開閉バルブ２０
を有した連通管１９を介して互いに接続されている。さ
らに、これら前室１３及び後室１４の上部には、開閉バ
ルブ２２・２４を有した、前室１３、及び後室１４内部
を大気圧に戻すためのリーク管２１・２３がそれぞれ設
けられている。

【００３４】このような構成の蒸気洗浄装置を用いて洗
浄処理を実施する際の手順を、図３、図４、図５を参照
して説明する。

【００３５】まず、蓋部１３ａを開き、被洗浄物７ａを
前室１３内部の載置台４上にセットし、蓋部１３ａを閉
じる（図４（ａ））。ここで、各開閉トビラ１５・１６
は閉じられ、蒸気槽１’及び後室１４はそれぞれ密閉状
態となっており、蒸気槽１’はポンプ５の作動により減
圧され、後室１４は大気圧に保持されている。そして、
加熱ヒータ３にも通電されており、蒸気槽１’に貯留さ
れた溶剤２は、減圧下の低い沸点で沸騰し、蒸気槽１’
内部には既に蒸気が充満している。また、上記被洗浄物
７ａは、前記実施例と同様に、予め蒸気槽１’内部の蒸
気相温度より低い温度に保持されている。連通管６の開
閉バルブ９、リーク管１１・２１・２３の各開閉バルブ
１２・２２・２４、及び連通管１９の開閉バルブ２０は
閉じられている（図１参照）。

【００３６】次に、ポンプ５を作動させ、前室１３内部
の気体を引き、前室１３内部の圧力を下げる。前室１３
内部の圧力が蒸気槽１’と同程度にまで下がると、開閉
トビラ１５を開いて、被洗浄物７ａを蒸気槽１’へと搬
送手段にて送る（図４（ｂ））。そして、開閉トビラ１
５を閉じ、前記実施例と同様に被洗浄物７ａを溶剤２の
蒸気にて洗浄する。同時に、連通管１７・１８を接続し
ている連通管１９の開閉バルブ２０を開いて、圧力の高
い後室１４内から低い前室１３へと空気を移動させ、前
室１３及び後室１４内部の圧力を、大気圧よりも低く、
かつ、蒸気槽１’内部の圧力よりも高い中程度の減圧状
態とする（図４（ｃ））。この後、連通管１９の開閉バ
ルブ２０を閉じ、ポンプ５を作動させ、後室１４内部の
圧力を蒸気槽１’と同程度にまで下げる。この場合、後
室１４内部は、既に中程度まで圧力が低下しているの
で、ポンプ５による少しの引きで蒸気槽１’と同程度に
まで下げることができる。一方、リーク管２３の開閉バ
ルブ２４を開いて、被洗浄物７ａを送り出した前室１３
内部の圧力を大気圧に復帰させる（図４（ｄ））。

【００３７】被洗浄物７ａの洗浄が終了すると、開閉ト
ビラ１６を開いて、被洗浄物７ａを後室１４へと搬送手
段にて送り、開閉トビラ１６を閉じる。一方、前室１３
に、次の被洗浄物７ｂを搬入する（図４（ｅ））。

【００３８】次に、連通管１７・１８を接続している連
通管１９の開閉バルブ２０を開き、圧力の高い前室１３
内から低い後室１４へと空気を移動させ、前室１３及び
後室１４内部の圧力を中程度の減圧状態とする（図４
（ｆ））。この後、連通管１９の開閉バルブ２０を閉
じ、ポンプ５を作動させ、前室１３内部の圧力を蒸気槽
１’と同程度になるまで下げる。この場合、既に中程度
まで圧力が低下しているので、ポンプ５による少しの引
きで蒸気槽１’と同程度にまで圧力を下げることができ
る。前室１３内の圧力が蒸気槽１’と同程度に下がる
と、被洗浄物７ｂを蒸気槽１’へと送る。一方、リーク
管２１の開閉バルブ２２を開いて、後室１４内部の圧力
を、大気圧に復帰させ、蓋部１４ａを開いて、被洗浄物
７ａを取り出す（図５（ａ））。

【００３９】次いで、前記と同様に被洗浄物７ｂを蒸気
洗浄する。同時に、連通管１７・１８を接続している連
通管１９の開閉バルブ２０を開いて、圧力の高い後室１
４内から低い前室１３へと空気を移動させ、前室１３及
び後室１４を中程度の減圧状態とする（図５（ｂ））。
この後、連通管１９の開閉バルブ２０を閉じ、ポンプ５
を作動させ、後室１４内部の圧力を蒸気槽１’と同程度
にまで下げる。この場合も、既に中程度まで圧力が低下
しているので、ポンプ５による少しの引きで蒸気槽１’
と同程度にまで下げることができる（図５（ｃ））。後
室１４内の圧力が蒸気槽１’と同程度に下がったなら
ば、前記と同様に、被洗浄物７ｂを後室１４へと送る。
一方、リーク管２３の開閉バルブ２４を開いて、前室１
３内部の圧力を大気圧に復帰させ、蓋部１３ａを開い
て、次の被洗浄物７ｃが搬入される（図５（ｄ））。こ
の後は、前記図４（ｆ）の場合と全く同じ処理が図５
（ｅ）にて行われ、移行、同じ処理が繰り返され、複数
の被洗浄物７…が順に洗浄される。

【００４０】一方、開閉トビラ１５・１６の開閉時に、
前室１３・後室１４へと漏れ出た溶剤２の蒸気は、前室
１３・後室１４が大気圧に復帰された際に液体に戻り、
前室１３・後室１４に設けられた貯留スペース１３ｂ・
１４ｂに溜められていく。そして、ある程度の量の溶剤
２が溜まった時点で、ポンプ等を用いて蒸気槽１’へと
戻される。また、ポンプ５にて引いた気体に含まれる溶
剤２の蒸気は、前記実施例と同様に、連通管６の開閉バ
ルブ９が開かれることで、蒸気槽１’へと戻される。

【００４１】以上のように、本実施例の蒸気洗浄装置に
おいては、蒸気槽１’内に搬入される前の被洗浄物７を
収容する前室１３と、蒸気槽１’から搬出された被洗浄
物７を収容する後室１４とが設けられており、これら前
室１３と後室１４とは、各々開閉トビラ１５・１６を介
して蒸気槽１’と連通されており、ポンプ５の動作によ
り独立して圧力調整可能であるので、洗浄時、被洗浄物
７を一旦前室１３に入れ、室内の圧力を蒸気槽１’と同
じ程度にまで下げてから、開閉トビラ１５を開いて蒸気
槽１’へと搬入して開閉トビラ１５を閉じて洗浄し、洗
浄後は、開閉トビラ１６を開けて、被洗浄物７を予め蒸
気槽１’と同じ程度にまで下げられた後室１４へと搬入
し、その後、後室１４内の圧力を大気圧に復帰させ、被
洗浄物７を取り出すようにすることで、蒸気槽１’の圧
力をほぼ一定に保つことができ、被洗浄物７毎に毎回蒸
気槽１’の気体を引く必要がなくなる。したがって、蒸
気槽１’の減圧毎に多量の溶剤２が引かれた気体と共に
大気中に放たれるようなことはなく、溶剤２の消費量を
少なくしてランニングコストを削減することが可能とな
る。

【００４２】また、前室１３と後室１４とを連通管１７
・１８・１９を用いて連通可能に接続することで、前室
１３と後室１４との圧力差を利用して、圧力を下げるべ
き室の圧力を低下させるようになっている。したがっ
て、ポンプ５による空気引き動作も短い時間でよく、効
率的であると共に、連続して処理を行うことができる。

【００４３】さらに、開閉トビラ１５・１６の開閉時
に、前室１３・後室１４へと漏れ出た溶剤２の蒸気が液
化したものは、前室１３・後室１４に設けられた貯留ス
ペース１３ｂ・１４ｂに溜められ、ある程度の量が溜ま
った時点で、ポンプ等を用いて蒸気槽１’へと戻される
ようになっているので、これによっても、溶剤２の消費
量を少なくしてランニングコストを削減することが可能
となる。

【００４４】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の蒸気洗浄装置
は、以上のように、被洗浄物を収容すると共に底部に溶
剤を貯留した密閉可能な蒸気洗浄室と、蒸気洗浄室内の
貯留された溶剤を加熱して蒸気を発生させる加熱手段
と、蒸気洗浄室内を減圧する減圧手段とを備え、溶剤の
蒸気を用いて被洗浄物を蒸気洗浄する構成である。

【００４５】それゆえ、加熱手段の設定温度を、従来の
大気圧下で蒸気を発生させる構成のものよりも低くする
ことが可能となり、火災等の危険性を低くして安全性を
向上できる。しかも、溶剤加熱時の設定温度を低くでき
ることから、消費電力も削減され、コスト削減も図れる
という効果を奏する。

【００４６】本発明の請求項２記載の蒸気洗浄装置は、
以上のように、上記請求項１記載の蒸気洗浄装置におい
て、蒸気洗浄室内を減圧すべく蒸気洗浄室から減圧手段
にて引かれた気体に含まれる溶剤を回収する溶剤回収手
段を備えている構成である。

【００４７】それゆえ、蒸気洗浄室内を減圧する際に減
圧手段にて引かれた気体中に含まれる溶剤を回収するこ
とができ、溶剤の消費量を少なくしてランニングコスト
を削減することが可能となるという効果を奏する。

【００４８】本発明の請求項３記載の蒸気洗浄装置は、
以上のように、上記請求項１記載の蒸気洗浄装置におい
て、個々に独立して圧力調整可能であり、かつ、各々上
記蒸気洗浄室と各開閉手段を介して連通された、蒸気洗
浄室内に搬入される前の被洗浄物を収容する前室と、蒸
気洗浄室から搬出された被洗浄物を収容する後室とを備
えている構成である。

【００４９】これにより、蒸気洗浄室内の圧力を、ほぼ
一定に保つことができ、被洗浄物毎に毎回減圧手段を動
作させる必要がなくなる。それゆえ、蒸気洗浄室の減圧
毎に溶剤が、引かれた気体と共に大気中に放たれるよう
なことはなく、溶剤の消費量を少なくしてランニングコ
ストを削減することが可能となるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の蒸気洗浄装置の概略の構成
図である。

【図２】上記の蒸気洗浄装置に溶剤として使用されるＩ
ＰＡの沸点と圧力との関係を示すグラフである。

【図３】本発明の他の実施例の蒸気洗浄装置の概略の構
成図である。

【図４】図２に示す蒸気洗浄装置における洗浄処理の手
順を示す説明図である。

【図５】図２に示す蒸気洗浄装置における洗浄処理の手
順を示す説明図である。

【図６】従来の蒸気洗浄装置の概略の構成図である。

【符号の説明】

１ 蒸気槽（蒸気洗浄室） １’ 蒸気槽（蒸気洗浄室） ２ 溶剤 ３ 加熱ヒータ（加熱手段） ５ ポンプ（減圧手段） ６ 連通管（溶剤回収手段） ７ 被洗浄物 ８ 貯留タンク（溶剤回収手段） １３ 前室 １４ 後室 １５ 開閉トビラ（開閉手段） １６ 開閉トビラ（開閉手段）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被洗浄物を収容すると共に底部に溶剤を貯
   留した密閉可能な蒸気洗浄室と、蒸気洗浄室内に貯留さ
   れた溶剤を加熱して蒸気を発生させる加熱手段と、蒸気
   洗浄室内を減圧する減圧手段とを備え、溶剤の蒸気を用
   いて被洗浄物を蒸気洗浄することを特徴とする蒸気洗浄
   装置。
2. 【請求項２】蒸気洗浄室内を減圧すべく蒸気洗浄室から
   減圧手段にて引かれた気体に含まれる溶剤を回収する溶
   剤回収手段を備えていることを特徴とする上記請求項１
   記載の蒸気洗浄装置。
3. 【請求項３】個々に独立して圧力調整可能であり、か
   つ、各々蒸気洗浄室と各開閉手段を介して連通された、
   蒸気洗浄室内に搬入される前の被洗浄物を収容する前室
   と、蒸気洗浄室から搬出された被洗浄物を収容する後室
   とを備えていることを特徴とする上記請求項１記載の蒸
   気洗浄装置。