JPH07290489A - 樹脂成形方法 - Google Patents
樹脂成形方法Info
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- JPH07290489A JPH07290489A JP9196194A JP9196194A JPH07290489A JP H07290489 A JPH07290489 A JP H07290489A JP 9196194 A JP9196194 A JP 9196194A JP 9196194 A JP9196194 A JP 9196194A JP H07290489 A JPH07290489 A JP H07290489A
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 トランスファーモールドに適し信頼性の高い
樹脂成形方法を提供。 【構成】 上面側1と下金型2とでキャビティ11を形
成し、前記下金型2にランナー部18と、樹脂タブレッ
ト19を投入するポット21と、前記樹脂タブレット1
9を押圧するプランジャー20とを備え、前記金型を閉
じた時に、樹脂タブレット19の上端部19aが下金型
2のカル部上面10aに接し、その状態で一定のプレヒ
ート時間を保持し、軟化した樹脂が、前記ランナー部1
8を満たす第1の区間は速やかに、次いで前記キャビテ
ィ11内を満たす第2の区間は緩やかに流れるように、
前記プランジャー20の押圧速度を異ならしめる。 【効果】 樹脂タブレットの自動供給が効率良く、樹脂
の未充填、ワイヤー流れ、カルの割れの不良がなく、生
産性・信頼性が優れている。
樹脂成形方法を提供。 【構成】 上面側1と下金型2とでキャビティ11を形
成し、前記下金型2にランナー部18と、樹脂タブレッ
ト19を投入するポット21と、前記樹脂タブレット1
9を押圧するプランジャー20とを備え、前記金型を閉
じた時に、樹脂タブレット19の上端部19aが下金型
2のカル部上面10aに接し、その状態で一定のプレヒ
ート時間を保持し、軟化した樹脂が、前記ランナー部1
8を満たす第1の区間は速やかに、次いで前記キャビテ
ィ11内を満たす第2の区間は緩やかに流れるように、
前記プランジャー20の押圧速度を異ならしめる。 【効果】 樹脂タブレットの自動供給が効率良く、樹脂
の未充填、ワイヤー流れ、カルの割れの不良がなく、生
産性・信頼性が優れている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は樹脂成形方法に係わり、
ピンゲート方式において下プランジャー方式によるトラ
ンスファーモールドに適した樹脂成形方法に関するもの
である。
ピンゲート方式において下プランジャー方式によるトラ
ンスファーモールドに適した樹脂成形方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】近年、ICチップの高密度実装に伴い、
多数の電極を有する樹脂封止型半導体装置が開発されて
いる。その代表的なものとしては、PGA(ピングリッ
ドアレイ)がある。PGAは回路基板の一方の面にIC
チップを搭載して樹脂で封止し、他方の面にはICチッ
プと接続した複数のピンを配置した構造をしている。P
GAはマザーボードに対して着脱可能であるという利点
があるものの、ピンがあるので大型となり小型化が難し
いという問題があった。
多数の電極を有する樹脂封止型半導体装置が開発されて
いる。その代表的なものとしては、PGA(ピングリッ
ドアレイ)がある。PGAは回路基板の一方の面にIC
チップを搭載して樹脂で封止し、他方の面にはICチッ
プと接続した複数のピンを配置した構造をしている。P
GAはマザーボードに対して着脱可能であるという利点
があるものの、ピンがあるので大型となり小型化が難し
いという問題があった。
【0003】そこで、このPGAに代わる小型の樹脂封
止半導体装置として、ピンの代わりにパッドを配列した
パッド・アレイ・キャリア(以下PACと略す)が開発
されている。一般的に樹脂成形用金型のゲート方式とし
ては、サイドゲート方式とピンゲート方式とがあり、熱
可塑性樹脂成形ではピンゲート方式、熱硬化性樹脂成形
ではサイドゲート方式が比較的広く採用されている。
止半導体装置として、ピンの代わりにパッドを配列した
パッド・アレイ・キャリア(以下PACと略す)が開発
されている。一般的に樹脂成形用金型のゲート方式とし
ては、サイドゲート方式とピンゲート方式とがあり、熱
可塑性樹脂成形ではピンゲート方式、熱硬化性樹脂成形
ではサイドゲート方式が比較的広く採用されている。
【0004】一般的にサイドゲート方式を用いた熱硬化
性樹脂成形におけるトランスファーモールドによるIC
の樹脂封止方法では、封止部に連通するゲート残りが形
成されてしまい、ゲート残りを取り除く際に配線パター
ンを破壊したり、封止部を形成する樹脂にひび割れを生
じたり、またゲート部の樹脂が回路基板に沿って流れる
構造のため、回路基板上が樹脂で汚れたりする問題があ
った。
性樹脂成形におけるトランスファーモールドによるIC
の樹脂封止方法では、封止部に連通するゲート残りが形
成されてしまい、ゲート残りを取り除く際に配線パター
ンを破壊したり、封止部を形成する樹脂にひび割れを生
じたり、またゲート部の樹脂が回路基板に沿って流れる
構造のため、回路基板上が樹脂で汚れたりする問題があ
った。
【0005】そこで本出願人は、上記サイドゲート方式
の問題を排除するピンゲート方式に着目し、これをPA
Cのトランスファーモールドに採用し、先に特願平6−
3365号で提案したピンゲート方式において、下金型
側にプランジャーを配置する下プランジャー方式で、ト
ランスファーモールドに適し、樹脂封止精度が良く、信
頼性の高い樹脂成形方法と成形金型の構造を提供した。
の問題を排除するピンゲート方式に着目し、これをPA
Cのトランスファーモールドに採用し、先に特願平6−
3365号で提案したピンゲート方式において、下金型
側にプランジャーを配置する下プランジャー方式で、ト
ランスファーモールドに適し、樹脂封止精度が良く、信
頼性の高い樹脂成形方法と成形金型の構造を提供した。
【0006】即ち、図4はピンゲート方式でICを実装
した回路基板の樹脂成形方法及びその成形金型の構造を
示す要部断面図で、図4において、1は上金型であり、
7の固定側取付板、該固定側取付板7への熱の拡散を防
ぐ8の断熱部材及び5の固定側型板とで構成される。2
は下金型で、10の可動側型板、14の可動側型板
、並びに該可動側型板14の下部に順に組み合わさ
れる図示しない可動側受板、スペーサ及び可動側取付板
とで構成される。15はIC、9は該IC15を実装し
た回路基板であり、図示しない位置決め用ガイド穴を有
する。3は、9の回路基板の背面を押圧する平面を有す
る付勢押圧部で、該付勢押圧部3は十分大きなクリアラ
ンスを有する4の摺動部で摺動するように固定側型板5
に保持されている。6は前記付勢押圧部3を押圧する付
勢手段である圧縮コイルバネであり、前記断熱部材8に
格納されている。なお、付勢手段は圧縮コイルバネの代
わりに板バネ等のバネ部材や合成ゴム等の弾性部材であ
ってもよい。
した回路基板の樹脂成形方法及びその成形金型の構造を
示す要部断面図で、図4において、1は上金型であり、
7の固定側取付板、該固定側取付板7への熱の拡散を防
ぐ8の断熱部材及び5の固定側型板とで構成される。2
は下金型で、10の可動側型板、14の可動側型板
、並びに該可動側型板14の下部に順に組み合わさ
れる図示しない可動側受板、スペーサ及び可動側取付板
とで構成される。15はIC、9は該IC15を実装し
た回路基板であり、図示しない位置決め用ガイド穴を有
する。3は、9の回路基板の背面を押圧する平面を有す
る付勢押圧部で、該付勢押圧部3は十分大きなクリアラ
ンスを有する4の摺動部で摺動するように固定側型板5
に保持されている。6は前記付勢押圧部3を押圧する付
勢手段である圧縮コイルバネであり、前記断熱部材8に
格納されている。なお、付勢手段は圧縮コイルバネの代
わりに板バネ等のバネ部材や合成ゴム等の弾性部材であ
ってもよい。
【0007】さらに、13は断面が台形のカセット式の
キャビティブロックであり、前記可動側型板10に着
脱自在に挿嵌され、回路基板9の厚みより浅い凹部と、
該凹部の中には11のIC封止部のキャビティと、回路
基板9のガイド穴に挿通して前記回路基板9を位置決め
する位置決め部とらりなる一対のガイドピン12とが、
一つのキャビティブロック13に複数箇所(例えば3ケ
所)づつ形成されている。18dは、キャビティ11と
該キャビティ11の下方にあるランナー部とを接続する
樹脂移送経路の、後述する18cの縦ランナー部の上端
にあって、前記キャビティ11への樹脂注入口となるゲ
ート部である。
キャビティブロックであり、前記可動側型板10に着
脱自在に挿嵌され、回路基板9の厚みより浅い凹部と、
該凹部の中には11のIC封止部のキャビティと、回路
基板9のガイド穴に挿通して前記回路基板9を位置決め
する位置決め部とらりなる一対のガイドピン12とが、
一つのキャビティブロック13に複数箇所(例えば3ケ
所)づつ形成されている。18dは、キャビティ11と
該キャビティ11の下方にあるランナー部とを接続する
樹脂移送経路の、後述する18cの縦ランナー部の上端
にあって、前記キャビティ11への樹脂注入口となるゲ
ート部である。
【0008】次に、18は前記可動側型板10と可動
側型板14とで形成される樹脂移送経路であるランナ
ー部であり、該ランナー部18は樹脂タブレット19が
投入されるカル部18a、該カル部18aから延在する
横ランナー部18b及び該横ランナー部18bからキャ
ビティ11へ向かって立ち上がる縦ランナー部18cか
らなる。21は可動側型板14の中央に設けられ、前
記樹脂タブレット19を押圧するプランジャー20をガ
イドするポットである。また22は前記可動側型板1
4に固定されたランナーロックピンであり、該ランナー
ロックピン22の外周の一部に開口した切欠部がランナ
ー部18と交差しており、該切欠部がランナー部18の
側壁の一部を構成して、ランナー部18で硬化したラン
ナー樹脂の係止部となっている。前記ランナーロックピ
ン22の該係止部である前記切欠部は、カル部18aを
中心にした同一回転方向に向いている。
側型板14とで形成される樹脂移送経路であるランナ
ー部であり、該ランナー部18は樹脂タブレット19が
投入されるカル部18a、該カル部18aから延在する
横ランナー部18b及び該横ランナー部18bからキャ
ビティ11へ向かって立ち上がる縦ランナー部18cか
らなる。21は可動側型板14の中央に設けられ、前
記樹脂タブレット19を押圧するプランジャー20をガ
イドするポットである。また22は前記可動側型板1
4に固定されたランナーロックピンであり、該ランナー
ロックピン22の外周の一部に開口した切欠部がランナ
ー部18と交差しており、該切欠部がランナー部18の
側壁の一部を構成して、ランナー部18で硬化したラン
ナー樹脂の係止部となっている。前記ランナーロックピ
ン22の該係止部である前記切欠部は、カル部18aを
中心にした同一回転方向に向いている。
【0009】次に、23は可動側型板14に貫通し
て、下方の前記スペーサ内から駆動されるように設けら
れたランナーロック解除ピンであり、ピンの先端の傾斜
部がランナー部18のランナーロックピン22が係止す
る側の側壁の一部を構成するように各ランナーロックピ
ン22に対応して配設されている。24は前記上金型1
及び下金型2をそれぞれ案内するガイドポストで、25
はパーティングラインである。2ケのキャビティブロッ
ク13をカル部18aに対して互いに点対称の位置にな
るように、即ちカル部18aから対応するキャビティ1
1までの距離が等しくなるように、前記可動側型板1
0の図示しない壁面またはピンであるストッパーに当接
するように断面に垂直に押し込んでおいて、両キャビテ
ィブロック13の間を26の押さえ部材をボルトで締結
することにより、2ケのキャビティブロック13を同時
に装着することができる。この時、可動側型板10の
縦ランナー部18cからキャビティブロック13のゲー
ト部18dまで隙間なく、継ぎ目を含めてアッダーカッ
トが生じない形状の樹脂移送経路が形成される。
て、下方の前記スペーサ内から駆動されるように設けら
れたランナーロック解除ピンであり、ピンの先端の傾斜
部がランナー部18のランナーロックピン22が係止す
る側の側壁の一部を構成するように各ランナーロックピ
ン22に対応して配設されている。24は前記上金型1
及び下金型2をそれぞれ案内するガイドポストで、25
はパーティングラインである。2ケのキャビティブロッ
ク13をカル部18aに対して互いに点対称の位置にな
るように、即ちカル部18aから対応するキャビティ1
1までの距離が等しくなるように、前記可動側型板1
0の図示しない壁面またはピンであるストッパーに当接
するように断面に垂直に押し込んでおいて、両キャビテ
ィブロック13の間を26の押さえ部材をボルトで締結
することにより、2ケのキャビティブロック13を同時
に装着することができる。この時、可動側型板10の
縦ランナー部18cからキャビティブロック13のゲー
ト部18dまで隙間なく、継ぎ目を含めてアッダーカッ
トが生じない形状の樹脂移送経路が形成される。
【0010】次に、図4によりPACのトランスファー
モールドにおけるピンゲート方式の成形動作を説明す
る。まず型開きされた下金型2のキャビティブロック1
3の位置決め部であるガイドピン12に、実装されたI
Cが下向きになるように回路基板9を装着した後、上金
型1の付勢押圧部3で前記回路基板9の背面を押圧する
ように型を閉じ、所定の温度、例えば165°C程度に
加熱された前記金型に、後述する如く予熱された熱硬化
性樹脂である樹脂タブレット19をポット21に投入
し、プランジャー20を押し込んで圧力を加えることに
より、軟化した熱硬化性樹脂をカル部18aから横ラン
ナー部18b、縦ランナー部18c、ゲート部18dを
経てキャビティ11内に押し上げるように注入する。
モールドにおけるピンゲート方式の成形動作を説明す
る。まず型開きされた下金型2のキャビティブロック1
3の位置決め部であるガイドピン12に、実装されたI
Cが下向きになるように回路基板9を装着した後、上金
型1の付勢押圧部3で前記回路基板9の背面を押圧する
ように型を閉じ、所定の温度、例えば165°C程度に
加熱された前記金型に、後述する如く予熱された熱硬化
性樹脂である樹脂タブレット19をポット21に投入
し、プランジャー20を押し込んで圧力を加えることに
より、軟化した熱硬化性樹脂をカル部18aから横ラン
ナー部18b、縦ランナー部18c、ゲート部18dを
経てキャビティ11内に押し上げるように注入する。
【0011】熱硬化性樹脂を充填後、所定の熱硬化時
間、例えば90秒程度保持した後、可動側型板10と
可動側型板14との型開きして、ランナー樹脂を成形
樹脂から切り離し、次にランナーロック解除ピン23を
操作してランナーロックの解除を行いランナーロックピ
ン22の係止部からランナー樹脂を押し外した後、固定
側型板5と可動側型板10とを開いて成形樹脂で封止
された製品であるPACを取り出す。前記PACの取り
出しは、回路基板9のフラットな背面側が上を向いてい
るため、汎用の吸着パッド等の吸着手段により容易に取
り出すことができる、あるいは軽いエアーの吹き出しと
吸着によっても簡単に取り出すことが可能である。な
お、前述したように回路基板2をキャビティブロック1
3の位置決め部であるガイドピン12に装着する際も、
回路基板の背面側が上方に位置しフラットなため作業は
容易である。
間、例えば90秒程度保持した後、可動側型板10と
可動側型板14との型開きして、ランナー樹脂を成形
樹脂から切り離し、次にランナーロック解除ピン23を
操作してランナーロックの解除を行いランナーロックピ
ン22の係止部からランナー樹脂を押し外した後、固定
側型板5と可動側型板10とを開いて成形樹脂で封止
された製品であるPACを取り出す。前記PACの取り
出しは、回路基板9のフラットな背面側が上を向いてい
るため、汎用の吸着パッド等の吸着手段により容易に取
り出すことができる、あるいは軽いエアーの吹き出しと
吸着によっても簡単に取り出すことが可能である。な
お、前述したように回路基板2をキャビティブロック1
3の位置決め部であるガイドピン12に装着する際も、
回路基板の背面側が上方に位置しフラットなため作業は
容易である。
【0012】上述の熱硬化性樹脂である樹脂タブレット
19の予熱方法は、図示しないローラ上で回転する前記
樹脂タブレット19に高周波を均一に放射することによ
り樹脂タブレット19全体を例えば、80°C、20s
ec程度で一様に軟化させる。前記軟化された樹脂タブ
レット19をポット21内に投入し、プランジャー20
を押圧してトランスファーモールドを行うことにより、
前記したように樹脂成形条件は良好であるが、樹脂タブ
レット19が軟化されているため、柔らかい樹脂タブレ
ット19を自動供給装置により効率良く供給することが
出来ないという新たな問題が発生した。
19の予熱方法は、図示しないローラ上で回転する前記
樹脂タブレット19に高周波を均一に放射することによ
り樹脂タブレット19全体を例えば、80°C、20s
ec程度で一様に軟化させる。前記軟化された樹脂タブ
レット19をポット21内に投入し、プランジャー20
を押圧してトランスファーモールドを行うことにより、
前記したように樹脂成形条件は良好であるが、樹脂タブ
レット19が軟化されているため、柔らかい樹脂タブレ
ット19を自動供給装置により効率良く供給することが
出来ないという新たな問題が発生した。
【0013】また、当初は金型温度が165°Cで12
0sec〜140sec程度の成形時間で樹脂成形を行
っていたが、成形のサイクルが長いので、100sec
以内を目標とするサイクル短縮が望まれる。図4に示す
如く、先ず予熱してない樹脂タブレット19を図示され
ていない自動供給装置を用いて前記可動側型板14が
開いている時に速やかにポット21内に投入して、前記
成形金型を閉じた状態においては、前記樹脂タブレット
19の上端部19aと可動側型板10のカル部上面1
0aとの間に隙間eがあり、その状態から前記プランジ
ャー20を押圧してトランスファーモールドを行う。
0sec〜140sec程度の成形時間で樹脂成形を行
っていたが、成形のサイクルが長いので、100sec
以内を目標とするサイクル短縮が望まれる。図4に示す
如く、先ず予熱してない樹脂タブレット19を図示され
ていない自動供給装置を用いて前記可動側型板14が
開いている時に速やかにポット21内に投入して、前記
成形金型を閉じた状態においては、前記樹脂タブレット
19の上端部19aと可動側型板10のカル部上面1
0aとの間に隙間eがあり、その状態から前記プランジ
ャー20を押圧してトランスファーモールドを行う。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た樹脂成形方法において、金型の外で予熱してない樹脂
タブレット19を投入し、前記プランジャー20を押し
込み、はじめ樹脂タブレット19の上端部19aが金型
に当接する時点では、樹脂タブレット19は前記プラン
ジャー20と投入時にすでに接していた下端部19b側
から溶けはじめ、溶融した樹脂はキャビティ11に向か
って流れて行くが、更に前記プランジャー20を押圧す
ることにより、下端部19b側の溶融した樹脂は、上端
部19aが完全に溶けない状態で、前記樹脂タブレット
19と前記ポット21の内壁との隙間、例えば樹脂タブ
レット19の直径d1 =16mmとプランジャー20の
直径d2 =17mmとの差、片側で0.5mm程度の狭
い間隙を下部から上部に向かって流れるため、前記ポッ
ト21の内部で急激な熱反応が起こり、前記プランジャ
ー20を20sec程度で押圧すると一旦軟化した樹脂
が固まり始め、未充填の製品が発生する。硬化が始まら
ないうちに充填すべくプランジャー20の押圧速度を速
めるとボンディングワイヤーのワイヤー流れが発生して
しまう。
た樹脂成形方法において、金型の外で予熱してない樹脂
タブレット19を投入し、前記プランジャー20を押し
込み、はじめ樹脂タブレット19の上端部19aが金型
に当接する時点では、樹脂タブレット19は前記プラン
ジャー20と投入時にすでに接していた下端部19b側
から溶けはじめ、溶融した樹脂はキャビティ11に向か
って流れて行くが、更に前記プランジャー20を押圧す
ることにより、下端部19b側の溶融した樹脂は、上端
部19aが完全に溶けない状態で、前記樹脂タブレット
19と前記ポット21の内壁との隙間、例えば樹脂タブ
レット19の直径d1 =16mmとプランジャー20の
直径d2 =17mmとの差、片側で0.5mm程度の狭
い間隙を下部から上部に向かって流れるため、前記ポッ
ト21の内部で急激な熱反応が起こり、前記プランジャ
ー20を20sec程度で押圧すると一旦軟化した樹脂
が固まり始め、未充填の製品が発生する。硬化が始まら
ないうちに充填すべくプランジャー20の押圧速度を速
めるとボンディングワイヤーのワイヤー流れが発生して
しまう。
【0015】また、図5に示すように、上端部の樹脂が
流れず下端部の樹脂のみが流れるために、樹脂硬化後の
ランナー樹脂28のカル部中央28eとカル部外周28
fとの間に層が出来て割れ易く、型開きの際にカルの割
れの発生する原因となり、カルの割れでランナー部が上
金型側に取られて、成形作業を続行することが不可能と
なるなどの問題が発生した。
流れず下端部の樹脂のみが流れるために、樹脂硬化後の
ランナー樹脂28のカル部中央28eとカル部外周28
fとの間に層が出来て割れ易く、型開きの際にカルの割
れの発生する原因となり、カルの割れでランナー部が上
金型側に取られて、成形作業を続行することが不可能と
なるなどの問題が発生した。
【0016】本発明は上記従来の課題に鑑みてされたも
のであり、その目的は、下プランジャー方式によるトラ
ンスファーモールドに適し、樹脂封止精度が良く、さら
に樹脂タブレットの自動供給に好都合な、信頼性の高い
樹脂成形方法を提供するものである。
のであり、その目的は、下プランジャー方式によるトラ
ンスファーモールドに適し、樹脂封止精度が良く、さら
に樹脂タブレットの自動供給に好都合な、信頼性の高い
樹脂成形方法を提供するものである。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明における樹脂成形方法は、上金型と下金型と
でキャビティを形成し、前記下金型側にランナー部と、
樹脂タブレットを投入するポットと、前記投入された樹
脂タブレットを押圧するプランジャーとを具備した樹脂
成形金型を用いてトランスファーモールドする樹脂成形
方法において、前記上金型と下金型を閉じたときに前記
樹脂タブレットの上端が前記下金型のカル部上面に当接
するようにポット内に樹脂タブレットを投入し、その状
態で一定のプレヒート時間を保持した後、前記プランジ
ャーを押圧してトランスファーモールドを行うことを特
徴とするものである。
に、本発明における樹脂成形方法は、上金型と下金型と
でキャビティを形成し、前記下金型側にランナー部と、
樹脂タブレットを投入するポットと、前記投入された樹
脂タブレットを押圧するプランジャーとを具備した樹脂
成形金型を用いてトランスファーモールドする樹脂成形
方法において、前記上金型と下金型を閉じたときに前記
樹脂タブレットの上端が前記下金型のカル部上面に当接
するようにポット内に樹脂タブレットを投入し、その状
態で一定のプレヒート時間を保持した後、前記プランジ
ャーを押圧してトランスファーモールドを行うことを特
徴とするものである。
【0018】また、前記樹脂タブレットの軟化した樹脂
が、前記ランナー部内を満たす第1の区間と、前記キャ
ビティ内を満たす第2の区間とで、前記プランジャーの
押圧速度を異ならせたことを特徴とするものである。
が、前記ランナー部内を満たす第1の区間と、前記キャ
ビティ内を満たす第2の区間とで、前記プランジャーの
押圧速度を異ならせたことを特徴とするものである。
【0019】また、前記プランジャーの押圧速度は、第
1の区間を第2の区間より速く設定したことを特徴とす
るものである。
1の区間を第2の区間より速く設定したことを特徴とす
るものである。
【0020】また、前記下金型のカル部上面のタブレッ
ト当接部に樹脂流れ誘導部を形成して、樹脂の流れを整
流したことを特徴とするものである。
ト当接部に樹脂流れ誘導部を形成して、樹脂の流れを整
流したことを特徴とするものである。
【0021】また、前記樹脂流れ誘導部が凸形状である
ことを特徴とするものである。
ことを特徴とするものである。
【0022】また、前記樹脂流れ誘導部の凸形状は円錐
形状であることを特徴とするものである。
形状であることを特徴とするものである。
【0023】また、上金型と下金型とでキャビティを形
成し、前記下金型側にランナー部と、樹脂タブレットを
投入するポットと、前記投入された樹脂タブレットを押
圧するプランジャーとを具備した樹脂成形金型を用いて
トランスファーモールドする樹脂成形方法において、前
記キャビティ内にICを実装した回路基板を前記ICを
下向きになくように装着し、前記上金型と下金型を閉じ
たときに前記樹脂タブレットの上端が前記下金型のカル
部上面に当接するようにポット内に樹脂タブレットを投
入し、その状態で一定のプレヒート時間を保持した後、
前記プランジャーを押圧してトランスファーモールドを
行うことを特徴とするものである。
成し、前記下金型側にランナー部と、樹脂タブレットを
投入するポットと、前記投入された樹脂タブレットを押
圧するプランジャーとを具備した樹脂成形金型を用いて
トランスファーモールドする樹脂成形方法において、前
記キャビティ内にICを実装した回路基板を前記ICを
下向きになくように装着し、前記上金型と下金型を閉じ
たときに前記樹脂タブレットの上端が前記下金型のカル
部上面に当接するようにポット内に樹脂タブレットを投
入し、その状態で一定のプレヒート時間を保持した後、
前記プランジャーを押圧してトランスファーモールドを
行うことを特徴とするものである。
【0024】また、前記樹脂タブレットの軟化した樹脂
が、前記ランナー部内を満たす第1の区間と、前記IC
を実装した回路基板が装着されたキャビティ内を満たす
第2の区間とで、前記プランジャーの押圧速度を異なら
せたことを特徴とするものである。
が、前記ランナー部内を満たす第1の区間と、前記IC
を実装した回路基板が装着されたキャビティ内を満たす
第2の区間とで、前記プランジャーの押圧速度を異なら
せたことを特徴とするものである。
【0025】
【作用】従って、本発明における樹脂成形方法におい
て、前述したように、熱硬化性樹脂である樹脂タブレッ
トを予熱しない状態で下金型側に配設されたポット内に
自動供給装置により投入する。次に上金型と下金型を閉
じた状態で、前記樹脂タブレットの上端が下金型のカル
部上面に当接するように予めプランジャー下死点を設定
しておく。前記樹脂タブレットの下端部はプランジャー
に、上端部は下金型のカル部上面に接した状態で樹脂タ
ブレットを一定時間プレヒートし、均一に軟化させた
後、前記プランジャーを押圧するが、プランジャーの押
圧速度は前記軟化した樹脂がランナー部を満たす区間、
即ちゲート部に達するまでの区間は速く、次いでキャビ
ティ内を満たす区間を遅くなるように設定する。更に前
記下金型のカル部上面のタブレット当接部に樹脂流れを
整流する凸形状の樹脂流れ誘導部を形成することにより
更に樹脂の流れを良くし、溶融された樹脂はスムーズに
ランナー部を速やかに、キャビティ内を緩やかに流れる
ことにより、キャビティ内の製品の未充填もなく、また
ボンディングワイヤーのワイヤーの流れもなく、更にカ
ルの割れの発生も解消され、生産性の良い樹脂成形作業
を継続的に行うことが可能になった。
て、前述したように、熱硬化性樹脂である樹脂タブレッ
トを予熱しない状態で下金型側に配設されたポット内に
自動供給装置により投入する。次に上金型と下金型を閉
じた状態で、前記樹脂タブレットの上端が下金型のカル
部上面に当接するように予めプランジャー下死点を設定
しておく。前記樹脂タブレットの下端部はプランジャー
に、上端部は下金型のカル部上面に接した状態で樹脂タ
ブレットを一定時間プレヒートし、均一に軟化させた
後、前記プランジャーを押圧するが、プランジャーの押
圧速度は前記軟化した樹脂がランナー部を満たす区間、
即ちゲート部に達するまでの区間は速く、次いでキャビ
ティ内を満たす区間を遅くなるように設定する。更に前
記下金型のカル部上面のタブレット当接部に樹脂流れを
整流する凸形状の樹脂流れ誘導部を形成することにより
更に樹脂の流れを良くし、溶融された樹脂はスムーズに
ランナー部を速やかに、キャビティ内を緩やかに流れる
ことにより、キャビティ内の製品の未充填もなく、また
ボンディングワイヤーのワイヤーの流れもなく、更にカ
ルの割れの発生も解消され、生産性の良い樹脂成形作業
を継続的に行うことが可能になった。
【0026】
【実施例】以下図面に基づいて好適な実施例を説明す
る。図1は本発明の実施例で、ピンゲート方式のICを
実装した回路基板の樹脂成形方法を示す要部断面図、図
2はプランジャーの押し込み速度グラフである。なお図
において、従来技術と同一部材は同一符号と名称で示
す。
る。図1は本発明の実施例で、ピンゲート方式のICを
実装した回路基板の樹脂成形方法を示す要部断面図、図
2はプランジャーの押し込み速度グラフである。なお図
において、従来技術と同一部材は同一符号と名称で示
す。
【0027】先ず図1において、金型構造は従来技術と
同様であるので詳細な説明は省略する。図1及び図2に
おいて樹脂成形方法を説明すると、まず型開きされた下
金型1のキャビティブロック13の位置決め部あるガイ
ドピン12に、IC15が実装された回路基板9をIC
15が下向きになるように装着した後、型を閉じ、所定
の温度、例えば155°C程度に加熱された前記成形金
型に、可動側型板14が開いている時に、素早く図示
しない自動供給装置により加熱されていない樹脂タブレ
ット19をポット21に投入し、前記可動側型板14
を閉じる。その際プランジャー20の下死点P1は、前
記投入した樹脂タブレット19の上端部19aが下金型
2の可動側型板10のカル部上面10aに当接するよ
うに予め設定しておく。本実施例では、前記プランジャ
ー20の下死点P1は、例えば可動側型板10のカル
部上面10aより40mm程度下がった位置である。
同様であるので詳細な説明は省略する。図1及び図2に
おいて樹脂成形方法を説明すると、まず型開きされた下
金型1のキャビティブロック13の位置決め部あるガイ
ドピン12に、IC15が実装された回路基板9をIC
15が下向きになるように装着した後、型を閉じ、所定
の温度、例えば155°C程度に加熱された前記成形金
型に、可動側型板14が開いている時に、素早く図示
しない自動供給装置により加熱されていない樹脂タブレ
ット19をポット21に投入し、前記可動側型板14
を閉じる。その際プランジャー20の下死点P1は、前
記投入した樹脂タブレット19の上端部19aが下金型
2の可動側型板10のカル部上面10aに当接するよ
うに予め設定しておく。本実施例では、前記プランジャ
ー20の下死点P1は、例えば可動側型板10のカル
部上面10aより40mm程度下がった位置である。
【0028】次に、上記したように投入された樹脂タブ
レット19の上端部19aが可動側型板10のカル部
上面10aに当接した状態で、一定のプレヒート時間、
例えば10sec〜15sec(図2ではa=15se
c)保持することにより、前記樹脂タブレット19は均
一に軟化される。図2におけるプランジャー押し込み速
度グラフのプレヒート区間Aに相当する。
レット19の上端部19aが可動側型板10のカル部
上面10aに当接した状態で、一定のプレヒート時間、
例えば10sec〜15sec(図2ではa=15se
c)保持することにより、前記樹脂タブレット19は均
一に軟化される。図2におけるプランジャー押し込み速
度グラフのプレヒート区間Aに相当する。
【0029】なお、上記したように投入された樹脂タブ
レット19の上端部19aが可動側型板10のカル部
上面10aに当接した状態で、一定のプレヒート時間を
設けずにプランジャー20を押し込むと、樹脂タブレッ
ト19の上端部19aも軟化しはじめて樹脂は流れる
が、樹脂タブレット19は均一に軟化されていないため
に、ボンディングワイヤーのワイヤー流れが若干生じ
た。
レット19の上端部19aが可動側型板10のカル部
上面10aに当接した状態で、一定のプレヒート時間を
設けずにプランジャー20を押し込むと、樹脂タブレッ
ト19の上端部19aも軟化しはじめて樹脂は流れる
が、樹脂タブレット19は均一に軟化されていないため
に、ボンディングワイヤーのワイヤー流れが若干生じ
た。
【0030】そこで、前記の一定のプレヒート時間経過
後、即ち樹脂タブレット19が均一に軟化された状態
で、前記プランジャー20を押し込むが、軟化し溶融し
た樹脂が横ランナー部18b、縦ランナー部18cより
なるランナー部18内を満たす第1の区間Bは、前記プ
ランジャー20の位置が下死点P1よりP2まで、例え
ば20mmを速やかに(図2ではb=5sec)押し込
むことにより、溶融した樹脂はゲート部18dまで到達
する。
後、即ち樹脂タブレット19が均一に軟化された状態
で、前記プランジャー20を押し込むが、軟化し溶融し
た樹脂が横ランナー部18b、縦ランナー部18cより
なるランナー部18内を満たす第1の区間Bは、前記プ
ランジャー20の位置が下死点P1よりP2まで、例え
ば20mmを速やかに(図2ではb=5sec)押し込
むことにより、溶融した樹脂はゲート部18dまで到達
する。
【0031】更に、前記プランジャー20を押し込む
が、前記ゲート部18dを通過した樹脂が前記キャビテ
ィ11内を満たす第2の区間Cは、前記プランジャー2
0の位置がP2より上死点P3まで、例えば18mmを
緩やかに(図2ではc=18sec)押し込むことによ
り、溶融した樹脂はボンディングワイヤーのワイヤー流
れを起こすことなく確実にキャビティ11内に充填され
る。
が、前記ゲート部18dを通過した樹脂が前記キャビテ
ィ11内を満たす第2の区間Cは、前記プランジャー2
0の位置がP2より上死点P3まで、例えば18mmを
緩やかに(図2ではc=18sec)押し込むことによ
り、溶融した樹脂はボンディングワイヤーのワイヤー流
れを起こすことなく確実にキャビティ11内に充填され
る。
【0032】従って、プランジャー20の上死点P3と
下金型2を構成する可動側型板10のカル部上面10
aとの隙間は、成形樹脂のカルの厚さに相当する、例え
ば2mm程度残ることになり、樹脂が硬化し始めるまで
の時間(図2のDに相当)を必要とした後プランジャー
20が下降する。
下金型2を構成する可動側型板10のカル部上面10
aとの隙間は、成形樹脂のカルの厚さに相当する、例え
ば2mm程度残ることになり、樹脂が硬化し始めるまで
の時間(図2のDに相当)を必要とした後プランジャー
20が下降する。
【0033】上記したように投入された樹脂タブレット
19の上端部19aが可動側型板10のカル部上面1
0aに当接した状態で、一定のプレヒート時間保持し均
一に軟化された樹脂タブレット19が、溶融して固まら
ない時間内に、前記ランナー部18を満たす第1の区間
Bと、キャビティ11内を満たす第2の区間Cとで、プ
ランジャー20の押圧速度を異ならしめ、第1の区間を
第2の区間より速く設定したのである。本実施例におい
ては、プレヒート時間を15sec、第1の区間Bは、
前記プランジャー20を20mm押し込むのに5sec
要したのに対し、第2の区間Cは、18mm押し込むの
に18secを要する如く設定したのである。
19の上端部19aが可動側型板10のカル部上面1
0aに当接した状態で、一定のプレヒート時間保持し均
一に軟化された樹脂タブレット19が、溶融して固まら
ない時間内に、前記ランナー部18を満たす第1の区間
Bと、キャビティ11内を満たす第2の区間Cとで、プ
ランジャー20の押圧速度を異ならしめ、第1の区間を
第2の区間より速く設定したのである。本実施例におい
ては、プレヒート時間を15sec、第1の区間Bは、
前記プランジャー20を20mm押し込むのに5sec
要したのに対し、第2の区間Cは、18mm押し込むの
に18secを要する如く設定したのである。
【0034】上記の如くプランジャー20の下死点の位
置、樹脂タブレット19のプレヒート時間及び第1及び
第2の区間でのプランジャー20の押し込み速度等の設
定は、樹脂タブレット19の組成及び寸法、成形金型温
度、ランナー部18及びキャビティ11内の容積等を考
慮してその都度適切な値に設定するものである。
置、樹脂タブレット19のプレヒート時間及び第1及び
第2の区間でのプランジャー20の押し込み速度等の設
定は、樹脂タブレット19の組成及び寸法、成形金型温
度、ランナー部18及びキャビティ11内の容積等を考
慮してその都度適切な値に設定するものである。
【0035】従って、前記樹脂タブレット19は上端部
19a及び下端部19bとも全体が均一に軟化された状
態でプランジャー20を押し込むので、樹脂成形さたカ
ル部中央とカル外周との間に層が出来ることもなく均一
で、型開きの際にカルの割れが発生してランナー樹脂2
8の一部が上金型側に取られることもない。成形作業は
スムーズに続行することが可能となる。さらに前記した
ようにボンディングワイヤーのワイヤー流れや未充填を
起こすこともない。
19a及び下端部19bとも全体が均一に軟化された状
態でプランジャー20を押し込むので、樹脂成形さたカ
ル部中央とカル外周との間に層が出来ることもなく均一
で、型開きの際にカルの割れが発生してランナー樹脂2
8の一部が上金型側に取られることもない。成形作業は
スムーズに続行することが可能となる。さらに前記した
ようにボンディングワイヤーのワイヤー流れや未充填を
起こすこともない。
【0036】図3は本実施例における下金型2を構成す
る可動側型板10のカル部上面10aの樹脂タブレッ
ト19の当接部に、円錐状の凸形状をした樹脂流れ誘導
部10bを形成し、プランジャー20を押し込むことに
より、軟化、溶融した樹脂は前記樹脂流れ誘導部10b
に沿って流れが整流され、ランナー部18を通ってキャ
ビティ11内にスムーズに流れていく。
る可動側型板10のカル部上面10aの樹脂タブレッ
ト19の当接部に、円錐状の凸形状をした樹脂流れ誘導
部10bを形成し、プランジャー20を押し込むことに
より、軟化、溶融した樹脂は前記樹脂流れ誘導部10b
に沿って流れが整流され、ランナー部18を通ってキャ
ビティ11内にスムーズに流れていく。
【0037】上述の如く、本実施例の樹脂成形方法の特
徴とするところは、従来は樹脂タブレットを金型の外で
プレヒートして軟化した状態でポット内に投入していた
が、自動供給装置により効率よく供給するのに軟化した
状態の樹脂タブレットでは不適当であるため、固化され
た状態のまま樹脂タブレットを自動供給装置によりポッ
ト内に供給し、金型を閉じた時に、樹脂タブレットの上
端が下金型のカル部上面に接するようにして、その状態
で金型内で樹脂タブレットを一定時間プレヒートして均
一に軟化させる。その後樹脂タブレットが、溶融して固
まらない時間内に、樹脂がランナー部を満たす第1の区
間と、キャビティ内を満たす第2の区間とで、プランジ
ャーの押圧速度を異ならしめ、第1の区間を第2の区間
より速く設定したものである。更に下金型のカル部上面
の樹脂タブレット当接部に樹脂流れ誘導部を形成して、
溶融樹脂の流れを整流することにより、樹脂の未充填及
びボンディングワイヤーのワイヤー流れもない、更にカ
ルの割れもない。
徴とするところは、従来は樹脂タブレットを金型の外で
プレヒートして軟化した状態でポット内に投入していた
が、自動供給装置により効率よく供給するのに軟化した
状態の樹脂タブレットでは不適当であるため、固化され
た状態のまま樹脂タブレットを自動供給装置によりポッ
ト内に供給し、金型を閉じた時に、樹脂タブレットの上
端が下金型のカル部上面に接するようにして、その状態
で金型内で樹脂タブレットを一定時間プレヒートして均
一に軟化させる。その後樹脂タブレットが、溶融して固
まらない時間内に、樹脂がランナー部を満たす第1の区
間と、キャビティ内を満たす第2の区間とで、プランジ
ャーの押圧速度を異ならしめ、第1の区間を第2の区間
より速く設定したものである。更に下金型のカル部上面
の樹脂タブレット当接部に樹脂流れ誘導部を形成して、
溶融樹脂の流れを整流することにより、樹脂の未充填及
びボンディングワイヤーのワイヤー流れもない、更にカ
ルの割れもない。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固化された状態のまま樹脂タブレットを扱えるので、自
動供給装置を効率よく活用することができる。また樹脂
タブレットを供給して成形金型を閉じた時に、樹脂タブ
レットの上下両端面が金型に接した状態で一定のプレヒ
ート時間保持することにより、樹脂タブレットは効率よ
く均一に軟化する。樹脂が溶融して固まらない時間内
に、溶融樹脂がランナー部を速やかに、キャビティ内を
緩やかに流れるようにプランジャーの押圧速度を異なら
せたので、キャビティ内の充填不良、ワイヤー流れ及び
カルの割れが無くなり、トランスファーモールドに適
し、生産性が優れ、信頼性の高い樹脂成形方法を提供す
ることができる。
固化された状態のまま樹脂タブレットを扱えるので、自
動供給装置を効率よく活用することができる。また樹脂
タブレットを供給して成形金型を閉じた時に、樹脂タブ
レットの上下両端面が金型に接した状態で一定のプレヒ
ート時間保持することにより、樹脂タブレットは効率よ
く均一に軟化する。樹脂が溶融して固まらない時間内
に、溶融樹脂がランナー部を速やかに、キャビティ内を
緩やかに流れるようにプランジャーの押圧速度を異なら
せたので、キャビティ内の充填不良、ワイヤー流れ及び
カルの割れが無くなり、トランスファーモールドに適
し、生産性が優れ、信頼性の高い樹脂成形方法を提供す
ることができる。
【図1】本発明の実施例に係わるピンゲート方式のIC
を実装した回路基板の樹脂成形方法を説明する成形金型
の要部断面図である。
を実装した回路基板の樹脂成形方法を説明する成形金型
の要部断面図である。
【図2】本発明の実施例に係わるプランジャーの押し込
み速度グラフである。
み速度グラフである。
【図3】本発明の実施例に係わる樹脂流れ誘導部を示す
要部断面図である。
要部断面図である。
【図4】従来技術のピンゲート方式のICを実装した回
路基板の樹脂成形方法を説明する成形金型の要部断面図
である。
路基板の樹脂成形方法を説明する成形金型の要部断面図
である。
【図5】従来技術のランナー樹脂を説明する要部斜視図
である。
である。
1 上金型 2 下金型 9 回路基板 10 可動側型板 10a カル部上面 10b 樹脂流れ誘導部 11 キャビティ 14 可動側型板 15 IC 18 ランナー部 18a カル部 18b 横ランナー部 18c 縦ランナー部 18d ゲート部 19 樹脂タブレット 19a 樹脂タブレット上端部 19b 樹脂タブレット下端部 20 プランジャー 21 ポット A プレヒート区間 B 第1の区間 C 第2の区間 P1 プランジャー下死点 P2 プランジャー第1の区間押し込み位置 P3 プランジャー上死点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B29C 45/77 7365−4F (72)発明者 名雪 輝夫 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチズ ン時計株式会社田無製造所内 (72)発明者 浅海 和彦 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチズ ン時計株式会社田無製造所内
Claims (8)
- 【請求項1】 上金型と下金型とでキャビティを形成
し、前記下金型側にランナー部と、樹脂タブレットを投
入するポットと、前記投入された樹脂タブレットを押圧
するプランジャーとを具備した樹脂成形金型を用いてト
ランスファーモールドする樹脂成形方法において、前記
上金型と下金型とを閉じたときに前記樹脂タブレットの
上端が前記下金型のカル部上面に当接するようにポット
内に樹脂タブレットを投入し、その状態で一定のプレヒ
ート時間を保持した後、前記プランジャーを押圧してト
ランスファーモールドを行うことを特徴とする樹脂成形
方法。 - 【請求項2】 前記樹脂タブレットの軟化した樹脂が、
前記ランナー部内を満たす第1の区間と、前記キャビテ
ィ内を満たす第2の区間とで、前記プランジャーの押圧
速度を異ならせたことを特徴とする請求項1記載の樹脂
成形方法。 - 【請求項3】 前記プランジャーの押圧速度は、第1の
区間を第2の区間より速く設定したことを特徴とする請
求項2記載の樹脂成形方法。 - 【請求項4】 前記下金型のカル部上面のタブレット当
接部に樹脂流れ誘導部を形成して、樹脂の流れを整流し
たことを特徴とする請求項1記載の樹脂成形方法。 - 【請求項5】 前記樹脂流れ誘導部が凸形状であること
を特徴とする請求項4記載の樹脂成形方法。 - 【請求項6】 前記樹脂流れ誘導部の凸形状は円錐形状
であることを特徴とする請求項5記載の樹脂成形方法。 - 【請求項7】 上金型と下金型とでキャビティを形成
し、前記下金型側にランナー部と、樹脂タブレットを投
入するポットと、前記投入された樹脂タブレットを押圧
するプランジャーとを具備した樹脂成形金型を用いてト
ランスファーモールドする樹脂成形方法において、前記
キャビティ内にICを実装した回路基板を前記ICを下
向きになるように装着し、前記上金型と下金型とを閉じ
たときに前記樹脂タブレットの上端が前記下金型のカル
部上面に当接するようにポット内に樹脂タブレットを投
入し、その状態で一定のプレヒート時間を保持した後、
前記プランジャーを押圧してトランスファーモールドを
行うことを特徴とする樹脂成形方法。 - 【請求項8】 前記樹脂タブレットの軟化した樹脂が、
前記ランナー部内を満たす第1の区間と、前記キャビテ
ィ内を満たす第2の区間とで、前記プランジャーの押圧
速度を異ならせたことを特徴とする請求項7記載の樹脂
成形方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9196194A JPH07290489A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 樹脂成形方法 |
| PCT/JP1995/000007 WO1995019251A1 (en) | 1994-01-13 | 1995-01-06 | Method of resin-sealing semiconductor devices |
| DE69519259T DE69519259T2 (de) | 1994-01-13 | 1995-01-06 | Verfahren zum harzversiegeln von halbleiterbauteilen |
| EP95905230A EP0688650B1 (en) | 1994-01-13 | 1995-01-06 | Method of resin-sealing semiconductor devices |
| US08/522,244 US5783134A (en) | 1994-01-13 | 1995-01-06 | Method of resin-sealing semiconductor device |
| KR1019950703877A KR960700875A (ko) | 1994-01-13 | 1995-01-06 | 반도체 장치의 수지봉지 방법 |
| TW084100145A TW268144B (ja) | 1994-01-13 | 1995-01-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9196194A JPH07290489A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 樹脂成形方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07290489A true JPH07290489A (ja) | 1995-11-07 |
Family
ID=14041162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9196194A Pending JPH07290489A (ja) | 1994-01-13 | 1994-04-28 | 樹脂成形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07290489A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07211739A (ja) * | 1994-01-18 | 1995-08-11 | Citizen Watch Co Ltd | Icを実装した回路基板の樹脂封止方法及びその成形金型 |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP9196194A patent/JPH07290489A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07211739A (ja) * | 1994-01-18 | 1995-08-11 | Citizen Watch Co Ltd | Icを実装した回路基板の樹脂封止方法及びその成形金型 |
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