JPH07291441A - クリーンルーム内の荷移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 架台ケース11上に、中空状に形成された回転
体13を設け、回転体13に一対の支持腕14と開口部25とを
設け、回転体13内と架台ケース11内とを連通させ、架台
ケース11内に、回転体13を回転させる回転用モータ31
と、支持腕14を昇降させる昇降用モータ34と、開口部25
から回転体13内に流入した空気55を架台ケース11の排気
部52から排気させるファン43とを設け、ファン43の下流
側と排気部52との間にフィルター44を設けた。 【効果】 各モータ31，34などから架台ケース11の内部
に発生した塵埃は、開口部25から流込んだ空気55ととも
に排気部52側に流れ、フィルター44で確実に捕集され
る。従来のようなダクトホースを不要にし得、狭い場所
であっても荷移載装置９を設置することができる。ま
た、塵埃がクリーンルーム内に飛散することを防止でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体のよう
な塵埃を極端にきらう荷（物品）を搬送する搬送装置な
どに対して、荷を受け渡しするクリーンルーム内の荷移
載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のクリーンルーム内の荷移
載装置としては例えば特開平３−１７７２２６号公報に
示されるものがある。これによると、架台ケースの一側
方には、排気用のダクトホースが接続され、このダクト
ホースの入口部にはファンが設けられ、ダクトホースの
出口はクリーンルーム内のグレーチング（メッシュ状の
床）の上方に設けられている。

【０００３】ファンが回転することにより、支持腕の駆
動部から発生した塵埃や回転駆動部から発生した塵埃は
空気とともにダクトホースに流入しダクトホースの出口
からクリーンルーム内のグレーチングの上方に排出され
る。これにより、荷移載装置の駆動部から発生する塵埃
がクリーンルーム内に放散されるのを防止することがで
きる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来形式では、荷移載装置からグレーチングまでが離れ
ている場合、長いダクトホースが必要となり、ダクトホ
ースの配設に手間がかかり、狭い場所ではダクトホース
配設のためのスペースを確保することが難しかった。ま
た、ダクトホースから排出された塵埃の一部が、グレー
チングに到達せずに、ダクトホースの出口とグレーチン
グとの間からクリーンルーム内に飛散するおそれがあっ
た。

【０００５】本発明は上記問題を解決するもので、狭い
場所でも設置でき、駆動部などから発生した塵埃を内部
で確実に捕集することができるクリーンルーム内の荷移
載装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に本第１発明は、架台ケース上に、垂直軸心回りに回転
自在でかつ中空状に形成された回転体を設け、この回転
体に、互いに接近離間自在な左右一対の支持腕と開口部
とを設け、上記回転体内と架台ケース内とを連通させ、
上記架台ケース内に、回転体を回転させる回転駆動装置
と、上記開口部から回転体内に流入した空気を架台ケー
スの排気部から外部へ排気させるファンとを設け、ファ
ンの下流側と上記排気部との間にフィルターを設けたも
のである。

【０００７】本第２発明は、支持腕の先端部を開口部か
ら回転体の外側方に突設したものである。本第３発明
は、支持腕を昇降自在に設け、支持腕を昇降させる昇降
駆動装置を回転体内と架台ケース内とにわたって設けた
ものである。

【０００８】本第４発明は、ファンとフィルターとを取
付フレームに取付け、この取付フレームを着脱自在に架
台ケース内に取付けたものである。

【０００９】

【作用】上記第１発明の構成によると、ファンが回転す
ることにより、空気が、開口部から回転体の内部を経て
架台ケースの内部に流れ込み、ファンにより強制的に下
流側に送られてフィルターを通過した後、排気部から排
気される。したがって、回転駆動装置などから架台ケー
スの内部に発生した塵埃は、上記の空気の流れととも
に、フィルターで確実に捕集される。

【００１０】このように、架台ケースに排気部を設け、
架台ケース内にファンとフィルターとを設けたことによ
り、従来のようなダクトホースを不要にし得、狭い場所
であっても荷移載装置を設置することができる。また、
塵埃は、空気が排気される前にフィルターで確実に捕集
されるため、塵埃がクリーンルーム内に飛散することを
防止できる。

【００１１】上記第２発明の構成によると、空気を吸い
込む開口部を利用して支持腕を突設しているため、支持
腕の取付けと空気の吸い込みとが１つの開口部で兼用で
き、したがって加工などの手間が省け経済的である。

【００１２】上記第３発明の構成によると、昇降駆動装
置などから回転体内に発生した塵埃は、開口部から流入
した空気の流れとともに、回転体内から架台ケース内に
流れ込み、フィルターで確実に捕集される。

【００１３】上記第４発明の構成によると、ファンとフ
ィルターとを取付フレームに取付けることにより、ファ
ンとフィルターとをユニット化することができ、架台ケ
ースに対して取付フレームごとまとめて取付け取外しが
できるため、取付け取外し作業が容易となる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図３に示すように、クリーンルーム１内には、
複数の荷２を保管しておく荷保管部３が設けられてい
る。この荷保管部３内には、荷２を収納する棚４と、荷
２を棚４から出し入れするスタッカクレーン５とが設置
されている。この荷保管部３の前方には、仕切り壁６を
隔てて、荷２を搬送する搬送装置７が設けられている。
上記荷保管部３内の清浄度は仕切り壁６を隔てた搬送装
置７側の清浄度よりも高く、搬送装置７側から荷保管部
３内に塵埃が侵入するのを防止するために、荷保管部３
内の気圧は搬送装置７側の気圧よりも高く保持されてい
る。

【００１５】上記仕切り壁６に形成された荷出し入れ口
８と搬送装置７との間には、荷保管部３内と搬送装置７
との間で荷２を受け渡しする荷移載装置９が設けられて
いる。図１〜図３に示すように、上記荷移載装置９は、
上記荷出し入れ口８の下方かつ仕切り壁６の外面に据付
けられた架台ケース11と、架台ケース11上に設けられか
つ垂直軸心12回りに回転することにより荷出し入れ口８
を開閉可能な回転体13と、この回転体13の表裏両面に設
けられかつ互いに接近離間自在な左右一対の支持腕14と
から構成されている。

【００１６】すなわち、上記架台ケース11上には門形状
の枠体15が設けられ、上記荷出し入れ口８の前部周囲は
上記枠体15と架台ケース11とにより囲まれている。上記
回転体13は、内部に中空部16を有する四角箱型状に形成
され、上記枠体15と架台ケース11とにより囲まれた空間
内に設けられている。この回転体13は、回転体13内に挿
通されて上記垂直軸心12回りに回転自在に設けられた駆
動軸17に連結されている。この駆動軸17は、回転体13の
下部に形成された円筒部18に挿通され、上記架台ケース
11の上壁19と枠体15の上部横材20との間で軸受け21，22
を介して設けられている。

【００１７】また、上記架台ケース11には、上壁19の上
方を覆う覆い板23が設けられ、この覆い板23の中央に形
成された穴24には、上記回転体13の円筒部18が上方から
差し込まれている。尚、上記円筒部18と駆動軸17との間
には、空気流通用の隙間27が形成されている。上記回転
体13の表裏両面にはそれぞれ、外部と中空部16内とに連
通する左右一対の開口部25が上下に長く形成されてい
る。上記左右一対の支持腕14の基端部はそれぞれ回転体
13内で昇降自在な昇降体26に取付けられ、支持腕14の先
端部はそれぞれ上記開口部25から外側方に突出してい
る。

【００１８】上記昇降体26は、上記駆動軸17に設けられ
た上下方向のねじ体28に螺合されており、このねじ体28
の回転により、駆動軸17に設けられた上下方向のレール
29に案内されて昇降する。上記駆動軸17の下端にはプー
リー30が設けられ、このプーリー30と回転用モータ31と
はベルト32を介して連動連結されている。この回転用モ
ータ31は、回転体13を回転させる回転駆動装置の一例で
あり、架台ケース11の上壁19の下面に取付けられてい
る。また、上記プーリー30の下端には、カップリング33
を介して上記ねじ体28の下端に連動連結される昇降用モ
ータ34が取付けられている。この昇降用モータ34および
上記ねじ体28は上記支持腕14を昇降させる昇降駆動装置
の一例である。

【００１９】上記回転用モータ31とベルト32とプーリー
30および昇降用モータ34は、上記架台ケース11内に形成
された内部空間35に収納されている。図２，図４，図５
に示すように、この内部空間35は、架台ケース11の上壁
19と、架台ケース11内に設けられた左右一対の側壁36と
前壁37と後壁38および中間壁39とにより形成されてい
る。そして、図２に示すように、上記回転体13の中空部
16と架台ケース11の内部空間35とは、上記隙間27および
上壁19に形成された複数の空気流通孔40により連通され
ている。また、図４に示すように、上記両側壁36にも空
気流通孔41が形成され、これら空気流通孔41からも架台
ケース11の内部空間35に空気が流入する。上記中間壁39
は両側壁36および前後壁37，38間の上下中間部に取付け
られ、内部空間35の下方には、ファン43とフィルター44
とを備えた取付フレーム45を取付けるための取付スペー
ス46が形成されている。

【００２０】すなわち、図４，図５に示すように、上記
取付フレーム45は、四角枠状のフレーム本体47と、この
フレーム本体47の上端左右両側に設けられたフランジ部
48と、上記フレーム本体47の上端部に設けられる取付板
49と、フレーム本体47の下端部に設けられる金網50とに
より形成されている。この取付フレーム45は、上記フラ
ンジ部48と中間壁39とをボルト51で連結することによ
り、中間壁39の下面に着脱自在に取付けられている。ま
た、取付フレーム45の下方かつ架台ケース11の下端部に
は、架台ケース11の下方に連通する排気部52が形成され
ている。尚、この排気部52は上記仕切り壁６の外側方に
位置している。

【００２１】上記ファン43は、開口部25から回転体13内
に流入した空気を架台ケース11の排気部52から下方へ排
気させるためのものであり、上記取付板49の下面に設け
られている。上記中間壁39および取付板49にはそれぞ
れ、ファン43の上方に位置する空気流入孔53，54が形成
されている。また、上記フィルター44は、ファン43の下
流側におけるフレーム本体47内の下部に、金網50に支持
されて設けられている。

【００２２】以下、上記構成における作用を説明する。
図３に示すように、荷保管部３に入庫される荷２は搬送
装置７により荷移載装置９の正面まで搬送され、荷保管
部３から出庫される荷２は棚４からスタッカクレーン５
により荷出し入れ口８まで取り出される。その後、昇降
用モータ34が駆動してねじ体28が一方に回転することに
より、昇降体26がレール29に案内されて下降し、これに
ともなって支持腕14も下降する。そして、左右一対の支
持腕14が互いに接近することにより、入庫用の荷２と出
庫用の荷２とがそれぞれ支持腕14により保持される。

【００２３】そして、昇降用モータ34が駆動してねじ体
28が他方に回転することにより、昇降体26がレール29に
案内されて上昇し、これにともなって各荷２が支持腕14
に保持された状態で持ち上げられる。その後、回転用モ
ータ31が駆動してベルト32を介してプーリー30が回転す
ることにより、回転体13が駆動軸17と昇降体26と支持腕
14とともに垂直軸心12回りに１８０°回転する。これに
より、入庫用の荷２は搬送装置７の側から荷出し入れ口
８を通って荷保管部３内に入庫され、出庫用の荷２は荷
保管部３内から荷出し入れ口８を通って搬送装置７の側
へ出庫される。そして、支持腕14が下降するとともに互
いに離間することにより、入庫された荷２はスタッカク
レーン５で所定の棚４まで運ばれ、出庫された荷２は搬
送装置７により搬送される。

【００２４】上記のような荷受け渡し作業中は、ファン
43が回転することにより、空気55が、回転体13の開口部
25から中空部16に流れ込み、さらに図２に示すように隙
間27から空気流通孔40を通って、架台ケース11の内部空
間35に流れ込み、図４に示すように空気流入孔53，54か
らファン43により強制的に下流側に送られてフィルター
44を通過した後、排気部52から排気される。

【００２５】したがって、ねじ体28や昇降体26などの駆
動部から発生した塵埃は、上記の空気55の流れととも
に、回転体13の中空部16から隙間27および空気流通孔40
を通って架台ケース11の内部空間35に流れ込み、さらに
ファン43の下流側に強制的に排出されてフィルター44で
捕集される。また、各モータ31，34や軸受け21などの駆
動部から発生した塵埃も同様に、上記の空気55の流れと
ともに、架台ケース11の内部空間35からファン43の下流
側に強制的に排出されてフィルター44で捕集される。そ
の後、空気55のみが排気部52から仕切り壁６の外側方に
排気される。

【００２６】また、図４に示すように、架台ケース11の
両側壁36に形成された空気流通孔41からも空気55が内部
空間35に流れ込んで排気部52から排気されるが、これは
内部空間35の空気の淀みを解消するためのものである。

【００２７】このように、架台ケース11に排気部52を設
け、架台ケース11の内部空間35にファン43とフィルター
44とを設けたことにより、従来のようなダクトホースを
不要にし得、狭い場所であっても荷移載装置９を設置す
ることができる。また、空気中の塵埃は、空気が排気さ
れる前にフィルター44で確実に捕集されるため、塵埃が
クリーンルーム１内に飛散することを防止できる。

【００２８】上記実施例では、空気55を吸い込む開口部
25を利用して支持腕14を突設しているため、支持腕14の
取付けと空気の吸い込みとが１つの開口部25で兼用で
き、したがって加工などの手間が省け経済的である。

【００２９】また、ファン43とフィルター44とを取付フ
レーム45に取付けることにより、ファン43とフィルター
44とをユニット化することができ、架台ケース11に対し
て取付フレーム45ごとまとめて取付け取外しができるた
め、取付け取外し作業が容易となる。

【００３０】図３に示すように、荷出し入れ口８は、回
転体13が回転しているとき以外、回転体13により閉じら
れているため、塵埃が荷出し入れ口８から荷保管部３へ
侵入するのを防止することができる。

【００３１】上記実施例では、取付フレーム45にファン
43を１個設けているが、荷移載装置９のサイズや使用頻
度などに応じて、ファン43を複数個に増設してもよい。

【００３２】

【発明の効果】以上のように本第１発明によれば、ファ
ンが回転することにより、空気が、開口部から回転体の
内部を経て架台ケースの内部に流れ込み、ファンにより
強制的に下流側に送られてフィルターを通過した後、排
気部から排気される。したがって、回転駆動装置などか
ら架台ケースの内部に発生した塵埃は、上記の空気の流
れとともに、フィルターで確実に捕集される。

【００３３】このように、架台ケースに排気部を設け、
架台ケース内にファンとフィルターとを設けたことによ
り、従来のようなダクトホースを不要にし得、狭い場所
であっても荷移載装置を設置することができる。また、
塵埃は、空気が排気される前にフィルターで確実に捕集
されるため、塵埃がクリーンルーム内に飛散することを
防止できる。

【００３４】本第２発明によれば、空気を吸い込む開口
部を利用して支持腕を突設しているため、支持腕の取付
けと空気の吸い込みとが１つの開口部で兼用でき、した
がって加工などの手間が省け経済的である。

【００３５】本第３発明によれば、昇降駆動装置などか
ら回転体内に発生した塵埃は、開口部から流入した空気
の流れとともに、回転体内から架台ケース内に流れ込
み、フィルターで確実に捕集される。

【００３６】本第４発明によれば、ファンとフィルター
とを取付フレームに取付けることにより、ファンとフィ
ルターとをユニット化することができ、架台ケースに対
して取付フレームごとまとめて取付け取外しができるた
め、取付け取外し作業が容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるクリーンルーム内の
荷移載装置の正面図である。

【図２】荷移載装置内の駆動部の図である。

【図３】荷移載装置の一部切欠き平面図である。

【図４】荷移載装置の架台ケースの下部の縦断面図であ
る。

【図５】荷移載装置の架台ケースの下部の横断面図であ
る。

【符号の説明】

１ クリーンルーム ９ 荷移載装置 11 架台ケース 12 垂直軸心 13 回転体 14 支持腕 25 開口部 28 ねじ体（昇降駆動装置） 31 回転用モータ（回転駆動装置） 34 昇降用モータ（昇降駆動装置） 43 ファン 44 フィルター 45 取付フレーム 52 排気部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 架台ケース上に、垂直軸心回りに回転自
   在でかつ中空状に形成された回転体を設け、この回転体
   に、互いに接近離間自在な左右一対の支持腕と開口部と
   を設け、上記回転体内と架台ケース内とを連通させ、上
   記架台ケース内に、回転体を回転させる回転駆動装置
   と、上記開口部から回転体内に流入した空気を架台ケー
   スの排気部から外部へ排気させるファンとを設け、ファ
   ンの下流側と上記排気部との間にフィルターを設けたこ
   とを特徴とするクリーンルーム内の荷移載装置。
2. 【請求項２】 支持腕の先端部を開口部から回転体の外
   側方に突設したことを特徴とする請求項１記載のクリー
   ンルーム内の荷移載装置。
3. 【請求項３】 支持腕を昇降自在に設け、支持腕を昇降
   させる昇降駆動装置を回転体内と架台ケース内とにわた
   って設けたことを特徴とする請求項１記載のクリーンル
   ーム内の荷移載装置。
4. 【請求項４】 ファンとフィルターとを取付フレームに
   取付け、この取付フレームを着脱自在に架台ケース内に
   取付けたことを特徴とする請求項１記載のクリーンルー
   ム内の荷移載装置。