JPH03177226A - クリーンルーム内の荷移載装置 - Google Patents
クリーンルーム内の荷移載装置Info
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- JPH03177226A JPH03177226A JP31691489A JP31691489A JPH03177226A JP H03177226 A JPH03177226 A JP H03177226A JP 31691489 A JP31691489 A JP 31691489A JP 31691489 A JP31691489 A JP 31691489A JP H03177226 A JPH03177226 A JP H03177226A
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- JP
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- rotary cylinder
- clean room
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Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 22
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
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- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、たとえば半導体のような塵埃を極端にきらう
荷〈物品）を搬送する搬送装置に対して荷を受は渡しす
るクリーンルーム内の荷移載装置に関する。
荷〈物品）を搬送する搬送装置に対して荷を受は渡しす
るクリーンルーム内の荷移載装置に関する。
従来の技術
従来搬送装置に対して荷を受は渡しする移載装置は、た
とえば特開昭６３−１８０６２２号公報に開示されてい
る。
とえば特開昭６３−１８０６２２号公報に開示されてい
る。
発明が解決しようとする課題
クリーンルーム内に上記移載装置を設置する場合、移載
装置の摺動部から発生ずる塵埃が荷に付着するのを防止
するため、各可動部分にカバーを取付けて塵埃の放散を
防止することが考えられる。
装置の摺動部から発生ずる塵埃が荷に付着するのを防止
するため、各可動部分にカバーを取付けて塵埃の放散を
防止することが考えられる。
しかし、荷を保持する支持腕のように、昇降動や接近離
間動を繰り返す部材の場合には駆動装置のカバーに可動
体に連結する開口部が必要であり、これら開口部からク
リーンルーム内に塵埃が放散されるおそれがある。
間動を繰り返す部材の場合には駆動装置のカバーに可動
体に連結する開口部が必要であり、これら開口部からク
リーンルーム内に塵埃が放散されるおそれがある。
本発明は上記問題点を解決して、塵埃の放散を防止でき
、クリーンルームに適した移載装置を提供することを目
的とする。
、クリーンルームに適した移載装置を提供することを目
的とする。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明は、クリーンルーム
内で、荷搬送装置の搬送経路に形成されたステーション
に対向して配設される荷移載装置において、架台ケース
内に、架台ケース上の回転筒を垂直軸心回りに回転させ
る回転駆動装置を設け、前記回転筒に、互いに接近離間
自在で昇降自在な左右一対の支持腕を開口部を介して側
方に突設し、架台ケース上に回転筒の下部側面周囲を覆
う成心カバーを設け、回転筒の下部側面に回転筒内と成
心カバー内とを連通ずる吸塵孔を形成するとともに、架
台ケース上面に成心カバー内と架台ケース内とを連通ず
る連通口を形成し、架台ケースに排気ダクトを持続した
ものである。
内で、荷搬送装置の搬送経路に形成されたステーション
に対向して配設される荷移載装置において、架台ケース
内に、架台ケース上の回転筒を垂直軸心回りに回転させ
る回転駆動装置を設け、前記回転筒に、互いに接近離間
自在で昇降自在な左右一対の支持腕を開口部を介して側
方に突設し、架台ケース上に回転筒の下部側面周囲を覆
う成心カバーを設け、回転筒の下部側面に回転筒内と成
心カバー内とを連通ずる吸塵孔を形成するとともに、架
台ケース上面に成心カバー内と架台ケース内とを連通ず
る連通口を形成し、架台ケースに排気ダクトを持続した
ものである。
作用
上記構成において、回転筒の回転駆動装置から発生ずる
塵埃は、架台ケース内から排気ダクトに吸引排出し、支
持腕の駆動部から発生ずる塵埃は、開口部から流入する
エアに同伴されて回転筒内から吸塵孔を介して助塵カバ
ー内に吸入され、さらに連通孔および架台ケースを介し
て排気ダクトに吸引排出される。したがって、８ｎ装置
の駆動部から発生ずる塵埃がクリーンルーム内に放散さ
れるのを防止できる。
塵埃は、架台ケース内から排気ダクトに吸引排出し、支
持腕の駆動部から発生ずる塵埃は、開口部から流入する
エアに同伴されて回転筒内から吸塵孔を介して助塵カバ
ー内に吸入され、さらに連通孔および架台ケースを介し
て排気ダクトに吸引排出される。したがって、８ｎ装置
の駆動部から発生ずる塵埃がクリーンルーム内に放散さ
れるのを防止できる。
実施例
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
１はクリーンルーム２内に配設されてレール装置３とこ
のレール装置３に案内されるＣ１走台車４とにより構成
される荷搬送装置で、この荷搬送装置ｔｌの搬送経路５
が荷保管装！ｉ！６の箱体状本体７側方を通過するよう
に配設される０本体７に形成された出し入れ目８に対向
する搬送経路５には、ステーション９が形成配置される
。
のレール装置３に案内されるＣ１走台車４とにより構成
される荷搬送装置で、この荷搬送装置ｔｌの搬送経路５
が荷保管装！ｉ！６の箱体状本体７側方を通過するよう
に配設される０本体７に形成された出し入れ目８に対向
する搬送経路５には、ステーション９が形成配置される
。
前記クリーンルーム２は天井側からフィルタ１０を介し
てクリーンエアが下吹きされ、下降するクリーンエアを
メツシュ形式の床１１を通して床下に吸引するように構
成される。前記荷保管装置６は、図示しないが、本体７
内に荷１２を収納する棚や、荷１２を出し入れする搬入
出装置を備え、所定の加工工程に荷１２を入出庫するも
のである。
てクリーンエアが下吹きされ、下降するクリーンエアを
メツシュ形式の床１１を通して床下に吸引するように構
成される。前記荷保管装置６は、図示しないが、本体７
内に荷１２を収納する棚や、荷１２を出し入れする搬入
出装置を備え、所定の加工工程に荷１２を入出庫するも
のである。
前記出し入れ目８に配設された可動式の荷受台１３とス
テーション９の間には、荷１２を受は渡しする移載装置
１４が配設される。この移載装置１４と荷受白１３は、
本体７に固定された架台ケース１５に設けられており、
ステージ３フ９位置のレール装置３もこの架台ケース１
５に貫通支持されている。
テーション９の間には、荷１２を受は渡しする移載装置
１４が配設される。この移載装置１４と荷受白１３は、
本体７に固定された架台ケース１５に設けられており、
ステージ３フ９位置のレール装置３もこの架台ケース１
５に貫通支持されている。
この移載装置１４は、架台ケース１５の上面に貫通して
回転自在に支持された鉛直方向の回転軸１６に、八角筒
状で天板１７ａおよび底板１７ｂを有する回転筒１７が
固定される。この回転＃Ｊ１７内の上部にはシリンダ等
の駆動手段（図示せず）を介して互いに接近離間自在な
左右一対の支持腕１８が１８０度異ｌ６対称方向に配設
され、回転筒１８の側板１８ｃに形成された開口部１９
を介して外方に先端はど上方に傾斜して突出されている
。また、この支持腕１８は回転軸１６の軸心位置に昇降
自在に内嵌された昇降軸２０に連結され、第１図に仮想
線で示す下降位置と上昇位置の間で昇降自在である。架
台ケース１５内の回転軸１６の下端部には従動スプロケ
ット２１が取付けられ、架台ケース１５内に配設された
回転駆動モータ２２の出力軸の駆動スプロケット２３と
従動スプロケット２１とがベルト２４を介して連動連結
され、回転ｆｒＪ１６が回転駆動される０回転軸１６か
ら突出する昇降軸２０の下端部には水平方向の昇降ロッ
ド２５が固定され、この昇降ロッド２５には昇降軸２０
と平行なうツク軸２６が立設される。架台ケース１５内
には、出力軸にラック軸２６のラックに噛合するピニオ
ン２７が取付けられた昇降駆動モータ２８が配設され、
支持腕１８が第２図に実線で示す持ち上げ位置と仮想線
で示す受は渡しＩｆ！置の間で昇降駆動される。なお、
昇降軸２０の下端部には連結部材やスプロケット、索体
２９を介してバランスウェイト３０が連結される。
回転自在に支持された鉛直方向の回転軸１６に、八角筒
状で天板１７ａおよび底板１７ｂを有する回転筒１７が
固定される。この回転＃Ｊ１７内の上部にはシリンダ等
の駆動手段（図示せず）を介して互いに接近離間自在な
左右一対の支持腕１８が１８０度異ｌ６対称方向に配設
され、回転筒１８の側板１８ｃに形成された開口部１９
を介して外方に先端はど上方に傾斜して突出されている
。また、この支持腕１８は回転軸１６の軸心位置に昇降
自在に内嵌された昇降軸２０に連結され、第１図に仮想
線で示す下降位置と上昇位置の間で昇降自在である。架
台ケース１５内の回転軸１６の下端部には従動スプロケ
ット２１が取付けられ、架台ケース１５内に配設された
回転駆動モータ２２の出力軸の駆動スプロケット２３と
従動スプロケット２１とがベルト２４を介して連動連結
され、回転ｆｒＪ１６が回転駆動される０回転軸１６か
ら突出する昇降軸２０の下端部には水平方向の昇降ロッ
ド２５が固定され、この昇降ロッド２５には昇降軸２０
と平行なうツク軸２６が立設される。架台ケース１５内
には、出力軸にラック軸２６のラックに噛合するピニオ
ン２７が取付けられた昇降駆動モータ２８が配設され、
支持腕１８が第２図に実線で示す持ち上げ位置と仮想線
で示す受は渡しＩｆ！置の間で昇降駆動される。なお、
昇降軸２０の下端部には連結部材やスプロケット、索体
２９を介してバランスウェイト３０が連結される。
前記出し入れ口８は、架台ケース１５両側に立設された
開枠８ａと天枠８ｂとで囲まれるとともに、回転筒１７
の下部両開に中空壁３１が配設されている。
開枠８ａと天枠８ｂとで囲まれるとともに、回転筒１７
の下部両開に中空壁３１が配設されている。
そして、前記回転１’！！ｉ１７には支持腕１８と直交
する方向に左右一対の扉体３２が取付けられ、支持腕１
８がステーション９および荷受台１３の上方に位置する
荷１２の受は渡し位置で、側枠８ａと天枠８ｂと中空ｑ
３１とで囲まれた出し入れ口８の空間を扉体３２で閉止
するように構成される。前記中空壁３１を含む回転筒１
７の下部周囲には、回転ｅＪ１７側が開放されたコの字
形断面の略すング状収塵カバー３３が架台ケース１５上
に配設され、この収塵カバー３３に対向する回転筒１７
の側板１７には所定位置に吸塵孔３４が形成される。ま
た、隔を３１位置の収塵カバー３３はラックロッド２６
が挿入可能に外側に少し張出して形成され、その下面に
は収塵カバー３３内と架台ケース１５内とを連通ずる連
通口３５が形成される。
する方向に左右一対の扉体３２が取付けられ、支持腕１
８がステーション９および荷受台１３の上方に位置する
荷１２の受は渡し位置で、側枠８ａと天枠８ｂと中空ｑ
３１とで囲まれた出し入れ口８の空間を扉体３２で閉止
するように構成される。前記中空壁３１を含む回転筒１
７の下部周囲には、回転ｅＪ１７側が開放されたコの字
形断面の略すング状収塵カバー３３が架台ケース１５上
に配設され、この収塵カバー３３に対向する回転筒１７
の側板１７には所定位置に吸塵孔３４が形成される。ま
た、隔を３１位置の収塵カバー３３はラックロッド２６
が挿入可能に外側に少し張出して形成され、その下面に
は収塵カバー３３内と架台ケース１５内とを連通ずる連
通口３５が形成される。
前記架台ケース１５の一方の側面には排気ダクト３６が
接続され、その入口部に吸気ファン３７が取付けられる
。なお、架台ケース１５内には荷受台１３を本体７の内
方に移動し荷１２の受角度を変更可能な荷受台駆動装置
３８も配設されている。
接続され、その入口部に吸気ファン３７が取付けられる
。なお、架台ケース１５内には荷受台１３を本体７の内
方に移動し荷１２の受角度を変更可能な荷受台駆動装置
３８も配設されている。
次にこの実施例の作用を説明する。
荷受部４ａに荷１２を積載した自走台車４がステーショ
ン９に停止すると、上昇離間状態の各支持腕１８を、昇
降駆動モータ２８によりピニオン２７、ラック軸２６、
昇降ロット２５、昇降軸２０を介して下降させ、さらに
接近動させて荷受部４ａ上の入庫用の荷１２と荷受台１
３上の出庫用の荷１２をそれぞれ保持させる。そして、
再度支持腕１８を上昇後、回転駆動モータ２２を駆動し
て回転＠１７を１８０°回転させ、支持腕１８を下降、
離間動、上昇させ、入庫用の荷１２を荷受台１３上に移
載するとともに出庫用の荷１２を自走台車４の荷受部４
ａに移載する。
ン９に停止すると、上昇離間状態の各支持腕１８を、昇
降駆動モータ２８によりピニオン２７、ラック軸２６、
昇降ロット２５、昇降軸２０を介して下降させ、さらに
接近動させて荷受部４ａ上の入庫用の荷１２と荷受台１
３上の出庫用の荷１２をそれぞれ保持させる。そして、
再度支持腕１８を上昇後、回転駆動モータ２２を駆動し
て回転＠１７を１８０°回転させ、支持腕１８を下降、
離間動、上昇させ、入庫用の荷１２を荷受台１３上に移
載するとともに出庫用の荷１２を自走台車４の荷受部４
ａに移載する。
この受は渡し作業中に、架台ケース１５内で、回転筒１
７の回転駆動部や支持腕１８の昇降駆動部、荷受台駆動
装置３８で発生する塵埃は、吸気ファン３７により排気
ダクト３６に吸引排比される。また、回転筒１７で支持
腕１８の駆動部から発生ずる塵埃は、開口部１９から流
入されるエアに同伴され吸塵孔３４、収塵カバー３３、
連通口３４を介して架台ケース１５内に吸引され、吸気
ファン３７により排気ダクト３６に排出される。さらに
、出し入れ目８は回転筒１７の回転中以外は扉体３２に
よって閉止されるので、クリーンルーム２と荷保管装置
６の間を塵埃が流入出することもない。
７の回転駆動部や支持腕１８の昇降駆動部、荷受台駆動
装置３８で発生する塵埃は、吸気ファン３７により排気
ダクト３６に吸引排比される。また、回転筒１７で支持
腕１８の駆動部から発生ずる塵埃は、開口部１９から流
入されるエアに同伴され吸塵孔３４、収塵カバー３３、
連通口３４を介して架台ケース１５内に吸引され、吸気
ファン３７により排気ダクト３６に排出される。さらに
、出し入れ目８は回転筒１７の回転中以外は扉体３２に
よって閉止されるので、クリーンルーム２と荷保管装置
６の間を塵埃が流入出することもない。
発明の効果
以上に述べたごとく本発明によれば、回転筒と架台ケー
スとを吸塵孔、吸塵カバー、連通口を介して連通させ、
回転筒内で支持腕の駆動部から発生した塵埃を開口部か
ら流入したエアに同伴させて架台ケース内に導き、回転
筒の回転駆動装置から発生する塵埃と共に排気ダクトに
吸引排出するので、移載装置の駆動部から発生する塵埃
をクリーンルーム内に放散するのを確実に肋止できる。
スとを吸塵孔、吸塵カバー、連通口を介して連通させ、
回転筒内で支持腕の駆動部から発生した塵埃を開口部か
ら流入したエアに同伴させて架台ケース内に導き、回転
筒の回転駆動装置から発生する塵埃と共に排気ダクトに
吸引排出するので、移載装置の駆動部から発生する塵埃
をクリーンルーム内に放散するのを確実に肋止できる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は移載装置の側
面断面図、第２図は同正面断面図、第３図は同平面断面
図である。 １・・・荷搬送装置、５・・・搬送経路、７・・・本体
、８・・・出し入れ口、９・・・ステーション、１３・
・・荷受台、１４・・・移載装置、１５・・・架台ケー
ス、１６・・・回転軸、１７・・・回転筒、１８・・・
支持腕、１９・・・開口部′、２０・・・昇降軸、２２
・・・回転駆動モータ、２８・・・昇降駆動モータ、３
１・・・中空壁、３２・・・扉体、３３・・・収ｎカバ
ー、３４・・・吸塵孔、３５・・・連通口、 ３６・・・排気ダクト、 ３７・・・吸気ファン。
面断面図、第２図は同正面断面図、第３図は同平面断面
図である。 １・・・荷搬送装置、５・・・搬送経路、７・・・本体
、８・・・出し入れ口、９・・・ステーション、１３・
・・荷受台、１４・・・移載装置、１５・・・架台ケー
ス、１６・・・回転軸、１７・・・回転筒、１８・・・
支持腕、１９・・・開口部′、２０・・・昇降軸、２２
・・・回転駆動モータ、２８・・・昇降駆動モータ、３
１・・・中空壁、３２・・・扉体、３３・・・収ｎカバ
ー、３４・・・吸塵孔、３５・・・連通口、 ３６・・・排気ダクト、 ３７・・・吸気ファン。
Claims (1)
- １．クリーンルーム内で、荷搬送装置の搬送経路に形成
されたステーションに対向して配設される荷移載装置に
おいて、架台ケース内に、架台ケース上の回転筒を垂直
軸心回りに回転させる回転駆動装置を設け、前記回転筒
に、互いに接近離間自在で昇降自在な左右一対の支持腕
を開口部を介して側方に突設し、架台ケース上に回転筒
の下部側面周囲を覆う収塵カバーを設け、回転筒の下部
側面に回転筒内と収塵カバー内とを連通する吸塵孔を形
成するとともに、架台ケース上面に収塵カバー内と架台
ケース内とを連通する連通口を形成し、架台ケースに排
気ダクトを接続したことを特徴とするクリーンルーム内
の荷移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31691489A JPH03177226A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | クリーンルーム内の荷移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31691489A JPH03177226A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | クリーンルーム内の荷移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03177226A true JPH03177226A (ja) | 1991-08-01 |
Family
ID=18082322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31691489A Pending JPH03177226A (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 | クリーンルーム内の荷移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03177226A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0546155U (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-18 | 日立プラント建設株式会社 | 情報交換装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61288990A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | 新明和工業株式会社 | 産業用ロボツト |
| JPS63180622A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-25 | Daifuku Co Ltd | 移載装置 |
-
1989
- 1989-12-06 JP JP31691489A patent/JPH03177226A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61288990A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-19 | 新明和工業株式会社 | 産業用ロボツト |
| JPS63180622A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-25 | Daifuku Co Ltd | 移載装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0546155U (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-18 | 日立プラント建設株式会社 | 情報交換装置 |
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