JPH0729162A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0729162A JPH0729162A JP5173096A JP17309693A JPH0729162A JP H0729162 A JPH0729162 A JP H0729162A JP 5173096 A JP5173096 A JP 5173096A JP 17309693 A JP17309693 A JP 17309693A JP H0729162 A JPH0729162 A JP H0729162A
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- Japan
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- protective layer
- recording medium
- magnetic recording
- layer
- thin film
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 強磁性金属薄膜層の上にＣｒ，Ｔｉ，Ｚｒか
ら選ばれる少なくとも１種類の元素を第１の保護層とし
て設け、更にＺｒと炭素からなる第２の保護層を設ける
ことにより、保護層の剥離をなくす。 【構成】 非磁性基板６の上に鍍金等によってＮｉＰ合
金を中間層７として１０μｍの厚さに設け、この中間層
７の上にスパッタリング或いは真空蒸着等によってＣｏ
Ｎｉ合金等からなる強磁性金属薄膜層８を０．０５μｍ
の厚さに設け、強磁性金属薄膜層８の表面にＡｒガスの
雰囲気でスパッタリングによってＣｒ，Ｔｉ，Ｚｒから
選ばれる少なくとも１種類の元素からなる第１の保護層
９を設け、更に、第１の保護層９の上にＡｒガスとＯ2
ガスとからなる雰囲気でＺｒＣをターゲットとしたスパ
ッタリングによってＺｒと炭素からなる第２の保護層１
０を設け、第２の保護層１０上に潤滑層１１を設けた。
ら選ばれる少なくとも１種類の元素を第１の保護層とし
て設け、更にＺｒと炭素からなる第２の保護層を設ける
ことにより、保護層の剥離をなくす。 【構成】 非磁性基板６の上に鍍金等によってＮｉＰ合
金を中間層７として１０μｍの厚さに設け、この中間層
７の上にスパッタリング或いは真空蒸着等によってＣｏ
Ｎｉ合金等からなる強磁性金属薄膜層８を０．０５μｍ
の厚さに設け、強磁性金属薄膜層８の表面にＡｒガスの
雰囲気でスパッタリングによってＣｒ，Ｔｉ，Ｚｒから
選ばれる少なくとも１種類の元素からなる第１の保護層
９を設け、更に、第１の保護層９の上にＡｒガスとＯ2
ガスとからなる雰囲気でＺｒＣをターゲットとしたスパ
ッタリングによってＺｒと炭素からなる第２の保護層１
０を設け、第２の保護層１０上に潤滑層１１を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報産業分野等で利用
される高密度磁気記録の磁気記録媒体に関するものであ
る。
される高密度磁気記録の磁気記録媒体に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータの外部記録装置は軽
薄短小の市場の要請に沿って開発が進められている。こ
のような外部記録装置に用いられる磁気記録媒体には、
磁気記録媒体の磁気記録層を強磁性金属薄膜とする金属
薄膜型が、塗布型に比べて磁束密度が大きく、かつ薄
型、保持力が大きいために高密度磁気記録に適してい
る。ところで、磁気記録媒体を用いた外部記録装置で
は、停止した状態で磁気記録媒体に磁気ヘッドが接触し
ており、回転の開始時と停止時に、磁気記録媒体に磁気
ヘッドが摺動を行うコンタクト・スタート・ストップ
（以下、ＣＳＳと呼ぶ）方式が主流をなしている。従っ
て、金属薄膜型磁気記録媒体には、強磁性金属薄膜に直
接磁気ヘッドを摺動させないように強磁性金属薄膜の表
面に保護層を設け、保護層の上に潤滑層が設けられてい
る。
薄短小の市場の要請に沿って開発が進められている。こ
のような外部記録装置に用いられる磁気記録媒体には、
磁気記録媒体の磁気記録層を強磁性金属薄膜とする金属
薄膜型が、塗布型に比べて磁束密度が大きく、かつ薄
型、保持力が大きいために高密度磁気記録に適してい
る。ところで、磁気記録媒体を用いた外部記録装置で
は、停止した状態で磁気記録媒体に磁気ヘッドが接触し
ており、回転の開始時と停止時に、磁気記録媒体に磁気
ヘッドが摺動を行うコンタクト・スタート・ストップ
（以下、ＣＳＳと呼ぶ）方式が主流をなしている。従っ
て、金属薄膜型磁気記録媒体には、強磁性金属薄膜に直
接磁気ヘッドを摺動させないように強磁性金属薄膜の表
面に保護層を設け、保護層の上に潤滑層が設けられてい
る。
【０００３】以下、従来の金属薄膜型磁気記録媒体につ
いて説明する。図２は従来の磁気記録媒体の断面図であ
る。図において、１は非磁性のアルミニウム合金等の基
板、２は基板１の上に設けられたＮｉＰからなる中間
層、３は中間層２の上に設けられたＣｏＮｉ或いはＣｏ
Ｃｒ等からなる強磁性金属薄膜層、４は強磁性金属薄膜
層３の上に設けられた炭素膜からなる保護層、５は保護
層４の上に設けられた有機系のフオンブリンからなる潤
滑層である。
いて説明する。図２は従来の磁気記録媒体の断面図であ
る。図において、１は非磁性のアルミニウム合金等の基
板、２は基板１の上に設けられたＮｉＰからなる中間
層、３は中間層２の上に設けられたＣｏＮｉ或いはＣｏ
Ｃｒ等からなる強磁性金属薄膜層、４は強磁性金属薄膜
層３の上に設けられた炭素膜からなる保護層、５は保護
層４の上に設けられた有機系のフオンブリンからなる潤
滑層である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の磁気記録
媒体では、強磁性金属薄膜層３を構成する強磁性金属と
保護層４を構成する炭素膜との熱膨脹率の差が大きい両
者を接合している。このように接合した接合面が使用す
るにつれて膨脹収縮を繰り返した時に、強磁性金属薄膜
層３と保護層４との歪みが大きいので接合面の付着力が
低下する。又、磁気ヘッドの摺動によって保護層４上の
潤滑層５が消耗、消滅して潤滑性が劣化する。潤滑性が
劣化すると潤滑性は保護層４の滑性に依存する。しかし
ながら、保護層４の滑性がもともと良くないので潤滑性
が劣化する。このように保護層４表面の潤滑性が劣化
し、しかも、強磁性金属薄膜層３と保護層４との付着力
が低下した状態で使用すると保護層４に亀裂が生じ、強
磁性金属薄膜層３と保護層４との接合面から保護層４が
剥離し脱落する。このように保護層４が剥離脱落すると
強磁性金属薄膜層３が露出するので磁気ヘッドの摺動に
よって強磁性金属薄膜層３が損傷され、磁気記録された
データの再生出力が低下するという問題点がある。
媒体では、強磁性金属薄膜層３を構成する強磁性金属と
保護層４を構成する炭素膜との熱膨脹率の差が大きい両
者を接合している。このように接合した接合面が使用す
るにつれて膨脹収縮を繰り返した時に、強磁性金属薄膜
層３と保護層４との歪みが大きいので接合面の付着力が
低下する。又、磁気ヘッドの摺動によって保護層４上の
潤滑層５が消耗、消滅して潤滑性が劣化する。潤滑性が
劣化すると潤滑性は保護層４の滑性に依存する。しかし
ながら、保護層４の滑性がもともと良くないので潤滑性
が劣化する。このように保護層４表面の潤滑性が劣化
し、しかも、強磁性金属薄膜層３と保護層４との付着力
が低下した状態で使用すると保護層４に亀裂が生じ、強
磁性金属薄膜層３と保護層４との接合面から保護層４が
剥離し脱落する。このように保護層４が剥離脱落すると
強磁性金属薄膜層３が露出するので磁気ヘッドの摺動に
よって強磁性金属薄膜層３が損傷され、磁気記録された
データの再生出力が低下するという問題点がある。
【０００５】本発明は上記の問題点を解決するもので、
保護層の付着の耐久性を向上させた磁気記録媒体を提供
することを目的とする。
保護層の付着の耐久性を向上させた磁気記録媒体を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気記録媒体は、強磁性金属薄膜層の上にＣ
ｒ，Ｔｉ，Ｚｒのうち少なくとも１種類の元素からなる
第１の保護層を設け、前記第１の保護層の上にＺｒと炭
素の化合物からなる第２の保護層を設けた。
に本発明の磁気記録媒体は、強磁性金属薄膜層の上にＣ
ｒ，Ｔｉ，Ｚｒのうち少なくとも１種類の元素からなる
第１の保護層を設け、前記第１の保護層の上にＺｒと炭
素の化合物からなる第２の保護層を設けた。
【０００７】
【作用】この構成によって、強磁性金属薄膜層から第１
の保護層が剥離しにくくなり、第２の保護層によって潤
滑性を悪くするようなことはない。
の保護層が剥離しにくくなり、第２の保護層によって潤
滑性を悪くするようなことはない。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例について図を参照しな
がら説明する。図１は本発明の一実施例における磁気記
録媒体の断面図である。図において、６は非磁性の基
板、７は中間層、８は強磁性金属薄膜層、９は第１の保
護層、１０は第２の保護層、１１は潤滑層である。
がら説明する。図１は本発明の一実施例における磁気記
録媒体の断面図である。図において、６は非磁性の基
板、７は中間層、８は強磁性金属薄膜層、９は第１の保
護層、１０は第２の保護層、１１は潤滑層である。
【０００９】本発明による磁気記録媒体の形成方法につ
いて説明する。アルミニウム合金からできた直径３．５
インチの基板６の上に、先ず、蒸着或いは鍍金等によっ
てＮｉＰからなる中間層７を１０μｍの厚みに形成す
る。この中間層７の上にスパッタリング、或いは真空蒸
着等によってＣｏＮｉからなる強磁性金属薄膜層８を
０．０５μｍの厚みに形成する。次に、強磁性金属薄膜
層８の上にＡｒガスの雰囲気のスパッタリングによって
炭素より大きな膨脹係数を有したＣｒ，Ｔｉ，Ｚｒのう
ち少なくとも１種類の元素からなる第１の保護層９を形
成する。更に、第１の保護層９の上にＡｒガスとＯ2 ガ
スとの雰囲気で第１の保護層９の摩擦抵抗より小さいＺ
ｒＣをターゲットとしたスパッタリングによってＺｒと
炭素の化合物からなる第２の保護層１０を形成する。更
に、第２の保護層１０の上に有機系のフオンブリンから
なる潤滑層１１を形成する。
いて説明する。アルミニウム合金からできた直径３．５
インチの基板６の上に、先ず、蒸着或いは鍍金等によっ
てＮｉＰからなる中間層７を１０μｍの厚みに形成す
る。この中間層７の上にスパッタリング、或いは真空蒸
着等によってＣｏＮｉからなる強磁性金属薄膜層８を
０．０５μｍの厚みに形成する。次に、強磁性金属薄膜
層８の上にＡｒガスの雰囲気のスパッタリングによって
炭素より大きな膨脹係数を有したＣｒ，Ｔｉ，Ｚｒのう
ち少なくとも１種類の元素からなる第１の保護層９を形
成する。更に、第１の保護層９の上にＡｒガスとＯ2 ガ
スとの雰囲気で第１の保護層９の摩擦抵抗より小さいＺ
ｒＣをターゲットとしたスパッタリングによってＺｒと
炭素の化合物からなる第２の保護層１０を形成する。更
に、第２の保護層１０の上に有機系のフオンブリンから
なる潤滑層１１を形成する。
【００１０】このように形成した磁気記録媒体の試験に
ついて説明する。先ず、薄膜磁気ヘッドを用いたＣＳＳ
動作の試験について説明する。試験に用いた薄膜磁気ヘ
ッドは浮上面に２本のレールが設けられている。それぞ
れのレールの大きさは幅０．４ｍｍ、長さ３．３ｍｍで
ある。このような薄膜磁気ヘッドに９．５ｇの荷重を加
えた状態で浮上面を磁気記録媒体に接触させる。この状
態で磁気記録媒体を回転させると摺動しながら５秒間で
薄膜磁気ヘッドが浮上する。浮上した状態（周速７ｍ／
ｓ）で薄膜磁気ヘッドを５秒間保持した後に、５秒間で
磁気記録媒体の回転が減少し浮上した薄膜磁気ヘッドの
浮上量が低下し薄膜磁気ヘッドが接触し摺動しながら停
止する。このＣＳＳ動作のサイクルを１回として、磁気
記録媒体はＣＳＳ動作を４万回行なった後、磁気ヘッド
が摺動した軌跡の剥離と脱落の状態を調べた。
ついて説明する。先ず、薄膜磁気ヘッドを用いたＣＳＳ
動作の試験について説明する。試験に用いた薄膜磁気ヘ
ッドは浮上面に２本のレールが設けられている。それぞ
れのレールの大きさは幅０．４ｍｍ、長さ３．３ｍｍで
ある。このような薄膜磁気ヘッドに９．５ｇの荷重を加
えた状態で浮上面を磁気記録媒体に接触させる。この状
態で磁気記録媒体を回転させると摺動しながら５秒間で
薄膜磁気ヘッドが浮上する。浮上した状態（周速７ｍ／
ｓ）で薄膜磁気ヘッドを５秒間保持した後に、５秒間で
磁気記録媒体の回転が減少し浮上した薄膜磁気ヘッドの
浮上量が低下し薄膜磁気ヘッドが接触し摺動しながら停
止する。このＣＳＳ動作のサイクルを１回として、磁気
記録媒体はＣＳＳ動作を４万回行なった後、磁気ヘッド
が摺動した軌跡の剥離と脱落の状態を調べた。
【００１１】更に、動摩擦係数の測定について説明す
る。ＣＳＳ動作を試験するヘッド支持機構に動摩擦係数
計を取り付け、薄膜磁気ヘッドに９．５ｇの荷重を加え
た状態で薄膜磁気ヘッドの浮上面を磁気記録媒体に接触
させ、磁気記録媒体を４．３ｍｍ／ｓの速度で走行させ
て、初期とＣＳＳ動作が４万回後とでそれぞれ動摩擦係
数を測定する。更に、耐湿試験方法について説明する。
ＣＳＳ動作の試験を行なった磁気記録媒体を温度８０
℃、湿度９０％の恒温槽に２４０時間放置した後、磁気
記録媒体を取り出して磁気ヘッドが摺動した軌跡の腐食
の状態を調べた。
る。ＣＳＳ動作を試験するヘッド支持機構に動摩擦係数
計を取り付け、薄膜磁気ヘッドに９．５ｇの荷重を加え
た状態で薄膜磁気ヘッドの浮上面を磁気記録媒体に接触
させ、磁気記録媒体を４．３ｍｍ／ｓの速度で走行させ
て、初期とＣＳＳ動作が４万回後とでそれぞれ動摩擦係
数を測定する。更に、耐湿試験方法について説明する。
ＣＳＳ動作の試験を行なった磁気記録媒体を温度８０
℃、湿度９０％の恒温槽に２４０時間放置した後、磁気
記録媒体を取り出して磁気ヘッドが摺動した軌跡の腐食
の状態を調べた。
【００１２】以上のように試験した本実施例の磁気記録
媒体の試験結果と従来品の試験結果を（表１）に比較し
て示している。
媒体の試験結果と従来品の試験結果を（表１）に比較し
て示している。
【００１３】
【表１】
【００１４】次に、強磁性金属薄膜層８の上に第１の保
護層９をＣｒで０．０２μｍの厚みに形成し、その上に
第２の保護層１０をＺｒと炭素の化合物で０．０２μｍ
の厚みに形成した。このように形成した磁気記録媒体を
用いてＣＳＳ動作の回数を２０万回まで行なった。その
際、それぞれの初期状態の磁気記録媒体は周波数１．２
５ＭＨｚの信号を磁気記録する。その後、初期状態の再
生出力特性を測定し、それぞれのＣＳＳ動作の所定回数
で再生出力特性を測定した。更に、前述と同じ条件で磁
気記録媒体の動摩擦係数を測定し、その後、磁気記録媒
体の磁気ヘッドが摺動した軌跡の剥離と脱落の状態を調
べた。その後、耐湿試験をそれぞれ行ない磁気ヘッドが
摺動した軌跡の腐食の状態を調べた。その試験結果を
（表２）に示している。
護層９をＣｒで０．０２μｍの厚みに形成し、その上に
第２の保護層１０をＺｒと炭素の化合物で０．０２μｍ
の厚みに形成した。このように形成した磁気記録媒体を
用いてＣＳＳ動作の回数を２０万回まで行なった。その
際、それぞれの初期状態の磁気記録媒体は周波数１．２
５ＭＨｚの信号を磁気記録する。その後、初期状態の再
生出力特性を測定し、それぞれのＣＳＳ動作の所定回数
で再生出力特性を測定した。更に、前述と同じ条件で磁
気記録媒体の動摩擦係数を測定し、その後、磁気記録媒
体の磁気ヘッドが摺動した軌跡の剥離と脱落の状態を調
べた。その後、耐湿試験をそれぞれ行ない磁気ヘッドが
摺動した軌跡の腐食の状態を調べた。その試験結果を
（表２）に示している。
【００１５】
【表２】
【００１６】以下（表１）（表２）の結果について説明
する。（表１）でも明らかなように、第１の保護層と第
２の保護層の厚みの和が０．０５μｍ以下で、且つ、Ｃ
ｒ，Ｔｉ，Ｚｒのうち少なくとも１種類の元素からなる
第１の保護層の厚みを０．００６μｍ〜０．０４５μ
ｍ、その上にＺｒと炭素がそれぞれ５〜９５原子量％で
第２の保護層の厚みを０．００５μｍ〜０．０４４μｍ
に形成すると、ＣＳＳ動作試験後において剥離や脱落が
認められなかった。更に、動摩擦係数は初期状態とＣＳ
Ｓ動作試験後とでほとんど変化が認められない。又、そ
れらを耐湿試験しても腐食、変色は認められない。
する。（表１）でも明らかなように、第１の保護層と第
２の保護層の厚みの和が０．０５μｍ以下で、且つ、Ｃ
ｒ，Ｔｉ，Ｚｒのうち少なくとも１種類の元素からなる
第１の保護層の厚みを０．００６μｍ〜０．０４５μ
ｍ、その上にＺｒと炭素がそれぞれ５〜９５原子量％で
第２の保護層の厚みを０．００５μｍ〜０．０４４μｍ
に形成すると、ＣＳＳ動作試験後において剥離や脱落が
認められなかった。更に、動摩擦係数は初期状態とＣＳ
Ｓ動作試験後とでほとんど変化が認められない。又、そ
れらを耐湿試験しても腐食、変色は認められない。
【００１７】次に（表２）でも明らかなように、磁気記
録媒体はそれぞれのＣＳＳ動作の所定回数後で剥離や脱
落が認められなかった。更に、磁気記録媒体の再生出力
特性は、初期状態に対してＣＳＳ動作が２０万回後で５
％程度の低下であり、十分な出力特性が得られている。
更に、動摩擦係数は、ＣＳＳ動作の２０万回後で動摩擦
係数が若干増大するもののその値が低い。又、それらを
耐湿試験しても腐食及び変化が認められない。
録媒体はそれぞれのＣＳＳ動作の所定回数後で剥離や脱
落が認められなかった。更に、磁気記録媒体の再生出力
特性は、初期状態に対してＣＳＳ動作が２０万回後で５
％程度の低下であり、十分な出力特性が得られている。
更に、動摩擦係数は、ＣＳＳ動作の２０万回後で動摩擦
係数が若干増大するもののその値が低い。又、それらを
耐湿試験しても腐食及び変化が認められない。
【００１８】しかしながら、（表１）の従来品の磁気記
録媒体において、ＣＳＳ動作後になると摩擦抵抗が増大
し、保護層に剥離と脱落が発生した。このように剥離と
脱落が発生した磁気記録媒体を耐湿試験すると磁気ヘッ
ドが摺動した軌跡に腐食が発生した。
録媒体において、ＣＳＳ動作後になると摩擦抵抗が増大
し、保護層に剥離と脱落が発生した。このように剥離と
脱落が発生した磁気記録媒体を耐湿試験すると磁気ヘッ
ドが摺動した軌跡に腐食が発生した。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、強磁性金属薄膜
層上に設けた保護層の剥離脱落が無くなり、磁気記録さ
れたデータの再生出力を安定させた信頼性の高い磁気記
録媒体が実現できるものである。
層上に設けた保護層の剥離脱落が無くなり、磁気記録さ
れたデータの再生出力を安定させた信頼性の高い磁気記
録媒体が実現できるものである。
【図１】本発明の一実施例における磁気記録媒体の断面
図
図
【図２】従来の磁気記録媒体の断面図
６ 基板 ７ 中間層 ８ 強磁性金属薄膜層 ９ 第１の保護層 １０ 第２の保護層 １１ 潤滑層
Claims (2)
- 【請求項１】 強磁性金属薄膜層の上にＣｒ，Ｔｉ，Ｚ
ｒのうち少なくとも１種類の元素からなる第１の保護層
を設け、前記第１の保護層の上にＺｒと炭素の化合物か
らなる第２の保護層を設け、前記第１の保護層と前記第
２の保護層の厚みの和が０．０５μｍ以下で、且つ、前
記第１の保護層の厚みを０．００６μｍ〜０．０４５μ
ｍ、前記第２の保護層の厚みを０．００５μｍ〜０．０
４４μｍにしたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 第２の保護層はＺｒと炭素がそれぞれ５
〜９５原子量％であることを特徴とする請求項１記載の
磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5173096A JPH0729162A (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5173096A JPH0729162A (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729162A true JPH0729162A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=15954121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5173096A Pending JPH0729162A (ja) | 1993-07-13 | 1993-07-13 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729162A (ja) |
-
1993
- 1993-07-13 JP JP5173096A patent/JPH0729162A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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