JPH07293761A

JPH07293761A - 流体継手

Info

Publication number: JPH07293761A
Application number: JP10477894A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Goshima; 憲一五島; Katsuya Okumura; 勝弥奥村; Yuichi Mikata; 裕一見方
Original assignee: Toshiba Corp; CKD Corp
Current assignee: Toshiba Corp; CKD Corp
Priority date: 1994-04-18
Filing date: 1994-04-18
Publication date: 1995-11-10
Anticipated expiration: 2012-06-25
Also published as: JP2624941B2

Abstract

(57)【要約】【目的】金属不純物やパーティクルの発生が少なく、
取付の容易で組立ミスの少ない半導体製造工程等で使用
される流体継手を提供すること。【構成】内側に雌ネジが形成された袋ナット１と、端
面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成されたパイ
プ５と、断面が台形であって面積の大きい端面側に、袋
ナットの内側端面に当接するスラスト軸受け９が一体に
形成される第一フェルール部品３と、パイプの外周の溝
５ａに嵌合され、断面が楔形であって面積の小さい端面
が第一フェルール部品３側に位置するスリーブ２と、パ
イプの端部に嵌合され、パイプ端面の全周が当接するガ
スケット４と、端面に鏡面仕上げ面を形成し外周に雄ネ
ジが形成されたボディ６とを備え、ボディの端面が、ガ
スケットのパイプが当接する面の反対側の面に当接し、
ボディの雄ネジと袋ナットの雌ネジとが所定のトルクで
締結される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等の
産業用製造装置で使用されるガス供給装置で使用される
流体継手に関し、さらに詳細には、毒性を有するガスを
供給する装置で使用される高度の気密性を有するガス継
手に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体製造工程において、シ
リコンベースにシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラ
ン等の超毒性ガスを不純物源として熱拡散することが行
われている。また、自然発火性ガスも使用されている。
例えば、アルシンの致死量は０．５ｐｐｍであり、少量
の漏れが人身事故につながるため、これらガスの配管
は、漏れを防止するため原則として溶接により接続され
ていた。

【０００３】一方、パイプ同士を溶接を使用せずに接続
する方法は、圧縮空気等の毒性のないガスの配管では図
１０に示す継手が使用されていた。ボディ６の貫通孔の
両端にパイプ５，７が挿入される。ボディ６の外周には
雄ネジ６ａが形成され、雄ネジ６ａには袋ナット１の内
側に形成されている雌ネジ１ａが締結されている。ボデ
ィ６の貫通孔の入口には、各々大きな面取り部が形成さ
れており、その面取り部に断面が楔形のスリーブ１２が
嵌合されている。スリーブ１２の中心には貫通孔が形成
され、パイプ５，７と嵌合している。スリーブ１２の底
面には共回り止め用の座がね１１が当接している。座が
ね１１の反対側の端面は袋ナット１の内側の端面に当接
している。スリーブ１２の中心には貫通孔が形成され、
パイプ５，７と嵌合している。この様な構成を有する継
手において、袋ナット１をボディ６に対して所定のトル
クでネジ込むと、スリーブ１２がボディ６により内側に
押圧されパイプ５，７の外周と密着し、パイプ５，７を
変形させる。これにより、パイプ５，７の外周面とスリ
ーブ１２の内面との密着性及びスリーブ１２の外周面と
ボディ６の面取り部内面との密着性が確保され継手の気
密性が確保される。

【０００４】しかしながら、図１０に示す継手には、以
下のような問題点があった。（１）気密性が十分でなく、有毒ガスの配管に使用する
には危険である。（２）取り外しをするときに、パイプ５，７をボディ６
から抜かないと外れないため、配管に余分な逃げ部を設
ける必要があり無駄であった。（３）一度締結すると、パイプが押しつぶされて変形す
るため、取り外して再組立したときに気密性が悪くなっ
てしまう。上記問題がありながら、バルブとの接続の場合等どうし
ても継手を使用する必要があるため、図１１に示す継手
は、毒性ガス等を扱う半導体の製造工程において、細心
の注意を払いながら使用されている。

【０００５】一方、近年前記問題点を解決する手段とし
て、高い気密性を維持し得る特公平２−４６８３０号公
報等で開示されている継手が使用されている。ここで、
この継手は、使用されるスリーブが特殊な形状をしてい
るため、スリーブと配管用のパイプとは溶接により接続
されていた。しかし、熱拡散に用いる不純物源として有
毒ガスを使用する場合に、配管を溶接で接続すると以下
の問題があった。（１）溶接により浮遊元素が発生し、金属不純物として
ウエハに混入し、デバイスの信頼性を損なう。

【０００６】（２）不純物源としてのガスは腐食性を有
するものが多く、パイプは通常ＳＵＳ材が使用されてい
るが、溶接により溶接部の材質が変化し腐食されやすく
なる。そのため、パーティクルが発生し、パターンディ
フェクトによる不良品率が高くなる。（３）ＳＵＳパイプの溶接には、熟練した技術が必要で
あり、半導体製造工程の建設等において、熟練した溶接
作業者を確保することが容易でなかった。これらの問題を解決するために、本出願人は、特開平５
−３１２２８３号、特開平５−３１２２８４号により新
しい流体継手を提案している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特開平５
−３１２２８３号、特開平５−３１２２８４号に開示し
た流体継手には、次の問題があった。すなわち、取り付
ける部品数が多いため、部品の組み込み忘れが発生する
場合があった。毒性ガスを使用する場合でも、組み立て
た後は、不活性ガスを流してテストを行うため、人体に
対する心配はないが、組み直しが必要となるため、非効
率的であった。また、パイプの溝に嵌合してフェルール
を構成するスリーブが、スリーブをパイプに装着させる
ために、１つの切割溝を有する構造であったため、スリ
ーブの推力がフェルールに対して平均的に伝達されず、
ガスケットでのシールに不均一が発生する恐れがあっ
た。また、流体継手の設置される半導体工程は、多くの
配管が密着して配設されており、従来のように、スパナ
を袋ナットの外周に嵌合させて、袋ナットのネジ締め等
を行う作業が困難であり、袋ナットの取り外し取付に無
駄な時間がかかっていた。

【０００８】本発明は、上記の問題点を解決して、金属
不純物やパーティクルの発生が少なく、取付の容易で組
立ミスの少ない半導体製造工程等で使用される流体継手
を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の流体継手は、以下のような構成を有してい
る。（１）内側に雌ネジが形成された袋ナットと、端面に鏡
面仕上げ面が形成され外周に溝が形成されたパイプと、
断面が台形であって面積の大きい端面側に、袋ナットの
内側端面に当接し袋ナットとパイプとの共回りを防止す
る共回り防止手段が一体に形成される第一フェルール部
品と、パイプの外周の溝に嵌合され、断面が楔形であっ
て面積の小さい端面が共回り防止手段側に位置する第二
フェルール部品と、パイプの端部に嵌合され、パイプ端
面の全周が当接するガスケットと、端面に鏡面仕上げ面
を形成し外周に雄ネジが形成されたボディとを備え、ボ
ディの端面が、ガスケットのパイプが当接する面の反対
側の面に当接し、ボディの雄ネジと袋ナットの雌ネジと
が所定のトルクで締結される。

【００１０】（２）内側に雌ネジが形成された袋ナット
と、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成され
た第一パイプと、断面が台形であって面積の大きい端面
側に、袋ナットの内側端面に当接し袋ナットと第一パイ
プとの共回りを防止する第一パイプ用共回り防止手段が
一体に形成される第一パイプ用第一フェルール部品と、
第一パイプの外周の溝に嵌合され、断面が楔形であって
面積の小さい端面が第一パイプ用共回り防止手段側に位
置する第一パイプ用第二フェルール部品と、外周に雄ネ
ジが形成されたボディと、端面に鏡面仕上げ面が形成さ
れ外周に溝が形成された第二パイプと、断面が台形であ
って面積の大きい端面側に、ボディの端面に当接し袋ナ
ットと第二パイプとの共回りを防止する第二パイプ用共
回り防止手段が一体に形成される第二パイプ用第一フェ
ルール部品と、第二パイプの外周の溝に嵌合され、断面
が楔形であって面積の小さい端面が第二パイプ用共回り
防止手段側に位置する第二パイプ用第二フェルール部品
と、第一パイプまたは第二パイプの端部に嵌合され、第
一パイプ端面および第二パイプ端面の全周が両面から当
接するガスケットとを備え、ボディの雄ネジと袋ナット
の雌ネジとが所定のトルクで締結される。

【００１１】（３）上記（１）または（２）に記載する
流体継手であって、前記第二フェルール部品が、外周に
均等に配置される２以上の溝を有することを特徴とす
る。（４）上記（１）または（２）に記載する流体継手であ
って、前記袋ナットの端面に２以上のスパナ用孔が形成
されていることを特徴とする。

【００１２】

【作用】上記の構成よりなる本発明の組み付け方法を説
明する。第二フェルール部品と、ガスケットとが装着さ
れた状態でパイプを、第一フェルール部品が装着されて
いる袋ナットに挿入し、袋ナットをボディにネジ込む。
このとき、第二フェルール部品の内周直径は、パイプ外
径と同じであるが、外周に均等に配置された２以上の溝
により、内径が弾性変形により拡大して、パイプの外周
溝に嵌合される。ボディを回らないように固定した状態
で、袋ナットを所定のトルクに達するまでねじ込んでい
く。

【００１３】袋ナットをボディにねじ込んでいくとき、
その推力が第一フェルール部品と第二フェルール部品と
によりパイプに伝達される。このとき、第一フェルール
部品に形成されたスラスト軸受けにより、袋ナットとパ
イプとの共回りが防止される。また、パイプは袋ナット
に対して第一フェルール部品及び第二フェルール部品に
より位置決めされているので、パイプの端面とボディの
端面とが正確に位置合わせされる。ここで、パイプ端面
およびボディ端面はローラバニッシングにより鏡面仕上
げされており、各々とガスケットとの密着性が向上し、
継手の気密性が高まる。

【００１４】また、ＳＵＳ素材のビッカース硬度は、約
１８０であるが、ローラバニッシングすることにより、
ビッカース硬度が約３００にできる。これにより、強い
押圧力によりパイプ端面およびボディ端面をガスケット
に押し当てても、パイプ端面およびボディ端面が変形す
ることがないため、繰り返し使用することができる。ガ
スケットは、パイプの端面とボディ端面とにより両面か
ら押圧される。ガスケットは、軟金属製であり、硬度の
高いパイプ端面とボディ端面とに押圧され、各々がよく
密着できる。このとき、第二フェルール部品の溝が外周
に均等に形成されているので、第二フェルール部品の推
力が第一フェルール部品に均一に作用するため、ガスケ
ットにパイプ端面が均等な力で押圧され、ガスケットに
漏れが発生する恐れがない。また、袋ナットを外せば、
パイプを横にスライドさせるだけで容易に接続を解除で
きる。また、袋ナットをネジ込むときに、袋ナットの端
面に形成されたスパナ用孔にスパナの突起を係合させて
ネジ込めるので、狭いスペースでも容易に袋ナットをネ
ジ込むことができる。また、トルクを均一に伝達できる
ため、シール力を安定させることができる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例である流
体継手について図面を参照して説明する。図１にボディ
の両端にパイプを接続する一実施例の断面図を示す。ま
た、継手の主要部品の構成を図３に分解斜視図で示す。
一端にスラスト玉軸受け９が一体的に形成された第一フ
ェルール部品３の構造を図８に断面図で示す。スラスト
玉軸受け９の回転輪１０が軸と平行方向に伸ばされ、回
転輪１０の伸ばされた内面に傾斜面１０ａが形成されて
いる。内側に雌ネジ１ａが形成された袋ナット１の内側
端面に、スラスト玉軸受け９の固定輪が当接する方向で
第一フェルール部品３が嵌合されている。ここで、袋ナ
ット１の端面には、図５に断面図（ａ）及び側面図
（ｂ）で示すように、スパナ用孔３１が円周上に等間隔
で６つ穿設されている。

【００１６】第一フェルール部品３の内側にパイプ５が
取り付けられている。パイプ５の端面部は、図７に示す
ように、先端部が面取りされ、先端端面５ｂはロールバ
ニッシングにより鏡面に仕上げられている。また、パイ
プ５の周面には、溝５ａが切設されている。溝５ａに
は、図９に示す第二フェルール部品であるスリーブ２が
嵌合されている。図９の（ａ）に平面図を示し、図９の
（ｂ）に側面図を示す。スリーブ２の楔形の傾斜は、第
一フェルール部品の内面の傾斜と同じ角度を構成してい
る。スリーブ２の外周には６０度の等間隔で６つの溝２
ａが形成されている。溝２ａと内径との間に構成される
外壁２ｂの厚さは、０．１５ｍｍにしている。スリーブ
２は、断面が楔形であって面積の小さい端面がスラスト
玉軸受け９側に位置する。第一フェルール３部品とスリ
ーブ２とが嵌合してフェルールを構成している。

【００１７】パイプ５の端部に内面が嵌合し、パイプ端
面５ｂの全周に内側端面が当接してガスケット４が取り
付けられている。また、端面６ｂをロールバニッシング
仕上げし、外周に雄ネジ６ａが形成されたボディ６の雄
ネジ６ａが、袋ナット１の雌ネジ１ａに締結されてい
る。そして、ボディ６の端面６ｂが、ガスケット４のパ
イプ端面５ｂが当接する面の反対側の面に当接してい
る。反対側のパイプ７の取付構成は、パイプ５と同じな
ので説明を省略する。

【００１８】次に、上記構成を有する流体継手の作用に
ついて説明する。接続するパイプ５，７を実際に使用す
る長さに切断し、端面に面取りをした後でローラバニッ
シング加工を行う。ロールバニッシング仕上げは、携帯
可能なロールバニッシング仕上げ機等により容易に加工
できる。ローラバニッシングにより鏡面仕上げすること
により、パイプ端面５ｂとガスケット４との密着性が向
上し、継手の気密性が高まる。また、ＳＵＳ素材のビッ
カース硬度は、約１８０であるが、ローラバニッシング
することにより、ビッカース硬度が約３００にできる。
これにより、強い押圧力によりパイプ端面５ｂをガスケ
ットに押し当てても、パイプ端面５ｂが変形することが
ないため、繰り返し使用することができる。

【００１９】また、パイプ５の周面に図７に示す溝５ａ
を旋盤等の加工により切削する。このように、旋盤等が
あれば、接続する必要のあるパイプ自体をその場で容易
に加工することができる。パイプ５の溝５ａに、スリー
ブ２を装着する。このとき、パイプ５の外径とスリーブ
２の内径とがほぼ同一であるが、スリーブ２の外周に
は、等間隔で６つの溝２ａが形成され、外壁２ｂの厚さ
が０．１５ｍｍと薄いので、外壁２ｂが弾性変形される
ため、スリーブ２を溝５ａに容易に装着することができ
る。スリーブ２の外面の傾斜と嵌合するように第一フェ
ルール部品３を装着する。また、パイプ５の端部にガス
ケット４を嵌合させる。

【００２０】スリーブ２と、ガスケット４とが装着され
た状態でパイプ５，７を、第一フェルール部品３が装着
されている袋ナット１に挿入し、袋ナット１をボディ６
にネジ込む。ここで、スパナ４０としては、図６に示す
ものが使用される。スパナ４０は、スパナ本体３３とハ
ンドル３２とから構成されている。スパナ本体３３に
は、袋ナット１のスパナ用孔３１に対応した４つの突起
３４が形成され、中央にパイプを逃げるための逃げ部３
８が形成されている。スパナ４０の突起３４を袋ナット
１のスパナ用孔３１に係合させ、ハンドル３２を回転さ
せることにより、袋ナット１をボディ６にネジ込むこと
ができる。ここで、スパナ４０を袋ナット１の端面に穿
設されたスパナ用孔に係合させネジ込むことができるの
で、周囲に邪魔な物が存在する場合でも、容易にネジ込
むことが可能である。

【００２１】さらに、ボディ６を回らないように固定し
た状態で、袋ナット１を所定のトルクに達するまでねじ
込んでいく。袋ナット１をボディ６にねじ込んでいくと
きの推進力がスリーブ２と第一フェルール部品３とを介
してパイプ５，７に伝達される。すなわち、フェルール
を構成するスリーブ２は、パイプ外周に形成された溝５
ｂに嵌合しており、第一フェルール部品３は楔の作用で
スリーブ２により推進力が伝達されるため、第一フェル
ール部品３は強い推進力をパイプに伝達することができ
る。ここで、スパナ４０を袋ナット１の端面に穿設され
たスパナ用孔に係合させネジ込んでいるので、袋ナット
１に対して、均一にトルクを伝達することができるた
め、第一フェルール部品３に伝達される推進力を一定に
することができる。また、パイプ５は袋ナット１に対し
て、第一フェルール部品３とスリーブ２とにより位置決
めされているので、パイプの端面５ｂとボディ６の端面
６ｂとが正確に位置合わせされる。ここで、ボディ端面
６ｂはローラバニッシングにより鏡面仕上げされてお
り、ボディ端面６ｂとガスケット４との密着性が向上
し、継手の気密性が高まる。

【００２２】また、ＳＵＳ素材のビッカース硬度は、約
１８０であるが、ローラバニッシングすることにより、
ビッカース硬度が約３００にできる。これにより、強い
押圧力によりボディ端面６ｂをガスケットに押し当てて
も、ボディ端面６ｂが変形することがないため、繰り返
し使用することができる。ガスケット４は、パイプの端
面５ｂとボディ６の端面６ｂとにより両面から押圧され
る。ガスケット４は、本実施例ではニッケル製であり、
硬度の高いパイプの端面５ｂとボディ６の端面６ｂとに
押圧され、各々がよく密着できる。ガスケット４は一度
組み込むと変形するので、再度組み立てるときは、新し
いガスケット４に交換する。本実施例のガスケット４は
パイプ５に嵌合するだけで位置が決まるため、ガスケッ
ト４の交換は極めて容易である。袋ナット１をボディ６
にネジ込んだときに、第一フェルール部品３が装着され
ているので、パイプ５が袋ナット１と共回りすることが
防止されるため、パイプ端面５ｂとガスケット４との間
またはガスケット４とボディ端面６ｂとの間で擦れが発
生せず、パーティクルが発生することがない。

【００２３】上記構成の流体継手によれば、普通のパイ
プに簡単な追加工を行うだけで容易に、第一フェルール
部品３とスリーブ２を装着することができるので、溶接
をすることなく、パイプ同士を気密性が高い状態で接続
することができる。また、袋ナット１を外せば、パイプ
５を横にスライドさせるだけで容易に接続を解除できる
ため、配管に余分な逃げを設ける必要がなくコストを低
くすることができる。また、第一フェルール部品３の一
端にスラスト玉軸受け９を形成しているので、部品点数
を減らすことができ、部品の付け忘れによるトラブルを
減少させることができる。また、スリーブ２の外周に設
けられた６つの溝２１が、円周上に均等に配置されてい
るので、スリーブ２の推力が第一フェルール部品３に均
一に伝達することができ、ガスケット４での密着性を良
くできる。

【００２４】また、パイプ端面５ｂとボディ端面６ｂと
をローラバニッシング加工で仕上げているので、ガスケ
ット４との密着性がよく、流体継手を高い気密性で構成
できる。また、パイプ端面５ｂとボディ端面６ｂの硬度
が高いので、ガスケット４が変形するのみなため、ガス
ケット４を交換するだけで繰り返し使用することができ
る。

【００２５】次に、第二の実施例について図２に示す断
面図及び図４に示す分解斜視図を用いて説明する。第二
の実施例は、一組のパイプを接続するのに一つの袋ナッ
トを使用して行う流体継手である。内側に雌ネジ１ａが
形成された袋ナット１の内側端面にスラスト玉軸受け９
ａが当接するように、第一フェルール部品３ａが嵌合さ
れている。ここで、袋ナット１の端面には、図５に断面
図（ａ）及び側面図（ｂ）で示すように、スパナ用孔３
１が円周上に等間隔で６つ穿設されている。第一フェル
ール部品３ａの内側に第一パイプであるパイプ５が取り
付けられている。パイプ５の端面部は、図４に示すよう
に、先端部が面取りされ、先端端面５ｂはロールバニッ
シングにより鏡面に仕上げられている。また、パイプ５
の周面には、溝５ａが切設されている。溝５ａには、長
手方向に６つの溝を有し、断面が楔形をしたスリーブ２
ａが嵌合されている。スリーブ２ａの楔形の傾斜と同じ
傾斜を内面に有する第一フェルール部品３ａがスリーブ
２ａと嵌合されている。第一フェルール部品３ａとスリ
ーブ２ａとが嵌合してフェルールを構成している。スリ
ーブ２ａは、断面が楔形であって面積の小さい端面がス
ラスト玉軸受け９ａ側に位置する。

【００２６】パイプ５の端部に内面が嵌合し、パイプ端
面５ｂの全周に内側端面が当接してガスケット４が取り
付けられている。袋ナット１の内側には、端面にロール
バニッシング仕上げ面を形成した第二パイプであるパイ
プ７が取り付けられている。パイプ７の端面部は、パイ
プ端面５ｂと同様にロールバニッシングにより鏡面に仕
上げられている。

【００２７】また、パイプ７の周面には、溝７ａが切設
されている。溝７ａには、長手方向に６つの溝を有し、
断面が楔形をしたスリーブ２ｂが嵌合されている。スリ
ーブ２ｂの楔形の傾斜と同じ傾斜を内面に有する第一フ
ェルール部品３ｂがスリーブ２ｂと嵌合されている。第
一フェルール部品３ｂとスリーブ２ｂが嵌合してフェル
ールを構成している。スリーブ２ｂは、断面が楔形であ
って面積の小さい端面がスラスト玉軸受け９ｂ側に位置
する。第一フェルール部品３ｂは、断面が台形であって
面積の大きい端面がスラスト玉軸受け９ｂに当接するよ
うに取り付けらている。スラスト玉軸受け９ｂには、外
周に雄ネジ８ａが形成されたボディ８の端面が当接して
いる。

【００２８】次に第二の実施例の作用について説明す
る。ボディ８を回らないように固定した状態で、袋ナッ
ト１を所定のトルクに達するまでねじ込んでいく。ここ
で、スパナ４０としては、図６に示すものが使用され
る。スパナ４０は、スパナ本体３３とハンドル３２とか
ら構成されている。スパナ本体３３には、袋ナット１の
スパナ用孔３１に対応した４つの突起３４が形成され、
中央にパイプを逃げるための逃げ部３８が形成されてい
る。スパナ４０の突起３４を袋ナット１のスパナ用孔３
１に係合させ、ハンドル３２を回転させることにより、
袋ナット１をボディ６にネジ込むことができる。袋ナッ
ト１をボディ６にねじ込んでいくときの推進力が各フェ
ルールを介してパイプ５，７に伝達される。フェルール
を構成するスリーブ２ａ，２ｂは、パイプ外周に形成さ
れた溝５ａ，７ａに嵌合しているので、フェルールは強
い推進力をパイプに伝達することができる。

【００２９】このとき、パイプ５，７は袋ナット１に対
してフェルールにより位置決めされているので、第一パ
イプの端面５ｂと第二パイプの端面７ｂとが正確に位置
合わせされる。また、一組のパイプ５，７がガスケット
４を挟んで突き合わされ、押圧される。パイプ端面５
ｂ，７ｂは共にローラバニッシング加工されており、ニ
ッケル製のガスケット４が変形してパイプ端面５ｂ，７
ｂに密着するため、気密性がよくなる。

【００３０】以上の実施例によれば、気密性の高いの
で、毒性の強いガスを半導体製造工程で使用する場合で
も危険性が全くなくなる。また、袋ナットを外せば横に
スライドさせるだけでパイプを容易に取り外せるため、
メンテナンスが容易である。また、第一フェルール部品
３ａ，３ｂの一端にスラスト玉軸受け９ａ，９ｂを形成
しているので、部品点数を減らすことができ、部品の付
け忘れによるトラブルを減少させることができる。ま
た、スリーブ２ａ，２ｂの外周に設けられた６つの溝２
１が、円周上に均等に配置されているので、スリーブ２
ａ，２ｂの推力が第一フェルール部品３ａ，３ｂに均一
に伝達することができ、ガスケット４での密着性を良く
できる。また、スパナ４０を袋ナット１の端面に穿設さ
れたスパナ用孔に係合させネジ込んむことができるの
で、周囲に邪魔な物が存在する場合でも、容易にネジ込
むことが可能である。また、スパナ４０を袋ナット１の
端面に穿設されたスパナ用孔に係合させネジ込んでいる
ので、袋ナット１に対して、均一にトルクを伝達するこ
とができるため、第一フェルール部品３に伝達される推
進力を一定にでき、シール力を安定化することができ
る。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の流体継手によれば、普通のパイプに簡単な追加工
を行うだけで容易に、第一フェルール部品と第二フェル
ール部品を装着することができるので、溶接をすること
なく、パイプ同士を気密性が高い状態で接続することが
できるため、溶接により浮遊元素が発生し、金属不純物
としてウエハに混入し、デバイスの信頼性を損なうこと
がなく、また、スラスト軸受けを第一フェルール部品の
一端に形成しているので、部品点数が減るため、部品の
取付忘れ等のトラブルを減少させることができる。

【００３２】また、第二フェルール部品のの外周に設け
られた複数の溝が、円周上に均等に配置されているの
で、第二フェルール部品の推力が第一フェルール部品に
均一に伝達することができるため、ガスケットでの密着
性を良くでき、気密性が向上できる。また、溶接による
材質が変化がないため、パーティクルの発生がなく、パ
ターンディフェクトによる不良品率が低くなる。また、
組立が容易であり、半導体製造工程の建設等において、
熟練した溶接作業者が不要となり、効率よく建設を行う
ことができる。また、袋ナットを外せば、パイプを横に
スライドさせるだけで容易に接続を解除できるため、配
管に余分な逃げを設ける必要がなくコストを低くするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例である流体継手の構成を示
す断面図である。

【図２】本発明の第二の実施例である流体継手の構成を
示す断面図である。

【図３】第一の実施例の主要部分の構成を示す分解斜視
図である。

【図４】第二の実施例の主要部分の構成を示す分解斜視
図である。

【図５】袋ナットの形状を示す図面である。

【図６】袋ナット用スパナの形状を示す外観図である。

【図７】パイプ端部の断面図である。

【図８】第一フェルール部品の構成を示す断面図であ
る。

【図９】スリーブの構成を示す平面及び側面図である。

【図１０】従来の流体継手の構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１袋ナット２スリーブ３第一フェルール部品４ガスケット５，７パイプ６，８ボディ９スラスト軸受け３１スパナ用孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者見方裕一神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地東芝総合研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内側に雌ネジが形成された袋ナットと、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成されたパ
イプと、断面が台形であって面積の大きい端面側に、前記袋ナッ
トの内側端面に当接し前記袋ナットと前記パイプとの共
回りを防止する共回り防止手段が一体に形成される第一
フェルール部品と、前記パイプの外周の前記溝に嵌合され、断面が楔形であ
って面積の小さい端面が前記共回り防止手段側に位置す
る第二フェルール部品と、前記パイプの端部に嵌合され、前記パイプ端面の全周が
当接するガスケットと、端面に鏡面仕上げ面を形成し、外周に雄ネジが形成され
たボディとを備え、前記ボディの端面が、前記ガスケットの前記パイプが当
接する面の反対側の面に当接し、前記ボディの雄ネジと
前記袋ナットの雌ネジとが所定のトルクで締結されるこ
とを特徴とする流体継手。
【請求項２】内側に雌ネジが形成された袋ナットと、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成された第
一パイプと、断面が台形であって面積の大きい端面側に、前記袋ナッ
トの内側端面に当接し前記袋ナットと前記第一パイプと
の共回りを防止する第一パイプ用共回り防止手段が一体
に形成される第一パイプ用第一フェルール部品と、前記第一パイプの外周の前記溝に嵌合され、断面が楔形
であって面積の小さい端面が前記第一パイプ用共回り防
止手段側に位置する第一パイプ用第二フェルール部品
と、外周に雄ネジが形成されたボディと、端面に鏡面仕上げ面が形成され外周に溝が形成された第
二パイプと、断面が台形であって面積の大きい端面側に、前記ボディ
の端面に当接し前記袋ナットと前記第二パイプとの共回
りを防止する第二パイプ用共回り防止手段が一体に形成
される第二パイプ用第一フェルール部品と、前記第二パイプの外周の前記溝に嵌合され、断面が楔形
であって面積の小さい端面が前記第二パイプ用共回り防
止手段側に位置する第二パイプ用第二フェルール部品
と、前記第一パイプまたは前記第二パイプの端部に嵌合さ
れ、前記第一パイプ端面および前記第二パイプ端面の全
周が両面から当接するガスケットとを備え、前記ボディの雄ネジと前記袋ナットの雌ネジとが所定の
トルクで締結されることを特徴とする流体継手。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載する流体
継手において、前記第二フェルール部品が、外周に均等に配置される２
以上の溝を有することを特徴とする流体継手。
【請求項４】請求項１または請求項２に記載する流体
継手において、前記袋ナットの端面に２以上のスパナ用孔が形成されて
いることを特徴とする流体継手。