JPH08200566A

JPH08200566A - 流体継手及びその螺着スパナ

Info

Publication number: JPH08200566A
Application number: JP2612595A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Goshima; 憲一五島; Minoru Ueda; 稔植田
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 1995-01-19
Filing date: 1995-01-19
Publication date: 1996-08-06
Anticipated expiration: 2013-12-24
Also published as: JP2840204B2

Abstract

(57)【要約】【目的】締め付け或は取り外し作業が少スペースで、
簡便に行なうことができる流体継手及びその螺着スパナ
を提供する。【構成】連通される一方の配管５端部に嵌合され、一
端内周部に雌ネジ１ａが形成されたナット部材１と、連
通される他方の配管７端部に嵌合され、一端外周部に雄
ネジ８ａが形成されたボルト部材８とからなり、ナット
部材１の雌ネジ１ａとボルト部材８の雄ネジ８ａとを螺
着することによって配管５，７を連通させるものであっ
て、雌ネジ１ａが形成されたナット部材１の他端部、又
は雄ネジ８ａが形成されたボルト部材８の他端部に円周
上に形成された複数の円筒孔３１，３２を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等の産
業用製造装置で使用されるガス供給装置で使用される流
体継手に関し、さらに詳細には、連結部の締め付け或は
取り外しが少スペースで行なえる流体継手に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体製造工程において、シ
リコンベースにシラン、アルシン、ホスフィン、ジボラ
ン等の超毒性ガスを不純物源として熱拡散することが行
われている。また、自然発火性ガスも使用されている。
例えば、アルシンの致死量は０．５ｐｐｍであり、少量
の漏れが人身事故につながるため、これらガスの配管
は、漏れを防止するため原則として溶接により接続され
ていた。一方、パイプ同士を溶接を使用せずに接続する
方法は、圧縮空気等の毒性のないガスの配管では図９、
図１０に示す継手が使用されていた。ここで図９は、こ
の従来の継手の連結を取り外した状態を示した斜視図で
ある。一方、図１０は、その継手の断面を示した図であ
る。

【０００３】この継手では、ボディ５１の貫通孔の両端
にパイプ５２，５３が挿入される。ボディ５１の両端に
は雄ネジ５１ａが形成され、雄ネジ５１ａには袋ナット
５４の内側に形成されている雌ネジ５４ａが締結されて
いる。また、ボディ５１、袋ナット５４を回転させる際
にスパナを掛けるための６角面が形成されている。ボデ
ィ５１の貫通孔の両端入口には、各々大きな面取り部が
形成されており、その面取り部に断面が楔形のスリーブ
５５が嵌合されている。スリーブ５５の中心には貫通孔
が形成され、パイプ５２，５３が嵌挿されている。スリ
ーブ５５の底面には共回り止め用の座がね５６が当接し
ている。座がね５６の反対側の端面は袋ナット５４の内
側の端面に当接している。スリーブ５５の中心には貫通
孔が形成され、パイプ５２，５３と嵌合している。

【０００４】この様な構成を有する継手において、袋ナ
ット５４をボディ５１に対して所定のトルクでネジ込
む。即ち、ボディ５１の６角面にスパナをはめ込んで固
定し、袋ナット５４の６角面にもスパナをはめ込んで回
転させる。すると雌ネジ５４ａと雄ネジ５１ａとによっ
て袋ナット５４が取り付け方向へ進む。スリーブ５５が
ボディ５１により内側に押圧されパイプ５２，５３の外
周に圧接され、パイプ５２，５３が変形を受ける。従っ
て、これによりパイプ５２，５３の外周面とスリーブ５
５の内面との密着性及びスリーブ５５の外周面とボディ
５１の面取り部内面との密着性が確保され継手の気密性
が確保される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
継手には次のような問題点があった。流体継手の設置さ
れる半導体工程は、工業プロセスの高機能多機能にとも
なう配管系統の複雑化により高密度配管が必要となって
いる。即ち、配管どうしの間隔を狭くする必要があり、
そのため、メンテナンス時の作業空間が少なく工具スペ
ースの確保が難しくなっている。しかし、スパナを袋ナ
ットの６角面に嵌合させて締め付け又は取り外しを行な
う際、そのスパナをはめ込むための隣接する配管との距
離、及びスパナを所定方向に回転させる工具の大きさ分
の回転空間が必要である。

【０００６】従って、その空間を確保できない場合には
袋ナットのネジ締め等を行う作業が非常に困難となり、
袋ナットの取り外し取付に無駄な時間がかかっていた。
逆に作業を容易に行えるように回転空間を広く取ったの
では、高密度配管という要請に反することとなる。一
方、高密度に配管されている場合であっても、スパナの
先端を斜めから係合させて無理な角度で締め付けを行な
うことが可能である。しかし、そのような無理な取り付
けでは、袋ナット６に均等なトルクがかからないため密
着性が悪くなるとともに、偏った力がかかり破損も起こ
り得る。

【０００７】本発明は、上記の問題点を解決して、締め
付け或は取り外し作業が少スペースで、簡便に行なうこ
とができる半導体製造工程等で使用される流体継手及び
それに使用する螺着スパナを提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の流体継手は、連
通される一方の配管端部に嵌合され、一端内周部に雌ネ
ジが形成されたナット部材と、連通される他方の配管端
部に嵌合され、一端外周部に雄ネジが形成されたボルト
部材とからなり、前記ナット部材の雌ネジとと前記ボル
ト部材の雄ネジとを螺着することによって配管を連通さ
せるものであって、雌ネジが形成された前記ナット部材
の他端部、又は雄ネジが形成された前記ボルト部材の他
端部に円周上に形成された複数の円筒孔を有するもので
ある。また、本発明の流体継手は、前記複数の円筒孔
が、等角度で４箇所以上形成されているものであること
が望ましい。

【０００９】本発明の螺着スパナは、所定長さの棒部材
と、雄ネジ又は雌ネジが形成された流体継手が嵌合され
る配管の寸法に合わせて湾曲した略半円状の本体と、前
記流体継手の端面であって同一円周上に形成された複数
の円筒孔に対し、前記本体の片面又は両面に、前記二以
上の円筒孔と同一位置であってその円筒孔に挿入される
複数の円柱状突起とを有するものである。また、本発明
の螺着スパナは、前記本体の曲面部分に、前記２つの円
柱状突起を１つの止ネジで係止するものであることが望
ましい。

【００１０】

【作用】本発明の流体継手は、連通される２本の配管端
部に流体継手のそれぞれが嵌合され、流体継手を構成す
る雌ネジが形成されたナット部材と雄ネジが形成された
ボルト部材との雌ネジと雄ネジを螺着させることにより
２本の配管を連通させる。そして、その流体継手を螺着
させる際には、前記ナット部材の雌ネジが形成された他
方の端部、若しくは前記ボルト部材の雄ネジが形成され
た他方の端部、又はその両端部の円周上に形成された複
数の円筒孔に螺着スパナの突起をはめ込んで、本体に固
定された棒部材を回転させることによってナット部材又
はボルト部材を回転させて締め付け又は取り外しを行な
うので、螺着スパナは流体継手の本体を構成するナット
部材やボルト部材の径以下に抑えることができ、少スペ
ースでの流体継手の締め付け又は取り外しを行なうこと
ができる。また、本発明の螺着スパナは、前記本体の曲
面部分に形成した止ネジ部によってネジ止めすることに
より、棒部材を握った状態でいる必要はなく独立して固
定部材とすることができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の流体継手及び螺着スパナを具
体化した一実施例について図面を参照して説明する。図
１は、パイプを接続する本実施例の流体継手の断面を示
す図である。そして、図２は、本実施例の流体継手の主
要部品の構成を示す分解斜視図である。本実施例は、一
組のパイプを接続するのにナット部材に袋ナット１を使
用し、ボルト部材にボディ８を使用する流体継手であ
る。従って、以下図面に基づいてその構成を説明する。

【００１２】袋ナット１は、内側に雌ネジ１ａが形成さ
れ、その内側閉端側に設けられたスラスト玉軸受け９ａ
に当接するよう第一フェルール部品３ａが嵌合されてい
る。第一フェルール部品３ａの内側に第一パイプである
パイプ５が取り付けられている。パイプ５の端面部は、
図３に示すように、先端部が面取りされ、先端端面５ｂ
はロールバニッシングにより鏡面に仕上げられている。
一方、袋ナット１の内側開端側にはスラスト玉軸受け９
ｂが嵌合するように形成される。そして、その袋ナット
１の内側には、スラスト玉軸受け９ｂに当接するよう第
二フェルール部品３ｂが嵌合されている。また、第二フ
ェルール部品３ｂの内側も第二パイプであるパイプ７が
取り付けられ、先端部が面取りされ、ロールバニッシン
グにより鏡面に仕上げられている。そして、このスラス
ト玉軸受け９ｂには、外周に雄ネジ８ａが形成されたボ
ディ８の端面が当接されることとなる。

【００１３】パイプ５及びパイプ７の周面には、図３に
示すように溝７ａ又は溝７ｂがそれぞれ切設されてい
る。そして、そのパイプ５，７には、長手方向に６つの
溝が形成され、断面が楔形をしたスリーブ２ａ又はスリ
ーブ２ｂが嵌合されている。更に、スリーブ２ａ，２ｂ
の楔形の傾斜と同じ傾斜を内面に有する第一フェルール
部品３ａがスリーブ２ａと嵌合され、第二フェルール部
品３ｂがスリーブ２ｂと嵌合されている。このように、
第一フェルール部品３ａとスリーブ２ａ、第二フェルー
ル部品３ｂとスリーブ２ｂとが嵌合してそれぞれフェル
ールを構成している。スリーブ２ａ，２ｂは、断面が楔
形であって面積の小さい端面が、図１に示すようにスラ
スト玉軸受け９ａ，９ｂ側にそれぞれ位置する。一方、
第一フェルール部品３ａ、第二フェルール部品３ｂは、
断面が台形であって面積の大きい端面がスラスト玉軸受
け９ａ，９ｂに当接するように取り付けらている。ま
た、パイプ５とパイプ７の連接部にはガスケット４が設
けられ、パイプ５の端部が内面側に当接して取り付けら
れている。

【００１４】そして、このような袋ナット１の端面に
は、図４に断面図（ａ）及び平面図（ｂ）で示すよう
に、本発明の特徴であるスパナ用孔３１が穿設されてい
る。また、ボディ８にも、図５に断面図（ａ）及び平面
図（ｂ）で示すように、スパナ用孔３２が穿設されてい
る。このスパナ用孔３１，３２は、図４（ｂ）、図５
（ｂ）で示すように、袋ナット１の端面及びボディ８の
端面に、同じように円周上に等角度で６つ形成されてい
る。また、スパナ用孔３１及びスパナ用孔３２ともに同
一径の円周上に形成されている。本実施例で、スパナ用
孔３１，３２の寸法を同一にしたのは、流体継手である
袋ナット１及びボディ８を螺着するためのスパナを共用
できるようにするためである。

【００１５】スパナとしては、図６〜図８に示すものが
使用される。第１のスパナ４０は、スパナ本体４１とハ
ンドル４２とから構成されている。スパナ本体４１は、
袋ナット１及びボディ８の中心を通るパイプを避けるよ
うに、湾曲に形成された逃げ部４４を有している。スパ
ナ本体４１には、袋ナット１のスパナ用孔３１に対応し
た同一径の同一円周上に４つの突起４３が形成されてい
る。また、図７に示す第２のスパナ４５では、上記スパ
ナ４０と同様にスパナ本体４１にハンドル４２が一体に
固定され、突起４３が設けられている。更に、その特徴
としては、スパナ本体４１の両面の同位置に同様の突起
４３が設けられ、ハンドル４２がスパナ本体４１の半径
方向に対し所定角度θ（スパナ用孔のピッチの半分）で
取り付けられている。

【００１６】また、図８に示す第３のスパナ４６は、ス
パナ４０と同様にスパナ本体４１、ハンドル４２、そし
て突起４３から構成され、更にスパナ本体４１に止ネジ
４７のためのネジ孔４８が２箇所形成されている。即ち
上記スパナ４０，４５は袋ナット１及びボディ８を回転
或は固定させる両者の場合についての使用が可能である
が、このスパナ４６は、ネジ４７によって回転を制限す
る固定可能なものである。

【００１７】次に、上記構成を有する流体継手の作用に
ついて説明する。パイプ５，７の溝５ａ，７ａに、スリ
ーブ２ａ，２ｂが装着される。このとき、パイプ５，７
の外径とスリーブ２ａ，２ｂの内径とがほぼ同一である
が、スリーブ２ａ，２ｂの外周には、等間隔で６つの溝
が形成され、外壁の厚さが０．１５ｍｍと薄いので、外
壁が弾性変形されるため、スリーブ２ａ，２ｂを溝５
ａ，７ａに容易に装着することができる。スリーブ２
ａ，２ｂの外面の傾斜と嵌合するように第一フェルール
部品３ａ，第二フェルール部品３ｂが装着される。ま
た、パイプ５及びパイプ７の端部にガスケット４が嵌合
される。

【００１８】スリーブ２ａ，２ｂと、ガスケット４とが
それぞれ装着された状態でパイプ５，７を、第一フェル
ール部品３ａ第二フェルール部品３ｂが装着されている
袋ナット１に挿入し、袋ナット１とボディ８とが螺着さ
れる。このとき、袋ナット１又はボディ８の一方をスパ
ナ４０，４５，４６（以下、スパナ４０で代表する）で
固定し、更に他方を同じようにスパナ４０で回転させ
る。例えば、スパナ４０の突起４３を袋ナット１及びボ
ディ８のスパナ用孔３１，３２に係合させ、ボディ８に
係合されたスパナ４０のハンドル３２を固定してボディ
８の回転を制限し、袋ナット１に係合されたスパナ４０
のハンドル３２を回転させることにより、袋ナット１と
ボディ８とを螺着させることができる。

【００１９】ここで、スパナ４０を袋ナット１の端面に
穿設されたスパナ用孔３１，３２に係合させて螺着させ
ることができるので、目的とするパイプに近接して他の
パイプが配設される場合でも、袋ナット１やボディ８の
直径分のスペースで作業を行なうことが可能である。ま
た、スパナ４５のようにスパナ本体４１に対してハンド
ル４２を所定角度θずらしたことにより、スパナ４５を
一方向に回転させて後、そのスパナ４１を反転させて回
転させれば、ハンドル４２を回転させるスペースの無い
狭い範囲で作業を行なうことができる。

【００２０】以上のようにスパナ４０を使用して袋ナッ
ト１とボディ８とを螺着させると、袋ナット１をボディ
８にねじ込んでいくときの推進力がスリーブ２ａ，２ｂ
とフェルール部品３ａ，３ｂとを介してパイプ５，７に
伝達される。すなわち、フェルールを構成するスリーブ
２は、パイプ外周に形成された溝５ｂに嵌合されてお
り、フェルール部品３ａ，３ｂは楔の作用でスリーブ２
ａ，２ｂにより推進力が伝達されるため、フェルール部
品３ａ，３ｂは強い推進力をパイプに伝達することがで
きる。ここで、スパナ４０を袋ナット１の端面に穿設さ
れたスパナ用孔３１に係合させネジ込んでいるので、袋
ナット１に対して、均一にトルクを伝達することができ
るため、フェルール部品３ａ，３ｂに伝達される推進力
を一定にすることができ、気密な状態でパイプどうしを
つなぐことができる。また、パイプ５，７は袋ナット１
に対して、フェルール部品３ａ，３ｂとスリーブ２ａ，
２ｂとにより位置決めされているので、パイプの端面５
ｂとボディ６の端面６ｂとが正確に位置合わせされる。

【００２１】上記構成の流体継手及び螺着スパナである
スパナによれば、スパナを袋ナット１あるいはボディ８
の端面にスパナの突起を挿入して係合させることにより
締め付け又は取り外しを行なうので、スパナの本体を袋
ナット、ボディの径以内に押えることができ、配管どう
しが近接する場合にも問題なく少スペースでの作業が可
能である。その突起をスパナ用孔３１，３２の挿入すれ
ば、回転時に滑ることなく確実に、また簡便に行なうこ
とができる。

【００２２】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可
能である。例えば、上記実施例で示したスパナ用孔３
１，３２とは異なる径であってもよく、また、その数を
６つとしたが２つ以上であれば問題はない。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の流体継手によれば、一端内周部に雌ネジが形成さ
れたナット部材と、一端外周部に雄ネジが形成されたボ
ルト部材とを螺着することによって配管を連通させるも
のであって、雌ネジが形成された前記ナット部材の他端
部、又は雄ネジが形成された前記ボルト部材の他端部に
円周上に形成された複数の円筒孔を有するものなので、
流体継手の端面側に螺着スパナを係合させることがで
き、締め付け或は取り外し作業が少スペースで、簡便に
行なうことができる。また、本発明の螺着スパナによれ
ば、前記流体継手に対し、所定長さの棒部材と、湾曲し
た略半円状の本体と、前記二以上の円筒孔と同一位置で
あってその円筒孔に挿入される複数の円柱状突起とを有
し、その突起を円筒孔に挿入し回転させて締め付け又は
取り外しを行なうので、流体継手の端面側に螺着スパナ
を係合させることができ、締め付け或は取り外し作業が
少スペースで、簡便に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である流体継手の構成を示す
断面図である。

【図２】実施例の主要部分の構成を示す分解斜視図であ
る。

【図３】パイプ端部の断面図である。

【図４】袋ナットの形状を示す断面図である。

【図５】ボディの形状を示す断面図である。

【図６】第１のスパナの形状を示す外観図である。

【図７】第２のスパナの形状を示す外観図である。

【図８】第３のスパナの形状を示す外観図である。

【図９】従来の流体継手の構成を示す外観図である。

【図１０】従来の流体継手の構成を示す断面図である。

【符号の説明】

１袋ナット２ａ，２ｂスリーブ３ａ，３ｂフェルール部品４ガスケット５，７パイプ８ボディ９スラスト軸受け３１スパナ用孔４０，４５，４６スパナ４１スパナ本体４２ハンドル４３突起４４逃げ部４７止ネジ４８ネジ孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】連通される一方の配管端部に嵌合され、
一端内周部に雌ネジが形成されたナット部材と、連通さ
れる他方の配管端部に嵌合され、一端外周部に雄ネジが
形成されたボルト部材とからなり、前記ナット部材の雌
ネジと前記ボルト部材の雄ネジとを螺着することによっ
て配管を連通させる流体継手において、雌ネジが形成された前記ナット部材の他端部、又は雄ネ
ジが形成された前記ボルト部材の他端部に円周上に形成
された複数の円筒孔を有することを特徴とする流体継
手。
【請求項２】請求項１に記載の流体継手において、前記複数の円筒孔が、等角度で４箇所以上形成されてい
ることを特徴とする流体継手。
【請求項３】所定長さの棒部材と、雄ネジ又は雌ネジが形成された流体継手が嵌合される配
管の寸法に合わせて湾曲した略半円状の本体と、前記流体継手の端面であって同一円周上に形成された複
数の円筒孔に対し、前記本体の片面又は両面に、前記二
以上の円筒孔と同一位置であってその円筒孔に挿入され
る複数の円柱状突起とを有することを特徴とする流体継
手を螺着する螺着スパナ。
【請求項４】請求項３に記載の螺着スパナにおいて、前記本体の曲面部分に、前記２つの円柱状突起を１つの
止ネジで係止することを特徴とする螺着スパナ。