JPH072964U - 光学式回路欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プリント配線板の回路を構成する銅箔の部分
的な厚さの変化や、表面状態を高精度に検査する。 【構成】 検査対象であるプリント配線板７に対し垂直
方向及び斜め上方向にハロゲン光リングライト２と、照
明用ハロゲンランプ６をそれぞれ配設する。さらに、こ
れらハロゲン光リングライト２と照明用ハロゲンランプ
６の前側には、偏光方向を９０°異にした垂直方向の照
明用の第１の偏光フィルタ３と、斜め上方向の照明用の
第２の偏光フィルタ５をそれぞれ設置する。そして、こ
の第１の偏光フィルタ３の前側には、カメラ用偏光フィ
ルタ４を、ハロゲン光リングライト２の後側には、カラ
ーＣＣＤカメラ１をそれぞれ配設する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、プリント配線板の回路欠陥を検査する光学式回路欠陥検査装置に関 するものである。

【０００２】

【従来の技術】

プリント配線板の回路欠陥検査装置には、従来次の装置が知られている。その １つは、検査対象であるプリント配線板に対し、垂直方向と斜め上方から同時に 光を照射し、正反射と乱反射を同時に１台のカメラで垂直方向より取込み処理を 行っている。 その２は、プリント配線板の基板に予め混入しておいた螢光物質の発する螢光 をカメラにより取込み処理を行っている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、前記２つの方法では、プリント配線板の回路を構成する銅箔が物理的 または化学的な理由により、例えば部分的に厚みが数１０μｍ程度減少し、かつ その平面上の形状に変化がない場合、板面に対し垂直な方向から画像として厚み の変化をとらえることは困難であった。また、錆や研磨むらなどの銅箔の微小な 表面状態をとらえることが難しかった。

【０００４】 本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするとこ ろは、プリント配線板の回路の微小な欠陥も正確に検査することのできる光学式 の回路欠陥検査装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る光学式回路欠陥検査装置は、上記の目的を達成するために、検査 対象であるプリント配線板の垂直方向及び斜め上方向にそれぞれ配設された第１ の光源及び第２の光源と、この第１及び第２の光源の前側に配設され、それぞれ 偏光方向を異にした第１の偏光フィルタ及び第２の偏光フィルタと、第１の偏光 フィルタの前側に設けられたカメラ用偏光フィルタと、プリント配線板の回路面 で反射されて、前記カメラ用偏光フィルタを透過し、このカメラ用偏光フィルタ で分離された反射光による回路面の画像を結像するカラーＣＣＤカメラとを具備 してなる構成を特徴とするものである。

【０００６】

【作用】

プリント配線板の垂直方向と斜め上方向からの照明光による回路面の画像を、 カラーＣＣＤカメラに分離して取込むことにより、回路を構成する銅箔を立体的 にとらえ、回路の微小な厚みの変化や表面状態についても細かくとらえ、回路欠 陥の検査を行う。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づき詳細に説明する。 図１は、本考案に係るプリント配線板の回路欠陥検査装置の説明図であり、プ リント配線板７には、銅箔で回路８が形成されている。

【０００８】 前記プリント配線板７の回路面に対し垂直方向に第１の光源として、ハロゲン 光リングライト２が設けられている。また、プリント配線板７の回路面に対し、 ２０°の斜め上方向に第２の光源として、ハロゲンランプ６が設けられている。

【０００９】 このハロゲン光リングライト２の前側には、垂直方向に照明用の第１偏光フィ ルタ３が設けられ、この第１偏光フィルタ３の前側には、カメラ用フィルタ４が 設けられている。 さらに、ハロゲン光リングライト２の後側には、偏光レンズを備えたカラーＣ ＣＤカメラ１が、このハロゲン光リングライト２と同軸に設けられている。

【００１０】 一方、前記ハロゲンランプ６の前側には、斜め上方向に照明用の第２の偏光フ ィルタ５が設けられている。また、第１の偏光フィルタ３と第２の偏光フィルタ ５は、位相を９０°異にして配設されている。

【００１１】 本実施例はこのような構成からなり、次のように回路欠陥の検査を行う。 ハロゲン光リングライト２とハロゲンランプ６により、プリント配線板７の前 面に向けて照射される光は、垂直方向の照明用の第１の偏光フィルタ３と斜め上 方向の照明用の第２の偏光フィルタ５を通り、プリント配線板７の回路８に当た って反射される。この反射された光は、カメラ用偏光フィルタ４を通り、カラー ＣＣＤカメラ１に入射される。

【００１２】 カラーＣＣＤカメラ１では、偏光レンズを回転させながら、回路面からの反射 光を撮像する。 つまり、このカラーＣＣＤカメラ１で、カメラ用偏光フィルタ４を透過したハ ロゲン光リングライト２及び、ハロゲンランプ６からの２つの光を受け、プリン ト配線板７の回路面の画像を結像する。 ここで得られたプリント配線板７の回路画像は、カラーＣＣＤカメラ１によっ て信号化され、図示しない画像処理回路に送られる。

【００１３】 画像処理回路では、カラーＣＣＤカメラ１から入力された２つの画像が比較さ れ、各画像信号に基づきプリント配線板７の回路画像の輝度分布が二値化される などの処理が行われた後、前記回路を構成する銅箔の部分的な厚みの微小変化や 錆などによる表面状態の変化が判定される。

【００１４】 本考案者らは、このようにして画像の比較を行い、プリント配線板の回路欠陥 の検査を行ったところ、約１０μ薄くなった回路欠陥を良好に検出できた。さら に、回路面の研磨むらなどの表面状態の変化も、きめ細かくとらえることができ た。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によると、従来の検査装置では検出が困難であっ たプリント配線板の回路を構成する銅箔の部分的な厚みの微小な変化をとらえる ことができる。

【００１６】 さらに銅箔の表面状態の変化もより細かくとらえることができて、回路欠陥の 高精度の検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るプリント配線板の回路欠陥検査装
置の説明図である。

【符号の説明】

１ カラーＣＣＤカメラ ２ ハロゲン光リングライト ３ 第１の偏光フィルタ ４ カメラ用偏光フィルタ ５ 第２の偏光フィルタ ６ 照明用ハロゲンランプ ７ プリント配線板

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象であるプリント配線板の垂直方
   向及び斜め上方向にそれぞれ配設された第１の光源及び
   第２の光源と、この第１及び第２の光源の前側に配設さ
   れ、それぞれ偏光方向を異にした第１の偏光フィルタ及
   び第２の偏光フィルタと、第１の偏光フィルタの前側に
   設けられたカメラ用偏光フィルタと、プリント配線板の
   回路面で反射され、前記カメラ用偏光フィルタを透過
   し、このカメラ用偏光フィルタで分離された反射光によ
   る回路面の画像を結像するカラーＣＣＤカメラとを具備
   してなる光学式回路欠陥検査装置。