JPH0729685B2 - 粉体供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はプラスチック、セラミック、金属等の粉体を、
微小時間、例えば100分の１秒当りの流量を一定に、か
つ連続的に供給するための粉体供給装置に関するもので
ある。この粉体供給装置は、粉状態物質（粒状、顆粒状
物質を含む）を取り扱う産業では常に用いられている装
置であり、その供給量が毎分当たり数トンのオーダーの
大量のものから、毎分当たり0.1グラムのオーダーの微
小量のものまで広範囲に亘っている。

本発明の粉体供給装置は、粉状物質を毎分当たり数Kgの
オーダーで取り扱う分野、毎分当たり0.1gのオーダーの
微小量を取り扱う分野、そして、この中間の分野にて利
用されるものである。

従来の技術 上述のような粉体供給装置として、従来から存在する振
動部品供給機をそのまま利用することが考えられている
が、その振動部品供給機は一般にはパーツフィーダーと
呼ばれているものであり、その本体は第９図に示す様
に、構造上可動部と固定部に大別され、可動部はボウル
50とこれを取付ける可動台51及び可動コア52から成って
いる。

スパイラル式のパーツフィーダーでは第10図に示す様
に、該ボウルの内側にスパイラル状にトラック53が形成
されている。固定部は交流電源により周期的に吸引磁石
を生ぜしめる電磁コイル54、固定コア55、固定台56から
成っている。可動部と固定部は板ばね57によって連結さ
れ、固定第56は、十分大きな剛体基礎に完全に固定され
るか、又は、取扱いの簡便さ、防振の問題から、例えば
ゴム足のような防振材58を用いて架台59上に据え付けら
れる。

電磁コイル54に交流電流を通ずることにより、固定コア
55と可動コア52との間に周期的に吸引力が発生し、板ば
ね57が介在することにより、ボウル50が上下方向及び円
周方向に振動し、ボウル内部にスパイラル状に形成され
ているトラック53の上の部品が移送力を受けて、スパイ
ラル状に下部より上部に移動するものである。

このスパイラル式のパーツフィーダーのボウル内に上記
部品の代わりに粉体を入れ、電磁コイルに電圧を印加す
ると、パーツが上述の移送力を受けるのと同じように粉
体も振動により移送力を受け、トラック上をスパイラル
状に下部より上部に移動し、ボウル上部のトラック端よ
りボウル外部に排出される。

そこで、排出される粉体を次の工程に導く手段を講ずる
ことにより、スパイラル式のパーツフィーダーを振動粉
体供給機としても使用できるが、元来がパーツの供給機
として使用されてきたものなので、粉体の供給機として
利用する場合にはいくつかの問題が発生する。

発明が解決しようとする問題点 パーツフィーダーを粉体供給装置として使用する場合に
生ずる第１の問題点は、ボウル内の粉体量が変動すると
粉体供給量も変動し、定量性が保たれないことである。
つまり、ボウル内の粉体量が大い場合には振動されるボ
ウルが重くなるのでボウルの振巾が小さく、その結果、
粉体の移送力が弱くなり、ボウル内の粉体量が少ない場
合にはボウルの振巾が大きく、粉体の移送力が強くな
る。

つまり、ボウル内に粉体を入れ、ボウルを振動させて粉
体を移送し、ボウル上端の出口より粉体を排出し続ける
と、時間の経過と共にボウル内の粉体量が減少するの
で、加振されるボウルが軽くなりボウルより排出される
粉体量、つまり粉体量供給量が時間の経過と共に増加す
ることになる。

この現象は粉体の定量供給と云う観点から見ると非常に
大きな問題点である。

又、スパイラル式パーツフィーダーでは、電磁コイルに
印加する電圧を調整することにより、粉体のフィード量
を調整している。

つまり、電圧を高くするとフィード量は増加し、低くす
るとフィード量は減少する。電圧が高い場合には、ボウ
ルの振動やトラック上の粉体の流れが安定でありボウル
内の粉体量が一定であれせば定量性を保つことができ
る。

一方、電圧を低くしてゆき粉体のフィード量を減少させ
てゆくとトラック上の粉体の流れが不安定になると云う
現象が生ずるようになり、定量性を確保することが困難
となる。つまり、在来のスパイラル式パーツフィーダー
では、粉体を小量ずつ安定供給することが出来ないこと
が第２の問題点である。

本発明は、上述の問題点に鑑みてなされ、スパイラル式
パーツフィーダーを用いて粉体（粒体、顆粒体を含む）
を一定の速度で、精度よく次工程に供給することのでき
る粉体供給装置を提供することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この発明は、振動により粉体を移送させるため、スパイ
ラル状のトラックが内側に形成されているボウルと，該
ボウルの上部に設けられ、粉体を貯え下部に粉体排出口
を有するホッパーと，該ボウルの振動がホッパーに伝わ
るのを防止するため、両者を夫々独立に保持する手段
と，該ボウル内側の底面と該ホッパーの粉体排出口との
間に形成され、粉体を該ボウル内に流入せしめるための
間隙と，該ボウル上面と該ホッパー外面とを機密性を有
するように連結する防振性の膜と，該ホッパー上面を機
密性を有するように覆う蓋と，該ボウル内側の上部と該
ホッパー内側の上部とが同圧となるように連結する手段
と，該ボウル内側の上部に搬送ガスを供給する導入口
と，搬送ガス、粉体を該ボウル内より外部に排出する吐
出口と，を備えていることを特徴とする粉体供給装置、
及び、 振動により粉体を移送させるため、スパイラル状のトラ
ックが内側に形成されているボウルと，該ボウルの上部
に設けられ、粉体を貯え下部に粉体排出口を有するホッ
パーと，該ボウルの振動がホッパーに伝わるのを防止す
るため、両者を夫々独立に保持する手段と，該ボウル内
側の底面と該ホッパーの粉体排出口との間に形成され、
粉体を該ボウル内に流入せしめるための間隙と，該ボウ
ル上面と該ホッパー外面とを機密性を有するように連結
する防振性の膜と，該ホッパー上面を機密性を有するよ
うに覆う蓋と，該ボウル内側の上部と該ホッパー内側の
上部とが同圧となるように連結する手段と，該ボウル内
側の上部に搬送ガスを供給する導入口と，搬送ガス、粉
体を該ボウル内より外部に排出する吐出口と，本体底部
と架台との間に、本体の中心軸に対し放射状に配列され
た３枚以上の板ばねからなる防振材と，を備えているこ
とを特徴とする粉体供給装置、 により前記目的を達成しようとするものである。

作 用 振動により粉体がボウル内より外へ排出されるに連れ
て、ボウル底面にある粉体のレベルが低下し、該隙間を
通してホッパー下部の粉体排出口より粉体が出やすくな
り、又、粉体排出口よりボウル内に出てくる粉体量が、
ボウル内から外へ排出される粉体量よりも多くなると、
ボウル底面にある粉体のレベルが高く成り、該隙間を通
してボウル内に粉体が出にくくなるので、ボウル内に供
給される粉体量とボウル内より外へ排出される粉体量は
等しくなり、この結果、ボウル内の粉体量は平衡して一
定となる。

又、ボウルとホッパーとが直結されていないので、ボウ
ルの振巾がホッパーの重さにより減殺されない。

従って、ホッパ内重量変化により供給量が変化しない。

ボウル上面とホッパー外面とを防振性を有する膜にて機
密性を有するように連結することにより、ボウルの振巾
を減殺することなしに、つまり、粉体の供給能力を損な
わずに、独立に保持されているボウルとホッパーとの間
に機密性を持たせる。

又、ホッパー上面を、機密性を有するように蓋をするこ
とにより、ボウル内部及びホッパー内部を機密に保つ。

一方、粉体の供給につれて、ホッパー内粉体量の減少に
よるホッパー上部空間の容積の増加と、ホッパー内粉体
量の機密性によりホッパー上部空間の圧力が、ボウル内
側の圧力よりも低くなると云う現象が生ずる。

ホッパー上部の空間の圧力がボウル内の圧力より低くな
ると、ホッパー内部の粉体には、ボウルからホッパー内
部に向けて圧力差による力が作用するので、ホッパー下
部の粉体排出口より粉体がスムーズに排出されなくなる
と云う障害が発生する。

そこで、ボウル内側の上部とホッパー内側の上部とをほ
ぼ同圧となるように連絡することにより、この障害を発
生させない。

粉体の搬送ガスを、ホースなどで導入口よりボウル内に
供給し、ボウルの振動により粉体を吐出口より搬送ガス
とともに、次工程へホースなどで安定に供給する。

パーツフィーダーの防振材としては、一般に防振ゴムや
防振コイルばねが使われているが、粉体供給装置として
使用する場合には、これらのばね定数が大きいと粉体の
供給能力が極端に低下すると云う現象が生ずる。

そこで、防振ゴムや防振コイルばねを、粉体供給能力の
高い粉体供給装置の粉振材として使用する場合には、ば
ね定数を小さくする必要がある。

一方、搬送ガスの圧力が高いと、ボウルは防振材により
ホッパーに連結されているために、ボウル内のガス圧に
より下方に押し付けられる力を受け、ばね定数の小さな
防振材は圧縮され、その結果、ボウル内側底面と、ホッ
パー下部粉体排出口との間の隙間が拡大し、定量供給に
大きな障害となると同時に、搬送ガスの供給を停止した
り減少したりして、ボウル内のガス圧力を低下せしめる
と、拡大していた該隙間が狭くなり、粉体排出口付近の
粉体が圧縮され、詰まり発生の大きな原因となる。

本発明者は防振材として板ばねを採用し、粉体供給装置
の中心軸に対しほぼ放射状となるように３枚以上を配列
することにより、粉体供給装置の中心軸に沿った方向の
ばね定数は大きいが、円周方向のばね定数を小さくする
ことによって、粉体の供給能力が高くなることを実験に
よって見出し、かつ実際の装置に適用して確認してい
る。

板ばねをこの様に防振材として設置することにより、搬
送ガスの圧力を高めても粉体の供給能力を損なわずに該
隙間を一定に保ち、粉体を安定供給する。

実施例 以下、本発明の第１実施例につき、第８図を参照して説
明する。

ボウル36の上方にホッパー35を配置し、粉体排出口３と
ボウル36内側の底面との間の隙間４が一定に保たれるよ
うに、ホッパー35はホッパー支持具６を通して図示しな
い架台に、ボウル36はパーツフィーダー本体底面に取り
付けられた防振ゴムを通して該架台にそれぞれ取り付け
られている。

該パーツフィーダー本体の内部構造は、第９図及び第10
図に示したものと同一である。

ボウル36とホッパー35との間を機密にし、且つボウル36
の振動がホッパー35に伝わるのを防ぐために機密性を有
し、且つ防振性も有する膜30がボウル36上面とホッパー
35側面との間に張られている。

本実施例では厚さ1mmのゴム製の膜を使用しているが、
ボウル36の振動は殆どホッパー35に伝わらず、機密性も
十分に保たれている。

ホッパー35の上面には蓋33がされている。ボウル36には
搬送ガスの導入口31と粉体及び搬送ガスの吐出口32が設
けられている。

トラック上やボウル底面にある粉体を導入した搬送ガス
が吹き飛ばされないように、導入口31のボウル36内の位
置はボウル36の上部付近に設けることが望ましい。又、
ボウル36とホッパー35とは連結管37により連ながり、ホ
ッパー35上部の空間とボウル36上部の空間との間に圧力
差が生じないようになっている。ボウル36の振動がホッ
パー35に伝わるのを防ぐために、連結管37は防振性のあ
るものが望ましく、本実施例ではビニールチューブが用
いられている。

粉体はホッパー35に満たされ、ボウル36の矢印A1方向の
振動に伴い、隙間４よりボウル36内部に供給される。粉
体は振動により、スパイラル状に設けられたトラック10
上を、下方から上方に移送され、トラック上端付近に設
けられた吐出口32よりボウル36の外部へと排出され、
又、導入口31よりボウル36内に導入された搬送ガスは、
ボウル36及びホッパー35が機密性によっているので、吐
出口32のみを通ってボウル36内より外へ吐出される。

そのため、吐出口32からは粉体と搬送ガスが吐出し、吐
出口32に接続された給粉ホースなどにより、次の工程へ
と供給される。

本実施例において、ボウル36内の圧力を正負各れにとる
ことも可能である。

隙間４よりボウル36内へ供給される粉体の量は、ボウル
36底部にある粉体量が多い場合には出にくくなり減少す
るが、逆に粉体量が少ない場合には出やすくなり増加す
るので、ボウル36底面にある粉体量はほぼ一定となり、
吐出口32より排出される毎分当たりの粉体量と隙間４よ
りホッパー35から供給される毎分当たりの粉体量とは平
衝状態となり、ボウル36内部にある粉体量が一定となる
ため定量供給が確保される。

一方、粉体供給装置を大型にするためにボウル36の外径
を大きくし、ホッパーの内容量を大きくしても、基本的
には何等問題は生じないが、隙間４は粒体や顆粒体では
広くとることが望ましく、金属粉末などの比重の高いも
のは、例えば、樹脂粉末などの比重の低いものよりも、
同レベルの供給量では狭くすることが望ましい。

第２図及び第３図は第２実施例を示し、ボウル及びホッ
パー内部を機密性にし、粉体を搬送ガスにより送給する
場合に、防振材として板ばねを使用している粉体供給装
置の実施例の側面図を第２図に、又、板ばね配置の断面
図を第３図に示す。本実施例でもボウル36とホッパー35
との間に、1mm厚のゴム膜が張られ、ホッパー35上面に
はパッキング34を介して蓋が取り付けられ、ボウル36、
ホッパー35内は機密性にされている。

パーツフィーダー本体41の底面にはパーツフィーダー本
体41の中心軸に対してほぼ放射状に４枚の防振板ばね40
の上端が取り付けられ、防振板ばね40の下端は架台７に
取り付けられている。

防振ばね40は、パーツフィーダー本体41を安定に架台７
に取り付けるために、パーツフィーダー本体41の中心軸
の近くよりも、外周の近くに取り付けることが望まし
い。

防振板ばね40として使用されている板ばねは鋼製で巾30
mm、高さ80mm、厚さ0.8mmである。板ばねは必ずしも鋼
製である必要はなく、例えば、FRP製のものが使用され
ることもある。

本実施例では防振板ばね40として板ばねを４枚使用して
いるが、３枚をほぼ放射状となるようにパーツフィーダ
ー本体41の底面の外周の近くに取り付けても、パーツフ
ィーダー本体41は安定に架台に取り付けられると、粉対
も安定に供給される。又、板ばねを４枚以上使用しても
同様の効果が得られることは勿論である。

第４図は第３実施例を示し、ホッパー２内部に粉体の撹
拌棒12と陣傘13とを設置した場合の実施例を示す断面図
である。只し、モーター15と、モーター固定台16の一部
は側面図となっている。撹拌棒12はモーター15のシャフ
トに固定され、モーターの回転に連れてホッパー２内を
回転し、粉体を撹拌することにより、ホッパー内部で発
生する粉体の詰まりや、ラットホールの形成を防いでい
る。陣傘13は陣傘支持棒14により、ホッパー２の中心軸
の付近に固定されている。陣傘の形はほぼ円錐状で、頂
点が上側になるように固定されている。

陣傘13は撹拌棒12の回転により生ずる粉体の流れの一時
的な乱れ、例えば、形成されかけたラットホールが、撹
拌により消滅させられた場合の、粉体層の乱れなどが粉
体排出口３に直接及ぶのを防いでいる。

本実施例では撹拌棒は直径3mmで毎分１回転の速度でホ
ッパー内を撹拌している。又、陣傘13はホッパー内の粉
体の重さが直接ボウル１にかかるのを防ぐと云う作用も
生ぜしめている。陣傘13の径は、本実施例では、粉体排
出口３の内径に近くとっているが、径は粉体の流動性、
比重などを考慮して、排出口３の内径の0.5〜２倍にと
ることが望ましい。

陣傘の頂角は、狭すぎると、陣傘より上部の粉体の流れ
の変動や粉体レベルの変動が粉体排出口に伝わりやすい
し、広すぎると粉体詰まりの原因となるので、45度〜15
0動の間にとることが望ましい。

又、陣傘を正確な円錐にすることは必要でなく、ほぼ円
錐状であれば上述の効果を生ぜすむることができる。

第５、６、７図は第４実施例を示し、第１図と同一構成
の粉体供給装置でボウル１内に邪ま板20を１個取り付け
た場合の実施例に於けるボウル及び邪ま板の断面図であ
る。

第５図の実施例では邪ま板20の開口部21は高さ2mm、巾5
mmであり、邪ま板の厚さは3mmで図には示されていない
が、ボウルにビスでトラック10との間に隙間が生じない
ように取り付けられている。

ボウル１の底からトラック10上を移送されてきた粉体の
大部分は、この邪ま板20でカットされ、粉体の一部が開
口部21を通過し、粉体出口５より次工程へと供給され
る。

本実施例では１個の邪ま板20にてトラック10上を移送さ
れる粉体層の上面と側面とを同時にカットしているが、
同時にカットすることは必ずしも本質的な手段ではな
く、例えば、２個の邪ま板を用い、まず移送されまる粉
体層の上面を１個の邪ま板でカットし、次いで側面を２
個めの邪ま板でカットしても良い。

粉体が付着し易い場合には邪ま板の材質は弗素樹脂、シ
リコン樹脂など粉体の付着しにくいものが望ましい。

又、取り扱う粉体の種類が多い場合、供給量の設定量が
頻繁に変わる場合には、邪ま板20の開口部21の巾を調節
出来るようにしておくことが望ましい。

第８図は第５実施例を示し第１と同一構成の粉体供給装
置で、ボウル内に邪ま板を２個取り付けた場合の実施例
に於けるボウル及び邪ま板の断面図である。ここで、ト
ラック上を移送される粉体の流れの上流側に設けられた
邪ま板25の開口部23は高さ3mm、巾6mmであり、下流側に
設けられた邪ま板26の開口部24は高さ1.5mm、巾3mmであ
る。

本実施例では２個の邪ま板を用いているが、粉体によっ
ては邪ま板の数を増やして１個当たりの邪ま板でカット
する粉体量を減じて邪ま板開口部に於ける粉体の詰まり
を防止することもある。

この場合にも上流側に設けられた邪ま板の開口部は下流
側のもよりも広くとっている。

第１実施例における運転に於いて、搬送ガスとして空気
を0.8l/min導入口よりボウル内に供給し、マグネシウム
・スピネル粉体を10g/minの供給量にて吐出口32より次
工程に安定に送ることが出来た。

又、ボウルやホッパーから搬送空気が外部に漏れること
はなかった。

第２実施例における運転の一例として、 搬送ガス：酸素、搬送ガス量:1.2l/min,ボウル内圧力：
＋250mmH₂O,粉体：ジルコニア，供給量:30g/minにし、 この条件にて本粉体供給装置を連続運転（一定時間運転
後一定時間休止すると云う運転サイクル）したが、隙間
４が常に一定距離を保っているのでジルコニアがホッパ
ー下部の粉体排出口３の近くにまで減少する間、定量供
給を確保することが出来た。

一方、防振板ばね40の代わりに防振坐としてコイルばね
を用いた場合には、搬送ガスの酸素をボウル内に導入す
ると、内圧によりボウル36が下方に押され、結局はパー
ツフィーダー本体41が下方に押されるのでコイルばねが
縮み、パーツフィーダー本体41が下がるので隙間４が拡
大する。

酸素の導入を止めると圧力が下がり、パーツフィーダー
本体41が上がり、元の位置に戻り隙間４が狭くなるが、
この時ボウル内部底面と粉体排出口の間にある粉体は圧
縮され固くなり、粉体排出口付近で詰まった状態とな
る。

上述と同一の運転条件で、防振材としてコイルばねを用
いた場合には、粉体の詰まりが頻発し、定量供給を確保
することは不可能であった。

このように、ボウルの内圧を高くして運転する場合に
は、防振材として板ばねを使用することにより、詰まり
を防止して定量供給を確保することができる。

第３実施例においてマグネシウム（MgO）粉体を撹拌手
段のないホッパーに満たし、ボウルを振動させ、連続的
に該粉体を次工程へ供給することを試みたが、ホッパー
内部で詰まりが頻発し、安定供給は不能であった。

一方、本実施例に於いてはホッパー内のマグネシウム粉
体を撹拌することにより詰まりが発生せず、安定供給を
確保することが出来た。

第４実施例ではマグネシウム・スピネル粉体を用い、80
Vの電圧を電磁コイルに印加した場合に、粉体出口５よ
り排出されるマグネシウム・スピネルの量と精度は、30
分間に亘る測定において5.4±0.1g/minであった。

一方、邪ま板を設けないボウルでは、電磁コイルに印加
する電圧を下げ、マグネシウム・スピネル粉体の排出量
を低下せしめても約8g/minが安定に供給出来る下限であ
り、5.4g/minと云うより小量の粉体量の安定排出（供
給）は不能であった。

第５実施例でアルミナ粉体を用い、90Vの電圧を電磁コ
イルに印加した場合に、粉体出口５より排出されるアル
ミナ粉体の量と精度は30分間に亘る測定において2.6±
0.03g/minであり、二つの邪ま板25、26を設けた場合に
おける粉体の詰まりは発生しなかった。

一方の邪ま板25を取り除き、他方の邪ま板22のみを設け
た場合には詰まりが開口部24にて発生し、定量供給が不
能であった。

発明の効果 本発明は上述の通りであるので、微小時間当たりの流量
が常に一定で、且つ精度よく次の工程に供給することが
でき、ボウル内の供給量が変動しても、粉体供給量が変
動せず、常に粉体を定量づつ連続的に供給することがで
きる。

又、加振用の電磁コイルの電圧を低くして粉体の供給量
を小量になるように調節した場合でも、それを安定的に
高い精度を以って供給することができる。

更に、搬送ガスの圧力を高めても粉体の供給能力を損な
わずに該隙間を一定に保ち、粉体を安定供給する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の縦断面図、第２図は第２
実施例を示す正面図、第３図は第２図のＸ−Ｘ線断面
図、第４図は本発明の第３実施例の縦断面図、第５図は
第４図の一部分を変更した第４実施例の縦断面図、第６
図は第５図の一部分の拡大正面図、第７図は第６図のVI
−VI線部の断面図、第８図は本発明の第４実施例の縦断
面図、第９図は従来の振動部品供給機をそのまま利用し
た粉体供給装置の正面図、第10図は第９図の一部分の縦
断面図である。 １……ボウル ２……ホッパー ３……粉体排出口 ４……隙間 ６……ホッパー支持具 ７……架台 10……トラック 12……撹拌棒 13……陣傘 20……邪ま板 21……開口部 23……開口部 24……開口部 30……防振膜 31……導入口 32……吐出口 33……蓋 35……ホッパー 36……ボウル 37……連結管 40……防振板ばね

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−55061（ＪＰ，Ａ) 実公 昭51−50558（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭53−8131（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭52−4691（ＪＰ，Ｙ２) 藤森洋三著「図説パーツハンドリング」 昭和55年７月25日初版 株式会社工業調査 会発行第18、19頁

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】振動により粉体を移送させるため、スパイ
   ラル状のトラックが内側に形成されているボウルと； 該ボウルの上部に設けられ、粉体を貯え下部に粉体排出
   口を有するホッパーと； 該ボウルの振動がホッパーに伝わるのを防止するため、
   両者を夫々独立に保持する手段と； 該ボウル内側の底面と該ホッパーの粉体排出口との間に
   形成され、粉体を該ボウル内に流入せしめるための間隙
   と； 該ボウル上面と該ホッパー外面とを機密性を有する様に
   連結する防振性の膜と； 該ホッパー上面を機密性を有する様に覆う蓋と； 該ボウル内側の上部と該ホッパー内側の上部とが同圧と
   なるように連結する手段と； 該ボウル内側の上部に搬送ガスを供給する導入口と； 搬送ガス、粉体を該ボウル内より外部に排出する吐出口
   と； を備えていることを特徴とする粉体供給装置。
2. 【請求項２】振動により粉体を移送させるため、スパイ
   ラル状のトラックが内側に形成されているボウルと； 該ボウルの上部に設けられ、粉体を貯え下部に粉体排出
   口を有するホッパーと； 該ボウルの振動がホッパーに伝わるのを防止するため、
   両者を夫々独立に保持する手段と； 該ボウル内側の底面と該ホッパーの粉体排出口との間に
   形成され、粉体を該ボウル内に流入せしめるための間隙
   と； 該ボウル上面と該ホッパー外面とを機密性を有する様に
   連結する防振性の膜と； 該ホッパー上面を機密性を有するように覆う蓋と； 該ボウル内側の上部と該ホッパー内側の上部とが同圧と
   なるように連結する手段と； 該ボウル内側の上部に搬送ガスを供給する導入口と； 搬送ガス、粉体を該ボウル内より外部に排出する吐出口
   と； 本体底部と架台との間に設けられ、本体の中心軸に対し
   放射状に配列された３枚以上の板ばねからなる防振材
   と； を備えていることを特徴とする粉体供給装置。
3. 【請求項３】前記ボウルが防振材を介して架台に、又、
   前記ホッパーがホッパー支持具を介して該架台に保持さ
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第
   ２項記載の粉体供給装置。
4. 【請求項４】前記ホッパーの内部に、陣傘を配置したこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の
   粉体供給装置。
5. 【請求項５】前記ホッパーの内部に、粉体を撹拌する手
   段を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
   第２項記載の粉体供給装置。
6. 【請求項６】前記ホッパーの内部に、陣傘と粉体を撹拌
   する手段を有していることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項又は第２項記載の粉体供給装置。
7. 【請求項７】前記トラックに、その上面を移送する粉体
   の一部のみを通過せしめるための開口部を備えた邪ま板
   を配置したことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は
   第２項記載の粉体供給装置。
8. 【請求項８】開口を備えた邪ま板が、移送方向に間隔を
   おいて複数個配置され、 粉体が移送される流れの上流側に配置された邪ま板の開
   口部の巾が、下流側に配置された邪ま板のそれよりも広
   く形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第７
   項記載の粉体供給装置。
9. 【請求項９】前記ホッパーの内部に陣傘と粉体を撹拌す
   る手段を有し、 又、前記トラックにその上面を移送する粉体の一部のみ
   を通過せしめるための開口部を有する邪ま板を配置した
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載
   の粉体供給装置。
10. 【請求項１０】開口を有する邪ま板が、移送方向に間隔
    をおいて複数個配置され、 粉体が移送される流れの上流側に配置された邪ま板の開
    口部の巾が、下流側に配置された邪ま板のそれよりも広
    く形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第９
    項記載の粉体供給装置。