JPH0729800U - Ｘ線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ビームシャッタと照射窓を覆う水冷ダクトの
冷却水配管設備を簡素化すること。 【構成】 電子線発生部から走査管１に導入された電子
線は照射窓２を通って大気中に取り出される。照射窓の
下方に電子吸収可動部材１０が設けられており、同部材
は照射窓のフランジ部を覆う水冷ダクト部１１とビーム
シャッタ部１２とを一体化して構成されており、両部の
冷却水通路１３は連続している。Ｘ線発生時、照射窓か
らの電子線は水冷ダクト部の開口部１４を通り、Ｘ線タ
ーゲットに入射する。同ターゲットから照射窓のフラン
ジ部方向に散乱した電子は水冷ターゲット部で捕捉吸収
される。Ｘ線照射装置の立ち上げ、立ち下げ時、電子吸
収可動部材は一点鎖線で示す位置まで移動し、ビームシ
ャッタ部はＸ線ターゲットへの電子線の入射を遮る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ビ−ムシャッタと照射窓のフランジ部を覆う水冷ダクトを一体化し 、冷却水配管設備を簡素化したＸ線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図３は走査型Ｘ線照射装置の一例を示す断面図である。熱電子放出フィラメン ト及び加速管を有する電子線発生部からの電子線は走査管１に導入され、その端 部に設けられた照射窓２から電子線を大気中に取り出し、Ｘ線ターゲット３に当 て、Ｘ線を発生させている。照射窓２は、走査管１の端部のフランジ部１₁に箔 押え板２₁で取付られた窓箔２₂を有し、電子線発生部及び走査管１内を真空状態 に封止している。

【０００３】 電子線がＸ線ターゲット３に当ると散乱電子が発生する。この散乱電子の一部 が照射窓２における箔押え板２₁を含む照射窓のフランジ部に当ると、同フラン ジ部は散乱電子のエネルギーを吸収し発熱する。これに伴い、例えば照射窓２の フランジ部における真空封止機構部材の熱膨張の違いにより封止機能が低下し、 走査管１内の真空度が悪化する。そこで、照射窓２のフランジ部を覆う水冷ダク ト４を設け、フランジ部に当る散乱電子を同ダクトで吸収させている。図４（ａ ）はの水冷ダクト４の斜視図であり、同ダクトの冷却水通路４₁に冷却水を流し 、散乱電子の吸収に伴う発熱を防止している。

【０００４】 Ｘ線照射装置の動作の立ち上げ、立ち下げ時（動作開始、停止時）、ビ−ムシ ャッタ５を図３の実線で示す位置から一点鎖線で示す位置まで移動させてＸ線タ ーゲット３への電子線の入射を遮り、Ｘ線を発生させないようにしている。図４ （ｂ）はビ−ムシャッタ５の斜視図であり、同ビ−ムシャッタの内部には冷却水 の通路５₁が形成されており、電子線の吸収に伴う発熱を防いでいる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、上述のように、水冷機構を有する電子線吸収部材であるビ−ムシャ ッタ５は、Ｘ線照射装置の動作の立ち上げ、立ち下げ時、例えば動作開始時につ いて言えば、電子線が所定のビ−ム量、定格ビーム量の８０％程度に立ち上がる までの短時間、一時的に電子線を遮断するものであることに鑑み、共に電子吸収 、電子吸収に伴う発熱を除去するための水冷機構を有する部材であるビームシャ ッタと水冷ダクト４との一体化を図り、冷却水配管設備を簡素化したＸ線照射装 置の提供を目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、照射窓のフランジ部を覆う水冷ダクトと、Ｘ線ターゲットへの電子 線の入射を遮るビ−ムシャッタとを有するＸ線照射装置において、前記水冷ダク トとビ−ムシャッタが、その内部の冷却水通路を連続させて一体に構成されてい ることを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

水冷ダクトとビ−ムシャッタは、その内部の冷却水通路が連続し、一体に構成 されているから、水冷ダクトとビ−ムシャッタへの冷却水配管を格別に設けずに 済むことになる。

【０００８】

【実施例】

本考案の一実施例を図面を参照して説明する。図１は走査型Ｘ線照射装置の断 面図、図２は水冷ダクト部とビ−ムシャッタ部を有する電子吸収可動部材の斜視 図であり、図３ないし図５と同一符号は同等部分を示す。電子線発生部からの電 子線は走査管１に導入され、その端部に設けられた照射窓２から電子線を大気中 に取り出し、Ｘ線ターゲット３に当て、Ｘ線を発生させる。走査管１からの電子 線を透過させる照射窓２は、走査管１の端部のフランジ部１₁に箔押え板２₁で取 付られた窓箔２₂を有し、電子線発生部及び走査管１内を真空状態に封止してい る。

【０００９】 照射窓２の下方に水冷ダクトとビ−ムシャッタを一体化した電子吸収可動部材 １０が設けられている。同可動部材は照射窓２のフランジ部を覆う水冷ダクト部 １１とＸ線ターゲット３への電子線の入射を遮るビ−ムシャッタ部１２が一体に 結合して構成されており、同可動部材の部分１０₁は水冷ダクト部とビームシャ ッタ部の共用部分となっている。電子吸収可動部材１０における水冷ダクト部１ １とビ−ムシャッタ部１２の内部に形成される冷却水通路１３は連続しており、 これに伴い、両部の冷却水通路に対し一組の冷却水配管により冷却水が供給され る。

【００１０】 Ｘ線発生時、電子吸収可動部材１０は図１に示す開位置に移動配置する。照射 窓２を透過した電子線は水冷ダクト部１１の開口部１４を通り、Ｘ線ターゲット ３に入射する。同ターゲットから、照射窓２のフランジ部方向に散乱した電子は 水冷ダクト部１１で捕捉吸収される。

【００１１】 Ｘ線照射装置の動作立ち上げ、立ち下げ時、電子吸収可動部材１０はビ−ムシ ャッタ部１２がＸ線ターゲット３を覆い、電子線を遮る閉位置に移動配置される 。この場合、ビ−ムシャッタ部１２への電子線の入射に伴い、同部から散乱電子 が発生し、照射窓２のフランジ部に当るが、ビ−ムシャッタ部への電子線入射は 短時間であり、入射量も定格値以下にすぎないから、照射窓の発熱は特に問題に ならない。

【００１２】

【考案の効果】

本考案は、以上説明したように、照射窓のフランジ部を覆う水冷ダクトとＸ線 ターゲットへの電子線を遮るビ−ムシャッタとが一体に結合し、それら内部の冷 却水通路が連続して形成されているから、冷却水配管設備が簡素化される。

【００１３】 水冷ダクトとビ−ムシャッタが一体化されることに伴い、照射窓とＸ線ターゲ ット間の電子線通過空気層を短縮することができ、空気層の加熱、電子線エネル ギーの損失を低減することができると共に、水冷ダクト部とビームシャッタ部の 一部を共用することができるから、全体をコンパクトに形成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例の断面図である。

【図２】実施例における電子吸収可動部材の斜視図であ
る。

【図３】従来のＸ線照射装置の断面図である。

【図４】水冷ダクトとビームシャッタの斜視図である。

【符号の説明】

１ 走査管 ２ 照射窓 ３ Ｘ線ターゲット ４ 水冷ダクト ５ ビ−ムシャッタ １０ 電子吸収可動部材 １１ 水冷ダクト部 １２ ビ−ムシャッタ部 １３ 冷却水通路

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 照射窓のフランジ部を覆う水冷ダクト
   と、Ｘ線ターゲットへの電子線の入射を遮るビ−ムシャ
   ッタとを有するＸ線照射装置において、前記水冷ダクト
   とビ−ムシャッタが、その内部の冷却水通路を連続させ
   て一体に構成されていることを特徴とするＸ線照射装
   置。