JPH0511099U - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH0511099U JPH0511099U JP8616491U JP8616491U JPH0511099U JP H0511099 U JPH0511099 U JP H0511099U JP 8616491 U JP8616491 U JP 8616491U JP 8616491 U JP8616491 U JP 8616491U JP H0511099 U JPH0511099 U JP H0511099U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- electron beam
- window
- irradiation
- electrons
- Prior art date
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- Pending
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 照射窓のフランジが散乱電子、２次電子によ
って局部的に過熱されると、窓箔のシール材の復元弾力
が喪失することがある。そのため走査管部の気密が損な
われる。本考案はその気密洩れを防止することを目的と
する。 【構成】 ビームキャッチャー５とフランジ８との間
に、散乱電子、２次電子を遮蔽するための遮蔽材１２を
設置する。この遮蔽材１２によってフランジ８に散乱電
子、２次電子が当たるのを防止し、フランジ８の局部的
な過熱の発生を防止する。
って局部的に過熱されると、窓箔のシール材の復元弾力
が喪失することがある。そのため走査管部の気密が損な
われる。本考案はその気密洩れを防止することを目的と
する。 【構成】 ビームキャッチャー５とフランジ８との間
に、散乱電子、２次電子を遮蔽するための遮蔽材１２を
設置する。この遮蔽材１２によってフランジ８に散乱電
子、２次電子が当たるのを防止し、フランジ８の局部的
な過熱の発生を防止する。
Description
【０００１】
本考案は電子線照射装置に関する。
【０００２】
周知のように電子線照射装置は、図に示すように加速管部１によって加速され た電子線を、走査部２によって走査し、走査管部３内で走査して被照射物４に照 射する。この場合電子線の走査幅は被照射物４の幅よりも広く走査する必要があ るので、被照射物４の幅より外側に外れた電子線は、その下にあるビームキャッ チャー５に当たる。被照射物４が存在していない場合でも、電子線はビームキャ ッチャー５に当たる。
【０００３】 このようにビームキャッチャー５に当たった電子線のエネルギーは、ビームキ ャッチャー５によって吸収され、熱を発生する。通常はこのビームキャッチャー ５は冷却されており、その温度上昇を阻止している。しかし電子線の一部は散乱 される。また吸収の過程でも２次電子を発生することがある。
【０００４】 前記した散乱電子及び２次電子の一部は走査管部３の照射窓６に向かう。走査 管部３の照射窓は、図１に示すように、真空化されている走査管部３の内部と大 気とを遮断している窓箔７と、これを支持するフランジ８とによって構成されて いる。
【０００５】 これを詳細に説明すると、窓箔７の周縁を金属製のシール材９を介してフラン ジ８と走査管部３の下部のフランジ部１０との間に挾み、フランジ８とフランジ 部１０とをボルト１１によって締め込むことにより、窓箔７の周縁をフランジ部 １０に支持するようにしている。
【０００６】 ところでこのような構成において、前記のように照射窓６に向かった散乱電子 または２次電子がフランジ８に向かい、ここで吸収されることがある。するとフ ランジ８が局部的に過熱されて膨張する。この膨張によってシール材９が圧縮さ れる。しかし電子線照射が終わると、フランジ８は放熱によって当初の状態に復 元される。
【０００７】 しかしシール材９が極度に圧縮された場合、復元弾力を失って当初の状態に復 元できないことがある。そのためシール材９に対する押圧力が減少し、フランジ ８とフランジ部１０との間に隙間が発生する。このような隙間が発生すると、走 査管部３内の気密が維持できなくなってしまうようになる。
【０００８】
本考案は、散乱電子、２次電子によるフランジの膨張を回避することにより、 走査管部の気密洩れを防止することを目的とする。
【０００９】
本考案は、走査管部の内部を気密に維持する窓箔と、この窓箔をシール材を介 して走査管部に支持させるフランジとによって構成した照射窓を備えた電子線照 射装置において、照射窓を通って照射される電子線を吸収するビームキャッチャ ーと、窓箔を支持しているフランジとの間に、散乱電子、２次電子を遮蔽するた めの遮蔽材を設置したことを特徴とする。
【００１０】
散乱電子、２次電子がビームキャッチャー側からフランジ側に向かったとして も、これらは遮蔽部材によってフランジに当たるのが防止されるようになる。こ れによってフランジのこれらの電子による局部的な過熱の発生が防止されるよう になる。
【００１１】
本考案の実施例を図によって説明する。本考案にしたがい、ビームキャッチャ ー５とフランジ８との間に、金属製の遮蔽材１２を設置する。このような遮蔽材 １２を設置しておくと、図２に示すように散乱電子、２次電子１３はこの遮蔽材 １２によって遮蔽され、フランジ８に当たるのが阻止されるようになる。
【００１２】 そのためフランジ８の局部的な過熱が防止され、膨張、収縮するようなことは なくなり、したがってシール材９の過圧による復元弾力の喪失によって、走査管 部３の気密洩れが回避されるようになる。
【００１３】
以上説明したように本考案によれば、単に遮蔽材をビームキャッチャーとフラ ンジとの間に設置するだけの簡単な構成によって、走査管部の気密洩れを防止す ることができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施例を示す拡大断面図である。
【図２】本考案の実施例を示す正面図である。
３ 走査管部 ４ 被照射物 ５ ビームキャッチャー ６ 照射窓 ７ 窓箔 ８ フランジ ９ シール材 １２ 遮蔽材
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 走査管部と、前記走査管部に設けられた
照射窓と、前記照射窓を通って照射される電子線を吸収
するビームキャッチャーとを備え、前記照射窓を、前記
走査管部の内部を気密に維持する窓箔と、前記窓箔をシ
ール材を介して前記走査管部に支持させるフランジとに
よって構成してなる電子線照射装置において、前記ビー
ムキャッチャーと前記フランジとの間に、前記フランジ
に向かう散乱電子、２次電子を遮蔽するための遮蔽材を
設置してなる電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8616491U JPH0511099U (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8616491U JPH0511099U (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0511099U true JPH0511099U (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=13879113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8616491U Pending JPH0511099U (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511099U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07165083A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-06-27 | Murata Mach Ltd | 手押し台車 |
-
1991
- 1991-07-24 JP JP8616491U patent/JPH0511099U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07165083A (ja) * | 1993-12-16 | 1995-06-27 | Murata Mach Ltd | 手押し台車 |
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