JPH0729835U - ボンディング装置におけるウエハ−リングのマウント部構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハーリングが搬送されるボンディング装
置のマウント部において、煩雑な調整を行わなくとも、
ウエハーリングをスムーズに搬送しかつ強固に固定可能
な構造を提供する。 【構成】 搬送時のウエハーリング１を支持し、かつ搬
送後のウエハーリング１を位置決めする第１のローラ１
６，１６を有した搬送ガイド１２を、トッププレート１
１の一側辺に設ける。位置決めされたウエハーリング１
をトッププレート１１の上面１１ａに押圧するよう作動
するクランパー３１を、ウエハーリング１の搬送方向に
沿って相対向して設ける。クランパー３１に、非作動時
には上面１１ａより上方側に位置し、かつ作動時には上
面１１ａより下方側へ位置する第２のローラ３７・・・
を設ける。搬送ガイド１２とクランパー３１とを異なる
駆動手段を用いて連動させ、搬送されたウエハーリング
１を位置決め固定する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ボンディング装置におけるウェハーリングのマウント部構造に関す る。

【０００２】

【従来の技術】

従来、ダイボンダ等のボンディング装置においては、リードフレームや基板等 にボンディングするチップを供給するため、図９に示すようなウェハーリング１ が用いられている。ウエハーリング１は、背の低い円筒部２の周囲に板状のフラ ンジ部３が形成された治具であり、円筒部２に図示しないリングを外嵌させるこ とにより、複数のチップからなるウエハーの貼着されたシートが引張された状態 で装着される。そして、ボンディング装置においては、シートが装着されたウエ ハーリング１を専用の搬送装置によって、ボンディング装置の、主にＸ−Ｙテー ブル上に設けられたマウント部に搬送している。

【０００３】 かかるマウント部の一例を図１０に示す。すなわち、マウント部はＸ−Ｙテー ブルに設けられたトッププレート１０１に構成されている。トッププレート１０ １には、ウエハーリング１の搬送方向（図１０の矢示ロ方向）に沿った両側に、 ローラガイド１０２，１０２が設けられており、ウエハーリング１は双方のロー ラガイド１０２，１０２に案内されながらトッププレート１０１上へ搬送される 。また、トッププレート１０１の一端側には、搬送されたウエハーリング１を位 置決めするための一対のアーム１０３，１０３が設けられている。

【０００４】 双方のアーム１０３，１０３は、図１１に示すように、トッププレート１０１ に近接する支持部１０４に回動自在に支持されたアームプレート１０５と、その 自由端部に設けられ周面にＶ字溝を形成されたローラ１０６とを有しており、ア ームプレート１０５を、トッププレート１０１の他端側に設けられたエアシリン ダ１１３の作動軸１１４に連結されている。そして、一対のアーム１０３，１０ ３は、エアシリンダ１１３の作動に伴い、双方のローラ１０６，１０６によって フランジ部２を挟圧しつつウエハーリング１をトッププレート１０１の他端側へ スライドするよう作動する。

【０００５】 また、トッププレート１０１の他端側には、位置決め用のピン１０７，１０８ が突設されており、スライドしたウエハーリング１はストッパーピン１０７，１ ０８にフランジ部３の切欠３ａ，３ｂが当接することによって位置決めされる。 さらに、トッププレート１０１の他端側には、図１２に示すように、ブラケット １０９に回動自在に支持されるとともに、シャフト１１０を介して前記エアシリ ンダ１１３の作動軸１１４に連結されたＬ字型のクランパー１１１が設けられて いる。

【０００６】 クランパー１１１は、前記一対のアーム１０３，１０３にわずかに遅れて作動 するよう設定されており、ウエハーリング１がストッパーピン１０７，１０８に 当接した際に作動し、トッププレート１０１の上面側に突出するストッパ部１１ ２によって、ウエハーリング１のフランジ部３をトッププレート１０１上に押圧 する。これにより、位置決めされたウエハーリング１がトッププレート１０１の 他端側において固定される。そして、かかる固定時には、トッププレート１０１ の一端側における前記ローラ１０６，１０６によって、ウエハーリング１が上下 方向へのガタツキを防止されるのである。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来の固定構造にあっては、ウエハーリング１をト ッププレート１０１上で直にスライドさせる構成であるため、マウント部への搬 送時にはウエハーリング１が引っかかりやすかった。また、一対のアーム１０３ ，１０３とクランパー１１１とを同一のエアシリンダ１１３によって作動する構 成であり、後者が前者よりもわずかに遅れて作動するよう設定する必要があるた め、両者間における作動時期の調整が煩雑であった。

【０００８】 さらに、トッププレート１０１の一端側においては、アーム１０３，１０３の ローラ１０６，１０６によりウエハーリング１を固定する構造であるため、かか る箇所においては、ウエハーリング１を強固に固定することができなかった。し かも、トッププレート１０１に対するローラ１０６，１０６の高さを厳密に調整 しなければならず、その調整が煩雑であった。

【０００９】 本考案は、このような実情に鑑みてなされたものであり、煩雑な調整を行わな くとも、ウエハーリングをスムーズに搬送しかつ強固に固定することができる、 ボンディング装置におけるウエハーリングのマウント部構造を提供することを目 的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決するために本考案にあっては、マウント部に搬送されたウエハ ーリングが、位置決めされた後前記マウント部の支持面に面接して固定されるボ ンディング装置において、前記支持面より突出する第１のローラを有し、搬送さ れる前記ウエハーリングを前記第１のローラを介して支持するとともに、前記ウ エハーリングの搬送後に作動され前記ウエハーリングを搬送方向に沿って所定位 置に移動する搬送ガイドと、該搬送ガイドを駆動する第１の駆動手段と、前記搬 送方向に沿い相対向して設けられ、搬送時及び移動時の前記ウエハーリングを案 内するガイド位置から、前記ウエハーリングを前記支持面に押圧するクランプ位 置に作動されるとともに、前記ガイド位置にあるとき前記支持面より突出して前 記ウエハーリングを支持し、かつ前記クランプ位置にあるとき前記支持面より後 退する第２のローラをそれぞれ有する一対のクランパーと、該クランパーを駆動 する第２の駆動手段とを備え、前記ウエハーリングが位置決めされた後、前記ク ランパーが前記クランプ位置に作動される構成とした。

【００１１】

【作用】

前記構成において、ウエハーリングは、ボンディング装置のマウント部へ搬送 されて位置決めされるまでの間、搬送ガイドが有する第１のローラとクランパー が有する第２のローラとによって支持される。したがって、この間におけるマウ ント部の支持面への接触を防止される。また、位置決めされたウエハーリングは 、ガイド位置からクランプ位置に作動される相対向する一対のクランパーによっ て、搬送方向に沿い広範囲に亙ってマウント部の支持面に押圧され、これにより マウント部に固定される。一方、クランパーとの作動時期の調整は、互いに異な る第１の駆動手段と第２の駆動手段との作動時期を調整することにより行われる 。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図にしたがって説明する。図１及び図２は、本考案 に係るボンディング装置のマウント部を示す平面図であり、図１がその左側半分 を、また図２がその右側半分をそれぞれ示している。マウント部は従来例で示し たものと同様に、ボンディング装置の図示しないＸ−Ｙテーブルに設けられたＸ 軸方向にやや長い矩形状のトッププレート１１によって構成されている。

【００１３】 トッププレート１１のＹ軸方向の一側辺には、図示しない搬送装置によってマ ウント部に搬送されるウエハーリング１（図９参照）を支持するとともに、搬送 後のウエハーリング１を所定の位置に移動する搬送ガイド１２が設けられている 。搬送ガイド１２は、図３に示すように、トッププレート１１に設けられたベア リングハウジング１３を貫通するとともに、その両端をトッププレート１１に回 転自在に支持されたシャフト１４を有している。シャフト１４には、２つのロー ラホルダー１５，１５がＸ軸方向に適宜間隔をおき固定されており、各々のロー ラホルダー１５の先端部には第１のローラ１６が回転自在に設けられている。

【００１４】 また、シャフト１４の一端側にはレバー１７が固定されており、その上端部に 設けられたスプリングハンガー１８と、トッププレート１１側に設けられた固定 側スプリングハンガー１９とがスプリング２０を介して連結されている。これに より前記搬送ガイド１２は、前記第１のローラ１６，１６がトッププレート１１ の側辺に近接する位置決め状態に常時付勢されている。

【００１５】 また、トッププレート１１には、第１の駆動手段であるエアシリンダ２１が前 記レバー１７に近接して設けられている。エアシリンダ２１は、図４にも示すよ うに、Ｙ軸方向へ突出する作動軸２２を有しており、その作動軸２２がブラケッ ト２３を介して前記レバー１７の上端部に連結されている。これにより、搬送ガ イド１２は、前記スプリング２０の付勢に抗して回動され、前記第１のローラ１ ６がトッププレート１１の側辺より離間する搬送状態（図１，２及び図４（ａ） （ｂ）に２点鎖線で示した状態）に維持されている。そして、搬送ガイド１２は 、エアシリンダ２１の作動に伴い前記搬送状態から位置決め状態へと回動する構 成となっている。

【００１６】 一方、図５に示すように、トッププレート１１のＸ軸方向の一端側には、その 下面側に固定されたスタンド２５を介して、本考案における第２の駆動手段であ るエアスライドテーブル２６が支持されている。エアスライドテーブル２６は、 空気圧によって出入する作動軸２７と、該作動軸２７によってＸ軸方向へ摺動さ れる移動ブロック２８とを有している。移動ブロック２８の上面側にはＹ軸方向 へ延在するロッドホルダ２９が取り付けられており、ロッドホルダ２９の両端部 には、トッププレート１１の下面側でＸ軸方向へ延在する駆動ロッド３０，３０ の一端がそれぞれ連結されている。

【００１７】 他方、トッププレート１１の上面１１ａすなわち支持面には、搬送されたウエ ハーリング１（図９参照）を位置決めするための２つのピン４５，４６と、ウエ ハーリング１を前記上面１１ａに押圧して固定するための相対向する一対のクラ ンパー３１，３１とがが設けられている。一対のクランパー３１，３１は、Ｙ軸 方向に延在するクランプ板３２をそれぞれ有している。クランプ板３２は、図６ に示すように、トッププレート１１に支持されたボールブッシュ３３，３３及び シャフト３４，３４を介して昇降自在に支持されている。クランプ板３２には、 トッププレート１１との間に位置してクランプブロック３５が固定されており、 クランプブロック３５に収容された複数の圧縮スプリング３６・・・によりクラ ンプ板３２は常にガイド位置（図６及び図７（ａ）に示す位置）に付勢されてい る。

【００１８】 前記クランプブロック３５には、クランプ板３２の下面側において、他方側の クランパー３１に向かって突出する回転軸を有した第２のローラ３７と、上方に 向かって突出する回転軸を有した第３のローラ３８とが、Ｙ軸方向に所定の間隔 をおき複数設けられている。なお、前記第２のローラ３７・・・は、図７の（ａ ）に示すように、クランパー３１がガイド位置にあるとき、トッププレート１１ の上面よりやや突出するよう設けられている。また、前記クランプブロック３５ の両端部には、図８に示すように、その側面にＸ軸方向に約２０度傾斜したカム 溝３９ａを有するストレートカム３９，３９が、クランプ板３２の下面側に取り 付けられている。

【００１９】 さらにストレートカム３９，３９の近傍には、前記駆動ロッド３０，３０の他 端側が、トッププレート１１の下面にボールブッシュ４０を介してその延在方向 に移動自在に支持されている。駆動ロッド３０の他端にはベアリングホルダ４１ が設けられており、ベアリングホルダ４１に支持された第４のローラ４２が前記 カム溝３９ａに収容されている。これにより、前記クランパー３１，３１は、前 記ロッドホルダー２９の作動に伴い駆動ロッド３０，３０がＸ軸方向（図８で左 方）へ移動したとき、前記クランプ板３２がトッププレート１１の上面１１ａに 近接し、かつ前記第２のローラ３７・・・が前記上面１１ａより下に位置するク ランプ位置（図７（ａ）及び図８（ｂ）に示す位置）へと作動するようになって いる。

【００２０】 以上の構成からなる本実施例において、ウエハーリング１の搬送時には、前記 搬送ガイド１２が、図４（ａ）（ｂ）に２点鎖線で示す搬送状態に、また前記ク ランパー３１，３１がガイド位置（図７（ａ）及び図８（ａ））にあり、ウエハ ーリング１は、図示しない搬送装置によって、搬送ガイド１２側からＹ軸方向に 沿ってマウント部に搬送される。このとき、ウエハーリング１は、搬送ガイド１ ２の第１のローラ１６，１６及び一対のクランパー３１，３１の第２のローラ３ ７・・・により支持され、かつ一対のクランパー３１，３１間にフランジ部３を 挿入されながら、フランジ部３の後端縁が搬送ガイド１２を越える所定位置にガ イドされる。

【００２１】 次に、ウエハーリング１が前記所定位置に達すると、前記エアシリンダ２１が 作動し、搬送ガイド１２がトッププレート１１の搬送側の側縁に向かって約４５ °回動される（図４（ｂ）参照）。これに伴い、ウエハーリング１が、前述した 位置決め用のピン４５，４６に当接するまで移動、すなわち位置決めされる（図 １及び図２に示した状態）。しかる後、前記搬送ガイド１２の作動にやや遅れて 前記エアスライドテーブル２６が作動し、ロッドホルダー２９、駆動ロッド３０ を介して一対のクランパー３１，３１がガイド位置からクランプ位置に作動され る。これにより、ウエハーリング１が、クランプ板３２，３２によってフランジ 部３をトッププレート１１の上面１１ａに押圧され、位置固定される。

【００２２】 したがって、本実施例においては、マウント部へ搬送されてから位置決めされ るまでの間、ウエハーリング１がトッププレート１１の上面１１ａに接触するこ とを防止されるため、ウエハーリング１をスムーズに搬送できる。また、位置決 めされた後のウエハーリング１が、一対のクランパー３１，３１により、そのフ ランジ部３をＹ軸方向すなわち搬送方向に沿って広範囲にトッププレート１１の 上面１１ａ支持面に押圧されることから、ウエハーリング１をマウント部に強固 に固定することができる。一方、搬送ガイド１２とクランパー３１，３１とにお ける作動時期の調整作業は、エアシリンダ２１とエアスライドテーブル２６との 作動時期を調整により行われる。よって、その調整作業を極めて容易に行うこと ができる。

【００２３】

【考案の効果】

以上説明したように本考案にあっては、ウエハーリングが搬送されて位置決め されるまでの間、ウエハーリングが、搬送ガイドが有する第１のローラとクラン パーが有する第２のローラとによってマウント部の支持面への接触を防止される 構成としたことから、ウエハーリングをスムーズに搬送できる。また、位置決め されたウエハーリングは、クランパーだけで搬送方向に沿い広範囲に亙ってマウ ント部の支持面に押圧される構成としたことから、マウント部に対するウエハー リングの固定強度が向上する。しかも、かかる固定時に、クランパーは、ガイド 位置からクランプ位置に作動してウエハーリングをガイド部の支持面に押圧する だけであるため、その設置位置等に細かな調整は不要である。さらに、互いに異 なる第１の駆動手段と第２の駆動手段との作動時期を調整することにより、搬送 ガイド及びクランパーの作動時期が行われる構成としたことから、その作動時期 の調整が極めて容易である。

【００２４】 よって、煩雑な調整を行わなくとも、ウエハーリングをスムーズに搬送しかつ 強固に固定することが可能なマウント部構造を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示すマウント部の平面図で
ある。

【図２】図１に続く平面図である。

【図３】図１のＡ矢視図である。

【図４】本考案の一実施例における搬送ガイドの作動を
示す図であって、（ａ）は図３に矢印ａで示した部分の
側面図、（ｂ）は同図に矢印ｂで示した部分の側面図で
ある。

【図５】図２のＢ矢視である。

【図６】本考案の一実施例におけるクランパーを示す断
面説明図である。

【図７】図１のＣ−Ｃ線に沿う断面図であって、（ａ）
はクランパーがガイド位置にある状態を示す図、（ｂ）
はクランパーがクランプ位置にある状態を示す図であ
る。

【図８】図１のＤ矢視図であって、（ａ）は図７の
（ａ）に、（ｂ）は図７の（ｂ）に対応する図である。

【図９】ウエハーリングを示す外観斜視図である。

【図１０】従来例を示す平面図である。

【図１１】図１０のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。

【図１２】図１０のＦ−Ｆ線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１ ウエハーリング ３ フランジ部 １１ トッププレート １１ａ 上面（支持面） １２ 搬送ガイド １６ 第１のローラ ２１ エアシリンダ（第１の駆動手段） ２６ エアスライドテーブル（第２の駆動手段） ３０ 駆動ロッド ３１ クランパー ３２ クランプ板 ３７ 第２のローラ ３９ ストレートカム

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 マウント部に搬送されたウエハーリング
   が、位置決めされた後前記マウント部の支持面に面接し
   て固定されるボンディング装置において、 前記支持面より突出する第１のローラを有し、搬送され
   る前記ウエハーリングを前記第１のローラを介して支持
   するとともに、前記ウエハーリングの搬送後に作動され
   前記ウエハーリングを搬送方向に沿って所定位置に移動
   する搬送ガイドと、 該搬送ガイドを駆動する第１の駆動手段と、 前記搬送方向に沿い相対向して設けられ、搬送時及び移
   動時の前記ウエハーリングを案内するガイド位置から、
   前記ウエハーリングを前記支持面に押圧するクランプ位
   置に作動されるとともに、前記ガイド位置にあるとき前
   記支持面より突出して前記ウエハーリングを支持し、か
   つ前記クランプ位置にあるとき前記支持面より後退する
   第２のローラをそれぞれ有する一対のクランパーと、 該クランパーを駆動する第２の駆動手段と、 を備え、前記ウエハーリングが位置決めされた後、前記
   クランパーが前記クランプ位置に作動されることを特徴
   とするボンディング装置におけるウエハーリングのマウ
   ント部構造。